JP2018163977A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
たとえば、基板を一枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置は、基板を水平に保持しながら回転させるスピンチャックと、このスピンチャックに保持されている基板の上面に向けて処理液を吐出する吐出口を含むノズルとを備えている。ノズルの吐出口からは、室温よりも高温に温度調整された処理液を吐出させる場合がある。
吐出口から処理液を吐出する吐出状態では、それまで、吐出流路、還流流路および循環流路を循環していた処理液が、吐出流路の、還流流路との接続位置よりも下流側の部分を通って吐出口に供給される。
この構成によれば、チャンバー内の、基板の上方で、かつ平面視で基板の面内に吐出口が配置される場合に、還流流路を、チャンバー内の、基板の上方で、かつ平面視で基板の面内で前記吐出流路に接続することにより、吐出流路と還流流路の接続位置を、吐出口の、より近傍の位置に配置することが可能であり、この場合には、吐出流路の、還流流路との接続位置よりも下流側の部分の距離を、さらに短くすることができる。そのため、吐出流路の、還流流路との接続位置よりも下流側の部分を流れる処理液が受ける、当該下流側の部分を構成する管壁の温度低下に伴う熱影響を、さらに小さくすることができる。したがって、処理液の供給開始時から、所望の高温により一層精度よく温度調整された処理液を、基板に供給することができ、これにより、基板間の処理の均一性をさらに向上することができる。
この構成によれば、循環流路から分岐して、吐出流路を流れる処理液を、当該吐出流路の、還流流路との接続位置よりも上流側の位置で、吐出ヒータによって、所望の吐出温度に温度調整することができる。そのため、吐出流路の、還流流路との接続位置よりも下流側の部分を流れる処理液が受ける、当該下流側の部分を構成する管壁の温度低下に伴う熱影響を、さらに小さくすることができる。したがって、処理液の供給開始時から、所望の高温により一層精度よく温度調整された処理液を、基板に供給することができ、これにより、基板間の処理の均一性をさらに向上することができる。
この構成によれば、複数の吐出流路と還流流路との接続位置が、それぞれチャンバー内に配置されているので、各吐出流路の、還流流路との接続位置よりも下流側の部分の距離を短くすることができる。そのため、各吐出流路の、還流流路との接続位置よりも下流側の部分を流れる処理液が受ける、当該下流側の部分を構成する管壁の温度低下に伴う熱影響を、小さくすることができ、それぞれの吐出口から、所望の高温に精度よく温度調整された処理液を基板に供給することができる。これにより、各々の吐出流路を流れる処理液の温度のばらつきを小さくすることが可能であり、この場合、複数の吐出口から吐出される処理液の温度の均一性を向上することができる。そのため、同一の基板の面内における、処理の均一性を向上することができる。
この構成によれば、基板を回転軸線まわりに回転させながら、前記回転軸線からの距離が異なる複数の位置に、複数の吐出口から吐出させた処理液を着液させることで、基板の上面の全域に、速やかに、所望の高温に精度よく温度調整された処理液を行き渡らせることができる。そのため、同一の基板の面内における処理の均一性を、より一層向上することができる。
図1ないし図3は、この発明の一実施形態にかかる基板処理装置の、処理液供給システムを示す模式図である。図1は吐出停止状態の処理液供給システムを示し、図2は、吐出状態の処理液供給システムを示し、図3は、吸引除去状態の処理液供給システムを示している。
基板処理装置1は、処理ユニット2に対する処理液の供給および供給停止を制御する供給バルブ4等の流体機器を収容する流体ボックス5と、流体ボックス5を介して処理ユニット2に供給される処理液を貯留するタンク6を収容する貯留ボックス7とを含む。処理ユニット2および流体ボックス5は、基板処理装置1のフレーム8の中に配置されている。処理ユニット2はチャンバー9を備え、チャンバー9と流体ボックス5とは、水平方向に並んでいる。貯留ボックス7は、フレーム8の外に配置されている。貯留ボックス7は、フレーム8の中に配置されていてもよい。
