CN103278109A - 一种星用扫描角监控器测角精度检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明一种星用扫描角监控器测角精度检测装置，其中小平面镜连接与扫描角监控器的安装基面位置处；星用扫描角监控器安装在二维倾斜台上并放置在二维平移台上；双面模拟摆镜安装在三维调整台上并放置在数显转台上；第一自准直仪、第二自准直仪放置在升降架上；二维平移台、数显转台、升降架放置在检测平台的台面上；芯轴套入数显转台的中心孔中，标准圆器放置于标准块上，并靠紧芯轴；激光器发出的激光束对准五折镜的中心棱镜，形成一检测基准光轴；千分表固定在检测平台上；量块放置于数显转台上方及星用扫描角监控器和双面模拟摆镜之间，量块的一面靠近星用扫描角监控器的安装基面，另一面靠近双面模拟摆镜的第一光学面。

Description

一种星用扫描角监控器测角精度检测装置

技术领域

本发明属于精密测试领域，特别涉及一种用于星用扫描角监控器测角精度的检测装置。

背景技术

近年来，随着通信、空间科学和地球观测事业的迅猛发展，对于卫星扫描测量系统的应用需求变得愈加迫切。扫描角监控器作为某卫星扫描测量系统的主机，其主要作用是对扫描镜的扫描进行动态检测，完成对扫描镜扫描角的定点测量，以保证扫描位置信号的精确测量、输送及图像处理分析系统的正常运行。因此对于扫描角监控器的核心指标-测角精度的检测至关重要。

星用扫描角监控器上的重要光学部件为五折镜，它是由五条高精度反射棱镜粘接而成并具有一定曲率半径的类球面镜。目前圆分度、角度器件的角度测量为外角精度测量，而对于扫描角监控器需要内角精度的测量，没有现成的检测手段，查阅国内外有关文献也未有值得借鉴或参考价值的相关介绍。

另外为保证五折镜组成的类球面镜球面平滑，各条反射棱镜的内夹角要求1°6′12″±5″，且测角精度的稳定性要求1″，所以对于扫描角监控器测角精度检测的难点有：(1)内角检测基准不好建立；(2)监测精度和检测的可靠性不高，重复性和复现性差。此外，对于模拟摆镜的旋转中心到五折镜各棱镜中心的空间尺寸需要严格控制才能准确测量出模拟摆镜的各路接收差分信号的能量值。

发明内容

为了解决现有技术的问题，本发明的目的是寻求一种能快速建立检测基准并准确进行基准过渡的星用扫描角监控器测角精度检测装置。

为达成所述目的，本发明提供星用扫描角监控器测角精度检测装置，所述装置解决其检测技术问题所采用的技术方案包括：星用扫描角监控器、双面模拟摆镜、检测平台、二维平移台、二维倾斜台、标准圆器、标准块、数显转台、激光器、检测基准光轴、芯轴、第一自准直仪、第二自准直仪、升降架、小平面镜、三维调整台、量块、千分表，其中：

在检测平台上放置二维平移台、数显转台和升降架，并且二维平移台高于数显转台；在二维平移台上放置二维倾斜台；在数显转台上放置标准块和三维调整台；

星用扫描角监控器安装在二维倾斜台上，且小平面镜与星用扫描角监控器的安装基面位置处固定连接，并一起放置在二维平移台上；二维倾斜台，用于调节星用扫描角监控器的俯仰角θ_1y和倾斜角θ_1Z；星用扫描角监控器，用于提供五折镜的内夹角；二维平移台，用于调节星用扫描角监控器与双面模拟摆镜沿z轴方向的距离；小平面镜与第二自准直仪的输出光束对准，用于辅助第二自准直仪监测星用扫描角监控器的角度变化量；

双面模拟摆镜安装在三维调整台上，并一起放置在数显转台上；三维调整台，用于调节双面模拟摆镜的俯仰角θ_2y和倾斜角θ_2Z以及双面模拟摆镜沿z轴方向与星用扫描角监控器的距离；双面模拟摆镜，含有第一光学面和第二光学面；星用扫描角监控器、双面模拟摆镜和第一自准直仪依序位于检测基准光轴上，第一光学面，用于星用扫描角监控器自准检测，第二光学面，用于第一自准直仪对准监测；

