JP2018155701A - 検査装置、検査方法および検査プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、前記課題に鑑みてなされたもので、半田の傾向的なずれを解消し得る情報を得る技術の提供を目的とする。
(1)検査装置の構成:
(2)X線検査処理:
(3)他の実施形態:
図1は本発明の一実施形態にかかる検査装置1の概略ブロック図である。検査装置1は、X線撮影機構部10と制御部20とを備えている。X線撮影機構部10は、X線発生器11とX線検出器12とX−Yステージ13とを備えている。X線撮影機構部10は、X−Yステージ13上の基板PとX線発生器11とX線検出器12とが所定の相対位置関係となった状態で、X線発生器11によって基板PにX線を照射させる。
図3は、X線検査処理を示すフローチャートである。検査装置1は、基板Pの検査を行うために図3に示すX線検査処理を実行する。X線検査処理が開始されると、CPU27は、撮影機構制御部23を制御し、実装装置2からリフロー炉3を経て搬送される基板Pを検査装置1内に搬送し、X−Yステージ13によってX線の照射領域に基板Pを搬送する(ステップS100)。
以上の実施形態は本発明を実施するための一例であり、ランドと半田とのずれを複数の半田について取得して統計し、出力する限りにおいて、他にも種々の実施形態を採用可能である。例えば、本実施形態に係る検査装置1と実装装置2とリフロー炉3は、一体の装置であっても良いし、より多くの装置が一体化されたシステムであってもよい。また、検査装置1から出力される値は統計値自体に限定されず、統計値から算出された値であっても良い。このような値としては、例えば、実装装置2における部品の実装位置の座標を統計値によって補正した後の座標等が挙げられる。
Claims (7)
- 半田によってランドに対して部品が実装された基板を搬送する搬送手段と、
放射線照射領域に搬送された前記基板に放射線を照射して前記半田の3次元像を取得する3次元像取得手段と、
前記ランドと前記半田とのずれを複数の前記半田について取得するずれ取得手段と、
複数の前記半田についての前記ずれの統計値を取得する統計値取得手段と、
前記統計値に関連する値を出力する統計値出力手段と、
を備える検査装置。 - 前記統計値出力手段は、
前記基板に対して前記部品を実装する実装装置に対して前記統計値に関連する値を出力する、
請求項1に記載の検査装置。 - 前記統計値取得手段は、
前記放射線照射領域に搬送された複数の前記基板における複数の前記ランドに使用された複数の前記半田について、前記統計値を取得する、
請求項1または請求項2のいずれかに記載の検査装置。 - 前記統計値取得手段は、
特定の前記部品の複数個において実装に使用された複数の前記半田について、前記統計値を取得する、
請求項1〜請求項3のいずれかに記載の検査装置。 - 前記統計値出力手段は、
前記基板の実装面に平行な直交2軸についてのずれの相関係数の絶対値が閾値以上である場合に、前記統計値に関連する値を出力する、
請求項1〜請求項4のいずれかに記載の検査装置。 - 半田によってランドに対して部品が実装された基板を搬送する搬送工程と、
放射線照射領域に搬送された前記基板に放射線を照射して前記半田の3次元像を取得する3次元像取得工程と、
前記ランドと前記半田とのずれを複数の前記半田について取得するずれ取得工程と、
複数の前記半田についての前記ずれの統計値を取得する統計値取得工程と、
前記統計値に関連する値を出力する統計値出力工程と、
を含む検査方法。 - 半田によってランドに対して部品が実装された基板を搬送する搬送機能と、
放射線照射領域に搬送された前記基板に放射線を照射して前記半田の3次元像を取得する3次元像取得機能と、
前記ランドと前記半田とのずれを複数の前記半田について取得するずれ取得機能と、
複数の前記半田についての前記ずれの統計値を取得する統計値取得機能と、
前記統計値に関連する値を出力する統計値出力機能と、
をコンピュータに実現させる検査プログラム。
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