JP2018131367A - 窒化アルミニウム結晶およびその製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム結晶およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018131367A JP2018131367A JP2017028170A JP2017028170A JP2018131367A JP 2018131367 A JP2018131367 A JP 2018131367A JP 2017028170 A JP2017028170 A JP 2017028170A JP 2017028170 A JP2017028170 A JP 2017028170A JP 2018131367 A JP2018131367 A JP 2018131367A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- aluminum nitride
- crystal
- aln
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 title claims abstract description 145
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 133
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 52
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 43
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 41
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 38
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 35
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 32
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 23
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 7
- 229910004448 Ta2C Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910004474 Ta5Si3 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 25
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 18
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 17
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 11
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 6
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 6
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 229910001362 Ta alloys Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910020068 MgAl Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000560 X-ray reflectometry Methods 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000918 plasma mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000009774 resonance method Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。
<窒化アルミニウム結晶>
本実施形態にかかるAlN(窒化アルミニウム)結晶は、不純物元素として、1×1019cm-3未満のSi(シリコン)と、1×1019cm-3未満のC(炭素)と、1×1016cm-3以上のTa(タンタル)を含む。本実施形態のAlN結晶は、SiおよびCの含有量がそれぞれ1×1019cm-3未満と少ないため、高い結晶品質を有する。
AlN結晶中のSi(シリコン)の含有量は、結晶品質が高い観点から、1×1019cm-3未満であり、1×1018cm-3以下が好ましく、1×1017cm-3以下がより好ましい。AlN結晶中のSiの含有量は、ダイナミックSIMS(二次イオン質量分析法)により測定する。
AlN結晶中のC(炭素)の含有量は、結晶品質が高い観点から、1×1019cm-3未満であり、1×1018cm-3以下が好ましく、1×1017cm-3以下がより好ましい。AlN結晶中のCの含有量は、ダイナミックSIMSにより測定する。
AlN結晶中のTa(タンタル)の含有量は、後述する製造方法によるものであり、AlN結晶の半導体特性に悪影響をほとんど与えないため、Taの含有量は、1×1016cm-3以上であってもよい。AlN結晶中のTaの含有量は、高い結晶品質を維持する観点から、1×1019cm-3以下が好ましく、1×1018cm-3以下がより好ましい。AlN結晶中のTaの含有量は、ダイナミックSIMSにより測定する。
AlN結晶中のO(酸素)の含有量は、熱伝導率およびヤング率が高い観点から、1×1017cm-3未満が好ましい。AlN結晶中のOの含有量は、ダイナミックSIMSにより測定する。
AlN結晶は、結晶品質が高い観点から、X線回折のロッキングカーブ測定における(0002)面についての最大回折ピークの半値幅が、100arcsec未満が好ましく、70arcsec以下がより好ましい。
AlN結晶は、高品質なエピタキシャル膜を形成する、および/または、異種材料との強固な接合を形成する観点から、主表面の算術平均粗さRaが、1nm未満が好ましく、0.7nm以下がより好ましい。ここで、主表面の算術平均粗さRaは、JIS B0601:2013に規定される算術平均粗さRaをいい、AFM(原子間力顕微鏡)により測定する。
AlN結晶は、これを基板として発光デバイスまたは電子デバイスを作製する際の放熱性を高める観点から、熱伝導率が、150W・m-1・K-1以上が好ましく、160W・m-1・K-1以上がより好ましい。AlN結晶は、Oの含有量を低減することにより、熱伝導率を高めることができる。熱伝導率は、レーザーフラッシュ法により測定する。
AlN結晶は、これを基板として発光デバイスまたは電子デバイスを作製する際の堅牢性を高める観点から、ヤング率が、150GPa以上が好ましく、170GPa以上がより好ましい。AlN結晶は、Oの含有量を低減することにより、ヤング率を高めることができる。ヤング率は、共振法により測定する。
図1および図2を参照して、本実施形態にかかるAlN(窒化アルミニウム)結晶の製造方法は、AlN原料15および下地基板10を内部に配置するための坩堝23と、坩堝23を加熱するための加熱体25と、坩堝23および加熱体25を内部に配置するための反応容器21と、を備える製造装置20を準備する工程S10と、坩堝23内にAlN原料15および下地基板10を配置する工程S20と、AlN原料15を昇華させて下地基板10上にAlN結晶11を成長させる工程S30と、を備え、坩堝23はTa2CおよびTa5Si3の少なくともいずれかにより被覆されており、加熱体25および反応容器21はSi(シリコン)およびC(炭素)を含有しない。本実施形態の窒化アルミニウム結晶の製造方法は、SiおよびC含有量が少なく結晶品質が高い窒化アルミニウム結晶を安定して再現性よく製造できる。
製造装置を準備する工程S10において、AlN原料15および下地基板10を内部に配置するための坩堝23と、坩堝23を加熱するための加熱体25と、坩堝23および加熱体25を内部に配置するための反応容器21と、を備える製造装置20を準備する。
AlN(窒化アルミニウム)原料および下地基板を配置する工程S20において、坩堝23にAlN原料15および下地基板10を配置する。
AlN(窒化アルミニウム)結晶を成長させる工程S30において、AlN原料15を昇華させて下地基板10上にAlN結晶を成長させる。AlN結晶を成長させる際の温度は、結晶品質の高いAlN結晶を効率よく成長させる観点から、坩堝23のAlN原料15側の温度を2200K〜2500Kとし、坩堝23の下地基板10側の温度をAlN原料15側の温度より1K〜100K低くすることが好ましい。また、AlN結晶への不純物の混入を低減する観点から、AlN結晶の成長の際、反応容器21内の坩堝23の外側にキャリアガスとしてN2ガスを、ガス分圧が101.3hPa〜1013hPa程度になるように流すことが好ましい。
実施例Iにおいては、結晶品質の高いAlN結晶を安定して再現性よく成長させるために好適な坩堝表面の被覆材料を選定するために、以下の検討を行なった。
実施例IIおよび次の実施例IIIにおいては、結晶品質の高いAlN結晶を安定して再現性よく成長させるために好適な加熱材および反応容器の材料を選定するために、以下の検討を行なった。
2インチ径のウエハを収容できる円筒形状のTa坩堝を7つ準備した。これらのTa坩堝について、実施例I−3と同様にして、Ta坩堝の最表面が厚さ100μmのTa5Si3層で被覆されたTa5C3坩堝を形成した。これらのTa5Si3坩堝について、実施例IIと同様にして繰り返し昇降温度耐性の評価を行なった(例III−1〜例III−7)。結果を表3にまとめた。
表4に示すように、実施例Iにおいて用いたTa2C坩堝およびTaC坩堝、加熱材、および反応容器を用いて、AlN結晶を成長させた。まず、Ta2C坩堝(例IV−8ではTaC坩堝)に純度が99.95質量%のAlN原料粉末のみを配置した。かかるTa2C坩堝を配置した反応容器内にキャリアガスとしてN2ガスを導入して雰囲気圧力を90kPaに保持して、高温部を2500Kまで低温部を2300Kまで昇温して10時間保持することにより、Ta2C坩堝の低温部にAlN多結晶を析出させた。次に、上記のTa2C坩堝(例IV−8ではTaC坩堝)、加熱体および反応容器を配置した製造装置を用いて、反応容器内にキャリアガスとしてN2ガスを導入して雰囲気圧力を90kPaに保持して、高温部で2500Kまで低温部で2300Kまで昇温して20時間保持することにより、下地基板上にAlN結晶を成長させた(例IV−1〜例IV−8)。
表5に示すように、実施例Iにおいて用いたTa5Si3坩堝およびTaC坩堝、加熱材、および反応容器を用いて、実施例IVと同様にして、AlN結晶を成長させて、得られたAlN結晶のX線回折のロッキングカーブ測定における(0002)面の最大回折ピークの半値幅、主表面の算術平均粗さRa、熱伝導率、およびヤング率を測定した(例V−1〜例V−8)。結果を表5にまとめた。
11 AlN結晶
15 AlN原料
20 製造装置
21 反応容器
21a キャリアガス導入口
21b キャリアガス排出口
23 坩堝
23c 排気口
25 加熱体
29 放射温度計
S10 製造装置を準備する工程
S20 窒化アルミニウム原料および下地基板を配置する工程
S30 窒化アルミニウム結晶を成長させる工程
Claims (6)
- 不純物元素として、1×1019cm-3未満のシリコンと、1×1019cm-3未満の炭素と、1×1016cm-3以上のタンタルと、を含む窒化アルミニウム結晶。
- 前記不純物元素として、1×1017cm-3未満の酸素をさらに含む請求項1に記載の窒化アルミニウム結晶。
- X線回折のロッキングカーブ測定における(0002)面についての最大回折ピークの半値幅が100arcsec未満である請求項1または請求項2に記載の窒化アルミニウム結晶。
- 主表面の算術平均粗さRaが1nm未満である請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の窒化アルミニウム結晶。
- 不純物元素として、1×1019cm-3未満のシリコンと、1×1019cm-3未満の炭素と、1×1017cm-3未満の酸素と、1×1016cm-3以上のタンタルと、を含み、
X線回折のロッキングカーブ測定における(0002)面についての最大回折ピークの半値幅が100arcsec未満であり、
主表面の算術平均粗さRaが1nm未満である窒化アルミニウム結晶。 - 窒化アルミニウム原料および下地基板を内部に配置するための坩堝と、前記坩堝を加熱するための加熱体と、前記坩堝および前記加熱体を内部に配置するための反応容器と、を備える製造装置を準備する工程と、
前記坩堝内に前記窒化アルミニウム原料および前記下地基板を配置する工程と、
前記窒化アルミニウム原料を昇華させて前記下地基板上に窒化アルミニウム結晶を成長させる工程と、を備え、
前記坩堝は、Ta2CおよびTa5Si3の少なくともいずれかにより被覆されており、
前記加熱体および前記反応容器はシリコンおよび炭素を含有しない窒化アルミニウム結晶の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017028170A JP6831536B2 (ja) | 2017-02-17 | 2017-02-17 | 窒化アルミニウム結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017028170A JP6831536B2 (ja) | 2017-02-17 | 2017-02-17 | 窒化アルミニウム結晶の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018131367A true JP2018131367A (ja) | 2018-08-23 |
JP6831536B2 JP6831536B2 (ja) | 2021-02-17 |
Family
ID=63248074
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017028170A Active JP6831536B2 (ja) | 2017-02-17 | 2017-02-17 | 窒化アルミニウム結晶の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6831536B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020088281A (ja) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | Tdk株式会社 | 圧電薄膜素子 |
WO2021210396A1 (ja) * | 2020-04-14 | 2021-10-21 | 学校法人関西学院 | 改質窒化アルニウム原料の製造方法、改質窒化アルミニウム原料、窒化アルミニウム結晶の製造方法、ダウンフォール抑制方法 |