第一自准直仪、第二自准直仪放置在升降架上，星用扫描角监控器和双面模拟摆镜位于第一自准直仪输出的光束线上，第一自准直仪用于监测双面模拟摆镜的角度变化量；升降架，用于调节第一自准直仪、第二自准直仪沿y轴方向的高度；

芯轴套入数显转台的中心孔中，标准圆器放置于标准块上，并靠紧芯轴，标准圆器，用于监测双面模拟摆镜和星用扫描角监控器的安装基面的平行度，以及监测双面模拟摆镜、星用扫描角监控器与数显转台的垂直度；标准块，用于辅助标准圆器检测星用扫描角监控器与数显转台的垂直度；数显转台，用于控制双面模拟摆镜的角度变化；

激光器发出的激光束对准五折镜的中心棱镜，形成一检测基准光轴；用于保证检测基准有效并准确传递，用于提供检测基准和尺寸过渡基准；

量块放置于数显转台上方及星用扫描角监控器和双面模拟摆镜之间，量块的一面靠近星用扫描角监控器的安装基面，另一面靠近双面模拟摆镜的第一光学面，用于测量从星用扫描角监控器的安装基面到双面模拟摆镜第一光学面的空间过渡尺寸；

千分表固定在检测平台上，千分表的指针轻触二维平移台沿z轴方向的前端面，用于精确定位二维平移台沿z轴方向移动的位置。

本发明与现有技术相比具有如下优点：

1.检测基准光轴精确定位；

2.多次基准过渡确定星用扫描角监控器与双面模拟摆镜的空间位置，检测基准有效并准确传递；

3.检测过程中利用自准直仪及时、有效地监测了星用扫描角监控器与双面模拟摆镜的空间角度变化；

4.检测装置综合测角精度高，优于3″；

5.检测装置测角稳定性好，重复搭建的测量结果复现性优于1″。

本发明可适用于类似设备、光机部件的高精度内角度测量，它具有检测基准光轴精确定位、多次基准过渡确定空间位置、检测装置综合测角精度高、稳定性和复现性好等特点。

附图说明

图1是本发明原理图

图2是星用扫描角监控器与数显转台的垂直度调整示意图

图3是本发明建立检测基准(1)示意图

图4是本发明建立检测基准(2)示意图

图5是本发明搭建光电监测装置示意图

图6是本发明监测基准过渡(1)示意图

图7是本发明监测基准过渡(2)示意图

图8是本发明搭建自准检测装置示意图

图9是本发明搭建限位监测装置示意图

图中零部件的标号说明：

1.星用扫描角监控器、

1-1.五折镜、         1-2.星用扫描角监控器安装基面、

2.双面模拟摆镜、

2-1.第一光学面、     2-2.第二光学面、

3.检测平台、         4.二维平移台、       5.二维倾斜台、

6.标准圆器、         7.标准块、           8.数显转台、

9.激光器、           10.检测基准光轴、    11.芯轴、

12.第一自准直仪、    13.第二自准直仪、    14.升降架、

15.小平面镜、        16.三维调整台、      17.量块、

18.千分表。

O-双面模拟摆镜旋转中心；R-五折镜曲率半径；

L-星用扫描角监控器安装基面1-2到双面模拟摆镜第一光学面2-1的距离；

S-双面模拟摆镜2旋转中心O到双面模拟摆镜第一光学面2-1的距离；

θ-五折镜中间棱镜与边缘棱镜内夹角。

x轴-垂直纸面向外方向；y轴-平行纸面竖直向上方向；z轴-光轴方向；

PP′-数显转台8旋转轴线；点O在直线PP′上。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。

如图1-图9示出本发明检测星用扫描角监控器测角精度的装置，其特征在于它包括星用扫描角监控器1、双面模拟摆镜2、检测平台3、二维平移台4、二维倾斜台5、标准圆器6、标准块7、数显转台8、激光器9、检测基准光轴10、芯轴11、第一自准直仪12、第二自准直仪13、升降架14、小平面镜15、三维调整台16、量块17、千分表18，其中：

在检测平台3上放置二维平移台4、数显转台8和升降架14，并且二维平移台4高出数显转台8；在二维平移台4上放置二维倾斜台5；在数显转台8上放置标准块7和三维调整台16；

