CN106091903B - 基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测方法及装置，其精密轴系固定在平台上，旋臂依靠法兰盘固定在精密轴系上；第一平面镜与第二平面镜分别安装在两个四维调整架上，再分别安装在旋臂的中心和边缘两个位置；自准直仪安装在二维平移台上，放置在第一平面镜正前方；对准基片套在第一平面镜的圆周处，十字与小孔标识与第一平面镜的镜面平行。精密轴系带动旋臂及两块平面镜一起做匀速圆周运动，自准直仪发出的激光经两块平面镜反射形成自准直光路，实现对旋臂弯沉量的测试。本发明装置搭建简单、检测基准有效并准确传递、稳定性好。

Description

基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测方法及装置

技术领域

本发明属于精密测试领域，特别涉及一种基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量的检测方法及装置。

背景技术

旋臂为固定在精密轴系做360°旋转运动的机械件，包括悬臂梁、板、槽、桁架等形式，广泛应用于起重机械、目标引导、扫描测试等工业生产及科技领域。旋臂在回转运动过程中存在变形，如图1虚线所示，其中垂直变形量Δs就是弯沉量，如图2所示。弯沉量的大小直接影响到旋臂应用装置的精度。目前针对长度大于2m的大型旋臂弯沉量没有有效的检测手段，查阅国内外有关文献也未有值得借鉴或参考价值的相关介绍。主要原因是大型旋臂跨度长，存在检测基准不好建立、检测基准不好传递、检测误差不好分离等问题。而本发明提出的利用双平面镜法检测旋臂弯沉量的方法与装置未见报道。

发明内容

为了解决现有技术的问题，本发明的目的是寻求一种大型旋臂弯沉量检测方法及装置。

为达成所述目的，本发明提供一种基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测装置，包括精密轴系、旋臂、四维调整架、第一平面镜、百分表、对准基片、自准直仪、二维平移台和第二平面镜，其中：

精密轴系固定在平台上，旋臂依靠法兰盘固定在精密轴系上，精密轴系带动旋臂一起以角速度为ω做匀速圆周运动，第一平面镜与第二平面镜分别安装在两个四维调整架上，再分别安装在旋臂的旋转中心和边缘两个位置；自准直仪安装在二维平移台上，放置在第一平面镜正前方；对准基片套在第一平面镜的圆周处，十字与小孔标识与第一平面镜的镜面平行。

其中，所述精密轴系为辅助测试精密元件，轴晃：峰谷值PV≤5″，用于驱动旋臂进行圆周运动。

其中，所述旋臂为被测机械件，由法兰盘与精密轴系相连，结构主要有悬臂梁、板、槽、桁架等形式。

其中，所述四维调整架为精密调整机构，由二维平移与二维角度调节组成，用于调节第一平面镜与第二平面镜的空间位置，x轴、y轴二维平移重复定位精度为≤5μm，分辨力≤1μm；高低俯仰角θ_x和左右偏摆角θ_y的二维角度调节重复定位精度≤5″，分辨力≤2″。

其中，所述第一平面镜与第二平面镜均为圆形监测光学元件，直径≥10mm，圆度≤0.05mm，反射率≥80％，光学面的面形偏差：峰谷值PV≤λ/4，均方根值RMS≤λ/20，检测波长λ＝0.6328μm。

其中，所述对准基片为定心机械元件，由十字丝标识与小孔标识组成，小孔标识的直径≤1mm，用于辅助自准仪完成粗对准。

其中，所述自准直仪为双轴光电自准直仪，为对准监测仪器，包括双轴可调底座、自准直头、光管和激光找像器，用于同时测量水平方向x和垂直方向y的小角度变化；任意20秒内精度≤0.1”，全程精度≤0.25”，分辨力≤0.01″；用于监测旋臂在旋转运动过程中的变形角度θ，激光找像器套在自准直仪的光管前端面，发出的激光束被平面镜反射回来，根据返回光束来相应的调整第一平面镜与第二平面镜或自准直仪的空间位置，以使返回的光束返回至原来的光源发射点，实现自准直仪的粗对准。

