JP2018147998A - 磁気抵抗効果素子 - Google Patents
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Abstract
Description
Co2QαRβ …(1)
[式中、QはCr、Mn、及びFeからなる群より選択される一以上の元素であり、前記RはAl、Si、Ga、Ge、In、及びSnからなる群より選択される一以上の元素であり、2<α+β<2.6である。]
Co2QαRβ …(1)
一般式(1)において、QはCr、Mn、及びFeからなる群より選択される一以上の元素であり、RはAl、Si、Ga、Ge、In、及びSnからなる群より選択される一以上の元素であり、2<α+β<2.6である。
MR比(%)=(RAP−RP)/RP×100
RPは第一の強磁性層13と第二の強磁性層15の磁化の向きが平行の場合の磁気抵抗効果素子の抵抗であり、RAPは第一の強磁性層13と第二の強磁性層15の磁化の向きが反平行の場合の磁気抵抗効果素子の抵抗である。また、磁気抵抗効果素子1の平面視形状の面積をAとしたとき、RpにAを乗じたRpAをRA(面積抵抗)と定義する。RAは、印加されるバイアス電圧を磁気抵抗効果素子の積層方向に流れた電流で割ることで得られる抵抗値を、各層が接合される面の面積の逆数で割り、単位面積における抵抗値に規格化したものである。ここでは、Rpに前記面積を乗じたRpAをRAと定義する。また、RAの値のばらつきは、実施例1〜11及び比較例1のそれぞれについて、同一基板上に作製した平面視形状の面積が略同じ磁気抵抗効果素子を10個作成し、それぞれについて測定したRAの3σ(σはRAの標準偏差)と定義した。各実施例及び比較例に係る磁気抵抗効果素子1の構造は、X線回折像、断面透過電子顕微鏡像および各層の電子線回折像から確認した。
上記実施形態に対応する実施例1の磁気抵抗効果素子について、図1に示す磁気抵抗効果素子1を参照して説明する。なお、説明の便宜上、各図において同一又は対応する部材には同一の符号を用いる。
実施例2に係る磁気抵抗効果素子は、非磁性スペーサ層14としてFe2CrZn(2nm)に代えて、Fe2TaAl(2nm)を用いた点以外は、実施例1の磁気抵抗効果素子と同様の構成を有しており、実施例1と同様の方法によって作成及び測定を行った。
実施例3に係る磁気抵抗効果素子は、非磁性スペーサ層14としてFe2CrZn(2nm)に代えて、Fe2TiSi(2nm)を用いた点以外は、実施例1の磁気抵抗効果素子と同様の構成を有しており、実施例1と同様の方法によって作成及び測定を行った。
実施例4に係る磁気抵抗効果素子は、第二の強磁性層15を成膜した後に、450℃の熱処理に代えて、300℃の熱処理を行った点以外は、実施例3と同様の方法で、作成及び測定を行った。
実施例5に係る磁気抵抗効果素子は、第二の強磁性層15を成膜した後に、450℃の熱処理に代えて、550℃の熱処理を行った点以外は、実施例3と同様の方法で、作成及び測定を行った。
実施例6〜実施例11に係る磁気抵抗効果素子は、第一の強磁性層13と第二の強磁性層15をホイスラー合金Co2MnSi(10nm)に代えて、Coに対するMnおよびSiの組成を変えたホイスラー合金Co2QαRβを用いた点以外は、実施例3と同様の方法で、作成及び測定を行った。
比較例1に係る磁気抵抗効果素子は、非磁性スペーサ層14として、Fe2CrZn(2nm)に代えてRh2CuSnを用いた点以外は、実施例1と同様の方法で、作成及び測定を行った。
Claims (8)
- 強磁性ホイスラー合金を含む磁化固定層としての第一の強磁性層と、
強磁性ホイスラー合金を含む磁化自由層としての第二の強磁性層と、
前記第一の強磁性層と前記第二の強磁性層との間に設けられた非磁性スペーサ層と、
を備え、
前記非磁性スペーサ層は、Fe基、Co基、又はNi基の非磁性ホイスラー合金を含むことを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 前記非磁性スペーサ層は、Fe基の非磁性ホイスラー合金を含むことを特徴とする請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記非磁性ホイスラー合金は、Fe元素、元素L、及び、元素Mで構成され、前記元素Lは、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Sc、及びYからなる群より選択される一以上の元素であり、前記元素Mは、Si、Ge、Sn、Al、Ga、In、Zn、Cd、Hg、Mg、Ca、Sr、Ba、P、As、Sb、及びBiからなる群より選択される一以上の元素であることを特徴とする請求項2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記非磁性ホイスラー合金は、Fe元素、元素L、及び、元素Mで構成され、前記元素Lは、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Sc、及びYからなる群より選択される一以上の元素であり、前記元素Mは、Si、Ge、Sn、Al、Ga、In、P、As、Sb、及びBiからなる群より選択される一以上の元素であることを特徴とする請求項2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記非磁性ホイスラー合金は、Fe元素、元素L、及び、元素Mで構成され、前記元素Lは、Ti、Zr、Hf、Sc、及びYからなる群より選択される一以上の元素であり、前記元素Mは、Si、Ge、Sn、P、As、Sb、及びBiからなる群より選択される一以上の元素であることを特徴とする請求項2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記非磁性ホイスラー合金は、B2構造又はL21構造を持つことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第一の強磁性層及び/又は前記第二の強磁性層に含まれる前記強磁性ホイスラー合金は、Co2QRの組成式で表されるホイスラー合金からなり、前記QはCr、Mn、及びFeからなる群より選択される一以上の元素であり、前記RはAl、Si、Ga、Ge、In、及びSnからなる群より選択される一以上の元素であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第一の強磁性層及び/又は前記第二の強磁性層に含まれる前記強磁性ホイスラー合金は、一般式(1)で表されるホイスラー合金を含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の磁気抵抗効果素子。
Co2QαRβ …(1)
[式中、QはCr、Mn、及びFeからなる群より選択される一以上の元素であり、前記RはAl、Si、Ga、Ge、In、及びSnからなる群より選択される一以上の元素であり、2<α+β<2.6である。]
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017040819A JP6866694B2 (ja) | 2017-03-03 | 2017-03-03 | 磁気抵抗効果素子 |
US15/911,689 US10937951B2 (en) | 2017-03-03 | 2018-03-05 | Magnetoresistance effect element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017040819A JP6866694B2 (ja) | 2017-03-03 | 2017-03-03 | 磁気抵抗効果素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018147998A true JP2018147998A (ja) | 2018-09-20 |
JP6866694B2 JP6866694B2 (ja) | 2021-04-28 |
Family
ID=63355795
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017040819A Active JP6866694B2 (ja) | 2017-03-03 | 2017-03-03 | 磁気抵抗効果素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10937951B2 (ja) |
JP (1) | JP6866694B2 (ja) |
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- 2017-03-03 JP JP2017040819A patent/JP6866694B2/ja active Active
-
2018
- 2018-03-05 US US15/911,689 patent/US10937951B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180254409A1 (en) | 2018-09-06 |
JP6866694B2 (ja) | 2021-04-28 |
US10937951B2 (en) | 2021-03-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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