星用扫描角监控器1安装在二维倾斜台5上，且小平面镜15与星用扫描角监控器1的安装基面1-2位置处固定连接，并一起放置在二维平移台4上；二维倾斜台5，用于调节星用扫描角监控器1的俯仰角θ1y和倾斜角θ1Z；星用扫描角监控器1，用于提供五折镜1-1的内夹角θ；二维平移台4，用于调节星用扫描角监控器1与双面模拟摆镜2沿z轴方向的距离；小平面镜15与第二自准直仪13的输出光束对准，用于辅助第二自准直仪13监测星用扫描角监控器1的角度变化量；

双面模拟摆镜2安装在三维调整台16上，并一起放置在数显转台8上；三维调整台16，用于调节双面模拟摆镜2的俯仰角θ2y和倾斜角θ2Z以及双面模拟摆镜2沿z轴方向与星用扫描角监控器1的距离；双面模拟摆镜2，含有第一光学面和第二光学面；星用扫描角监控器1、双面模拟摆镜2和第一自准直仪12依序位于检测基准光轴10上，第一光学面，用于星用扫描角监控器1自准检测，第二光学面，用于第一自准直仪12对准监测；

第一自准直仪12、第二自准直仪13放置在升降架14上，星用扫描角监控器1和双面模拟摆镜2位于第一自准直仪12输出的光束线上，第一自准直仪12用于监测双面模拟摆镜2的角度变化量；升降架14，用于调节第一自准直仪12、第二自准直仪13沿y轴方向的高度；

芯轴11套入数显转台8的中心孔中，标准圆器6放置于标准块7上，并靠紧芯轴11，标准圆器6，用于监测双面模拟摆镜2和星用扫描角监控器1的安装基面1-2的平行度，以及监测双面模拟摆镜2、星用扫描角监控器1与数显转台8的垂直度；标准块7，用于辅助标准圆器6检测星用扫描角监控器1与数显转台8的垂直度；数显转台8，用于控制双面模拟摆镜2的角度变化；

激光器9发出的激光束对准五折镜1-1的中心棱镜，形成一检测基准光轴10；激光器9，以输出激光光束为检测基准光轴10，用于保证检测基准有效并准确传递；检测基准光轴10，用于提供检测基准和尺寸过渡基准；

量块17放置于数显转台8上方及星用扫描角监控器1和双面模拟摆镜2之间，量块17的一面靠近星用扫描角监控器1的安装基面1-2，另一面靠近双面模拟摆镜2的第一光学面2-1，用于测量从星用扫描角监控器1安装基面1-2到双面模拟摆镜2第一光学面2-1的空间过渡尺寸；

千分表18固定在检测平台3上，千分表18的指针轻触二维平移台4沿z轴方向的前端面，用于精确定位二维平移台4沿z轴方向移动的位置。

本发明的原理是：双面模拟摆镜2自准检测法(如图1所示)，即先通过多次严格的基准过渡和自准直仪对准监测，保证了星用扫描角监控器1与双面模拟摆镜2的平行度及间距L的公差，即确定了由五折镜1-1组成的类球面的球心位置；再通过双面模拟摆镜2绕旋转中心O左右摆动时，由五折镜1-1与双面模拟摆镜第一光学面2-1之间的光路反射实现对设定扫描角度的位置标定。图1所示的五折镜1-1中心棱镜与边缘棱镜内夹角θ即为双面模拟摆镜2绕点O旋转的角度。

所述的星用扫描角监控器1为被测光机电系统，星用扫描角监控器1的中心安装有五折镜1-1，其曲率半径为R，安装基面1-2与五折镜1-1中间棱镜的平行度≤1″。

所述的双面模拟摆镜2为高精度光学元件，第一光学面2-1、第二光学面2-2的面形偏差均为峰谷值PV≤λ/10，均方根值RMS≤λ/50(波长λ＝0.6328μm)，第一光学面2-1与第二光学面2-2的平行度≤2″，第一光学面2-2用于星用扫描角监控器1自准检测，即星用扫描角监控器1的发射器发出的光束经第一光学面2-1反射回星用扫描角监控器1的接收器形成自准直检测光路。第二光学面2-2用于辅助第一自准直仪12对双面模拟摆镜2角度变化进行监测。即第一自准直仪12垂直入射的光束经双面模拟摆镜2中的第二光学面2-2反射回第一自准直仪12的分划处形成自身像，可以在第一自准直仪12的目视单元读出此时的角度值；当双面模拟摆镜2的角度发生微小改变时，第一自准直仪12目视单元的示值也出现变化，从而在检测过程中第一自准直仪12时刻监测双面模拟摆镜2的角度变化。

