JP2018162932A - リフロー装置 - Google Patents

Abstract

【課題】リフロー装置の冷却ゾーンでフラックスヒュームが液化して被加熱物に滴下して被加熱物の品質が低下することを防止する。【解決手段】被加熱物に対してはんだ付けを行うゾーンを含む複数のゾーンからなる加熱ゾーンと、加熱ゾーンの後に配され、はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンと、加熱ゾーン及び冷却ゾーン内を被加熱物を搬送する搬送部からなるリフロー装置において、加熱ゾーンの入口側ゾーンの入口近傍及び／又は加熱ゾーンの出口側ゾーンの出口近傍に、搬送方向とほぼ直交する方向に延びる吹き出し口を有し、吹き出し口から加熱ゾーン内の気体を内部に押し戻す方向に気体を吹き出す吹き出し部と、吹き出し部の近傍に設けられ、搬送方向とほぼ直交する方向に延びる吸い込み部とを備えたリフロー装置である。【選択図】図５

Description

本発明は、リフロー装置に関し、特に、液化したフラックスがプリント回路基板等の被加熱物上に垂れることを防止するようにしたものである。

電子部品又はプリント回路基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中にプリント回路基板を搬送コンベヤで搬送するリフロー装置が使用されている。リフロー装置は、被加熱物を搬送する搬送コンベヤと、この搬送コンベヤによって被加熱物が供給されるリフロー炉本体とを備えている。リフロー炉は、例えば、搬入口から搬出口に至る搬送経路に沿って、複数のゾーンに分割されており、これらの複数のゾーンがインライン状に配列されている。複数のゾーンは、その機能によって、加熱ゾーン、冷却ゾーンなどの役割を有する。

はんだ組成物は、例えば粉末はんだ、フラックスとを含む。フラックスは、成分としてロジンなどを含み、はんだ付けされる金属表面の酸化膜を除去し、はんだ付けの際に加熱で再酸化するのを防止し、はんだの表面張力を小さくして濡れを良くする働きをするものである。このフラックスは、加熱により、気化しリフロー炉内に充満する。気化したフラックスは、フラックスヒュームと称される。

加熱ゾーンから冷却ゾーンに基板が搬送される時に、被加熱物と共にフラックスヒュームが冷却ゾーンに持ち込まれる。フラックスヒュームは、温度の低い部位に付着し易く、冷却ゾーンで冷却されると、冷却パネルに付着する。付着している部位からフラックスが滴下し、被加熱物の上面に付着することもあり、被加熱物の品質（性能）を損なうこととなる。

下記の特許文献１には、基板上の濡れた状態のはんだや、ペーストを乾燥させるコンベア炉に関して、入口側及び出口側にそれぞれエアカーテンを設けることが記載されている。さらに、ヒータからの熱が伝わりにくいために、基板出入り口付近に有機溶剤ガスの結露が発生し、結露が基板上に落下してパターン不良が発生することが記載されている。

特許第３９３４２８１号公報

特許文献１においては、エアカーテンのエアを加熱し、基板出入り口を加熱するラバーヒータを設け、さらに、エアカーテンから漏れた溶剤ガスを吸引する排気ダクトを設けるようにしている。しかしながら、特許文献１のように、エアカーテン、ヒータ、排気ダクトを乾燥工程の外の出入り口付近に設けることは、部品点数の増加、装置の大型化などをもたらす問題がある。

したがって、本発明の目的は、部品点数の増加を抑えつつ、リフロー装置の冷却ゾーンにおけるフラックスヒュームの滴下による被加熱物の品質低下を防止することができるリフロー装置を提供することにある。

本発明は、被加熱物に対してはんだ付けを行うゾーンを含む複数のゾーンからなる加熱ゾーンと、加熱ゾーンの後に配され、はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンと、加熱ゾーン及び冷却ゾーン内を被加熱物を搬送する搬送部からなるリフロー装置において、
加熱ゾーンの入口側ゾーンの入口近傍及び／又は加熱ゾーンの出口側ゾーンの出口近傍に、搬送方向とほぼ直交する方向に延びる吹き出し口を有し、吹き出し口から加熱ゾーン内の気体を内部に押し戻す方向に気体を吹き出す吹き出し部と、
吹き出し部の近傍に設けられ、搬送方向とほぼ直交する方向に延びる吸い込み部とを備えたリフロー装置である。