処理ユニット2は、チャンバー9と、チャンバー9内で基板Wを水平に保持しながら基板Wの中央部を通る鉛直な回転軸線A1まわりに基板Wを回転させるスピンチャック10と、基板Wから排出された処理液を受け止める筒状のカップ11と含む。スピンチャック10は、基板Wを水平に保持する基板保持ユニットの一例である。
処理液の代表例は、TMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)などのエッチング液や、SPM(硫酸および過酸化水素水を含む混合液)などのレジスト剥離液である。処理液は、TMAHおよびSPMに限らず、硫酸、酢酸、硝酸、塩酸、フッ酸、アンモニア水、過酸化水素水、有機酸(たとえばクエン酸、蓚酸など)、TMAH以外の有機アルカリ、界面活性剤、腐食防止剤のうちの少なくとも1つを含む液であってもよい。
複数のアーム25は、第1ノズルヘッド26A〜第4ノズルヘッド26Dの順番で、長手方向D1に直交する水平な配列方向D2に並んでいる。複数のアーム25は、同じ高さに配置されている。配列方向D2に隣接する2つのアーム25の間隔は、他のいずれの間隔と同じであってもよいし、他の間隔の少なくとも一つと異なっていてもよい。図5は、複数のアーム25が等間隔で配置されている例を示している。
ノズル移動ユニット24は、カップ11のまわりで鉛直に延びるノズル回動軸線A2まわりにホルダ23を回動させることにより、平面視で基板Wを通る円弧状の経路に沿って複数のノズル22を移動させる。これにより、処理位置と待機位置との間で複数のノズル22が水平に移動する。処理ユニット2は、複数のノズル22の待機位置の下方に配置された有底筒状の待機ポット27を含む。待機ポット27は、平面視でカップ11のまわりに配置されている。
なお、図6では、複数のノズル22のノズルヘッド26のうち、第1ノズルヘッド26Aのみ内部を詳細に記載しているが、第1ノズルヘッド26A以外の各ノズルヘッド26の内部の構成も同様である。それぞれのノズルヘッド26において、共通する部分については、第1ノズルヘッド26Aを参照しながら説明する。
第1ノズルヘッド26Aの吐出バルブ28には、先端が第1ノズルヘッド26Aの下面で開口する1つの吐出口31Aが形成されている。チューブ29、29の流路は吐出バルブ28内で接続されて、吐出口31Aで開口されている。
チューブ29から各吐出口31に至る流路は、タンク6から供給される処理液を、吐出口31に向けて案内する吐出流路32の一部に該当する。吐出バルブ28内で吐出流路32から分岐してチューブ30に続く流路は、吐出流路32を流通している処理液を、タンク6に還流させる還流流路33の一部に該当する。各吐出口31は、回転軸線A1からの距離が異なる複数の位置にそれぞれ配置されている。
各吐出口31は、基板Wの上面に対して垂直な吐出方向に処理液を吐出する。複数の吐出口31は、基板Wの上面内の複数の着液位置に向けて処理液を吐出する。複数の着液位置は、回転軸線A1からの距離が異なる別々の位置である。
吐出バルブ28は、処理液を導く流路35が形成された本体36と、流路35を開閉する弁体37と、弁体37を軸方向X1に進退させて流路35を開閉させる空圧アクチュエータ38と、吐出口31とを含む。
ロッド44は、基部がピストン42に連結され、先端部が、隔壁41を貫通して弁室40に突出されている。弁室40に突出されたロッド44の先端部には、弁体37が連結されている。弁体37は円板状に形成され、ロッド44の先端部に、径方向を軸方向X1と直交させて連結されている。弁体37は、シリンダ39内で、ピストン42が軸方向X1に沿って進退されると、ロッド44を介して、弁室40内で、軸方向X1に沿って進退される。
チューブ29と流路35a、チューブ30と流路35bは、それぞれジョイント48を介して接続される。
