JP2018172796A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109161862A (zh) * 2018-11-01 2019-01-08 广西晶联光电材料有限责任公司 一种平面和旋转靶材解绑定的装置及方法
JP6755378B1 (ja) * 2019-03-28 2020-09-16 住友化学株式会社 ターゲット材の研磨方法、ターゲット材の製造方法及びリサイクル鋳塊の製造方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1046327A (ja) * 1996-07-31 1998-02-17 Sumitomo Chem Co Ltd スパッタリングターゲットおよびその製造方法
JP4599688B2 (ja) * 2000-08-04 2010-12-15 東ソー株式会社 スパッタリングターゲットの製造方法
JP4409216B2 (ja) * 2003-06-30 2010-02-03 三井金属鉱業株式会社 ターゲット材の再生方法
JP4286076B2 (ja) * 2003-06-30 2009-06-24 三井金属鉱業株式会社 再生ターゲット材およびターゲット材の再生方法
JP4270971B2 (ja) * 2003-07-24 2009-06-03 三井金属鉱業株式会社 スパッタリングターゲットの製造方法
JP2007126736A (ja) * 2005-11-07 2007-05-24 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd スパッタリングターゲットおよびその製造方法
JP2008149297A (ja) * 2006-12-20 2008-07-03 Kn Lab Analysis:Kk 剥離洗浄装置
SG11201403570VA (en) * 2012-01-12 2014-09-26 Jx Nippon Mining & Metals Corp High-purity copper sputtering target
KR20180085059A (ko) * 2014-03-31 2018-07-25 가부시끼가이샤 도시바 스퍼터링 타깃의 제조 방법 및 스퍼터링 타깃
CN106282938B (zh) * 2015-05-13 2018-11-27 宁波创润新材料有限公司 回收靶材的方法
KR20160134199A (ko) * 2015-05-15 2016-11-23 희성금속 주식회사 재활용 타겟의 제조방법 및 이로부터 제조된 재활용 타겟

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