JP2018128459A - 要素、特に角度測定システムの要素に構造を付加する方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 58
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 64
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 22
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 15
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 7
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
1. 第1の要素をそれと共に回転するように構造ユニットに取り付けるとともに、刻印システムに構造ユニットを配置する段階;
2. 構造ユニットのシャフトに測定体を取り付ける段階;
3. シャフトを回転させて、測定体を用いる刻印システムにより、基準点、特に刻印システムの原点に関するシャフトの回転中心を測定する段階;
4. 測定体を取り除く段階;
5. 第1の要素に光学的に有効な構造を付加する段階;
6. それと共に回転するように第2の要素をシャフトに取り付ける段階;
7. 第2の要素に光学的に有効な構造を付加する段階;
8. 刻印システムから構造ユニットを取り除く段階。
2 放射線発生源=レーザー
4 偏向ユニット
6 レーザー光線
8 焦点
10、26 処理平面
12 第1の要素
14 構造ユニット
16 シャフト
18 堅固なユニット
20 ホルダ
22 測定体
24 第2の要素
Claims (20)
- 少なくとも一つの要素(12;24)に対し刻印システム(1)によって、構造を付加する方法であって、
前記少なくとも一つの要素(12;24)はシャフト(16)に配置され、
前記方法が、
a) 前記シャフト(16)、あるいは前記シャフト(16)に配置された前記要素(12;24)を有する前記シャフトを、前記刻印システム(1)に配置する段階;
b) 前記刻印システム(1)の基準点に対する前記シャフト(16)の回転中心を測定する段階;
c) 前記要素(12;24)に構造を付加する段階、
を含み、
前記シャフト(16)の前記回転中心の測定に基づいて前記構造を付加する、
ことを特徴とする方法。 - 前記シャフト(16)、あるいは前記シャフト(16)に対して配置された前記要素(12;24)を有する前記シャフト(16)を、段階a)に続くすべての段階の間に前記刻印システム(1)内に残留させる、請求項1に記載の方法。
- 段階a)とb)との間に、測定本体(22)がシャフト(16)にぴったりと配置され、それによって前記刻印システム(1)の基準点に対する前記シャフト(16)の前記回転中心の関係が測定される、請求項1又は2に記載の方法。
- 能動的な測定体(22)として構成された測定体(22)により前記シャフト(16)の前記回転中心を測定する、請求項3に記載の方法。
- 受動的な測定体(22)として構成し得る測定体(22)により前記シャフト(16)の前記回転中心を測定し、
前記シャフト(16)の前記回転中心の測定が、前記測定体(22)の幾何学な設計を介して及び/又は前記測定体(22)上に構成された測定マーキングを介してもたらされる、請求項3又は4に記載の方法。 - 少なくとも部分的に前もって作られた測定マーキングとして前記測定マーキングを前記測定体(22)に付加する、請求項5に記載の方法。
- 少なくとも部分的に前記シャフト(16)の前記回転中心を測定する段階の間に、前記刻印システム(1)により、前記測定マーキングを前記測定体(22)に付加する、請求項5又は6に記載の方法。
- 少なくとも前記シャフト(16)の前記回転中心を測定するために前記刻印システム(1)が少なくとも一つの放射線源(2)を含んでおり、
前記測定マーキングが、前記放射線源(2)による照射に対し、構造化されていない領域に比較して異なる反射挙動を少なくとも一つの構造化された領域に有している、請求項5乃至7のいずれかに記載の方法。 - 前記少なくとも一つの要素(12;24)に構造を付加する前に、前記測定体(22)を前記シャフト(16)から取り外す、請求項3乃至8のいずれかに記載の方法。
- 前記回転中心を測定するべく前記シャフト(16)を回転させる、請求項1乃至9のいずれかに記載の方法。
- 前記シャフト(16)の前記回転中心を測定する段階のための前記刻印システム(1)のエネルギー密度が、前記構造を付加する段階より低く、前記刻印システム(1)がレーザーシステムとして構成される、請求項1乃至10のいずれかに記載の方法。
- 前記シャフト(16)にあるいは前記シャフト(16)を含む装置に前記要素(12;24)を取り付ける段階を更に含み、段階a)の前にあるいは段階c)の前に前記要素(12;24)を取り付ける段階を実行する、請求項1乃至11のいずれかに記載の方法。
- 前記シャフト(16)に対して配置される更なる要素(12;24)への構造の付加のために、前記取付段階及び前記構造を付加する段階だけを実行する、請求項1乃至12のいずれかに記載の方法。
- 前記シャフト(16)に対して配置される前記全ての要素(12;24)に構造を付加した後、前記シャフト(16)に対して配置された少なくとも一つの要素(12;24)を有する前記シャフト(16)を前記刻印システム(1)から取り除く、請求項1乃至13のいずれかに記載の方法。
- 角度測定システムあるいは角度測定システムの構成要素を製造する方法であって、
前記角度測定システムあるいは構成要素が、光学的に有効な構造を有する少なくとも一つの要素(12;24)を含み、
請求項1乃至14のいずれかに記載した方法に従って前記構造を前記要素(12;24)に付加する、製造方法。 - 前記角度測定システムあるいは構成要素は、互いに回転可能に構成された少なくとも一つの第1の及び一つの第2の要素(12;24)がその上に配置される回動可能なシャフト(16)を有する構造ユニット(14)を備えており、
前記第1の要素(12)は前記構造ユニット(14)と共に回転するように配置され、かつ前記第2の要素(24)は、前記配置された状態において前記構造が付加される前記シャフト(16)と共に回転するように配置される、請求項15に記載の製造方法。 - 前記角度測定システムあるいは前記構成要素を製造するために、