少なくとも一つの実施形態によれば、加熱ゾーンで発生したフラックスヒュームが加熱ゾーンから冷却ゾーンに移動することが阻止される。したがって、冷却ゾーンにおいてフラックスヒュームが液化することが抑制される。また、炉体の外にエアカーテンを設けるのと異なり、装置が大型化したり、部品点数が増加したりすることがない。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本発明中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、以下の説明における例示された効果により本発明の内容が限定して解釈されるものではない。

図１は本発明を適用できる従来のリフロー装置の概略を示す略線図である。 図２はリフロー時の温度プロファイルの例を示すグラフである。 図３はリフロー装置の一つの加熱ゾーンの構成の一例を示す断面図である。 図４は複数のゾーンからなる加熱ゾーンの一例の略線図である。 図５は本発明の第１の実施の形態の入口側ゾーンの断面図である。 図６は本発明の第１の実施の形態の出口側ゾーンの断面図である。 図７は図６の一部の拡大断面図である。 図８は加熱パネルの一例の平面図、吹き出しパイプの平面図、気体吹き出しパイプの拡大断面図、吹き出しパイプの他の例の平面図である。 図９は本発明の第２の実施の形態の入口側ゾーンの断面図である。 図１０は本発明の第２の実施の形態の出口側ゾーンの断面図である。 図１１は図１０の一部の拡大断面図である。

以下、本発明を実施の形態について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
＜１．リフロー装置の一例＞
＜２．第１の実施の形態＞
＜３．第２の実施の形態＞
＜４．変形例＞
なお、以下に説明する一実施の形態は、本発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。

＜１．リフロー装置の一例＞
図１は、本発明を適用できる従来のリフロー装置の概略的構成を示す。図１では、説明の便宜上リフロー炉外に配置されるフラックス回収装置の図示が省略されている。プリント回路基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物が搬送コンベヤの上に置かれ、搬入口１１からリフロー装置の炉体内に搬入される。搬送コンベヤが所定速度で矢印方向（図１に向かって左から右方向）へ被加熱物を搬送し、被加熱物が搬出口１２から取り出される。搬送コンベアの搬送方向が水平方向とされている。

搬入口１１から搬出口１２に至る搬送経路に沿って、リフロー炉が例えば９個のゾーンＺ１からＺ９に順次分割され、これらのゾーンＺ１〜Ｚ９がインライン状に配列されている。入口側から７個のゾーンＺ１〜Ｚ７が加熱ゾーンであり、出口側の２個のゾーンＺ８及びＺ９が冷却ゾーンである。冷却ゾーンＺ８及びＺ９に関連して強制冷却ユニット１４が設けられている。

上述した複数のゾーンＺ１〜Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがって被加熱物の温度を制御する。図２に温度プロファイルの一例の概略を示す。横軸が時間であり、縦軸が被加熱物例えば電子部品が実装されたプリント回路基板の表面温度である。最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部Ｒ１であり、次の区間が温度がほぼ一定のプリヒート（予熱）部Ｒ２であり、次の区間が本加熱部Ｒ３であり、最後の区間が冷却部Ｒ４である。

昇温部Ｒ１は、常温からプリヒート部Ｒ２（例えば１５０°Ｃ〜１７０°Ｃ）まで基板を加熱する期間である。プリヒート部Ｒ２は、等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、プリント回路基板の加熱ムラをなくすための期間である。本加熱部Ｒ３（例えばピーク温度で２２０°Ｃ〜２４０°Ｃ）は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。本加熱部Ｒ３では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。本加熱部Ｒ３は、プリヒート部Ｒ２を経過していても、温度上昇のムラが存在するので、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。最後の冷却部Ｒ４は、急速にプリント回路基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。

図２において、曲線１は、鉛フリーはんだの温度プロファイルを示す。Ｓｎ−Ｐｂ共晶はんだの場合の温度プロファイルは、曲線２で示すものとなる。鉛フリーはんだの融点は、Ｓｎ−Ｐｂ共晶はんだの融点より高いので、プリヒート部Ｒ２における設定温度がＳｎ−Ｐｂ共晶はんだに比して高いものとされている。