吐出バルブ28において処理液に接する部分(接液部)は、処理液に対する耐性を有する材料(たとえば、フッ素樹脂等の合成樹脂)によって作製されるか、もしくは処理液に対する耐性を有する材料からなる被膜によって被覆されている。流路35や弁室40の内面、あるいは、弁体37やロッド44の外面は、接液部に含まれる。
次に、図1ないし図3を参照して、処理液供給システムについて詳細に説明する。なお、以下の説明では、循環ヒータ51による処理液の加熱温度を循環温度といい、吐出ヒータ57による処理液の加熱温度を吐出温度という場合がある。
吐出流路32は、循環流路50から供給された処理液を、チャンバー9内で、スピンチャック10に保持される基板Wの基板の上方で、かつ平面視で基板Wの面内に配置された複数の吐出口31に向けて案内する複数の吐出流路32(第1吐出流路32A、第2吐出流路32B、第3吐出流路32Cおよび第4吐出流路32D)を含む。
処理液供給システムは、複数の還流流路33から還流された処理液を冷却するクーラー63と、クーラー63からタンク6に処理液を案内する回収流路64とを含む。複数の還流流路33からクーラー63に還流された処理液は、クーラー63によって、循環温度に近づけられた後、回収流路64を介してタンク6に案内される。クーラー63は、水冷ユニットまたは空冷ユニットであってもよいし、これら以外の冷却ユニットであってもよい。
タンク6内の処理液は、ポンプ52によって循環流路50に送られる。ポンプ52によって送られた処理液の一部は、循環ヒータ51によって加熱された後、循環流路50を介してタンク6に戻る。ポンプ52によって送られた残りの処理液は、循環流路50から複数の吐出流路32に流れる。吐出流路32に供給された処理液は、吐出ヒータ57によって加熱された後、チャンバー9内に配置された吐出口31の近傍の、還流流路33との接続位置まで送られて、当該接続位置から、還流流路33を介して、タンク6に還流される。
タンク6内の処理液は、ポンプ52によって循環流路50に送られる。ポンプ52によって送られた処理液は、循環ヒータ51によって加熱された後、循環流路50から複数の吐出流路32に流れる。吐出流路32に供給された処理液は、吐出ヒータ57によって加熱された後、チャンバー9内に配置された複数の吐出口31に供給される。
そのため、基板W間の処理の均一性を向上することができる。また、複数の吐出口から吐出される処理液の温度の均一性を向上して、同一の基板Wの面内における処理の均一性を向上することもできる。
タンク6内の処理液は、ポンプ52によって循環流路50に送られる。ポンプ52によって送られた処理液の一部は、循環ヒータ51によって加熱された後、循環流路50を介してタンク6に戻る。ポンプ52によって送られた残りの処理液は、循環流路50から複数の吐出流路32に流れる。吐出流路32に供給された処理液は、吐出ヒータ57によって加熱された後、短絡流路59を介して、タンク6に還流される。
そのため、それぞれの吐出流路32の、還流流路33との接続位置よりも下流の領域に残留して、温度が低下した処理液が、吐出停止状態において、吐出口31から基板Wの上面に不用意に供給されるのを防止することができる。また、処理液の吐出を再開する際には、それぞれの吐出流路32を通して、所望の高温に精度よく温度調整された処理液を基板に供給することができる。したがって、基板W間の処理の均一性を、さらに向上することができる。また、複数の吐出口から吐出される処理液の温度の均一性を向上して、同一の基板Wの面内における処理の均一性を、より一層向上することもできる。
以下の各動作は、制御装置3が基板処理装置1を制御することにより実行される。以下では、主に図2、図4および図5を参照する。図9については適宜参照する。
処理ユニット2によって基板Wが処理されるときには、複数のノズル22がスピンチャック10の上方から退避しており、スプラッシュガード16が下位置に位置している状態で、搬送ロボットのハンド(図示せず)によって、基板Wがチャンバー9内に搬入される。これにより、表面が上に向けられた状態で、基板Wが複数のチャックピン14の上に置かれる。その後、搬送ロボットのハンドがチャンバー9の内部から退避し、チャンバー9の搬入搬出口12aがシャッター12bで閉じられる。
