JP2018092985A - 半導体基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、MOCVD法により、基板の上に、窒化アルミニウムあるいは窒化アルミニウムガリウムからなる第1窒化物半導体層を成長する工程と、MOCVD法により、前記第1窒化物半導体層の上に第2窒化物半導体層を成長する工程と、を有し、前記第1窒化物半導体層を成長する工程において、前記MOCVD法の原料ガスの上流側の成長温度は、前記原料ガスの下流側の成長温度よりも低く、前記下流側の成長温度は1100℃以上である半導体基板の製造方法である。
【選択図】図7B
Description
(2)前記第1窒化物半導体層を成長する工程における前記上流側の成長温度は、前記下流側の成長温度より5℃以上、10℃以下低いことが好ましい。これにより第1窒化物半導体層の上流側において不純物の取り込みが効果的に抑制される。このため上流側においてリーク電流が大きく低減し、リーク電流の面内分布が小さくなる。
(3)前記第2窒化物半導体層を成長する工程は、前記第1窒化物半導体層の上に窒化ガリウム層あるいは窒化アルミニウムガリウムを成長する工程を含み、前記第2窒化物半導体層の成長温度は前記第1窒化物半導体層の成長温度より低く、かつ前記窒化ガリウム層における上流側の成長温度と下流側の成長温度との差は、前記第1窒化物半導体層における上流側の成長温度と下流側の成長温度との差より小さいことが好ましい。第2窒化物半導体層の成長温度が第1窒化物半導体層の成長温度より低いため、不純物の取り込みが抑制され、また基板の反りも抑制される。第2窒化物半導体層の成長温度の差が小さいため、取り込まれる不純物の濃度のばらつきが抑制され、リーク電流の面内分布が小さくなる。
(4)MOCVD法により、基板の上に、窒化アルミニウムあるいは窒化アルミニウムガリウムからなる第1窒化物半導体層を成長する工程と、MOCVD法により、第1窒化物半導体層の上に第2窒化物半導体層を成長する工程と、を有し、第1窒化物半導体層を成長する工程は、第1核生成層を成長する工程と、前記第1核生成層の成長温度よりも低い成長温度で、前記第1核生成層の上に第2核生成層を成長する工程とを含む半導体基板の製造方法である。第1核生成層の成長温度が高いため、ピットの発生を抑制することができる。第2核生成層の成長温度を低くすることで、不純物の取り込みを抑制することができる。この結果、リーク電流の面内分布を小さくすることができる。このように第1窒化物半導体層におけるピットの発生を抑制し、かつリーク電流の面内分布を小さくすることが可能である。
(5)前記第2核生成層は前記第1核生成層よりも厚いことが好ましい。これによりピットの発生およびリーク電流を抑制することができる。
(6)前記第1核生成層の成長温度は前記第2核生成層の成長温度よりも5℃以上、10℃以下高いことが好ましい。成長温度の低い第2核生成層において不純物の取り込みが効果的に抑制される。このためリーク電流が低減し、リーク電流の面内分布が小さくなる。また第1核生成層においてピットの発生が抑制される。
(7)第2窒化物半導体層を成長する工程は、第1窒化物半導体層の上に窒化ガリウム層、窒化アルミニウムガリウム、窒化インジウムアルミニウムガリウム、窒化インジウムアルミニウムおよび窒化インジウムガリウムのいずれかを成長する工程を含み、第2窒化物半導体層の成長温度は前記第2核生成層の成長温度より低いことが好ましい。第2窒化物半導体層の成長温度が第2核生成層の成長温度より低いため、不純物の取り込みが抑制され、また基板の反りも抑制される。このため取り込まれる不純物の濃度のばらつきが抑制され、リーク電流の面内分布が小さくなる。
(8)前記原料ガスの上流側から下流側にかけて、第1窒化物半導体層を成長する工程に用いられるMOCVD装置の複数のポケットのそれぞれに前記基板が配置されることが好ましい。MOCVD装置内には不純物を含むデポジットが形成され、特に原料ガスの上流側には多くのデポジットが堆積する。第1および第2核生成層の上流側の成長温度を低くするため、デポジットからの不純物の取り込みを抑制することができる。これによりリーク電流の面内分布を小さくすることができる。
