JP2018125430A - 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018125430A JP2018125430A JP2017016860A JP2017016860A JP2018125430A JP 2018125430 A JP2018125430 A JP 2018125430A JP 2017016860 A JP2017016860 A JP 2017016860A JP 2017016860 A JP2017016860 A JP 2017016860A JP 2018125430 A JP2018125430 A JP 2018125430A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- type
- type cladding
- cladding layer
- algan
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 46
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 26
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 claims abstract 9
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 102
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 31
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 31
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 12
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 216
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 28
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 18
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 15
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 9
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 6
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AUCDRFABNLOFRE-UHFFFAOYSA-N alumane;indium Chemical compound [AlH3].[In] AUCDRFABNLOFRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 AlGaN Chemical compound 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N azanylidyneindigane Chemical compound [In]#N NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Led Devices (AREA)
Abstract
Description
Claims (8)
- n型AlGaN系半導体材料のn型クラッド層上にAlGaN系半導体材料の活性層を形成する工程と、
前記活性層上にp型AlGaN系半導体材料のp型クラッド層を形成する工程と、
前記p型クラッド層上が露出した状態で前記p型クラッド層を加熱する工程と、を備え、
前記活性層は、波長360nm以下の深紫外光を出力することを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記p型クラッド層上にp型コンタクト層を形成する工程と、
前記p型コンタクト層を加熱する工程と、をさらに備え、
前記p型クラッド層を加熱する工程の温度は、前記p型コンタクト層を加熱する工程の温度よりも高いことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子の製造方法。 - 前記p型クラッド層を加熱する工程の温度は、750℃以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記p型クラッド層を加熱する工程は、実質的に水素(H)を含まない雰囲気ガス下でなされることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記p型クラッド層を加熱する工程は、窒素(N2)の雰囲気ガス下でなされることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記p型クラッド層は、窒化アルミニウム(AlN)のモル分率が50%以上であることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記p型クラッド層は、前記p型クラッド層を加熱する工程後の水素濃度が5×1018/cm3以下であることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の半導体発光素子の製造方法。
- n型AlGaN系半導体材料のn型クラッド層と、
前記n型クラッド層上に設けられ、AlGaN系半導体材料の活性層と、
前記活性層上に設けられ、p型AlGaN系半導体材料のp型クラッド層と、を備え、
前記活性層は、波長360nm以下の深紫外光を出力し、
前記p型クラッド層は、水素濃度が5×1018/cm3以下であることを特徴とする半導体発光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017016860A JP6867180B2 (ja) | 2017-02-01 | 2017-02-01 | 半導体発光素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017016860A JP6867180B2 (ja) | 2017-02-01 | 2017-02-01 | 半導体発光素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018125430A true JP2018125430A (ja) | 2018-08-09 |
JP6867180B2 JP6867180B2 (ja) | 2021-04-28 |
Family
ID=63111614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017016860A Active JP6867180B2 (ja) | 2017-02-01 | 2017-02-01 | 半導体発光素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6867180B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020121794A1 (ja) * | 2018-12-11 | 2020-06-18 | パナソニックセミコンダクターソリューションズ株式会社 | 窒化物系半導体発光素子及びその製造方法、並びに、窒化物系半導体結晶の製造方法 |
JP2021015952A (ja) * | 2019-07-11 | 2021-02-12 | 圓融光電科技股▲ふん▼有限公司 | 紫外線led及びその製造方法 |
JP2021097148A (ja) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | 日機装株式会社 | 半導体発光素子 |
JP2021174876A (ja) * | 2020-04-24 | 2021-11-01 | 日機装株式会社 | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 |
US11804567B2 (en) | 2018-09-28 | 2023-10-31 | Dowa Electronics Materials Co., Ltd. | III-nitride semiconductor light-emitting device and method of producing the same |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10294490A (ja) * | 1997-04-17 | 1998-11-04 | Toshiba Electron Eng Corp | p型窒化ガリウム系化合物半導体、その製造方法および青色発光素子 |
JP2001308017A (ja) * | 2000-04-24 | 2001-11-02 | Sony Corp | p型窒化物系III−V族化合物半導体の製造方法および半導体素子の製造方法 |
JP2005259768A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 発光素子およびその製造方法 |
US20100032647A1 (en) * | 2008-06-06 | 2010-02-11 | University Of South Carolina | Utlraviolet light emitting devices and methods of fabrication |
