JP2018140459A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 ・・・ 研削手段
21・・・ 研削砥石
22・・・ スピンドル
23・・・ スピンドル送り機構
23a・・・リニアガイド
3 ・・・ ウェハチャック(保持手段)
31・・・ チャック
32・・・ エアベアリング
32a・・・ロータ
32b・・・ステータ
4 ・・・ コラム
5 ・・・ インデックステーブル
6 ・・・ チャック傾斜機構
61・・・ チルトテーブル
62・・・ 固定支持部
62a・・・ボルト
63・・・ 上流側可動支持部
64・・・ 下流側可動支持部
7 ・・・ スケール
8 ・・・ ドレスユニット(ドレス手段)
81・・・ ドレスボード
81a・・・ドレス材
81b・・・ドレス台金
82・・・ ドレスベース機構
82a・・・ロータ
82b・・・ステータ
82c・・・ベース部材
83・・・ ドレスユニット送り機構
83a・・・リニアガイド
83b・・・ボールネジスライダ機構
84・・・ タッチセンサ
84a・・・旋回中心
85・・・ ノズル
9 ・・・ ドレスユニット傾斜機構
91・・・ チルトテーブル
92・・・ 固定支持部
93・・・ 上流側可動支持部
94・・・ 下流側可動支持部
10 ・・・ 制御装置
W ・・・ ウェハ
Claims (5)
- ウェハを保持する保持手段と、前記ウェハを研削する研削砥石を有する研削手段と、を備えた研削装置であって、
前記研削砥石をドレスするドレス手段と、
該ドレス手段を前記研削砥石の回転軸に対してチルト可能なドレス手段傾斜機構と、
前記ドレス手段のドレス残量を測定する測定手段と、
該測定手段の測定値に基づいて前記ドレス手段のチルト角を演算し、前記ドレス手段傾斜機構のチルト角を補正する制御手段と、
を備えていることを特徴とする研削装置。 - 前記測定手段は、平面上で移動可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載の研削装置。
- 前記測定手段は、スイング可能に設けられていることを特徴とする請求項2記載の研削装置。
- 前記測定手段の測定地点は、前記ドレス手段の回転中心を少なくとも含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の研削装置。
- 前記測定手段は、タッチセンサであり、
前記制御手段は、ドレス前の既知のドレス残量からドレス後の前記タッチセンサの昇降量を減じてドレス後の前記ドレス残量を演算することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載の研削装置。
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