JP2018146303A - 磁気センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】出力電圧の周波数特性を向上させることの可能な磁気センサを提供する。【解決手段】検出対象の第1磁界が印加される第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)を含む磁気検出部と、前記磁気検出部の出力電圧が入力される第1演算増幅器50と、第1演算増幅器50が出力する負帰還電流が流れることにより、前記磁気検出部において前記第1磁界を相殺する第2磁界を発生する磁界発生導体70と、前記負帰還電流が流れる検出抵抗Rsと、第2演算増幅器60と、を備える磁気センサであって、第2演算増幅器60は、反転入力端子が検出抵抗Rsの磁界発生導体70側の一端に接続され、出力端子が検出抵抗Rsの他端に接続され、かつ非反転入力端子が固定電圧端子としてのグランドに接続される。【選択図】図7
Description
本発明は、検出対象の磁界に応じた負帰還電流を電圧に変換して出力する磁気センサに関する。
下記特許文献1は、微小な磁界の検出が可能な磁界検出センサを開示する。この磁界検出センサは、検出対象磁界の向きに応じて抵抗値が変化する複数の磁気抵抗効果素子が接続され、所定の接続点間の差動電圧を出力可能なように構成されたブリッジ回路と、前記ブリッジ回路の中心付近に、前記検出対象磁界を集磁するとともに前記検出対象磁界の向きを変化させる磁性体を配置し、前記磁気抵抗効果素子に前記検出対象磁界の向きとは逆方向となる磁界を与える磁界発生導体と、前記ブリッジ回路の差動電圧が入力され、前記磁界発生導体に前記検出対象磁界の向きとは逆方向となる前記磁界を発生させる帰還電流を前記磁界発生導体に流すための差動演算回路と、前記帰還電流を電圧値として出力するための電圧変換回路と、を備える。
特許文献1の磁界検出センサは、帰還電流を抵抗によって電圧に変換して出力する構成であるが、当該構成では、出力電圧の周波数特性が十分でない場合があった。すなわち、特許文献1の構成では、検出対象の磁界の周波数が高くなると、出力電圧が低下してしまい、検出磁界の誤差が発生する問題があった。
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、出力電圧の周波数特性を向上させることの可能な磁気センサを提供することにある。
本発明のある態様は、磁気センサである。この磁気センサは、
検出対象の第1磁界が印加される少なくとも1つの磁気検出素子を含む磁気検出部と、
前記磁気検出部の出力電圧が入力される第1差動増幅器と、
前記第1差動増幅器が出力する負帰還電流が流れることにより、前記磁気検出部において前記第1磁界を相殺する第2磁界を発生する磁界発生導体と、
前記負帰還電流が流れる検出抵抗と、
反転入力端子が前記検出抵抗の前記磁界発生導体側の一端に接続され、出力端子が前記検出抵抗の他端に接続され、かつ非反転入力端子が固定電圧端子に接続された、第2差動増幅器と、を備える。
検出対象の第1磁界が印加される少なくとも1つの磁気検出素子を含む磁気検出部と、
前記磁気検出部の出力電圧が入力される第1差動増幅器と、
前記第1差動増幅器が出力する負帰還電流が流れることにより、前記磁気検出部において前記第1磁界を相殺する第2磁界を発生する磁界発生導体と、
前記負帰還電流が流れる検出抵抗と、
反転入力端子が前記検出抵抗の前記磁界発生導体側の一端に接続され、出力端子が前記検出抵抗の他端に接続され、かつ非反転入力端子が固定電圧端子に接続された、第2差動増幅器と、を備える。
前記磁気検出部は、ブリッジ接続された複数の磁気抵抗効果素子を含んでもよい。
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
本発明によれば、出力電圧の周波数特性を向上させることの可能な磁気センサを提供することができる。
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材、処理等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
図1は、本発明の実施の形態に係る磁気センサの磁気検出部を構成するブリッジ回路の概略回路図である。このブリッジ回路は、第1磁気抵抗効果素子10、第2磁気抵抗効果素子20、第3磁気抵抗効果素子30、及び第4磁気抵抗効果素子40、を備える。第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)の固定層磁化方向は同じである。第1磁気抵抗効果素子10の一端と、第2磁気抵抗効果素子20の一端は、第1電源電圧Vccが供給される第1電源ラインに接続される。第1磁気抵抗効果素子10の他端は、第4磁気抵抗効果素子40の一端に接続される。第2磁気抵抗効果素子20の他端は、第3磁気抵抗効果素子30の一端に接続される。第3磁気抵抗効果素子30の他端と、第4磁気抵抗効果素子40の他端は、第2電源電圧−Vccが供給される第2電源ラインに接続される。第1磁気抵抗効果素子10と第4磁気抵抗効果素子40の相互接続点に出力される電圧をVa、第2磁気抵抗効果素子20と第3磁気抵抗効果素子30の相互接続点に出力される電圧をVbとする。