CN114250517A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-03-29 | 深圳大学 | 一种采用气相传输制备氮化铝晶体的方法 |
-
2017
- 2017-02-17 JP JP2017028170A patent/JP6831536B2/ja active Active
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020088281A (ja) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | Tdk株式会社 | 圧電薄膜素子 |
JP7115257B2 (ja) | 2018-11-29 | 2022-08-09 | Tdk株式会社 | 圧電薄膜素子 |
WO2021210396A1 (ja) * | 2020-04-14 | 2021-10-21 | 学校法人関西学院 | 改質窒化アルニウム原料の製造方法、改質窒化アルミニウム原料、窒化アルミニウム結晶の製造方法、ダウンフォール抑制方法 |
EP4137620A1 (en) * | 2020-04-14 | 2023-02-22 | Kwansei Gakuin Educational Foundation | Manufacturing method of modified aluminum nitride raw material, modified aluminum nitride raw material, manufacturing method of aluminum nitride crystals, and downfall defect prevention method |
EP4137620A4 (en) * | 2020-04-14 | 2024-05-22 | Kwansei Gakuin Educational Found | MANUFACTURING METHOD FOR MODIFIED ALUMINUM NITRIDE MATERIAL, MODIFIED ALUMINUM NITRIDE MATERIAL, MANUFACTURING METHOD FOR ALUMINUM NITRIDE CRYSTALS AND FALLING FAILURE PREVENTION METHOD |
CN114250517A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-03-29 | 深圳大学 | 一种采用气相传输制备氮化铝晶体的方法 |
WO2023125227A1 (zh) * | 2021-12-31 | 2023-07-06 | 深圳大学 | 一种采用气相传输制备氮化铝晶体的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6831536B2 (ja) | 2021-02-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10106913B2 (en) | System for growth of large aluminum nitride single crystals with thermal-gradient control | |
JP5779171B2 (ja) | SiC単結晶の昇華成長方法及び装置 | |
JP5068423B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴット、炭化珪素単結晶ウェハ及びその製造方法 | |
JP4603386B2 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
KR101425498B1 (ko) | 질화 알루미늄 단결정의 제조 장치, 질화 알루미늄 단결정의 제조 방법 및 질화 알루미늄 단결정 | |
JP4818754B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴットの製造方法 | |
US11708644B2 (en) | Method for preparing SiC ingot, method for preparing SiC wafer and the SiC wafer prepared therefrom | |
EP3382068B1 (en) | Silicon carbide substrate and method of growing sic single crystal boules | |
JP2007320790A (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法、炭化珪素単結晶インゴット及び炭化珪素単結晶基板 | |
WO2006070480A1 (ja) | 炭化珪素単結晶、炭化珪素単結晶ウェハ及びその製造方法 | |
JP6831536B2 (ja) | 窒化アルミニウム結晶の製造方法 | |
EP3816328A1 (en) | Method for preparing a sic ingot, method for preparing a sic wafer, and a device for preparing a sic ingot | |
WO2021030394A1 (en) | Diameter expansion of aluminum nitride crystals | |
JP4460236B2 (ja) | 炭化珪素単結晶ウェハ | |
CN115427615A (zh) | 碳化硅单晶和碳化硅单晶的制造方法 | |
JP2005343722A (ja) | AlN結晶の成長方法、AlN結晶基板および半導体デバイス | |
WO2010001804A1 (ja) | AlxGa(1-x)N単結晶の製造方法、AlxGa(1-x)N単結晶および光学部品 | |
JP4595592B2 (ja) | 単結晶成長方法 | |
JP2003137694A (ja) | 炭化珪素単結晶育成用種結晶と炭化珪素単結晶インゴット及びその製造方法 | |
JP2007284306A (ja) | 炭化珪素単結晶及びその製造方法 | |
TWI839934B (zh) | 碳化矽晶圓以及其製造方法 | |
JP4160769B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴット及びウエハ | |
US20210010161A1 (en) | Method for manufacturing silicon carbide single crystal | |
JP2023529341A (ja) | 炭化珪素インゴットの製造方法、炭化珪素インゴット及びその成長システム | |
JP2015067499A (ja) | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170309 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190924 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200423 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200526 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200717 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6831536 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |