JP2018127704A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018127704A5 JP2018127704A5 JP2017022874A JP2017022874A JP2018127704A5 JP 2018127704 A5 JP2018127704 A5 JP 2018127704A5 JP 2017022874 A JP2017022874 A JP 2017022874A JP 2017022874 A JP2017022874 A JP 2017022874A JP 2018127704 A5 JP2018127704 A5 JP 2018127704A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- frame
- region
- joining member
- mask body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims 13
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017022874A JP6904718B2 (ja) | 2017-02-10 | 2017-02-10 | 蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法および蒸着マスクの製造装置 |
| CN201780086024.5A CN110268090B (zh) | 2017-02-10 | 2017-11-22 | 蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及蒸镀掩模的制造装置 |
| PCT/JP2017/041960 WO2018146904A1 (ja) | 2017-02-10 | 2017-11-22 | 蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法および蒸着マスクの製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017022874A JP6904718B2 (ja) | 2017-02-10 | 2017-02-10 | 蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法および蒸着マスクの製造装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018127704A JP2018127704A (ja) | 2018-08-16 |
| JP2018127704A5 true JP2018127704A5 (enExample) | 2020-03-19 |
| JP6904718B2 JP6904718B2 (ja) | 2021-07-21 |
Family
ID=63108070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017022874A Active JP6904718B2 (ja) | 2017-02-10 | 2017-02-10 | 蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法および蒸着マスクの製造装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6904718B2 (enExample) |
| CN (1) | CN110268090B (enExample) |
| WO (1) | WO2018146904A1 (enExample) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102661470B1 (ko) * | 2018-09-03 | 2024-04-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 마스크 및 그 제조방법 |
| JP7267762B2 (ja) * | 2019-02-01 | 2023-05-02 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 蒸着マスク |
| JP2021165424A (ja) * | 2020-04-08 | 2021-10-14 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 蒸着マスク用フレーム、フレーム付き蒸着マスク、及び蒸着方法 |
| KR20220068327A (ko) * | 2020-11-18 | 2022-05-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 어셈블리 및 그 마스크 어셈블리의 제조 방법 |
| JP7737833B2 (ja) * | 2021-06-30 | 2025-09-11 | 株式会社Magnolia White | 蒸着マスク |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4662808B2 (ja) * | 2005-05-17 | 2011-03-30 | 大日本印刷株式会社 | メタルマスク用フレーム及びその製造方法 |
| KR101182235B1 (ko) * | 2009-12-14 | 2012-09-12 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착용 마스크, 그의 제조 방법 및 제조 장치 |
| JP6078818B2 (ja) * | 2013-07-02 | 2017-02-15 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 成膜マスク及び成膜マスクの製造方法 |
| JP6168944B2 (ja) * | 2013-09-20 | 2017-07-26 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 成膜マスク |
| JP6357312B2 (ja) * | 2013-12-20 | 2018-07-11 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 成膜マスクの製造方法及び成膜マスク |
| CN117821896A (zh) * | 2015-07-17 | 2024-04-05 | 凸版印刷株式会社 | 蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法 |
-
2017
- 2017-02-10 JP JP2017022874A patent/JP6904718B2/ja active Active
- 2017-11-22 CN CN201780086024.5A patent/CN110268090B/zh active Active
- 2017-11-22 WO PCT/JP2017/041960 patent/WO2018146904A1/ja not_active Ceased
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2018127704A5 (enExample) | ||
| TWI612159B (zh) | 成膜遮罩之製造方法 | |
| TWI611031B (zh) | 成膜罩體及成膜罩體之製造方法 | |
| CN110724904B (zh) | 蒸镀掩模的拉伸方法带框架的蒸镀掩模的制造方法有机半导体元件的制造方法及拉伸装置 | |
| JP7024837B2 (ja) | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク準備体、フレーム付き蒸着マスク準備体、蒸着マスク、保護シート付き蒸着マスク、フレーム一体型の保護シート付き蒸着マスク、有機半導体素子の製造方法、及び有機ｅｌディスプレイの製造方法 | |
| JP5812139B2 (ja) | 蒸着マスク、蒸着マスク準備体、蒸着マスクの製造方法、及び有機半導体素子の製造方法 | |
| CN109072411B (zh) | 蒸镀掩模的制造方法、蒸镀掩模及有机半导体元件的制造方法 | |
| CN106702318B (zh) | 掩膜框架及制造方法和掩膜板 | |
| JP5545958B2 (ja) | 蒸着用マスク | |
| JP6035548B2 (ja) | 蒸着マスク | |
| JP6240960B2 (ja) | 成膜マスクの製造方法及び成膜マスク | |
| CN107858642B (zh) | 蒸镀掩模、蒸镀掩模准备体、蒸镀掩模的制造方法、及有机半导体元件的制造方法 | |
| JP2014121720A (ja) | 蒸着マスクの製造方法 | |
| WO2019179239A1 (zh) | 掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统 | |
| JP6601483B2 (ja) | 蒸着マスク、蒸着マスク準備体、蒸着マスクの製造方法、及び有機半導体素子の製造方法 | |
| JP2017115248A (ja) | フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法 | |
| CN110268090B (zh) | 蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及蒸镀掩模的制造装置 | |
| JP2010090415A (ja) | 蒸着マスク | |
| JP2015010263A (ja) | 金属フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法 | |
| CN112534080B (zh) | 蒸镀掩模的制造方法和有机el显示装置的制造方法 | |
| BR112017011775B1 (pt) | Método para produzir uma malha incluindo um corpo principal de malha de resina, e um membro de reforço de resina configurado para reforçar o corpo principal de malha | |
| JP2005171290A (ja) | 蒸着用マスクおよびその洗浄方法 | |
| JP6332531B2 (ja) | 蒸着マスク材、蒸着マスク材の固定方法、有機半導体素子の製造方法 | |
| JP2020100876A (ja) | 蒸着マスク装置、蒸着マスク、蒸着マスク装置の製造方法および蒸着マスクの製造方法 | |
| JP6168221B2 (ja) | 蒸着マスク材、蒸着マスク材の固定方法、及び有機半導体素子の製造方法 |