したがって、基板W間の処理の均一性を向上することができる。また、複数の吐出口から吐出される処理液の温度の均一性を向上して、同一の基板Wの面内における処理の均一性を向上することもできる。
そのため、それぞれの吐出流路32の、還流流路33との接続位置よりも下流の領域に残留して、温度が低下した処理液が、吐出停止状態において、吐出口31から基板Wの上面に不用意に供給されるのを防止することができる。また、処理液の吐出を再開する際には、それぞれの吐出流路32を通して、所望の高温に精度よく温度調整された処理液を基板に供給することができる。したがって、基板W間の処理の均一性を、さらに向上することができる。また、複数の吐出口から吐出される処理液の温度の均一性を向上して、同一の基板Wの面内における処理の均一性を、より一層向上することもできる。
たとえば、実施形態では、ノズル22の数が4つである場合について説明したが、ノズル22の数は1つないし3つであってもよいし、5つ以上であってもよい。
実施形態では、複数のノズル22を静止させながら、複数のノズル22の吐出口31から処理液を吐出させる場合について説明したが、ノズルの数は1つとして、1つのノズル22を静止させながら、1つのノズルの吐出口31から処理液を吐出させてもよい。あるいは、1つまたは複数のノズル22を、ノズル回動軸線A2まわりに回動(スキャン)させながら、1つまたは複数のノズル22の吐出口31から処理液を吐出させてもよい。
実施形態では、複数の吐出口31が、平面視で径方向Drに並んでいる場合について説明したが、複数の吐出口31が、回転軸線A1からの距離が異なる複数の位置にそれぞれ配置されるのであれば、複数の吐出口31は、平面視で径方向Drに並んでいなくてもよい。
実施形態では、吐出ヒータ57が、全ての吐出流路32に設けられている場合について説明したが、たとえば、吐出ヒータ57が第1吐出流路32Aに設けられておらず、第1吐出流路32A以外の全ての吐出流路32に吐出ヒータ57が設けられていてもよい。また、全ての吐出流路32に吐出ヒータ57が設けられていなくてもよい。
制御装置3は、基板Wの表面の各部に供給される処理液の温度を、基板Wの上面内の、回転軸線A1からの距離が異なる複数の位置ごとに制御することにより、処理を均一化してもよい。具体的には、制御装置3は、回転軸線A1からの距離が離れるにしたがって、複数の吐出流路32での処理液の温度が高くなるように、複数の吐出ヒータ57を制御してもよい。
しかし、吐出口31から吐出される処理液の温度を、回転軸線A1からの距離が離れるにしたがって高くなるように制御することにより、冷却や熱の移動の影響を排除して、処理の均一性をより一層向上することができる。
具体的には、制御装置3は、複数の吐出流路32での処理液の温度が、処理前の膜厚に応じた温度となるように、複数の吐出ヒータ57を制御してもよい。
この場合、処理前の膜厚が相対的に大きい位置に相対的に高温の処理液が供給され、処理前の膜厚が相対的に小さい位置に相対的に低温の処理液が供給される。基板Wの表面に形成された薄膜のエッチング量は、高温の処理液が供給される位置で相対的に増加し、低温の処理液が供給される位置で相対的に減少する。そのため、処理後の薄膜の厚みが均一化される。
4 供給バルブ(切替ユニット)
9 チャンバー
10 スピンチャック(基板保持ユニット)
28 吐出バルブ(切替ユニット)
31 吐出口
31A 第1吐出口
31B 第2吐出口
31C 第3吐出口
31D 第4吐出口
32 吐出流路
32A 第1吐出流路
32B 第2吐出流路
32C 第3吐出流路
32D 第4吐出流路
33 還流流路
50 循環流路
57 吐出ヒータ
58 還流バルブ(切替ユニット)
59 短絡流路
60 短絡バルブ(開閉ユニット)
61 吸引流路
62 吸引バルブ(切替ユニット)
A1 回転軸線
W 基板
Claims (9)
- 基板を水平に保持する基板保持ユニットと、
前記基板保持ユニットを収容するチャンバーと、
循環流路、吐出流路、吐出口および還流流路を含み、前記基板保持ユニットに保持される基板に処理液を供給する処理液供給システムと、を含み、
前記循環流路は、処理液を常温以上の所定の温度に維持しながら循環させ、
前記吐出流路は、前記循環流路から分岐して、前記循環流路から供給される処理液を前記吐出口に向けて案内し、
前記吐出口は、前記チャンバー内に配置されて、前記吐出流路を介して供給される処理液を、前記基板保持ユニットに保持される基板に向けて吐出し、
前記還流流路は、前記チャンバー内で前記吐出流路に接続され、前記吐出流路を流通している処理液を、前記循環流路に還流させる、基板処理装置。 - 前記吐出口は、前記チャンバー内で、前記基板保持ユニットに保持される基板の上方で、かつ平面視で基板の面内に配置され、前記還流流路は、前記チャンバー内で、前記基板の上方で、かつ平面視で基板の面内で前記吐出流路に接続されている、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記処理液供給システムは、吐出ヒータをさらに含み、
前記吐出ヒータは、前記還流流路と前記吐出流路との接続位置よりも上流の位置で前記吐出流路に介装されて、前記吐出流路を流れる処理液を加熱する、請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 前記処理液供給システムは、前記循環流路から分岐した複数の前記吐出流路、複数の前記吐出流路ごとに設けられた複数の前記吐出口および複数の前記吐出流路ごとに、それぞれチャンバー内で接続された複数の前記還流流路を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記基板保持ユニットは、前記基板を、前記基板の中央部を通る鉛直な回転軸線まわりに回転させ、前記複数の吐出口は、前記チャンバー内で、前記基板の上面内の、前記回転軸線からの距離が異なる複数の位置にそれぞれ配置されている、請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記処理液供給システムは、短絡流路をさらに含み、
前記短絡流路は、前記還流流路との接続位置よりも上流の位置で前記吐出流路に接続されているとともに、前記還流流路に接続されており、
前記処理液供給システムは、前記短絡流路を開閉する開閉ユニットをさらに含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記処理液供給システムは、吸引流路をさらに含み、
前記吸引流路は、前記吐出流路との接続位置よりも下流で、かつ前記短絡流路との接続位置よりも上流の位置で前記還流流路に接続されて、前記還流流路を介して、前記吐出流路の、前記還流流路との接続位置よりも下流の領域に吸引力を伝達する、請求項6に記載の基板処理装置。 - 前記処理液供給システムは、切替ユニットをさらに含み、
前記切替ユニットは、前記循環流路から前記吐出流路に供給される処理液が前記吐出口に供給される吐出状態と、前記循環流路から前記吐出流路に供給される処理液が前記還流流路に供給される吐出停止状態と、を含む複数の状態のいずれかに切り替わる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記切替ユニットは、前記開閉ユニットによって前記短絡流路を開いて、前記吐出流路と前記還流流路とを、前記短絡流路を介して短絡接続した状態で、前記吸引流路および前記還流流路を介して、前記吐出流路の、前記還流流路との接続位置よりも下流の領域に吸引力を伝達して、前記領域内の処理液が、前記吸引流路内に吸引除去される吸引除去状態に切り替わる、請求項8に記載の基板処理装置。
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