所述的二维平移台4为精密调整机构，重复定位精度≤2μm，分辨力≤1μm，直线度≤5μm，正交性≤5μm。

所述的标准圆器6为00级标准器，圆度≤0.2μm，母线对底面的垂直度≤3μm。

所述的标准块7为精密机械元件，各面的平行度≤2μm，平行面的平行度≤2μm，相邻面的垂直度≤5μm，标准块7用于辅助标准圆器6检测星用扫描角监控器1与数显转台8的垂直度。如图2所示，标准块7放置于数显转台8上，在标准块7上放置标准圆器6并靠紧星用扫描角监控器1的安装基面1-2，用灯光照安装基面1-2与标准圆器6的缝隙，若无光线透出或透出点划线光，此时标准圆器6的中心轴线与扫描角监控器1的安装基面1-2平行，由于标准圆器6的中心轴线与检测平台3垂直，因此扫描角监控器1与数显转台8垂直，垂直度≤0.01mm。

所述的数显转台8为高精度角度测量仪器，测角精度≤2″，角晃≤1″。

所述的激光器9为标定仪器，激光器9输出光束直径小且发散角小，光束直径≤φ1mm，发散角≤1.2mrad，所述mrad为毫弧度。

所述的芯轴11为辅助定心元件，半径r＝S，圆柱度≤10μm，芯轴11的下端为2^#莫氏锥方便从数显转台8中心孔内套入和取出，用于辅助激光器9确定数显转台8的中心轴线PP′，其中S为辅助双面模拟摆镜2确定双面模拟摆镜2旋转中心O到双面模拟摆镜第一光学面2-1的距离。

如图4所示，芯轴11在数显转台8的中心孔内，激光器9位置不动，调整数显转台8位置，使激光光斑打在芯轴11的母线上，并激光光斑左右对称，此时芯轴11的中心轴线即数显转台8的中心轴线PP′确定。如图6所示，芯轴11在数显转台8的中心孔内并与标准圆器6靠紧，此时数显转台8的中心线与标准圆器6母线的距离为芯轴11的半径r；如图7所示，取走芯轴11，标准圆器6的位置不变，数显转台8上放置双面模拟摆镜2，第一光学面2-1与标准圆器6靠紧，此时双面模拟摆镜2的旋转中心O即数显转台8的中心轴线PP′与标准圆器6母线的距离为S确定。

所述的第一自准直仪12、第二自准直仪13为辅助对准监测仪器，分辨力≤0.2″，主要用于监测星用扫描角监控器1角度变化量和双面模拟摆镜2的角度变化量。如图8所示，第一自准直仪12对准扫描角监控器1上安装的小平面镜15，当星用扫描角监控器1的角度发生变化，第一自准直仪12的示值读数也发生变化；第二自准直仪13对准第二光学面2-2，当双面模拟摆镜2的角度发生变化，第二自准直仪12的示值读数也发生变化。

所述的小平面镜15为监测光学元件，光学面的面形偏差峰谷值PV≤λ/4，均方根值RMS≤λ/20(波长λ＝0.6328μm)。

所述的三维调整台16为精密调整机构，一维平移(z轴)重复定位精度为≤5μm，分辨力≤1μm；俯仰角θ2y和倾斜角θ2y重复定位精度≤5″，分辨力≤2″。

所述的量块17为测量空间过渡尺寸量具，精度为3等标准量块。

1.准备

如图2星用扫描角监控器与数显转台的垂直度调整示意图所示，在检测平台3上靠紧放置星用扫描角监控器1与数显转台8，并且星用扫描角监控器1的二维平移台4要稍高出数显转台8，沿z轴方向移动二维平移台4使星用扫描角监控器1的安装基面1-2在光轴(z轴)方向上可移动到数显转台8的中心位置PP′为宜。

2.调整星用扫描角监控器1与数显转台8的垂直度

如图2所示，先将标准块7放置于数显转台8上，接着在标准块7上放置00级标准圆器6并靠紧星用扫描角监控器1的安装基面1-2，调整二维倾斜台5，直至用灯光照00级标准圆器6与星用扫描角监控器1的安装基面1-2。用灯光照安装基面1-2与标准圆器6的缝隙，若无光线透出或透出点划线光，此时标准圆器6与扫描角监控器1的安装基面1-2平行，由于标准圆器6的中心轴线与检测平台3垂直，因此扫描角监控器1与数显转台8垂直，垂直度≤0.01mm。