其中，所述二维平移台为调整机构，x轴、y轴二维平移重复定位精度为≤10μm，分辨力≤5μm；用于调节自准直仪的空间位置。

本发明还提供一种基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测方法，利用上述的基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测装置，包括步骤如下：

步骤1、调平：调整放置精密轴系的大平台与大地平行，此时保证精密轴系与大地基本水平；

步骤2、定心：安装第一平面镜，将百分表装卡好后，表头打在第一平面镜圆周边缘处，旋转精密轴系360°，查看百分表的最大读数与最小读数之差，调节第一平面镜的四维调节架的x轴、y轴二维平移，使百分表的读数差值≤0.1mm，此时，第一平面镜的中心法线AB与精密轴系的旋转轴线PQ重合，偏心≤0.1mm；

步骤3、建基准：第一平面镜位置不动，将对准基片套在第一平面镜的圆周上，在第一平面镜正前方架自准直仪，自准直仪套上激光找像器，激光找像器发出的激光入射到对准基片的中心小孔内，旋转精密轴系360°，调节自准直仪方位、俯仰及平移，使像经第一平面镜反射返回到激光找像器的发射小孔内，且自准直仪示值读数在100″以内，此时，检测激光形成自准直光路，完成自准直仪的粗对准；

步骤4、精对准：从第一平面镜上取下对准基片，自准直仪对准第一平面镜中心位置；微量左右偏摆自准直仪,使方位示值读数变化Δx在±1000″内，观察俯仰示值读数变化Δy大小，若Δy≥5″，轻抬自准直仪自准直头的一侧，直至Δy≤5″，目的使光电自准直仪的十字丝与第一平面镜镜面平行，此时，完成自准直仪的精对准，然后用自准直仪双轴可调底座的螺丝将光管固定；

步骤5、对径调整

(1)将精密轴系旋转到0°、180°两个位置，设自准直仪方位示值读数分别为x₁、x₂；

(2)在0°或180°位置调整第一平面镜的方位螺钉，将自准直仪方位示值由x₂调到(x₁+x₂)/2；

(3)将精密轴系旋转到90°、270°两个位置，设自准直仪俯仰示值读数分别为y₁、y₂；

(4)在90°或270°位置调整第一平面镜的俯仰螺钉，将自准直仪俯仰示值由y₂调到(y₁+y₂)/2；

(5)重复调整第一平面镜方位、俯仰螺钉，直至x₁与x₂差值及y₁与y₂差值均在5″以内，此时精密轴系的旋转轴线PQ垂直于第一平面镜的光学镜面；

(6)检查扫平：光电自准直仪在y方向±1000″内，x方向变化≤5″，目的使自准直仪的十字丝调到与第一平面镜的光学镜面平行；

(7)上述示值读数为绝对示值，调自准直仪的方位、俯仰旋钮使示值读数为零附近，自准直仪光轴垂直于第一平面镜的光学镜面，至此，自准直仪光轴与精密轴系的旋转轴线PQ平行；

步骤6、查看稳定性：静止放置8小时，观察各调节机构的稳定性：自准直仪的示值读数变化≤0.5″；

步骤7、装调两个平面镜：自准直仪位置不动，取下第一平面镜，重新安装第一平面镜、第二平面镜，调节第一平面镜与第二平面镜的方位、俯仰螺钉，同步骤5对径调整直至自准直仪方位、俯仰示值差值≤20″；

步骤8、查看回零：将旋臂转回0°位置清零作为零位，顺时针正转旋臂360°，查看回零情况；为消除精密轴系间隙误差，顺时针稍微过零位一个角度再回到零位，再逆时针反转360°，查看回零情况，若回零值＞1″，重复步骤7，直至回零值≤1″，此时，调整完毕；

步骤9、复查稳定性：静止放置8小时，观察各调节机构的稳定性：自准直仪的示值读数变化≤0.5″；

步骤10、测试：转动精密轴系，以零位为起点，顺时针正测12个均布点，逆时针反测12个均布点。

本发明的原理是：双平面镜自准法，即两个平面镜放置在旋臂的中心与边缘，旋臂随轴系做圆周运动，自准直仪发出的激光经过两个平面镜反射回形成自准直光路，通过多次严格的基准过渡实现旋臂在旋转运动过程中的变形角度β的测量，最终通过角度换算计算出旋臂弯沉量的测量Δs。