リフロー装置では、図２における昇温部Ｒ１の温度制御を、主としてゾーンＺ１及びＺ２が受け持つ。プリヒート部Ｒ２の温度制御は、主としてゾーンＺ３、Ｚ４及びＺ５が受け持つ。本加熱部Ｒ３の温度制御は、ゾーンＺ６及びＺ７が受け持つ。冷却部Ｒ４の温度制御は、ゾーンＺ８及びゾーンＺ９が受け持つ。

加熱ゾーンＺ１〜Ｚ７のそれぞれは、それぞれ送風機を含む上部炉体１５及び下部炉体３５を有する。例えばゾーンＺ１の上部炉体１５及び下部炉体３５から搬送される被加熱物に対して熱風が吹きつけられる。

図３を参照して加熱装置の一例について説明する。例えばゾーンＺ６を搬送方向に対して直交する面で切断した場合の断面が図３に示されている。上部炉体１５と下部炉体３５との対向間隙内で、プリント回路基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物（以下、ワークという）Ｗが搬送コンベヤ３１上に置かれて搬送される。上部炉体１５内及び下部炉体３５内は、雰囲気ガスである例えば窒素（Ｎ２）ガスが充満している。上部炉体１５及び下部炉体３５は、ワークＷに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出してワークＷを加熱する。なお、熱風と共に赤外線を照射しても良い。

上部炉体１５は、例えばターボファンの構成の送風機１６と、送風機１６からの風を分散させて炉体内の温度分布の均一化を図るために対向して配置された導風板（図示せず）と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ１８と、熱風が通過する多数の小孔を有する加熱パネル（蓄熱部材）１９とを有し、加熱パネル１９の小孔を通過した熱風がワークＷに対して上側から吹きつけられる。加熱パネル１９は、例えばアルミニウムの金属板に多数の小孔が形成されたものである。

下部炉体３５も上述した上部炉体１５と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機２６と、送風機２６からの風を分散させて炉体内の温度分布の均一化を図るために対向して配置された導風板（図示せず）と、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ２８と、熱風が通過する多数の小孔を有する加熱パネル（蓄熱部材）２９とを有する。加熱パネル２９の小孔を通過した熱風がワークＷに対して下側から吹きつけられる。

上部炉体１５に対して、フラックス回収装置４１が設けられる。フラックス回収装置４１は、例えば外板で囲まれた空間内で上部炉体１５の背面側に設置される。下部炉体３５に対して、フラックス回収装置６１が設けられる。フラックス回収装置６１は、例えば外板で囲まれた空間内で下部炉体３５の背面側に設置される。フラックス回収装置４１は、上部炉体１５から導出された雰囲気ガスを冷却させる冷却部４２と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器４３とからなる。同様に、フラックス回収装置６１は、下部炉体３５から導出された雰囲気ガスを冷却させる冷却部６２と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器６３とからなる。

送風機１６によって熱風が循環する経路中に雰囲気ガスをフラックス回収装置４１に導出するための導出口としての穴５２が設けられる。穴５２は、炉内において圧力が高い箇所に設けられる。圧力が低い箇所には、フラックス回収装置４１からのガスを上部炉体１５内に導入するための導入口としての穴５３が設けられる。これらの穴５２及び５３は、実際には、接続用管５４及び５５のそれぞれの一端側の開口に対応している。接続用管５４及び５５のそれぞれとフラックス回収装置４１の接続用管とが図示を省略したホースによって接続されている。下部炉体３５においても、炉内において圧力が高い箇所に設けられた穴から雰囲気ガスがフラックス回収装置６１に導出され、フラックス回収装置６１からのフラックス成分が減少したガスが炉内において圧力が低い箇所に設けられた穴から導入される。

なお、フラックス回収装置４１及び６１は、リフロー装置の各ゾーンの中で雰囲気ガスの汚れが大きいゾーンに設けられる。但し、リフロー装置の全ゾーンにフラックス回収装置４１及び６１を配置しても良い。

冷却ゾーンＺ８、Ｚ９は、加熱ゾーンと異なり、ヒータ１８及び２８を有しない構成とされ、上下に設けられている送風機によって冷却用気体（Ｎ２ガス等の不活性ガス又はエア）が冷却パネルを介してワークＷに吹きつけられる構成とされている。冷却パネルは、アルミニウム等の金属板に多数の小孔が形成されたものである。