(9)前記第2窒化物半導体層を成長する工程は、電子供給層を成長する工程を含むことが好ましい。これにより半導体基板が形成される。
まず課題を明らかにするために行った実験について説明する。
図1は半導体装置110を例示する断面図である。半導体装置110は実験のサンプルとしたものであり、図1に示すように半導体基板100、ソース電極13、ドレイン電極15およびゲート電極17を備えるFETである。半導体基板100は、基板10、核生成層11、および窒化物半導体層19を含む。窒化物半導体層19は、核生成層11に近い方から順に積層された窒化ガリウム(GaN)層12、電子供給層14およびキャップ層16を含む。核生成層11は基板10の上面に接触し、GaN層12は核生成層11の上面に接触する。電子供給層14はGaN層12の上面に接触し、キャップ層16は電子供給層14の上面に接触する。キャップ層16の上に、ソース電極13、ドレイン電極15およびゲート電極17が設けられている。
図2は半導体装置110の製造に用いるMOCVD装置のサセプタ20の平面図である。シャワーヘッドの図示は省略している。図2に示すように、MOCVD装置のサセプタ20には複数のポケット22が設けられている。各ポケット22には、図2中に斜線で示す基板10が配置される。各基板10は例えば4インチのウェハの状態であり、半導体層の成長後のウェハを切断することで複数の半導体装置が形成される。ウェハのオリエンテーションフラット側がサセプタ20の外側を向き、トップ側が内側を向いている。サセプタ20のうちポケット22の間の部分を領域20aとする。
図4Aおよび図4Bは半導体基板100の作製方法を例示する断面図である。図4Aに示すように、基板10の上面に接触する核生成層11をエピタキシャル成長する。図4Bに示すように、核生成層11の上に、GaN層12、電子供給層14およびキャップ層16を順にエピタキシャル成長する。
以下に説明するように、ピットの抑制とリーク電流の面内分布のばらつき抑制との両立は困難である。まずピットについて説明する。成長温度の異なる核生成層11を成長し、かつ窒化物半導体層19を成長し、ソース電極13、ドレイン電極15およびゲート電極17は設けないサンプル(半導体基板100)を光学顕微鏡で観察し、ピットの密度を比較した。光学顕微鏡の倍率は250倍であり、成長温度は1070〜1100℃の範囲内の温度である。図5は成長温度とピットとの関係を示す図である。横軸は核生成層11の成長温度、縦軸は核生成層11におけるピットの密度を示す。図5に示すように、成長温度が高いほどピット密度は小さくなった。例えば成長温度が1090℃以上になるとピット密度は50cm−2より小さくなった。
実施例1では、核生成層11の上流側の成長温度を下流側の成長温度より低くする。半導体装置の構成は図1に示したものと同じである。また核生成層11(第1窒化物半導体層)および窒化物半導体層19(第2窒化物半導体層)は、図2および図3に示したようなMOCVD装置を用いたMOCVD法でエピタキシャル成長する。
実施例1に係る半導体装置の製造方法について説明する。図4Aおよび図4Bで述べた工程と同じ工程の説明は省略する。図2および図3に示したように、サセプタ20のポケット22にSiCの基板10を配置する。複数の基板10は、MOCVD法の原料ガスの上流側から下流側にかけて配置される。表2に示したように、流量130sccmのTMAおよび15slmのNH3ガスを供給する。上流側(図3の位置P1側)の基板10の温度(成長温度)は例えば1100〜1105℃とし、下流側(位置P2側)の成長温度は例えば1110℃とする。すなわち上流側の成長温度は下流側の成長温度より低い。この条件でMOCVD法を行い、図4Aに示したように、厚さ13nmのAlNで形成される核生成層11を成長する。核生成層11の成長後の工程は図4Aおよび図4Bで述べたものと同じである。なお、半導体基板100を水分などから保護するため、キャップ層16の上に例えば窒化シリコン膜などの絶縁膜を設けてもよい。