本发明与现有技术相比具有如下优点：

(1)检测基准光轴精确定位；

(2)多次基准有效过渡并准确传递；

(3)检测装置简易，容易搭建；

(4)检测装置稳定性好；

(5)精密轴系晃动误差与检测误差有效分离。

附图说明

图1是本发明旋臂运动变形示意图(在XOZ平面)；

图2是本发明旋臂运动变形示意图(在XOY平面)；

图3本发明定心示意图(在XOZ平面)；

图4是本发明建基准示意图(在XOZ平面)；

图5是本发明对准基片示意图(在XOZ平面)；

图6是本发明测试原理示意图(在XOZ平面)。

图中零部件的标号说明：

1.精密轴系、 2.旋臂、 2-1.法兰盘、

3.四维调整架、 4.第一平面镜 5.百分表、

6.对准基片、 7.自准直仪 7-1.激光找像器

8.二维平移台 9.第二平面镜

PQ—精密轴系1旋转轴线；

AB—第一平面镜4的中心法线；

β—旋臂2在旋转运动过程中的变形角度；

s—旋臂2的有效臂长；

Δs—旋臂2旋臂在回转运动过程中的垂直变形量；

x轴—沿旋臂2有效臂长方向；

z轴—沿精密轴系1旋转轴线PQ方向；

y轴—垂直于XOZ平面。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。

如图1-图6示出本发明基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测方法及装置，包括精密轴系1、旋臂2、四维调整架3、第一平面镜4、百分表5、对准基片6、自准直仪7、二维平移台8、第二平面镜9，其中：

精密轴系1固定在平台上，旋臂2依靠法兰盘2-1固定在精密轴系1上，精密轴系1带动旋臂2一起以角速度为ω做匀速圆周运动。第一平面镜4与第二平面镜9分别安装在两个四维调整架3上，再分别安装在被测旋臂2的中心和边缘两个位置；自准直仪7安装在二维平移台8上，放置在第一平面镜4正前方；对准基片6套在第一平面镜4的圆周处，十字与小孔标识与第一平面镜4的镜面平行。

所述的精密轴系1为辅助测试精密元件，轴晃：峰谷值PV≤5″，用于驱动旋臂2进行圆周运动。

所述的旋臂2为被测机械件，由法兰盘2-1与精密轴系1相连，结构主要有悬臂梁、板、槽、桁架等形式。

所述的四维调整架3为精密调整机构，由二维平移与二维角度调节组成，用于调节第一平面镜4与第二平面镜9的空间位置。二维平移(x轴、y轴)重复定位精度为≤5μm，分辨力≤2μm；高低俯仰角θ_x和左右偏摆角θ_y的二维角度调节重复定位精度≤5″，分辨力≤2″。

所述的第一平面镜4与第二平面镜9均为圆形监测光学元件，直径≥10mm，圆度≤0.05mm，反射率≥80％，光学面的面形偏差：峰谷值PV≤λ/4，均方根值RMS≤λ/20(检测波长λ＝0.6328μm)。

所述的百分表5为定心仪器，用于监测第一平面镜4的中心法线AB与精密轴系的旋转轴线PQ的重合度。

所述的对准基片6为定心机械元件，由十字丝标识与小孔标识组成，小孔标识的直径≤1mm，用于辅助自准仪7完成粗对准。

所述的自准直仪7为双轴光电自准直仪，为对准监测仪器，由双轴可调底座、自准直头、光管、激光找像器7-1等部件组成，用于同时测量水平方向x和垂直方向y的小角度变化；任意20秒内精度≤0.1”，全程精度≤0.25”，分辨力≤0.01″；主要用于监测旋臂2在旋转运动过程中的变形角度β。激光找像器7-1套在自准直仪7的光管前端面，发出的激光束被平面镜反射回来，根据返回光束来相应的调整第一平面镜4与第二平面镜9或自准直仪7的空间位置，以使返回的光束返回至原来的光源发射点，实现自准直仪7的粗对准。