＜２．第１の実施の形態＞
本発明の第１の実施の形態について説明する。図４は、リフロー装置の加熱ゾーンのみを示すものである。図１に示すリフロー装置では、加熱ゾーンがゾーンＺ１〜Ｚ７によって構成されているのに対して、図４では、ゾーンＺ１１〜Ｚ１８によって加熱ゾーンが構成されている。加熱ゾーンの入口側ゾーンＺ１１の入口近傍及び加熱ゾーンの出口側ゾーンＺ１８の出口近傍に、気体を吹き出す吹き出し部と、気体を吸い込む吸い込み部がそれぞれ設けられる。なお、入口側ゾーンＺ１１及び出口側ゾーンＺ１８の一方に吹き出し部及び吸い込み部を設けるようにしてもよい。

なお、各ゾーンの構成は、上述した図３と同様のものであり、対応する部分に対して同一の参照符号を付す。但し、ヒータ１８を含む加熱部を加熱ユニット１７として示し、ヒータ２８を含む加熱部を加熱ユニット２７として示す。加熱ユニット１７の下方に加熱パネル１９が配置され、加熱ユニット２７の上方に加熱パネル２９が配されている。これらの加熱パネル１９及び２９をそれぞれの開口例えば小孔を介して熱風がワークＷに対して吹き付けられる。図４は、加熱ゾーンＺ１１〜Ｚ１８を搬送コンベア３１のワークＷが載置される搬送面と直交する面で装置を切断した断面図であり、各ゾーンの構成を簡略化して示す。さらに、図面中では、吹き出し部によって吹き出される気体の流れを白い矢印で示し、吸い込み部によって吸い込まれる気体の流れを黒い矢印で示すことにする。

図５に示すように、入口側ゾーンＺ１１の上部炉体１５の加熱パネル１９に搬送方向とほぼ直交する方向に延びる例えばスリット状の吸い込み口７１ａが形成される。吸い込み口７１ａより加熱ゾーンの搬送方向の中心側にスリット状の吸い込み口７１ｂが形成される。吸い込み口７１ａ及び７１ｂは、互いに平行しており、加熱パネル１９の入口側の端部の近傍に形成されている。吸い込み口７１ａ及び７１ｂとそれぞれつながるダクト７２ａ及び７２ｂが設けられている。ダクト７２ａ及び７２ｂは、加熱ユニット１７を通って上方に延長されている。例えばダクト７２ａ及び７２ｂの端部の開口は、炉内において圧力が低い箇所に導かれている。したがって、吸い込み口７１ａ及び７１ｂからフラックスヒュームを吸い込むようになされている。ワークＷと対向する加熱パネル１９に対して吸い込み口７１ａ及び７１ｂが形成されているので、吸い込み口７１ａ及び７１ｂによってワークＷの直上付近の空間のフラックスヒュームが吸い込まれる。吸い込まれたフラックスヒュームが例えば図３に示すように、フラックス回収装置を通って炉体に戻される。

吸い込み口７１ａよりやや入口側に吹き出しパイプ８１ａが設けられている。また、吸い込み口７１ａ及び７１ｂの間に吹き出しパイプ８１ｂが設けられている。すなわち、入口近傍では、矢印で示すワークＷの搬送方向に対して（吹き出しパイプ８１ａ−吸い込み口７１ａ−吹き出しパイプ８１ｂ−吸い込み口７１ｂ）の順番の配置がなされている。吹き出しパイプ８１ａ及び８１ｂは、加熱パネル１９とワークＷの上面の間に設けられる。加熱パネル１９の上に吹き出しパイプ８１ａ及び８１ｂを取り付けてもよい。なお、他の吹き出しパイプ８１ｃ〜８１ｈの上下方向に関する取り付け位置も吹き出しパイプ８１ａ及び８１ｂと同様である。

下部炉体３５の加熱ユニット２７の加熱パネル２９にも、上部炉体１５と同様に、スリット状の吸い込み口７１ｃ及び７１ｄが形成されている。吸い込み口７１ｃ及び７１ｄから延長するダクト７２ｃ及び７２ｄが設けられている。さらに、吹き出しパイプ８１ｃ及び８１ｄが設けられている。下部炉体３５においても、ワークＷの搬送方向に対して（吹き出しパイプ８１ｃ−吸い込み口７１ｃ−吹き出しパイプ８１ｄ−吸い込み口７１ｄ）の順番の配置がなされている。

