JP2018114588A - 切削方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1a 表面
1b 裏面
3 分割予定ライン
5 デバイス
7,14 保護部材(ダイシングテープ)
7a,7e 基材
7b,7f 粘着材層
7c 保護部材(液状樹脂)
7d テープ
9,9b フレーム
9a 開口
11,12,12a ドレッシング砥粒
2 保護部材貼着装置
4 保護部材ロール(ダイシングテープロール)
6 巻き取りロール
8,8a 砥粒噴射ユニット
10 マスク
10a 開口
16 送りローラ
18 押圧ローラ
18a,18b 矢印
20 切削装置
22 切削ユニット
22a スピンドル
22b 切削ブレード
24 チャックテーブル
24a 保持面
26 クランプ
28 台
30 ノズル
Claims (3)
- 砥粒を結合材で固定した切削ブレードで被加工物を切削する被加工物の切削方法であって、
該被加工物に貼着される保護部材の貼着面に、該切削ブレードをドレッシングするためのドレッシング砥粒を付着させるドレッシング砥粒付着ステップと、
該貼着面に該ドレッシング砥粒が付着した該保護部材を該被加工物に貼着する貼着ステップと、
該切削ブレードを該保護部材に切り込ませつつ該被加工物を切削することで該被加工物を分割する分割ステップと、を備えることを特徴とする被加工物の切削方法。 - 該ドレッシング砥粒付着ステップでは、該保護部材の該貼着面に、該切削ブレードに含まれる該砥粒の大きさ、該結合材の種類、及び、被加工物の種類に基づいて選定された該ドレッシング砥粒を付着させることを特徴とする請求項1に記載の被加工物の切削方法。
- 該保護部材は、環状フレームの開口に該被加工物を支持する粘着テープであり、
該ドレッシング砥粒付着ステップでは、該被加工物と、該環状フレームと、の間の領域の該保護部材の貼着面に該ドレッシング砥粒を付着させることを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の被加工物の切削方法。
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JP2015213969A (ja) * | 2014-05-08 | 2015-12-03 | 株式会社ディスコ | ドレスシート及びドレスシートを使用した加工方法 |
-
2017
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