3.建立检测基准

(1)如图3本发明建立检测基准(1)所示，架好激光器9，用激光器9对准星用扫描角监控器1中间棱镜的中心位置，二维平移台4沿z轴方向移动，调节激光器9的调节机构使激光的出射光斑与返回光斑重合，此时建立一检测基准光轴10；

(2)如图4本发明建立检测基准(2)所示，将芯轴11插入数显转台8的中心孔内，激光器9位置不动，调整数显转台8位置，使激光光斑打在芯轴11的母线上，并左右对称，此时数显转台8与星用扫描角监控器1的相对位置调好。

4.如图5所示搭建光电监测装置

(1)沿z轴方向在数显转台8另一侧放置升降架14与第一自准直仪12，调整第一自准直仪12微调机构使其对准星用扫描角监控器1的中间棱镜；

(2)在星用扫描角监控器1的安装基面1-2上边一侧粘贴小平面镜15，用第二自准直仪13对准监测小平面镜15。沿z轴方向前后移动星用扫描角监控器1，分别用两台自准直仪12、13观察中间棱镜和小平面镜15的反射像是否有变化，记下变化量，并将两台自准直仪对准好。

在检测的过程中，两台自准直仪12、13的位置不动。

5.搭建自准检测装置

如图6本发明监测基准过渡(1)所示，沿z轴方向移动二维平移台3使星用扫描角监控器1远离数显转台8，将芯轴11插入数显转台8中，用标准块7垫00级标准圆器6靠紧芯轴11，微微转动00级标准圆器6，直至用灯光照它们之间无间隙或点划线为止。向下压住00级标准圆器6，向上拔出芯轴11，并且不能触动00级标准圆器6位置。在数显转台8上轻放双面模拟摆镜2及三维调整台16，如图7本发明监测基准过渡(2)所示，将双面模拟摆镜2靠紧00级标准圆器6，调整双面模拟摆镜2的俯仰(θ_2y)与倾斜(θ_2Z)，直至第一自准直仪12的反射像与之前对好的位置重合，移走00级标准圆器6与标准块7。此时双面模拟摆镜2与星用扫描角监控器1的平行度和空间相对位置调好，如图8本发明搭建自准检测装置所示。

6.搭建限位监测装置，确定曲率半径R

如图9所示，沿z轴方向移动二维平移台4使星用扫描角监控器1接近双面模拟摆镜2，用组合好的量块17(尺寸为Lmm)一面靠上星用扫描角监控器1的安装基面1-2，另一面轻靠上双面模拟摆镜2的第一光学面2-1，测一下到双面模拟摆镜2的间距L，间距L调整好后，即曲率半径R确定。此时取走量块17，在检测平台3上固定好千分表18，其指针轻触二维平移台4沿z轴方向的前端面。注意监测星用扫描角监控器1每次离开又接近双面模拟摆镜2，千分表18指针读数不变。

7.至此，本发明检测装置搭建完毕。将星用描角监控器1接上示波器，观察光学零位与电零位相差多少，若≤1″，开始测量星用描角监控器1的测角精度。由于检测时间较长，在检测过程中随时用第二自准直仪13监测星用描角监控器1的角度变化量，若有变化，调节二维倾斜台5使第二自准直仪13反射十字丝像调到之前对好的位置再开始检测。

本发明未详细阐述的部分属于本领域的公知技术。

以上所述，仅为本发明中的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉该技术的人在本发明所揭露的技术范围内，可理解想到的变换或替换，都应涵盖在本发明的包含范围之内。

Claims (10)

1.一种星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述装置包括星用扫描角监控器、双面模拟摆镜、检测平台、二维平移台、二维倾斜台、标准圆器、标准块、数显转台、激光器、检测基准光轴、芯轴、第一自准直仪、第二自准直仪、升降架、小平面镜、三维调整台、量块、千分表，其中：