CN103811609A (zh) * | 2014-02-19 | 2014-05-21 | 中国科学院半导体研究所 | 氮化物半导体发光二极管外延片、器件及其制备方法 |
WO2017013729A1 (ja) * | 2015-07-21 | 2017-01-26 | 創光科学株式会社 | 窒化物半導体紫外線発光素子 |
-
2017
- 2017-02-01 JP JP2017016860A patent/JP6867180B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10294490A (ja) * | 1997-04-17 | 1998-11-04 | Toshiba Electron Eng Corp | p型窒化ガリウム系化合物半導体、その製造方法および青色発光素子 |
JP2001308017A (ja) * | 2000-04-24 | 2001-11-02 | Sony Corp | p型窒化物系III−V族化合物半導体の製造方法および半導体素子の製造方法 |
JP2005259768A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 発光素子およびその製造方法 |
US20100032647A1 (en) * | 2008-06-06 | 2010-02-11 | University Of South Carolina | Utlraviolet light emitting devices and methods of fabrication |
CN103811609A (zh) * | 2014-02-19 | 2014-05-21 | 中国科学院半导体研究所 | 氮化物半导体发光二极管外延片、器件及其制备方法 |
WO2017013729A1 (ja) * | 2015-07-21 | 2017-01-26 | 創光科学株式会社 | 窒化物半導体紫外線発光素子 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11804567B2 (en) | 2018-09-28 | 2023-10-31 | Dowa Electronics Materials Co., Ltd. | III-nitride semiconductor light-emitting device and method of producing the same |
WO2020121794A1 (ja) * | 2018-12-11 | 2020-06-18 | パナソニックセミコンダクターソリューションズ株式会社 | 窒化物系半導体発光素子及びその製造方法、並びに、窒化物系半導体結晶の製造方法 |
JP6744521B1 (ja) * | 2018-12-11 | 2020-08-19 | パナソニックセミコンダクターソリューションズ株式会社 | 窒化物系半導体発光素子及びその製造方法、並びに、窒化物系半導体結晶の製造方法 |
US20210143612A1 (en) * | 2018-12-11 | 2021-05-13 | Nuvoton Technology Corporation Japan | Nitride-based semiconductor light-emitting element and manufacturing method thereof, and manufacturing method of nitride-based semiconductor crystal |
JP2021015952A (ja) * | 2019-07-11 | 2021-02-12 | 圓融光電科技股▲ふん▼有限公司 | 紫外線led及びその製造方法 |
JP7295782B2 (ja) | 2019-07-11 | 2023-06-21 | 圓融光電科技股▲ふん▼有限公司 | 紫外線led及びその製造方法 |
JP2021097148A (ja) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | 日機装株式会社 | 半導体発光素子 |
JP2021174876A (ja) * | 2020-04-24 | 2021-11-01 | 日機装株式会社 | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6867180B2 (ja) | 2021-04-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6589987B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP5549338B2 (ja) | 紫外光放射用窒素化合物半導体ledおよびその製造方法 | |
TWI659547B (zh) | Iii族氮化物半導體發光元件的製造方法 | |
JP6867180B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
JP6730082B2 (ja) | 深紫外発光素子の製造方法 | |
JP6674394B2 (ja) | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 | |
US11575068B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor light emitting element | |
JP2016066691A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP6978206B2 (ja) | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 | |
JP2014096460A (ja) | 紫外半導体発光素子およびその製造方法 | |
JP6654596B2 (ja) | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 | |
JP6945666B2 (ja) | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 | |
JP2006210692A (ja) | 3族窒化物系化合物半導体発光素子 | |
JP6486401B2 (ja) | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 | |
TWI727116B (zh) | 半導體發光元件的製造方法 | |
JP2019033284A (ja) | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 | |
US11322656B2 (en) | Semiconductor light emitting element and method of manufacturing semiconductor light emitting element | |
JPWO2015029281A1 (ja) | 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法 | |
JP6404890B2 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
JP2004214500A (ja) | 窒化物半導体成長基板およびそれを用いた窒化物半導体素子 | |
JP6260159B2 (ja) | 窒化物半導体発光ダイオード、及びその製造方法 | |
JP7484572B2 (ja) | p型III族窒化物半導体の製造方法 | |
US20230420603A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor light-emitting element | |
JP2018156970A (ja) | 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法 | |
JP4954534B2 (ja) | 窒化物半導体素子およびその製法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190919 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200915 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201030 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210322 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210330 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210408 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6867180 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R157 | Certificate of patent or utility model (correction) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R157 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |