JP6315455B2 - 環状フレーム - Google Patents
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Description
1a 表面(第2の面)
1b 裏面(第1の面)
1c 内周面
11 被加工物
11a 表面
11b 裏面
13 デバイス領域
15 外周余剰領域
17 ストリート(切削予定ライン)
19 デバイス
21 ダイシングテープ
2 切削装置
4 チャックテーブル
4a 保持面
6 支持台
6a 支持面
6b クランプ
8 切削ユニット
10 スピンドル
12 切削ブレード
14 ノズル
Claims (3)
- 開口部を塞ぐように貼着されたダイシングテープを介して被加工物を該開口部に保持する環状フレームであって、
該ダイシングテープが貼着される第1の面と、該第1の面と反対側の第2の面と、該第1の面と該第2の面とを連結し、該開口部を構成する内周面と、を備え、
該内周面は、該第1の面から該第2の面に向かって該開口部を縮径するように、該第2の面に対して傾斜していることを特徴とする環状フレーム。 - 該第2の面に対する該内周面の傾斜角度は、環状フレームを支持する支持面と、該支持面より上方に突出しダイシングテープに貼着された被加工物を保持する保持面と、を備えたチャックテーブルで、該第1の面にダイシングテープが貼着された環状フレームを支持した際の、該支持面及び該保持面に対して傾斜するダイシングテープの該支持面に対する傾斜角度と同等であることを特徴とする請求項1記載の環状フレーム。
- 前記内周面は、離型処理されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の環状フレーム。
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