在检测平台上放置二维平移台、数显转台和升降架，并且二维平移台高于数显转台；在二维平移台上放置二维倾斜台；在数显转台上放置标准块和三维调整台；

星用扫描角监控器安装在二维倾斜台上，且小平面镜与星用扫描角监控器的安装基面位置处固定连接，并一起放置在二维平移台上；二维倾斜台，用于调节星用扫描角监控器的俯仰角θ_1y和倾斜角θ_1Z；星用扫描角监控器，用于提供五折镜的内夹角；二维平移台，用于调节星用扫描角监控器与双面模拟摆镜沿z轴方向的距离；小平面镜与第二自准直仪的输出光束对准，用于辅助第二自准直仪监测星用扫描角监控器的角度变化量；

双面模拟摆镜安装在三维调整台上，并一起放置在数显转台上；三维调整台，用于调节双面模拟摆镜的俯仰角θ_2y和倾斜角θ_2Z以及双面模拟摆镜沿z轴方向与星用扫描角监控器的距离；双面模拟摆镜，含有第一光学面和第二光学面；星用扫描角监控器、双面模拟摆镜和第一自准直仪依序位于检测基准光轴上，第一光学面，用于星用扫描角监控器自准检测，第二光学面，用于第一自准直仪对准监测；

第一自准直仪、第二自准直仪放置在升降架上，星用扫描角监控器和双面模拟摆镜位于第一自准直仪输出的光束线上，第一自准直仪用于监测双面模拟摆镜的角度变化量；升降架，用于调节第一自准直仪、第二自准直仪沿y轴方向的高度；

芯轴套入数显转台的中心孔中，标准圆器放置于标准块上，并靠紧芯轴；标准圆器，用于监测双面模拟摆镜和星用扫描角监控器的安装基面的平行度，以及监测双面模拟摆镜、星用扫描角监控器与数显转台的垂直度；标准块，用于辅助标准圆器检测星用扫描角监控器与数显转台的垂直度；数显转台，用于控制双面模拟摆镜的角度变化；

激光器发出的激光束对准五折镜的中心棱镜，形成一检测基准光轴，用于保证检测基准有效并准确传递，用于提供检测基准和尺寸过渡基准；

量块放置于数显转台上方及星用扫描角监控器和双面模拟摆镜之间，量块的一面靠近星用扫描角监控器的安装基面，另一面靠近双面模拟摆镜的第一光学面，用于测量从星用扫描角监控器的安装基面到双面模拟摆镜第一光学面的空间过渡尺寸；

千分表固定在检测平台上，千分表的指针轻触二维平移台沿z轴方向的前端面，用于精确定位二维平移台沿z轴方向移动的位置。

2.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述激光器为标定仪器，激光器输出光束直径小且发散角小，光束直径≤φ1mm，发散角≤1.2mrad。

3.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述数显转台测角误差≤2″，角晃≤1″。

4.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述星用扫描角监控器的发射器发出的光束经双面模拟摆镜的第一光学面反射回星用扫描角监控器的接收器形成自准直检测光路；第一自准直仪垂直入射的光束经双面模拟摆镜的第二光学面反射回第一自准直仪的分划处形成自身像，在第一自准直仪的目视单元读出此时的角度值；当双面模拟摆镜的角度发生微小改变时，第一自准直仪的目视单元的示值也出现变化，从而在检测过程中第一自准直仪时刻监测双面模拟摆镜的角度变化；所述双面模拟摆镜的两个光学面的面形偏差：峰谷值PV≤λ/10，均方根值RMS≤λ/50，两个光学面平行度≤2″，波长λ＝0.6328μm。

5.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述标准圆器为00级标准器，圆度≤0.2μm，母线对底面的垂直度≤3μm。

6.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述芯轴为辅助定心元件，半径r＝S；圆柱度≤10μm，芯轴的下端为2#莫氏锥方便装入数显转台中心孔内，S为双面模拟摆镜旋转中心O到双面模拟摆镜的第一光学面的距离。

7.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述第一自准直仪、第二自准仪为辅助对准监测仪器，分辨力≤0.2″。

8.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述小平面镜为监测光学元件，光学面的面形偏差：峰谷值PV≤λ/4，均方根值RMS≤λ/20，波长λ＝0.6328μm。

9.根据权利要求1所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述量块为测量空间过渡尺寸量具，精度为3等的标准量块。

10.根据权利要求6所述的星用扫描角监控器测角精度检测装置，其特征在于，所述芯轴辅助激光器确定数显转台中心轴线PP′，其中激光对准芯轴的中心母线上，并且激光光斑左右对称。

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