次に、図６及び図７を参照して出口側ゾーンＺ１８の構成について説明する。図７は、図６の一部拡大断面図である。ゾーンＺ１８の上部炉体１５の加熱パネル１９に搬送方向とほぼ直交する方向に延びるスリット状の吸い込み口７１ｅが形成される。吸い込み口７１ｅよりゾーンＺ１８の出口側にスリット状の吸い込み口７１ｆが形成される。吸い込み口７１ｅ及び７１ｆは、互いに平行している。吸い込み口７１ｅ及び７１ｆとそれぞれつながるダクト７２ｅ及び７２ｆが設けられている。ダクト７２ｅ及び７２ｆは、加熱ユニット１７を通って上方に延長されている。例えばダクト７２ｅ及び７２ｆの端部の開口は、炉内において圧力が低い箇所に導かれている。したがって、吸い込み口７１ｅ及び７１ｆからフラックスヒュームを吸い込むようになされている。

吸い込み口７１ｅ及び７１ｆの間に吹き出しパイプ８１ｅが設けられている。また、吸い込み口７１ｆよりやや出口側に吹き出しパイプ８１ｆが設けられている。すなわち、出口近傍では、矢印で示すワークＷの搬送方向に対して（吸い込み口７１ｅ−吹き出しパイプ８１ｅ−吸い込み口７１ｆ−吹き出しパイプ８１ｆ）の順番の配置がなされている。

下部炉体３５の加熱ユニット２７の加熱パネル２９にも、上部炉体１５と同様に、スリット状の吸い込み口７１ｇ及び７１ｈが形成されている。吸い込み口７１ｇ及び７１ｈから延長するダクト７２ｇ及び７２ｈが設けられている。さらに、吹き出しパイプ８１ｇ及び８１ｈが設けられている。下部炉体３５においても、ワークＷの搬送方向に対して（吸い込み口７１ｇ−吹き出しパイプ８１ｇ−吸い込み口７１ｈ−吹き出しパイプ８１ｈ）の順番の配置がなされている。

加熱パネル１９は、図８Ａに示すように、多数の開口例えば小孔が金属板に形成された構成である。出口側ゾーンＺ１８の場合では、矢印を搬送方向とすると、ゾーンの出口近傍に吸い込み口７１ｅ及び７１ｆが形成されている。加熱パネル２９に関しても同様に吸い込み口が形成されている。入口側ゾーンＺ１１の場合では、入口近傍に吸い込み口７１ａ〜７１ｄが形成されている。

吹き出しパイプ８１ｅは、図８Ｂ及び図８Ｃに示すように、金属の管状の形状であり、周面に小孔ｒが整列して形成されたものである。この小孔ｒを通じて気体が吹き出す。なお、小孔ｒを周面に２列以上形成し、同時に２箇所の小孔ｒから異なる吹き出し角度でもって気体を吹き出すようにしてもよい。さらに、図８Ｄに示すようにスリットｒ’を設けてスリットｒ’を通じて気体を吹き出すようにしてもよい。他の吹き出しパイプ８１ａ〜８１ｄ、８１ｆ〜８１ｈも同様の構成とされている。

上述した吹き出しパイプ８１ａ〜８１ｈは、搬送コンベア３１の搬送方向と直交する方向に延長する管状部材の周面に複数の小孔が延長方向に形成されたものである。吹き出しパイプ８１ａ〜８１ｈは、固定のベース部に対して回転自在に支持され、小孔から吹き出される気体の吹き出し角度が可変とされている。気体は、エアや不活性ガスであるＮ２（窒素）等を用いることができ、不活性ガスを用いることがより好ましい。吹き出しパイプ８１ａ〜８１ｈが吹き出す気体は、フラックス回収後のガス又は外部に別個に設けられているガス発生源から供給される。

図５から図７に示すように、吹き出しパイプ８１ａ〜８１ｈは、吹き出し口（小孔ｒ又はスリットｒ’）から加熱ゾーン（ゾーンＺ１１〜Ｚ１８からなる）内の気体を内部に押し戻す方向に気体を吹き出す。より具体的には、搬送面（ワークＷ）の上側に設けられる吹き出しパイプ８１ａ，８１ｂ，８１ｅ，８１ｆが斜め下に気体を吹き出すように、吹き出し角度が設定され、搬送面（ワークＷ）の下側に設けられる吹き出しパイプ８１ｃ，８１ｄ，８１ｇ，８１ｈが斜め上に気体を吹き出すように、吹き出し角度が設定される。このように吹き出し角度が設定されているので、リフロー工程で発生したフラックスヒュームが加熱ゾーンの外（例えば次段の冷却ゾーン）に漏れだすことを抑制することができ、液化したフラックスが被加熱物Ｗ上に付着する問題を防止することができる。また、炉体の外にエアカーテンを設けるのと異なり、装置が大型化したり、部品点数が増加したりすることがない。

さらに、吹き出しパイプ８１ａ〜８１ｈから吹き出したガスがワークＷで反射された戻る箇所の近傍に吸い込み口７１ａ〜７１ｈが設けられているので、ワークＷの直上の空間で発生しているフラックスヒュームを効率良く吸い上げることができる。

＜３．第２の実施の形態＞
本発明の第２の実施の形態について図９から図１１を参照して説明する。第２の実施の形態は、加熱ゾーンの内側に向かって気体を吹き出すために、吹き出しパイプに代えて導風フィンを使用するものである。吹き出しパイプと導風フィンを併用するようにしてもよい。

図９に示すように、入口側ゾーンＺ１１の上部炉体１５の加熱パネル１９に搬送方向とほぼ直交する方向に延びるスリット状の吸い込み口７１ａが形成される。吸い込み口７１ａより加熱ゾーンの搬送方向の中心側にスリット状の吸い込み口７１ｂが形成される。これらの吸い込み口７１ａ及び７１ｂは、上述した第１の実施の形態における吸い込み口と同様のものである。他の吸い込み口７１ｃ〜７１ｈも第１の実施の形態における吸い込み口と同様のものである。吸い込み口７１ａ〜７１ｈによってワークＷの直上付近の空間のフラックスヒュームが吸い込まれる。吸い込み口７１ａ〜７１ｈに対してダクト７２ａ〜７２ｈが設けられている。

吸い込み口７１ａよりやや入口側に導風フィン７３ａが設けられている。また、吸い込み口７１ａ及び７１ｂの間に導風フィン７３ｂが設けられている。すなわち、入口近傍では、矢印で示すワークＷの搬送方向に対して（導風フィン７３ａ−吸い込み口７１ａ−導風フィン７３ｂ−吸い込み口７１ｂ）の順番の配置がなされている。導風フィン７３ａ及び７３ｂは、加熱パネル１９に対して取り付けられている。

下部炉体３５の加熱ユニット２７の加熱パネル２９にも、上部炉体１５と同様に、スリット状の吸い込み口７１ｃ及び７１ｄが形成されている。吸い込み口７１ｃ及び７１ｄから延長するダクト７２ｃ及び７２ｄが設けられている。さらに、導風フィン７３ｃ及び７３ｄが設けられている。下部炉体３５においても、ワークＷの搬送方向に対して（導風フィン７３ｃ−吸い込み口７１ｃ−導風フィン７３ｄ−吸い込み口７１ｄ）の順番の配置がなされている。

次に、図１０及び図１１を参照して出口側ゾーンＺ１８の構成について説明する。図１１は、図１０の一部拡大断面図である。ゾーンＺ１８の上部炉体１５の加熱パネル１９に吸い込み口７１ｅが形成され、吸い込み口７１ｅよりゾーンＺ１８の出口側に吸い込み口７１ｆが形成される。吸い込み口７１ｅ及び７１ｆとそれぞれつながるダクト７２ｅ及び７２ｆが設けられている。ダクト７２ｅ及び７２ｆは、加熱ユニット１７を通って上方に延長されている。

吸い込み口７１ｅ及び７１ｆの間に導風フィン７３ｅが設けられている。また、吸い込み口７１ｆよりやや出口側に導風フィン７３ｆが設けられている。すなわち、出口近傍では、矢印で示すワークＷの搬送方向に対して（吸い込み口７１ｅ−導風フィン７３ｅ−吸い込み口７１ｆ−導風フィン７３ｆ）の順番の配置がなされている。