所述的二维平移台8为调整机构，二维平移(x轴、y轴)重复定位精度为≤10μm，分辨力≤5μm；用于调节自准直仪7的空间位置。

本发明包括10个步骤：调平—定心—建基准-精对准—对径调整—查看稳定性—装调两个平面镜—查看回零—复查稳定性—测试，具体步骤如下：

步骤1、调平：调整放置精密轴系1的大平台与大地平行，此时保证精密轴系与大地基本水平。

步骤2、定心：如图3所示，安装第一平面镜4，将百分表5装卡好后，表头打在第一平面镜4圆周边缘处，旋转精密轴系360°，查看百分表5的最大读数与最小读数之差，调节第一平面镜4的四维调节架3的二维平移(x轴、y轴)，使百分表5的读数差值≤0.1mm。此时，第一平面镜4的中心法线AB与精密轴系的旋转轴线PQ重合，偏心≤0.1mm。

步骤3、建基准：第一平面镜4位置不动，将对准基片6套在第一平面镜4的圆周上，在第一平面镜4正前方尽可能短的距离处架自准直仪7，自准直仪7套上激光找像器7-1。激光找像器7-1发出的激光入射到对准基片6的中心小孔内，旋转精密轴系360°，调节自准直仪7方位、俯仰及平移，使像经第一平面镜4反射返回到激光找像器7-1的发射小孔内，且自准直仪7示值读数在100″以内。此时，检测激光形成自准直光路，完成自准直仪7的粗对准。

步骤4、精对准：从第一平面镜4上取下对准基片6，自准直仪7对准第一平面镜4中心位置；微量左右偏摆自准直仪7,使方位示值读数变化Δx在±1000″内，观察俯仰示值读数变化Δy大小。若Δy≥5″，轻抬自准直仪7自准直头的一侧，直至Δy≤5″，目的使光电自准直仪7的十字丝与第一平面镜4镜面平行。此时，完成自准直仪7的精对准，然后用自准直仪7双轴可调底座的螺丝将光管固定。

步骤5、对径调整

(1)将精密轴系1旋转到0°、180°两个位置，设自准直仪7方位示值读数分别为x₁、x₂；

(2)在0°或180°位置调整第一平面镜4的方位螺钉，将自准直仪7方位示值由x₂调到(x₁+x₂)/2；

(3)将精密轴系1旋转到90°、270°两个位置，设自准直仪7俯仰示值读数分别为y₁、y₂；

(4)在90°或270°位置调整第一平面镜4的俯仰螺钉，将自准直仪7俯仰示值由y₂调到(y₁+y₂)/2；

(5)重复调整第一平面镜4方位、俯仰螺钉，直至x₁与x₂差值及y₁与y₂差值均在5″(精密轴系1轴晃误差)以内，此时精密轴系1的旋转轴线PQ垂直于第一平面镜4的光学镜面；

(6)检查扫平：光电自准直仪7在y方向±1000″内，x方向变化≤5″，目的使自准直仪7的十字丝调到与第一平面镜4的光学镜面平行；

(7)上述示值读数为绝对示值，调自准直仪7的方位、俯仰旋钮使示值读数为零附近，自准直仪7光轴垂直于第一平面镜4的光学镜面。至此，自准直仪7光轴与精密轴系1的旋转轴线PQ平行。

步骤6、查看稳定性：静止放置8小时，观察各调节机构的稳定性：自准直仪7的示值读数变化≤0.5″。

步骤7、装调两个平面镜：自准直仪7位置不动，取下第一平面镜4，如图6所示位置安装第一平面镜4、第二平面镜9，调节第一平面镜4与第二平面镜9的方位、俯仰螺钉，同步骤5对径调整直至自准直仪7方位、俯仰示值差值≤20″。

步骤8、查看回零：将旋臂2转回0°位置清零作为零位，顺时针正转旋臂360°，查看回零情况；为消除精密轴系1间隙误差，顺时针稍微过零位一个角度再回到零位，再逆时针反转360°，查看回零情况。若回零值＞1″，重复步骤7，直至回零值≤1″。此时，调整完毕。

步骤9、复查稳定性：静止放置8小时，观察各调节机构的稳定性：自准直仪7的示值读数变化≤0.5″。

步骤10、测试：转动精密轴系1，以零位为起点，顺时针正测12个均布点，逆时针反测12个均布点。

将正测和反测采样点分别按傅里叶级数展开：

式中：

n—采样点个数；k—谐波次数，θ—转角位置；

参数项：

第k次项傅立叶系数：

将正测、反测的数据分别用谐波分析去除一次谐波量作为旋臂2变形角度β的结果；

则旋臂2的弯沉量Δs＝s·tgβ。

本发明未详细阐述的部分属于本领域的公知技术。

以上所述，仅为本发明中的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉该技术的人在本发明所揭露的技术范围内，可理解想到的变换或替换，都应涵盖在本发明的包含范围之内。

Claims (9)

1.一种基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测装置，其特征在于：包括精密轴系(1)、旋臂(2)、四维调整架(3)、第一平面镜(4)、百分表(5)、对准基片(6)、自准直仪(7)、二维平移台(8)和第二平面镜(9)，其中：

精密轴系(1)固定在平台上，旋臂(2)依靠法兰盘(2-1)固定在精密轴系(1)上，精密轴系(1)带动旋臂(2)一起以角速度为ω做匀速圆周运动，第一平面镜(4)与第二平面镜(9)分别安装在两个四维调整架(3)上，再分别安装在旋臂(2)的旋转中心和边缘两个位置；自准直仪(7)安装在二维平移台(8)上，放置在第一平面镜(4)正前方；对准基片(6)套在第一平面镜(4)的圆周处，对准基片十字与小孔标识与第一平面镜(4)的镜面平行。

2.根据权利要求1所述的基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测装置，其特征在于：所述精密轴系(1)为辅助测试精密元件，其轴晃为：峰谷值PV≤5″，该精密轴系用于驱动旋臂(2)进行圆周运动。

3.根据权利要求1所述的基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测装置，其特征在于：所述旋臂(2)为被测机械件，由法兰盘(2-1)与精密轴系(1)相连，结构主要有悬臂梁、板、槽、桁架形式。

4.根据权利要求1所述的基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测装置，其特征在于：所述四维调整架(3)为精密调整机构，由二维平移与二维角度调节组成，用于调节第一平面镜(4)与第二平面镜(9)的空间位置，x轴、y轴二维平移重复定位精度为≤5μm，分辨力≤1μm；高低俯仰角θ_x和左右偏摆角θ_y的二维角度调节重复定位精度≤5″，分辨力≤2″。

5.根据权利要求1所述的基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测装置，其特征在于：所述第一平面镜(4)与第二平面镜(9)均为圆形监测光学元件，直径≥10mm，圆度≤0.05mm，反射率≥80％，光学面的面形偏差：峰谷值PV≤λ/4，均方根值RMS≤λ/20，检测波长λ＝0.6328μm。

6.根据权利要求1所述的基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测装置，其特征在于：所述对准基片(6)为定心机械元件，由十字丝标识与小孔标识组成，小孔标识的直径≤1mm，用于辅助自准直仪(7)完成粗对准。

7.根据权利要求1所述的基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测装置，其特征在于：所述自准直仪(7)为双轴光电自准直仪，是一种对准监测仪器，包括双轴可调底座、自准直头、光管和激光找像器(7-1)，用于同时测量水平方向x和垂直方向y的小角度变化；任意20秒内精度≤0.1″，全程精度≤0.25″，分辨力≤0.01″；用于监测旋臂(2)在旋转运动过程中的变形角度θ，激光找像器(7-1)套在自准直仪(7)的光管前端面，发出的激光束被平面镜反射回来，根据返回光束来相应的调整第一平面镜(4)与第二平面镜(9)的空间位置，或根据返回光束来相应的调整自准直仪(7)的空间位置，以使返回的光束返回至原来的光源发射点，实现自准直仪(7)的粗对准。

8.根据权利要求1所述的基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测装置，其特征在于：所述二维平移台(8)为调整机构，x轴、y轴二维平移重复定位精度为≤10μm，分辨力≤5μm；用于调节自准直仪(7)的空间位置。

9.一种基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测方法，利用权利要求1所述的基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测装置，其特征在于：包括步骤如下：