実施例1と比較例とでリーク電流を比較する。図7Aは比較例における核生成層11の成長温度の分布を示す図である。図7Bは実施例1における核生成層11の成長温度の分布を示す図である。横軸は基板10の面内における測定位置を示しており、図中の左側が上流側、右側が下流側である。縦軸は成長温度を示す。
実施例2は核生成層11を成長温度の異なる2つの層で形成する例である。図9は実施例2に係る半導体装置210を例示する断面図である。実施例1と同様の構成については説明を省略する。
実施例2に係る半導体装置210の製造方法について説明する。図10Aおよび図10Bは半導体装置210の製造方法を例示する断面図である。実施例1と同様の構成については説明を省略する。基板10の温度を1100℃とし、流量130sccmのTMAおよび15slmのNH3ガスを供給する。これにより、図10Aに示すように、例えば厚さ3〜7nmのAlNで形成される第1核生成層11aを成長する。
MOCVD法により、前記第1窒化物半導体層の上に第2窒化物半導体層を成長する工程と、を有し、
前記第1窒化物半導体層を成長する工程において、前記MOCVD法の原料ガスの上流側の成長温度は、前記原料ガスの下流側の成長温度よりも低く、前記下流側の成長温度は1100℃以上である半導体基板の製造方法。
(付記2)前記第1窒化物半導体層を成長する工程における前記上流側の成長温度は、前記下流側の成長温度より5℃以上、10℃以下低い付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記3)前記第2窒化物半導体層を成長する工程は、前記第1窒化物半導体層の上に窒化ガリウム層あるいは窒化アルミニウムガリウムを成長する工程を含み、
前記第2窒化物半導体層の成長温度は前記第1窒化物半導体層の成長温度より低く、かつ前記窒化ガリウム層における上流側の成長温度と下流側の成長温度との差は、前記第1窒化物半導体層における上流側の成長温度と下流側の成長温度との差より小さい付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記4)MOCVD法により、基板の上に、窒化アルミニウムあるいは窒化アルミニウムガリウムからなる第1窒化物半導体層を成長する工程と、
MOCVD法により、第1窒化物半導体層の上に第2窒化物半導体層を成長する工程と、を有し、
第1窒化物半導体層を成長する工程は、第1核生成層を成長する工程と、前記第1核生成層の成長温度よりも低い成長温度で、前記第1核生成層の上に第2核生成層を成長する工程とを含む半導体基板の製造方法。
(付記5)前記第2核生成層は前記第1核生成層よりも厚い付記4に記載の半導体基板の製造方法。
(付記6)前記第1核生成層の成長温度は前記第2核生成層の成長温度よりも5℃以上、10℃以下高い付記4に記載の半導体基板の製造方法。
(付記7)第2窒化物半導体層を成長する工程は、第1窒化物半導体層の上に窒化ガリウム層、窒化アルミニウムガリウム、窒化インジウムアルミニウムガリウム、窒化インジウムアルミニウムおよび窒化インジウムガリウムのいずれかを成長する工程を含み、
第2窒化物半導体層の成長温度は前記第2核生成層の成長温度より低い付記4に記載の半導体基板の製造方法。
(付記8)前記原料ガスの上流側から下流側にかけて、第1窒化物半導体層を成長する工程に用いられるMOCVD装置の複数のポケットのそれぞれに前記基板が配置される付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記9)前記第2窒化物半導体層を成長する工程は、電子供給層を成長する工程を含む付記1に記載の半導体基板の製造方法。
(付記10)前記原料ガスの上流側から下流側にかけて、前記第1核生成層および第2核生成層を成長する工程に用いられるMOCVD装置の複数のポケットのそれぞれに前記基板が配置される付記4に記載の半導体基板の製造方法。
