JP2018152374A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2018152374A5
JP2018152374A5 JP2017045251A JP2017045251A JP2018152374A5 JP 2018152374 A5 JP2018152374 A5 JP 2018152374A5 JP 2017045251 A JP2017045251 A JP 2017045251A JP 2017045251 A JP2017045251 A JP 2017045251A JP 2018152374 A5 JP2018152374 A5 JP 2018152374A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mark
diffraction grating
component
combined
calibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017045251A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6993782B2 (ja
JP2018152374A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2017045251A priority Critical patent/JP6993782B2/ja
Priority claimed from JP2017045251A external-priority patent/JP6993782B2/ja
Priority to KR1020180027233A priority patent/KR102262115B1/ko
Publication of JP2018152374A publication Critical patent/JP2018152374A/ja
Publication of JP2018152374A5 publication Critical patent/JP2018152374A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6993782B2 publication Critical patent/JP6993782B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2017045251A 2017-03-09 2017-03-09 インプリント装置および物品製造方法 Active JP6993782B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017045251A JP6993782B2 (ja) 2017-03-09 2017-03-09 インプリント装置および物品製造方法
KR1020180027233A KR102262115B1 (ko) 2017-03-09 2018-03-08 임프린트 장치 및 물품 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017045251A JP6993782B2 (ja) 2017-03-09 2017-03-09 インプリント装置および物品製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018152374A JP2018152374A (ja) 2018-09-27
JP2018152374A5 true JP2018152374A5 (cg-RX-API-DMAC10.html) 2020-04-16
JP6993782B2 JP6993782B2 (ja) 2022-01-14

Family

ID=63681938

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017045251A Active JP6993782B2 (ja) 2017-03-09 2017-03-09 インプリント装置および物品製造方法

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6993782B2 (cg-RX-API-DMAC10.html)
KR (1) KR102262115B1 (cg-RX-API-DMAC10.html)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6982316B2 (ja) * 2018-09-26 2021-12-17 株式会社ソフイア 遊技機
JP2020154063A (ja) 2019-03-19 2020-09-24 キオクシア株式会社 アライメントマーク、インプリント方法、半導体装置の製造方法、及び位置合わせ装置
JP7236325B2 (ja) * 2019-05-28 2023-03-09 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品製造方法
JP7395307B2 (ja) * 2019-10-01 2023-12-11 キヤノン株式会社 インプリント方法、インプリント装置および物品の製造方法
KR102804042B1 (ko) * 2021-08-12 2025-05-12 (주) 오로스테크놀로지 모아레 위상 변위 오버레이 타겟 및 그 타겟의 오버레이 오차 측정 방법

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63119232A (ja) * 1986-11-07 1988-05-23 Nikon Corp 露光装置
JPH09306813A (ja) * 1996-05-15 1997-11-28 Nikon Corp 観察装置及び該装置を備えた露光装置
AU2001297642A1 (en) 2000-10-12 2002-09-04 Board Of Regents, The University Of Texas System Template for room temperature, low pressure micro- and nano-imprint lithography
JP3668129B2 (ja) 2000-12-25 2005-07-06 株式会社ミツトヨ 光学式寸法測定方法及び装置
JP5002211B2 (ja) 2005-08-12 2012-08-15 キヤノン株式会社 インプリント装置およびインプリント方法
JP5061525B2 (ja) 2006-08-04 2012-10-31 株式会社日立製作所 インプリント方法及びインプリント装置
EP2584408B1 (en) * 2007-02-06 2020-10-07 Canon Kabushiki Kaisha Imprint method and imprint apparatus
JP2012084732A (ja) 2010-10-13 2012-04-26 Canon Inc インプリント方法及び装置
US8842294B2 (en) 2011-06-21 2014-09-23 Canon Kabushiki Kaisha Position detection apparatus, imprint apparatus, and position detection method
JP6333039B2 (ja) 2013-05-16 2018-05-30 キヤノン株式会社 インプリント装置、デバイス製造方法およびインプリント方法
JP6285666B2 (ja) 2013-09-03 2018-02-28 キヤノン株式会社 検出装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法及び検出方法
JP6552329B2 (ja) * 2014-09-12 2019-07-31 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリントシステム及び物品の製造方法
JP6549834B2 (ja) * 2014-11-14 2019-07-24 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法
JP6552521B2 (ja) * 2014-12-12 2019-07-31 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
JP6492765B2 (ja) * 2015-02-27 2019-04-03 東芝ライテック株式会社 電源装置および照明システム

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6120967B2 (ja) 微細構造の非対称性を測定する方法及び装置、位置測定方法、位置測定装置、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法
JP6794371B2 (ja) オブジェクトの光学的3d測定のためのデバイス
JP5162006B2 (ja) 検出装置、露光装置、および、デバイスの製造方法
KR102373203B1 (ko) 검출 장치, 리소그래피 장치 및 물품 제조 방법
US9544558B2 (en) Measuring apparatus and measuring method
KR101562467B1 (ko) 스마트 폰을 이용한 3차원 형상 측정 장치
JP2011040549A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)
CN104903680A (zh) 控制三维物体的线性尺寸的方法
JP6344623B2 (ja) 移動体の制御方法、露光方法、デバイス製造方法、移動体装置、及び露光装置
JP6516453B2 (ja) 画像測定装置及び測定装置
JP5703069B2 (ja) 描画装置および描画方法
JP2017020873A (ja) 被計測物の形状を計測する計測装置
KR20130119971A (ko) 표면의 3차원 광학 측정 장치 및 방법
WO2007046601A1 (en) Apparatus for and method of measuring image
JP2015049197A (ja) 検出装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法
JPWO2018056195A1 (ja) 投射システム、投射方法およびプログラム
US9654748B2 (en) Projection device, and projection method
JP2019140288A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)
JP2010151842A (ja) 三次元形状計測装置及び三次元形状計測方法
JP6182739B2 (ja) 投影装置及び投影方法
JP6131204B2 (ja) 観察装置
JP2016109823A (ja) レンズ装置および投射表示装置
JP2007317862A (ja) 露光装置及び露光方法
JP2015079208A (ja) 画像表示装置、及び制御方法
TWI801104B (zh) 測量裝置