步骤1、调平：调整放置精密轴系(1)的大平台与大地平行，此时保证精密轴系与大地基本水平；

步骤2、定心：安装第一平面镜(4)，将百分表(5)装卡好后，表头打在第一平面镜(4)圆周边缘处，旋转精密轴系360°，查看百分表(5)的最大读数与最小读数之差，调节第一平面镜(4)的四维调节架(3)的x轴、y轴二维平移，使百分表(5)的读数差值≤0.1mm，此时，第一平面镜(4)的中心法线AB与精密轴系的旋转轴线PQ重合，偏心≤0.1mm；

步骤3、建基准：第一平面镜(4)位置不动，将对准基片(6)套在第一平面镜(4)的圆周上，在第一平面镜(4)正前方架自准直仪(7)，自准直仪(7)套上激光找像器(7-1)，激光找像器(7-1)发出的激光入射到对准基片(6)的中心小孔内，旋转精密轴系360°，调节自准直仪(7)方位、俯仰及平移，使像经第一平面镜(4)反射返回到激光找像器(7-1)的发射小孔内，且自准直仪(7)示值读数在100″以内，此时，检测激光形成自准直光路，完成自准直仪(7)的粗对准；

步骤4、精对准：从第一平面镜(4)上取下对准基片(6)，自准直仪(7)对准第一平面镜(4)中心位置；微量左右偏摆自准直仪(7),使方位示值读数变化Δx在±1000″内，观察俯仰示值读数变化Δy大小，若Δy≥5″，轻抬自准直仪(7)自准直头的一侧，直至Δy≤5″，目的使光电自准直仪(7)的十字丝与第一平面镜(4)镜面平行，此时，完成自准直仪(7)的精对准，然后用自准直仪(7)双轴可调底座的螺丝将光管固定；

步骤5、对径调整

(1)将精密轴系(1)旋转到0°、180°两个位置，设自准直仪(7)方位示值读数分别为x₁、x₂；

(2)在0°或180°位置调整第一平面镜(4)的方位螺钉，将自准直仪(7)方位示值由x₂调到(x₁+x₂)/2；

(3)将精密轴系(1)旋转到90°、270°两个位置，设自准直仪(7)俯仰示值读数分别为y₁、y₂；

(4)在90°或270°位置调整第一平面镜(4)的俯仰螺钉，将自准直仪(7)俯仰示值由y₂调到(y₁+y₂)/2；

(5)重复调整第一平面镜(4)方位螺钉、俯仰螺钉，直至x₁与x₂差值及y₁与y₂差值均在5″以内，此时精密轴系(1)的旋转轴线PQ垂直于第一平面镜(4)的光学镜面；

(6)检查扫平：光电自准直仪(7)在y方向±1000″内，x方向变化≤5″，目的使自准直仪(7)的十字丝调到与第一平面镜(4)的光学镜面平行；

(7)上述示值读数为绝对示值，调自准直仪(7)的方位旋钮、俯仰旋钮使示值读数为零附近，自准直仪(7)光轴垂直于第一平面镜(4)的光学镜面，至此，自准直仪(7)光轴与精密轴系(1)的旋转轴线PQ平行；

步骤6、查看稳定性：静止放置8小时，观察各调节机构的稳定性：自准直仪(7)的示值读数变化≤0.5″；

步骤7、装调两个平面镜：自准直仪(7)位置不动，取下第一平面镜(4)，重新安装第一平面镜(4)、第二平面镜(9)，调节第一平面镜(4)与第二平面镜(9)的方位、俯仰螺钉，同步骤5对径调整直至自准直仪(7)方位示值差值、俯仰示值差值≤20″；

步骤8、查看回零：将旋臂(2)转回0°位置清零作为零位，顺时针正转旋臂360°，查看回零情况；为消除精密轴系(1)间隙误差，顺时针稍微过零位一个角度再回到零位，再逆时针反转360°，查看回零情况，若回零值＞1″，重复步骤7，直至回零值≤1″，此时，调整完毕；

步骤9、复查稳定性：静止放置8小时，观察各调节机构的稳定性：自准直仪(7)的示值读数变化≤0.5″；

步骤10、测试：转动精密轴系(1)，以零位为起点，顺时针正测12个均布点，逆时针反测12个均布点。