(付記11)前記第2窒化物半導体層を成長する工程は、窒化ガリウム層、および電子供給層を順に成長する工程を含む付記4に記載の半導体基板の製造方法。
(付記12)前記第1核生成層を成長する工程を行った後であって前記第2核生成層を成長する工程を行う前に、前記MOCVD法の窒素の原料ガスを供給しながら、前記基板の温度を前記第1核生成層の成長温度から前記第2核生成層の成長温度に変化させる工程を有する付記4に記載の半導体基板の製造方法。
(付記13)前記第2核生成層を成長する工程において、前記MOCVD法の原料ガスの上流側の成長温度を、前記原料ガスの下流側の成長温度よりも低くする付記4に記載の半導体基板の製造方法。
11 核生成層
11a 第1核生成層
11b 第2核生成層
12 GaN層
13 ソース電極
14 電子供給層
15 ドレイン電極
16 キャップ層
17 ゲート電極
19 窒化物半導体層
20 サセプタ
20a 領域
21 ヒータ
22 ポケット
24 シャワーヘッド
25 孔
100、200 半導体基板
110、210 半導体装置
Claims (9)
- MOCVD法により、基板の上に、窒化アルミニウムあるいは窒化アルミニウムガリウムからなる第1窒化物半導体層を成長する工程と、
MOCVD法により、前記第1窒化物半導体層の上に第2窒化物半導体層を成長する工程と、を有し、
前記第1窒化物半導体層を成長する工程において、前記MOCVD法の原料ガスの上流側の成長温度は、前記原料ガスの下流側の成長温度よりも低く、前記下流側の成長温度は1100℃以上である半導体基板の製造方法。 - 前記第1窒化物半導体層を成長する工程における前記上流側の成長温度は、前記下流側の成長温度より5℃以上、10℃以下低い請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記第2窒化物半導体層を成長する工程は、前記第1窒化物半導体層の上に窒化ガリウム層あるいは窒化アルミニウムガリウムを成長する工程を含み、
前記第2窒化物半導体層の成長温度は前記第1窒化物半導体層の成長温度より低く、かつ前記窒化ガリウム層における上流側の成長温度と下流側の成長温度との差は、前記第1窒化物半導体層における上流側の成長温度と下流側の成長温度との差より小さい請求項1または2に記載の半導体基板の製造方法。 - MOCVD法により、基板の上に、窒化アルミニウムあるいは窒化アルミニウムガリウムからなる第1窒化物半導体層を成長する工程と、
MOCVD法により、第1窒化物半導体層の上に第2窒化物半導体層を成長する工程と、を有し、
第1窒化物半導体層を成長する工程は、第1核生成層を成長する工程と、前記第1核生成層の成長温度よりも低い成長温度で、前記第1核生成層の上に第2核生成層を成長する工程とを含む半導体基板の製造方法。 - 前記第2核生成層は前記第1核生成層よりも厚い請求項4に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記第1核生成層の成長温度は前記第2核生成層の成長温度よりも5℃以上、10℃以下高い請求項4または5に記載の半導体基板の製造方法。
- 第2窒化物半導体層を成長する工程は、第1窒化物半導体層の上に窒化ガリウム層、窒化アルミニウムガリウム、窒化インジウムアルミニウムガリウム、窒化インジウムアルミニウムおよび窒化インジウムガリウムのいずれかを成長する工程を含み、
第2窒化物半導体層の成長温度は前記第2核生成層の成長温度より低い請求項4から6のいずれか一項に記載の半導体基板の製造方法。 - 前記原料ガスの上流側から下流側にかけて、第1窒化物半導体層を成長する工程に用いられるMOCVD装置の複数のポケットのそれぞれに前記基板が配置される請求項1から7のいずれか一項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記第2窒化物半導体層を成長する工程は、電子供給層を成長する工程を含む請求項1から8のいずれか一項に記載の半導体基板の製造方法。
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