下部炉体３５の加熱ユニット２７の加熱パネル２９にも、上部炉体１５と同様に、吸い込み口７１ｇ及び７１ｈが形成されている。さらに、導風フィン７３ｇ及び８１ｈが設けられている。下部炉体３５においても、ワークＷの搬送方向に対して（吸い込み口７１ｇ−導風フィン７３ｇ−吸い込み口７１ｈ−導風フィン７３ｈ）の順番の配置がなされている。

導風フィン７３ａ〜７３ｆは、搬送方向と直交する方向に延びる金属板で形成されている。加熱パネル１９及び２９のそれぞれに対して所定の角度でもって斜めに取り付けられている。すなわち、加熱パネル１９及び２９の開口例えば小孔を通じて吹き出す気体を加熱ゾーンの内側に向かう方向に導くように傾斜されている。このように取り付け角度が設定されているので、リフロー工程で発生したフラックスヒュームが加熱ゾーンの外（例えば次段の冷却ゾーン）に漏れだすことを抑制することができ、液化したフラックスが被加熱物Ｗ上に付着する問題を防止することができる。また、炉体の外にエアカーテンを設けるのと異なり、装置が大型化したり、部品点数が増加したりすることがない。

さらに、導風フィン７３ａ〜７３ｈを通じて吹き出されたガスがワークＷで反射された戻る箇所の近傍に吸い込み口７１ａ〜７１ｈが設けられているので、ワークＷの直上の空間で発生しているフラックスヒュームを効率良く吸い上げることができる。

＜４．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について具体的に説明したが、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。なお、上述の実施の形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料及び数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料及び数値などを用いてもよい。また、上述の実施の形態の構成、方法、工程、形状、材料及び数値などは、本発明の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。

Ｗ・・・ワーク、１１・・・搬入口、１２・・・搬出口、１５・・・上部炉体、
１６，２６・・・送風機、１７，２７・・・加熱ユニット、１８，２８・・・ヒータ、
１９，２９・・・加熱パネル、３１・・・搬送コンベヤ、３５・・・下部炉体、
７１ａ〜７１ｈ・・・吸い込み口、７２ａ〜７２ｈ・・・ダクト、
７３ａ〜７３ｈ・・・導風フィン、８３ａ〜８３ｈ・・・吹き出しパイプ

Claims (7)

1. 被加熱物に対してはんだ付けを行うゾーンを含む複数のゾーンからなる加熱ゾーンと、前記加熱ゾーンの後に配され、はんだ付けがされた被加熱物を冷却する冷却ゾーンと、前記加熱ゾーン及び前記冷却ゾーン内を被加熱物を搬送する搬送部からなるリフロー装置において、
   前記加熱ゾーンの入口側ゾーンの入口近傍及び／又は前記加熱ゾーンの出口側ゾーンの出口近傍に、搬送方向とほぼ直交する方向に延びる吹き出し口を有し、前記吹き出し口から前記加熱ゾーン内の気体を内部に押し戻す方向に気体を吹き出す吹き出し部と、
   前記吹き出し部の近傍に設けられ、搬送方向とほぼ直交する方向に延びる吸い込み部とを備えたリフロー装置。
2. 前記吸い込み部は、前記被加熱物の直上付近の空間のフラックスヒュームを吸い込む吸い込み口と、前記吸い込み口から延長されたダクトからなる請求項１に記載のリフロー装置。
3. 前記吹き出し部は、前記被加熱物の搬送方向とほぼ直交する方向に延長し、周面に開口が延長方向に配置された管状部材である請求項１又は２に記載のリフロー装置。
4. 前記入口側ゾーン及び／又は前記出口側ゾーンに、前記搬送部の搬送面とほぼ平行なパネルが設けられ、前記吹き出し部が前記パネルに形成された開口と、該開口を通じて吹き出された気体を前記加熱ゾーンの内側に向かうように傾斜された導風フィンにより前記吹き出し部が構成された請求項１又は２に記載のリフロー装置。
5. 前記吸い込み部が前記パネルに形成された開口から構成された請求項１から４までのいずれかに記載のリフロー装置。
6. 入口近傍では、前記被加熱物の搬送方向に対して前記吹き出し部及び前記吸い込み部の順に配置され、出口近傍では、前記被加熱物の搬送方向に対して前記吸い込み部及び前記吹き出し部の順に配置された請求項１から５までのいずれかに記載のリフロー装置。
7. 前記気体が不活性ガスである請求項１から６までのいずれかに記載のリフロー装置。

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