JP2008292483A - エンコーダ用のスケール及びエンコーダ - Google Patents
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- G01D5/366—Particular pulse shapes
Abstract
本発明のスケール(M)又は本発明のエンコーダの基本原理は、測定方向(X)に対して横にずらした目盛トラック(TS1,TS2)内の基準マーク(R)を、1目盛トラック(TS1,TS2)内の基準マーク(R)の間隔の一部だけずらすことである。
【解決手段】
基準マーク(R)による1目盛トラック(TS1,TS2)の周期性(P)の雑音の悪影響を除去するか又は少なくとも明らかに低減する可能性が提供される。
【選択図】 図5
Description
K コリメーターレンズ
T 目盛
M スケール
S 基板
D 検出器
P 周期
A 間隔
B 間隔
R 基準マーク
X 測定方向
DS 検出器トラック
TS 目盛トラック
TS1 目盛トラック
TS2 目盛トラック
DS1 検出器トラック
DS2 検出器トラック
PD1 光検出器
PD2 光検出器
PD3 光検出器
PD4 光検出器
Claims (11)
- エンコーダ用のスケールであって、このスケール(M)は、測定方向(X)にP周期の目盛トラック(TS1,TS2)を支持し、この目盛トラック(TS1,TS2)は、規則的な間隔(A)でP周期の中断部分の形態の組み込まれた基準マーク(R)を有するスケールにおいて、
前記スケール(M)は、測定方向(X)に対して横にずらした少なくとも2つのこのようなP周期の目盛トラック(TS1,TS2)を支持し、これらの目盛トラック(TS1,TS2)の複数の組み込まれた基準マーク(R)が、測定方向に互いにずれていることを特徴とするスケール。 - 前記スケール(M)は、測定方向(X)に対して横にP周期の2つの目盛トラック(TS1,TS2)を支持し、これらの目盛トラック(TS1,TS2)の規則的な間隔(A)で配置された複数の基準マーク(R)が、測定方向(X)に半部の間隔(A)だけ互いにずれていることを特徴とする請求項1に記載のスケール。
- 前記目盛トラック(TS1,TS2)は、測定方向(X)に交互する明るい領域と暗い領域とから構成され、その結果、1周期(P)が、1つ明るい領域及び1つの暗い領域によって構成されていて、この場合、各目盛領域(TS1,TS2)内では、それぞれのn番目の明るい領域又は暗い領域が、暗い領域又は明るい領域に入れ換えられていて、これによって、規則的な間隔(A,n*P)で配置された組み込まれた1つの基準マーク(R)が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のスケール。
- n=8であり、したがって前記間隔(A)は、8倍の周期Pに一致することを特徴とする請求項3に記載のスケール。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のスケール(M)を有し、このスケール(M)を走査し、電気信号を生成し、位置値を生成する構成された検出器(D)を有するエンコーダにおいて、
多数の検出器トラック(DS1,DS2)が、前記目盛トラック(TS1,TS2)を走査する前記検出器(D)上で測定方向(X)に対して横にずらして配置されていて、これらの検出器トラック(DS1,DS2)はそれぞれ、これらの目盛トラック(TS1,TS2)の多数の周期(P)に対して1周期当たりm個のセンサ(PD1〜PD4)を測定方向(X)に相前後して配置されて有することを特徴とするエンコーダ。 - 前記各検出器トラック(DS1,DS2)は、前記基準マーク(R)の前記間隔(A)と異なる第2の間隔(B)ごとに1つのギャップ(L)を有し、このギャップ(L)内では、それぞれm個の検出器(PD1〜PD4)が、欠けているか又は電気信号を生成するために利用されないことを特徴とする請求項5に記載のエンコーダ。
- 前記基準マーク(R)の前記間隔(A)と前記ギャップ(L)の前記第2の間隔(B)とは、1周期(P)だけ異なることを特徴とする請求項6に記載のエンコーダ。
- 前記検出器トラック(DS1,DS2)の前記ギャップ(L)は、測定方向(X)に相前後して並んでいることを特徴とする請求項6又は7に記載のエンコーダ。
- センサ(PD1〜PD4)は、光検出器であり、これらの光検出器のうちの4つの光検出器が、測定方向(X)に相前後して配置されて1つの目盛トラック(TS1,TS2)の1周期(P)を走査することを特徴とする請求項5〜8のいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 光源(L)の光が、コリメートされて前記スケール(M)を透過し、構成された前記検出器(D)上に照射されることを特徴とする請求項5〜9のいずれか1項に記載のエンコーダ。
- 周期的な目盛トラック(TS1,TS2)を検出するため、測定方向(X)に相前後しているそれぞれの光検出器(PD1,PD2,PD3,PD4)が互いに接続されていて、組み込まれた基準マーク(R)を検出するため、測定方向(X)に互いにずらした光検出器(PD1,PD2,PD3,PD4)が互いに接続されていて、この場合、このずれは、前記目盛トラック(TS1,TS2)間の組み込まれた基準マーク(R)のずれに一致することを特徴とする請求項10に記載のエンコーダ。
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