図2は、実施の形態に係る磁気センサにおける磁気検出部及びその近傍の概略断面図である。図3は、同概略平面図である。図2及び図3により、直交三軸であるXYZ軸を定義する。また、図2及び図3において、検出対象磁界の磁力線を併せて示している。本実施の形態の磁気センサにおいて、第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)は、磁界発生導体70と共に、積層体5に設けられ、積層体5の表面上には磁性体80が設けられる。図3に示すように、 第1磁気抵抗効果素子10と第3磁気抵抗効果素子30は、X方向における位置が互いに等しい。同様に、第2磁気抵抗効果素子20と第4磁気抵抗効果素子40は、X方向における位置が互いに等しい。また、第1磁気抵抗効果素子10と第2磁気抵抗効果素子20は、Y方向における位置が互いに等しい。同様に、第3磁気抵抗効果素子30と第4磁気抵抗効果素子40は、Y方向における位置が互いに等しい。
図3において、第1磁気抵抗効果素子10及び第3磁気抵抗効果素子30の配置と、第2磁気抵抗効果素子20及び第4磁気抵抗効果素子40の配置と、が線対称となるX方向の中心線をAとする。また、第1磁気抵抗効果素子10及び第2磁気抵抗効果素子20の配置と、第3磁気抵抗効果素子30及び第4磁気抵抗効果素子40の配置と、が線対称となるY方向の中心線をBとする。磁性体80は、磁性体80のX方向の中心線とY方向の中心線がそれぞれAとBに合致する位置に配置されることが好ましい。また、磁性体80は、第1磁気抵抗効果素子10及び第2磁気抵抗効果素子20のY方向側に延在し、かつ、第3磁気抵抗効果素子30と第4磁気抵抗効果素子40の−Y方向側に延在することが好ましい。さらに、磁性体80は、積層体5側の端面がZ方向において第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)に最も近づいた配置、すなわち積層体5側の端面が積層体5の表面に接触していることが好ましい。このように配置にすることで、検出対象磁界の変化に応じた第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)の抵抗変化が、効率良く、さらに均等に発生することになる。また、積層体5内における、磁界発生導体70を形成する層は、第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)が形成される層よりも下層(−Z方向側の層)であることが好ましい。磁界発生導体70を第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)が形成される層より下層に配置することで、磁性体80と第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)のZ方向の距離を近づけることができ、これにより検出対象磁界の変化に第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)が効率良く応答可能になる。磁性体80は軟磁性体であってもよい。磁性体80は、Z方向の検出対象磁界を集磁し、集磁した検出対象磁界を、第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)が有する固定層磁化方向と概ね平行になる方向へ変化させる。
図4は、実施の形態の磁気センサにおける磁界発生導体70の配線パターン説明図である。本図では、積層体5内の磁界発生導体70の配線パターンを実線で示している。磁界発生導体70は、第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)と同じ積層体5内の好ましくは単一の層に形成される。図4の例では、磁界発生導体70は、1ターンに満たないU字状の平面コイルとしているが、スパイラル状に複数ターン周回する平面コイルであってもよい。磁界発生導体70の両端は、スルーホール等の端子部(ターミナル)71、72にそれぞれ電気的に接続される。磁界発生導体70は、図7で後述のように、各磁気抵抗効果素子において検出対象磁界(第1磁界)を相殺する第2磁界を発生する。
