JP2018186442A - 弾性波デバイスおよび弾性波デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図12は、実施例1の変形例1に係る弾性波デバイス300の平面図である。図12のように、出力パッドOUTは、延伸部42aおよび42bを有する。延伸部42aは、出力パッドOUTとグランド端子GND6の間に位置し、圧電基板20の第1の辺21に沿って設けられる。延伸部42bは、出力パッドOUTとグランド端子GND5の間に位置し、圧電基板20の第1の辺21に沿って設けられる。実施例1の変形例1のように延伸部をグランド端子GND5ではなく出力パッドOUTに接続するように設けても良い。上記以外の構成は、実施例1と同様であるため説明を省略する。
図13は、実施例1の変形例2に係る弾性波デバイス400の平面図である。図13のように、弾性波デバイス400は、離間パターン60aと60bを有する。離間パターン60aは、出力パッドOUTとグランドパッドGND6の間に位置し、圧電基板20の第1の辺に沿って設けられている。また、離間パターン60aは、出力パッドOUTおよびグランドパッドGND6の双方と離間して設けられている。離間パターン60bは、出力パッドOUTとグランドパッドGND5の間に位置し、圧電基板20の第1の辺に沿って設けられている。また、離間パターン60bは、出力パッドOUTおよびグランドパッドGND5の双方と離間して設けられている。実施例1の変形例2のように延伸部は、入力パッドOUTおよびグランドパッドGND5、GND6と離間して設けられてもよい。上記以外の構成は、実施例1と同様であるため説明を省略する。
図14は、実施例1の変形例3に係る弾性波デバイス450の平面図である。図14のように、弾性波デバイス450は、延伸部70a、70b、70cと70dを有する。延伸部70a、70bは出力パッドOUTとグランド端子GND6の間に位置し、圧電基板20の第1の辺21に沿って設けられる。延伸部70c、70dは出力パッドOUTとグランド端子GND5の間に位置し、圧電基板20の第1の辺21に沿って設けられる。実施例1の変形例3のように延伸部70a、70b、70cと70dと、複数の延伸部を出力パッドOUTとグランド端子GND5、GND6のそれぞれに設けても良い。上記以外の構成は、実施例1と同様であるため説明を省略する。
Claims (10)
- 第1の辺と、前記第1の辺に対向する辺である第2の辺とを少なくとも有する矩形の圧電基板と、
前記圧電基板の表面に設けられ、弾性波共振器を含むフィルタと、
前記フィルタと電気的に接続され、前記表面に設けられ、前記フィルタと前記第1の辺との間に位置する第1のパッドと、
前記表面に設けられ、前記フィルタと前記第2の辺との間に位置する第2のパッドと、
前記フィルタと電気的に接続され、前記表面に設けられ、前記フィルタと前記第1の辺との間に位置する第3のパッドと、
前記第3のパッドから前記第1のパッドに向かって延伸して設けられ、前記第1の辺に沿って設けられ、前記第1の辺に対する垂線と平行な方向における幅が前記第1のパッドの前記垂線と平行な方向における幅よりも狭い延伸部と、
を備える弾性波デバイス。 - 前記第1のパッドは、前記フィルタの入力パッドまたは出力パッドであり、前記第3のパッドは、前記フィルタのグランドパッドであることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記第3のパッドは、前記フィルタの入力パッドまたは出力パッドであり、前記第1のパッドは、前記フィルタのグランドパッドであることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 第1の辺と、前記第1の辺の対向する辺である第2の辺とを有する矩形の表面を有する圧電基板と、
前記圧電基板の表面に設けられ、弾性波共振器を含むフィルタと、
前記フィルタと電気的に接続され、前記表面に設けられ、前記フィルタと前記第1の辺との間に位置する第1のパッドと、
前記表面に設けられ、前記フィルタと前記第2の辺との間に位置する第2のパッドと、
前記フィルタと電気的に接続され、前記表面に設けられ、前記フィルタと前記第1の辺との間に位置する第3のパッドと、
前記第1のパッドと前記第3のパッドの間に位置し前記第1の辺に沿って設けられ、前記第1のパッドおよび前記第3のパッドの双方と離間し前記第1の辺に対する垂線と平行な方向における幅が前記第1のパッドの幅より狭い延伸部と、
を備える弾性波デバイス。 - 前記延伸部と前記第1のパッドは、離間して設けられ、前記延伸部と前記第1のパッドの間の長さは、前記垂線と平行な方向における前記第1の辺から前記第1のパッドまでの長さよりも短いことを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記弾性波共振器は、弾性表面波共振器であることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記圧電基板は、タンタル酸リチウム基板またはニオブ酸リチウム基板であることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記支持基板は、サファイア基板またはシリコン基板であることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 支持基板が接合された圧電基板の上に設けられた金属層、前記圧電基板上に設けられ弾性波フィルタと電気的に接続する第1のパッド、前記圧電基板上に設けられ前記第1のパッドと位置が異なる第2のパッド、および前記第1のパッドと前記第2のパッドとの間に設けられ前記金属層に沿って延伸する延伸部のうち、前記金属層と前記第1のパッドの対および前記金属層と前記第2のパッドの対のいずれか一方にレーザ光が当たるように前記圧電基板にレーザ光を照射して前記支持基板に第1の改質領域を形成する工程と、
前記金属層と前記延伸部の対にレーザ光が当たるように前記圧電基板にレーザ光を照射して前記支持基板に第2の改質領域を形成する工程と、
を含むことを特徴とする弾性波デバイスの製造方法。 - 前記第1の改質領域および前記第2の改質領域において、前記支持基板および前記圧電基板を切断する工程をさらに含むことを特徴とする請求項8記載の弾性波デバイスの製造方法。
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