i. 前記第1の要素を構造ユニット(14)に対し共に回転するように取り付けるとともに、前記構造ユニット(14)を前記刻印システム(1)に配置する段階;
ii. 前記構造ユニット(14)の前記シャフト(16)に測定体(22)を固定する段階;
iii. 前記シャフト(16)を回転させるとともに、前記刻印システム(1)の基準点に関する前記シャフト(16)の回転中心を、前記測定体(22)を使用しつつ前記刻印システム(1)により測定する段階;
iv. 前記測定体(22)を取り除く段階;
v. 前記第1の要素に光学的に有効な構造を付加する段階;
vi. 前記第2の要素を前記シャフト(16)に対し共に回転するように取り付ける段階;
vii. 前記第2の要素に光学的に有効な構造を付加する段階;
viii.前記構造ユニット(14)を前記刻印システム(1)から取り除く段階、
が実行され、
段階ii.乃至vii.の間に前記構造ユニットが前記刻印システム(1)に残留している、請求項15又は16に記載の製造方法。 - 前記構造ユニットは、回転可能なシャフトを有する駆動ユニットとして構成され、あるいは回転可能なシャフトを有する駆動ユニットに接続することができる、請求項17に記載の製造方法。
- 前記構造ユニット(14)に取り付けられる前記全ての要素(12;24)に光学的に有効な構造が付加されるまでに段階vi.及びvii.を実行する、請求項17又は18に記載の製造方法。
- 角度測定システムあるいは角度測定システムの構成要素であって、
請求項15乃至18のいずれかに記載の方法に従って製造されあるいは構造を有する少なくとも一つの要素を備え、
前記構造が請求項1乃至14のいずれかに記載の方法に従って付加される、角度測定システムあるいは角度測定システムの構成要素。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013004156 | 2013-03-10 | ||
DE102013004156.2 | 2013-03-10 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015562460A Division JP2016510127A (ja) | 2013-03-10 | 2014-03-08 | 要素、特に角度測定システムの要素に構造を付加する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018128459A true JP2018128459A (ja) | 2018-08-16 |
JP6633669B2 JP6633669B2 (ja) | 2020-01-22 |
Family
ID=50483182
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015562460A Pending JP2016510127A (ja) | 2013-03-10 | 2014-03-08 | 要素、特に角度測定システムの要素に構造を付加する方法 |
JP2018040466A Active JP6633669B2 (ja) | 2013-03-10 | 2018-03-07 | 要素、特に角度測定システムの要素に構造を付加する方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015562460A Pending JP2016510127A (ja) | 2013-03-10 | 2014-03-08 | 要素、特に角度測定システムの要素に構造を付加する方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10260911B2 (ja) |
EP (1) | EP2972111B1 (ja) |
JP (2) | JP2016510127A (ja) |
CN (1) | CN105008864B (ja) |
WO (1) | WO2014141025A1 (ja) |
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2014
- 2014-03-08 US US14/773,535 patent/US10260911B2/en active Active
- 2014-03-08 CN CN201480013632.XA patent/CN105008864B/zh active Active
- 2014-03-08 WO PCT/IB2014/059549 patent/WO2014141025A1/de active Application Filing
- 2014-03-08 EP EP14717074.0A patent/EP2972111B1/de active Active
- 2014-03-08 JP JP2015562460A patent/JP2016510127A/ja active Pending
-
2018
- 2018-03-07 JP JP2018040466A patent/JP6633669B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN105008864B (zh) | 2017-10-24 |
US10260911B2 (en) | 2019-04-16 |
WO2014141025A1 (de) | 2014-09-18 |
JP6633669B2 (ja) | 2020-01-22 |
EP2972111B1 (de) | 2018-12-26 |
CN105008864A (zh) | 2015-10-28 |
EP2972111A1 (de) | 2016-01-20 |
US20160178405A1 (en) | 2016-06-23 |
JP2016510127A (ja) | 2016-04-04 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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