図5は、図1に示すブリッジ回路の各磁気抵抗効果素子の位置における検出対象磁界の向き及びそれによる各磁気抵抗効果素子の抵抗値変化を示す模式図である。図5において検出対象磁界は、磁性体80が存在しなければ全体的に−Z方向と平行な磁界であり、磁性体80があることにより部分的に曲げられて、第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)の位置において図5に示す方向の成分を持つようになっている。第1磁気抵抗効果素子10においては、検出対象磁界の方向は固定層磁化方向と同一方向となる成分を持つため、フリー層磁化方向が固定層磁化方向と一致し、第1磁気抵抗効果素子10の抵抗値は、無磁界時の抵抗値R0から−ΔRだけ変化する。一方、第2磁気抵抗効果素子20においては、検出対象磁界の方向は固定層磁化方向と逆方向となる成分を持つため、フリー層磁化方向が固定層磁化方向と逆になり、第2磁気抵抗効果素子20の抵抗値は、無磁界時の抵抗値R0から+ΔRだけ変化する。同様に、第3磁気抵抗効果素子30の抵抗値は無磁界時と比較して−ΔRだけ変化し、第4磁気抵抗効果素子40の抵抗値は無磁界時と比較して+ΔRだけ変化する。このような第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)の抵抗変化により、電圧Vaは無磁界時と比較して高くなり、電圧Vbは無磁界時と比較して低くなる。ゆえに、第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)のブリッジ回路は、差動出力、すなわち検出対象磁界の変化に応じて互いに逆の変化をする電圧Vaと電圧Vbの出力が可能となっている。なお、図6のようにブリッジ回路の配線を変更し、かつ第3磁気抵抗効果素子30及び第4磁気抵抗効果素子40の固定層磁化方向を変更しても、同様に差動出力が可能である。
図7は、実施の形態に係る磁気センサの概略回路図である。ブリッジ接続された第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)は、検出対象の第1磁界が印加される磁気検出部を構成する。第1差動増幅器としての第1演算増幅器50は、反転入力端子が第1磁気抵抗効果素子10と第4磁気抵抗効果素子40の相互接続点に接続され、非反転入力端子が第2磁気抵抗効果素子20と第3磁気抵抗効果素子30の相互接続点に接続され、出力端子が磁界発生導体70の一端に接続される。第1演算増幅器50は、磁気検出部の出力電圧(電圧Va,Vb)が入力され、磁界発生導体70に負帰還電流を供給する。磁界発生導体70は、第1演算増幅器50が出力する負帰還電流が流れることにより、磁気検出部において前記第1磁界を相殺する第2磁界を発生する。換言すれば、第1演算増幅器50は、磁気検出部において前記第1磁界を相殺する第2磁界を磁界発生導体70が発生するように、すなわち磁気検出部において磁気平衡状態が成立するように、磁界発生導体70に負帰還電流を供給する。検出抵抗Rsは、負帰還電流の経路に設けられる(磁界発生導体70と直列接続される)。第2差動増幅器としての第2演算増幅器60は、反転入力端子が検出抵抗Rsの磁界発生導体70側の一端に接続され、出力端子が検出抵抗Rsの他端に接続され、かつ非反転入力端子が固定電圧端子としてのグランドに接続される。第1演算増幅器50及び第2演算増幅器60は、共に両電源駆動であり、第1電源電圧Vccが供給される第1電源ラインと、第2電源電圧−Vccが供給される第2電源ラインと、にそれぞれ接続される。第2演算増幅器60の出力端子の電圧が、磁気センサとしての出力電圧Voutとなる。図7に示すように負帰還電流をIとすると、出力電圧Voutは、Vout=Rs×Iとなる。負帰還電流は、検出対象磁界(第1磁界)の大きさに比例するため、出力電圧Voutも、検出対象磁界に比例することになり、出力電圧Voutにより、検出対象磁界を検出することができる。
図8は、比較例に係る磁気センサの概略回路図である。図8に示す回路は、図7に示す回路と比較して、第2演算増幅器60が無くなり、検出抵抗Rsの他端がグランドに接続され、検出抵抗Rsの一端の電圧が出力電圧Voutとされている点で相違し、その他の点で一致する。図8における出力電圧Voutは、図7における出力電圧Voutと比較して、プラスマイナスが反転する他は計算上一致するが、周波数特性が異なる。
図9は、図7及び図8の各出力電圧Voutの周波数特性を比較した簡易グラフである。このグラフは、検出対象磁界の大きさを一定として周波数を変化させた場合の各出力電圧Voutの大きさを表している。図7に示す実施の形態の磁気センサは、負帰還電流を電圧に変換する電流電圧変換回路が検出抵抗Rsに加えて第2演算増幅器60を含むことにより、検出抵抗Rsのみで電流電圧変換を行う図8の構成と比較して、図9に示すように、より高い周波数の磁界まで検出可能となる。これは、図7に示す回路は、第1演算増幅器50及び第2演算増幅器60により負帰還電流を供給する構成のため、第1演算増幅器50及のみで負帰還電流を供給する図8の回路と比較して第1演算増幅器50への負担が低減されたことによる。
図10は、図7及び図8の各センサ構成におけるセンサの磁気分解能の周波数特性を比較した簡易グラフである。1/fノイズと呼ばれる、エネルギーが周波数の反比例するノイズの存在により、磁気抵抗効果素子の分解能は一般に、検出対象磁界の周波数が高くなるほど良好となる。しかし、図10に示すように、図8の比較例の構成では、第1演算増幅器50の周波数特性がネックとなり、ある周波数以上では、周波数が高くなった場合の分解能の向上が鈍化する。これと比較して図7に示す実施の形態の回路では、第2演算増幅器60を設けたことにより、高周波数領域においても周波数が高くなった場合、第1演算増幅器50の周波数特性のネックが低減されることで、高周波数領域でより高分解能となるため、より高い周波数の磁界まで検出可能となる。
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
(1) 負帰還電流を電圧に変換する電流電圧変換回路が検出抵抗Rsに加えて第2演算増幅器60を有するため、出力電圧Voutの周波数特性(例えば100KHz以上の周波数特性)を向上させることができる。これにより、従来は検出できなかった急激な磁界変化を検出可能となる。
(2) ブリッジ接続された第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)を磁気検出部としているため、磁界検出の分解能を高めることができる。
(3) 負帰還電流により磁気検出部における磁気平衡を保持することにより、第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)における環境温度による抵抗変化率の変化を抑え、検出精度を維持することができる。
(4) 磁界発生導体70は、第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)と同じ積層体5内に形成されるため、別体のソレノイドコイルを用いる場合よりも製品の小型化に有利になるほか、製造時における位置精度のバラつきを抑えることが可能となる。
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
実施の形態では磁気検出素子が磁気抵抗効果素子である場合を説明したが、磁気検出素子は、ホール素子等の他の種類のものであってもよい。また、磁気検出素子の個数は、実施の形態で例示した4つに限定されず、1つ以上の任意の個数でよい。実施の形態では4つの磁気抵抗効果素子がフルブリッジ接続された磁気検出部を例に説明したが、磁気検出部は、2つの磁気抵抗効果素子がハーフブリッジ接続されたものであってもよいし、1つの磁気抵抗効果素子と1つの固定抵抗とがハーフブリッジ接続されたものであってもよい。磁気検出素子及び磁界発生導体は、共通の積層体に構成される場合に限定されず、互いに別々に設けられてもよい。磁気検出部、第1演算増幅器50、及び第2演算増幅器60は、両電源駆動に限定されず、片電源駆動であってもよい。
第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)の検出精度をさらに向上させるために、磁性体80と第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)の間にヨークを形成してもよい。前記ヨークを形成することにより、第1から第4磁気抵抗効果素子(10、20、30、40)に、より多くの磁界を効率よく導くことが出来るため、微小な磁界を精度よく検出することが可能となる。また、前記ヨークは薄膜プロセスで形成することで、寸法、位置ともに精度よく配置できるだけでなく、同一の積層行程で形成できるため外部に付属させた部品より低コストとなり、製品の小型化や製造コストの削減が可能になる。
5 積層体、10 第1磁気抵抗効果素子、20 第2磁気抵抗効果素子、30 第3磁気抵抗効果素子、40 第4磁気抵抗効果素子、50 第1演算増幅器(第1差動増幅器)、60 第2演算増幅器(第2差動増幅器)、70 磁界発生導体、80 磁性体
Claims (2)
- 検出対象の第1磁界が印加される少なくとも1つの磁気検出素子を含む磁気検出部と、
前記磁気検出部の出力電圧が入力される第1差動増幅器と、
前記第1差動増幅器が出力する負帰還電流が流れることにより、前記磁気検出部において前記第1磁界を相殺する第2磁界を発生する磁界発生導体と、
前記負帰還電流が流れる検出抵抗と、
反転入力端子が前記検出抵抗の前記磁界発生導体側の一端に接続され、出力端子が前記検出抵抗の他端に接続され、かつ非反転入力端子が固定電圧端子に接続された、第2差動増幅器と、を備える、磁気センサ。 - 前記磁気検出部は、ブリッジ接続された複数の磁気抵抗効果素子を含む、請求項1に記載の磁気センサ。
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Legal Events
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