JP2018079547A - トップリング用係止軸抜き治具、軸抜き治具ユニット、トップリング用係止軸の抜去方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】トップリング本体からの係止軸の取り出し(抜去)を簡単に短時間で行なえる技術の提供。【解決手段】リング板状の治具本体11、21と、治具本体11、21の片面側に治具本体に沿って湾曲延在し、トップリング本体52の軸嵌合孔52bに嵌合された係止軸54を押圧する突き出し用突部12、22とを有するトップリング用係止軸抜き治具10、20、この治具を用いた軸抜き治具ユニット30、トップリング用係止軸の抜去方法を提供する。【選択図】図3
Description
本発明は、ウェハ等の基板を研磨する研磨装置に用いられるトップリングにおいて、基板を研磨面に押圧するための弾性膜をトップリング本体に保持するトップリング用係止軸をトップリング本体から抜き去る作業に利用可能なトップリング用係止軸抜き治具、それを用いた軸抜き治具ユニット、トップリング用係止軸の抜去方法に関する。
近年、半導体デバイスの高集積化が進むにつれて回路の配線が微細化し、配線間距離もより狭くなりつつある。特に線幅が0.5μm以下の光リソグラフィの場合、焦点深度が浅くなるためステッパーの結像面の平坦度を必要とする。このような半導体ウェハの表面を平坦化する一手段として、化学機械的研磨(Chemical Mechanical Polishing:CMP)を行う研磨装置が知られている。
この種の研磨装置は、研磨パッドからなる研磨面を有する研磨テーブルと、研磨対象物としての半導体ウェハを保持するためのトップリングとを備えている。このような研磨装置を用いて半導体ウェハの研磨を行う場合には、トップリングにより半導体ウェハを保持しつつ、この半導体ウェハを研磨テーブルに対して所定の圧力で押圧する。このとき、研磨テーブルとトップリングとを相対運動させることにより半導体ウェハが研磨面に摺接し、半導体ウェハの表面が平坦かつ鏡面に研磨される。
トップリングは、基板を研磨面に押圧するための弾性膜と、弾性膜を保持するトップリング本体とを有する。また、トップリングは、弾性膜に突出形成されたリプル部をトップリング本体との間に挟み込むリプルホルダと、リプルホルダに係止突片を係合させてリプルホルダをトップリング本体に保持する係止軸とを有するものが提案されている(例えば特許文献1、2)。係止軸の係止突片を係合させたリプルホルダは、トップリング本体との間に弾性膜のリプル部を挟持固定することで弾性膜をトップリング本体に保持する。
トップリング本体には、弾性膜が配置される底面から窪むリプルホルダ収容凹所と、リプルホルダ収容凹所の側部からトップリング本体底面とは反対の天面にわたって延在する係止軸嵌合孔とが形成されている。係止軸は、係止軸嵌合孔に嵌合された軸本体と、軸本体の側周から突出する係止突片とを有する。係止軸は、リプルホルダ収容凹所に収容されたリプルホルダに係止突片を係合させることで、弾性膜のリプル部をリプルホルダとトップリング本体との間に挟持した状態を維持する。
トップリング本体に保持された弾性膜及びリプルホルダは、係止軸を軸回り回転させて係止突片のリプルホルダに対する係合を解除することでトップリング本体から取り外すことができる。
トップリング本体に保持された弾性膜及びリプルホルダは、係止軸を軸回り回転させて係止突片のリプルホルダに対する係合を解除することでトップリング本体から取り外すことができる。
ところで、研磨中のウェハと研磨パッドの研磨面との間の相対的な押圧力がウェハの全面に亘って均一でない場合には、ウェハの各部分に与えられる押圧力に応じて研磨不足や過研磨が生じてしまう。そこで、ウェハに対する押圧力を均一化するために、トップリング本体とその下側の弾性膜との間に空気などの流体が供給される圧力室を確保し、この圧力室に供給される流体圧により弾性膜を介してウェハを押圧することが行われている。
このため、圧力室からの流体の漏出を防ぐべく、係止軸の軸本体側周には係止軸嵌合孔内周面との間を気密に封止するOリングが設けられている。係止軸はOリングを含む。
このため、圧力室からの流体の漏出を防ぐべく、係止軸の軸本体側周には係止軸嵌合孔内周面との間を気密に封止するOリングが設けられている。係止軸はOリングを含む。
係止軸の軸本体側周のOリングの劣化や損傷は、圧力室の内圧低下、それに起因する研磨品質(精度)の低下の原因の1つになる。
このため、弾性膜を交換等のためにトップリング本体から取り外す際に、係止軸をトップリング本体から取り出し、Oリングの状態を確認することも行なわれている。
このため、弾性膜を交換等のためにトップリング本体から取り外す際に、係止軸をトップリング本体から取り出し、Oリングの状態を確認することも行なわれている。
係止軸のトップリング本体から取り出しは、従来、係止軸をレンチ等の手工具を用いて軸回り回転させながら手指でトップリング本体底面側から押圧して係止軸嵌合孔から押し出している。しかしながら、係止軸は、係止軸嵌合孔内周面にOリングを圧接させて係止軸嵌合孔に強固に嵌合している。このため、係止軸のトップリング本体からの取り出しは労力を要し、作業性が悪かった。また、トップリング本体の複数箇所に設けられた係止軸をひとつずつ手作業で回転させながら係止軸嵌合孔から押し出すのでは、全ての係止軸の取り出しに時間が掛かる。
本発明の幾つかの実施形態が解決しようとする課題は、トップリング本体からの係止軸の取り出し(抜去)を簡単に短時間で行なうためのトップリング用係止軸抜き治具、軸抜き治具ユニット、トップリング用係止軸の抜去方法を提供することである。
(1)本発明の一態様に係るトップリング用係止軸抜き治具は、基板を研磨面に押圧するための弾性膜をトップリング本体に保持する係止軸を前記係止軸が複数環状配置された前記トップリング本体から抜き去る作業に使用可能な治具であって、リング板状、円板状、180度よりも大きい中心角を以て延在する部分リング板状または部分円板状、のいずれか1つである治具本体と、前記治具本体の片面側に突出され前記治具本体に沿って湾曲延在し、前記トップリング本体に形成された軸嵌合孔に嵌合された前記係止軸を前記トップリング本体の前記弾性膜が設けられる底面側から押圧するための突き出し用突部とを有する。
(2)上記(1)に記載されたトップリング用係止軸抜き治具であって、前記突き出し用突部を複数有し、複数の前記突き出し用突部は同心状に配置されていても良い。
(3)上記(1)または(2)に記載されたトップリング用係止軸抜き治具であって、前記突き出し用突部のうち前記治具本体の湾曲半径方向において最も外周側に位置する突き出し用突部である最外周突き出し用突部からその湾曲外周側に突出する取っ手部をさらに有していても良い。
(3)上記(1)または(2)に記載されたトップリング用係止軸抜き治具であって、前記突き出し用突部のうち前記治具本体の湾曲半径方向において最も外周側に位置する突き出し用突部である最外周突き出し用突部からその湾曲外周側に突出する取っ手部をさらに有していても良い。
(4)本発明の一態様に係る軸抜き治具ユニットは、上記(1)〜(3)のいずれか1つに記載されたトップリング用係止軸抜き治具である第1治具と、上記(1)〜(3)のいずれか1つに記載されたトップリング用係止軸抜き治具であり前記治具本体を前記第1治具の前記治具本体の湾曲内周側に脱着可能に嵌合させて設けられる第2治具とを有する。
(5)本発明の一態様に係るトップリング用係止軸の抜去方法は、基板を研磨面に押圧するための弾性膜と、前記弾性膜が取り付けられるトップリング本体と、前記弾性膜の片面側に突出形成されたリプル部を前記トップリング本体との間に挟み込むリプルホルダと、前記リプルホルダに係合することで前記リプルホルダを前記トップリング本体との間に挟み込んだ前記リプル部とともに前記トップリングに固定する係止軸とを有し、前記係止軸は、前記トップリング本体を貫通する軸嵌合孔に嵌合された軸本体と、前記軸本体の側周に突出され前記軸本体の軸回り回転により前記リプルホルダに対する係脱を切り換える係止突片とを有するトップリングについて、前記トップリング本体から前記係止軸を抜き去る方法であって、前記係止軸の前記軸本体を軸回り回転させて前記係止突片の前記リプルホルダに対する係合を解除し、前記弾性膜及び前記リプルホルダを前記トップリング本体から取り外す弾性膜取り外し工程と、弾性膜取り外し工程の後、上記(1)〜(4)のいずれか1つに記載されたトップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部によって、前記トップリング本体の前記弾性膜が設けられる底面側に突出した前記係止軸を押圧して前記係止軸を前記トップリング本体に対してその前記底面とは反対の天面側へ押し動かす軸押し出し工程とを有し、前記軸押し出し工程では、前記トップリング本体に環状配置された複数の前記係止軸を前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部上に配置した状態で、前記トップリング本体を前記治具本体に向かって押圧して前記係止軸を前記トップリング本体に対してその天面側へ押し動かす。
(6)上記(5)に記載されたトップリング用係止軸の抜去方法であって、前記トップリング本体には、リング状の前記リプルホルダを収容するリプルホルダ収容溝が前記底面から窪んで環状形成され、かつ前記リプルホルダ収容溝に連通する位置に形成された複数の前記軸嵌合孔が環状配置され、前記軸押し出し工程では、前記載置面上に載置した前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部を前記リプルホルダ収容溝に収容し、前記軸嵌合孔に嵌合され前記トップリング本体から前記リプルホルダ収容溝に突出する前記係止軸を前記前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部上に複数配置した状態で前記トップリング本体を前記治具本体に向かって押圧しても良い。
(6)上記(5)に記載されたトップリング用係止軸の抜去方法であって、前記トップリング本体には、リング状の前記リプルホルダを収容するリプルホルダ収容溝が前記底面から窪んで環状形成され、かつ前記リプルホルダ収容溝に連通する位置に形成された複数の前記軸嵌合孔が環状配置され、前記軸押し出し工程では、前記載置面上に載置した前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部を前記リプルホルダ収容溝に収容し、前記軸嵌合孔に嵌合され前記トップリング本体から前記リプルホルダ収容溝に突出する前記係止軸を前記前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部上に複数配置した状態で前記トップリング本体を前記治具本体に向かって押圧しても良い。
本発明の幾つかの実施形態によれば、載置面に載置したトップリング用係止軸抜き治具の突き出し用突部上にトップリング本体から突出する係止軸を配置し、トップリング本体をトップリング用係止軸抜き治具に向かって押圧するだけで、トップリング本体からの係止軸の取り出し(抜去)を簡単に短時間で行なえる。
また、トップリング本体に複数環状配置された係止軸に対応して、トップリング用係止軸抜き治具の突き出し用突部の湾曲半径を各係止軸に当接可能に選択することで、トップリング本体に設けられている複数の係止軸のトップリング本体からの抜き去りを効率良く行える。
また、トップリング本体に複数環状配置された係止軸に対応して、トップリング用係止軸抜き治具の突き出し用突部の湾曲半径を各係止軸に当接可能に選択することで、トップリング本体に設けられている複数の係止軸のトップリング本体からの抜き去りを効率良く行える。
以下、本発明の幾つかの実施形態のトップリング用係止軸抜き治具、軸抜き治具ユニット、トップリング用係止軸の抜去方法について、図面を参照して説明する。
ここで説明するトップリング用係止軸抜き治具(以下、軸抜き治具、とも言う)、軸抜き治具ユニット、トップリング用係止軸の抜去方法は、半導体ウェハ等の基板を研磨する研磨装置に用いられるトップリング50(図6参照)のトップリング本体52から係止軸54を取り出す(抜き去る)作業に適用されるものである。
ここで説明するトップリング用係止軸抜き治具(以下、軸抜き治具、とも言う)、軸抜き治具ユニット、トップリング用係止軸の抜去方法は、半導体ウェハ等の基板を研磨する研磨装置に用いられるトップリング50(図6参照)のトップリング本体52から係止軸54を取り出す(抜き去る)作業に適用されるものである。
図1(a)、(b)は軸抜き治具の一例(第1実施形態)を示す。
図1(a)、(b)に示す軸抜き治具10は、リング板状の治具本体11と、治具本体11の片面(おもて面11a)側に突出され治具本体11周方向に沿って湾曲延在する突き出し用突部12とを有する。
また、軸抜き治具10は、突き出し用突部12からその湾曲外周側に突出する取っ手部13も有している。取っ手部13は、治具本体11周方向に沿ってリング状に延在する突き出し用突部12の全周にわたってその湾曲外周側に突出形成されている。
図1(a)、(b)に示す軸抜き治具10は、リング板状の治具本体11と、治具本体11の片面(おもて面11a)側に突出され治具本体11周方向に沿って湾曲延在する突き出し用突部12とを有する。
また、軸抜き治具10は、突き出し用突部12からその湾曲外周側に突出する取っ手部13も有している。取っ手部13は、治具本体11周方向に沿ってリング状に延在する突き出し用突部12の全周にわたってその湾曲外周側に突出形成されている。
図2(a)、(b)に示す軸抜き治具の他の例(第2実施形態)を示す。
図2(a)、(b)に示す軸抜き治具20は、円板状の治具本体21と、治具本体21の片面(おもて面21a)側に突出され治具本体21周方向に沿って湾曲延在する突き出し用突部22とを有する。
また、軸抜き治具20は、突き出し用突部22からその湾曲外周側に突出する当接突部23も有している。当接突部23は、治具本体21周方向に沿ってリング状に延在する突き出し用突部22の周方向全周にわたってその湾曲外周側に突出形成されている。
図2(a)、(b)に示す軸抜き治具20は、円板状の治具本体21と、治具本体21の片面(おもて面21a)側に突出され治具本体21周方向に沿って湾曲延在する突き出し用突部22とを有する。
また、軸抜き治具20は、突き出し用突部22からその湾曲外周側に突出する当接突部23も有している。当接突部23は、治具本体21周方向に沿ってリング状に延在する突き出し用突部22の周方向全周にわたってその湾曲外周側に突出形成されている。
図1(a)、(b)、図2(a)、(b)の軸抜き治具10、20は、それぞれプラスチック製の一体成形品である。
但し、軸抜き治具10、20は、プラスチック製一体成形品に限定されず、複数部材によって組み立てた構成も採用可能である。
但し、軸抜き治具10、20は、プラスチック製一体成形品に限定されず、複数部材によって組み立てた構成も採用可能である。
図1(a)、(b)の軸抜き治具10と図2(a)、(b)の軸抜き治具20とは、図3、図5に示すように、図1(a)、(b)の軸抜き治具10(以下、第1治具、とも言う)の湾曲内周側に図2(a)、(b)の軸抜き治具20(以下、第2治具、とも言う)を脱着可能に嵌合した構造の軸抜き治具ユニット30を構成する。
図3、図5に示すように、第2治具20の治具本体21の外径は、第1治具10の治具本体11の内径に揃えられている。第2治具20の治具本体21は第1治具10の治具本体11の内側に脱着可能に嵌合させることができる。
第2治具20は、その治具本体21を第1治具10の治具本体11の内側に嵌め込み、当接突部22を第1治具10の治具本体11の内周端部のおもて面11aに当接させて、第1治具10の内側に第1治具10に対して脱着可能に設けられる。
第2治具20は、その治具本体21を第1治具10の治具本体11の内側に嵌め込み、当接突部22を第1治具10の治具本体11の内周端部のおもて面11aに当接させて、第1治具10の内側に第1治具10に対して脱着可能に設けられる。
第2治具20は、その治具本体21だけでなく当接突部22も第1治具10の治具本体11の内周端部に当接させることで、第1治具10に対する嵌合位置を安定させることができる。
その結果、軸抜き治具ユニット30は、第1治具10の内側に第2治具20が嵌合した状態を保ったまま搬送するといったことも容易となる。
また、軸抜き治具ユニット30は、軸抜き治具10、20を互いに分離した状態で収納ケース等に収納する場合に比べて、軸抜き治具10、20の収納スペースの縮小に有効に寄与する。
その結果、軸抜き治具ユニット30は、第1治具10の内側に第2治具20が嵌合した状態を保ったまま搬送するといったことも容易となる。
また、軸抜き治具ユニット30は、軸抜き治具10、20を互いに分離した状態で収納ケース等に収納する場合に比べて、軸抜き治具10、20の収納スペースの縮小に有効に寄与する。
第1治具10及び第2治具20は、例えば図3、図5に示すように、支持台等に形成された載置面91上に治具本体11、21を載置して、研磨装置のトップリング本体51からの係止軸54の取り出し(抜き去り)作業に利用できる。
治具本体11、21は、突き出し用突部21、22が突設されているおもて面11a、21aとは反対の底面11b、21bを載置面91に当接させて載置面91上に載置される。
治具本体11、21は、突き出し用突部21、22が突設されているおもて面11a、21aとは反対の底面11b、21bを載置面91に当接させて載置面91上に載置される。
次に、本発明に係る実施形態のトップリング用係止軸抜き治具、トップリング用係止軸の抜去方法を適用するトップリングの一例について説明する。
ここで説明するトップリングは、半導体ウェハ等の基板を研磨する研磨装置に用いられて、基板を保持しつつ、研磨テーブルに設けられた研磨パッドが形成する研磨面に押圧するものである。研磨装置は、研磨テーブルとトップリングとを相対運動させることにより基板を研磨面に摺接させ、基板表面を平坦かつ鏡面に研磨する。
ここで説明するトップリングは、半導体ウェハ等の基板を研磨する研磨装置に用いられて、基板を保持しつつ、研磨テーブルに設けられた研磨パッドが形成する研磨面に押圧するものである。研磨装置は、研磨テーブルとトップリングとを相対運動させることにより基板を研磨面に摺接させ、基板表面を平坦かつ鏡面に研磨する。
図6に示すように、トップリング50は、基板を研磨面に押圧するための弾性膜51と、弾性膜51を保持するトップリング本体52とを有する。
また、トップリング50は、弾性膜51に突出形成されたリプル部51bをトップリング本体52との間に挟み込むリプルホルダ53と、リプルホルダ53に係合突片54bを係合させてリプルホルダ53をトップリング本体52に保持する係止軸54とを有する。
リプルホルダ53は、係止軸54の係合突片54bとの係合により、弾性膜51のリプル部51bをトップリング本体52との間に挟み込んで固定した状態を維持する。
また、トップリング50は、弾性膜51に突出形成されたリプル部51bをトップリング本体52との間に挟み込むリプルホルダ53と、リプルホルダ53に係合突片54bを係合させてリプルホルダ53をトップリング本体52に保持する係止軸54とを有する。
リプルホルダ53は、係止軸54の係合突片54bとの係合により、弾性膜51のリプル部51bをトップリング本体52との間に挟み込んで固定した状態を維持する。
図3、図6に示すように、係止軸54は、軸本体54aと、軸本体54aのその軸線方向片側の端部の側周から突出する係止突片54bと、軸本体54aの側周に設けられたOリング54cとを有する。
係止軸54の軸本体54a(以下、係止軸本体、とも言う)は、Oリング54cを支持する径大部54dと、径大部54dの軸線方向片端から径大部54dと同軸に突出する径小部54eとを有する。径小部54eは径大部54dに比べて径小に形成されている。
径大部54d及び径小部54eは、それぞれ断面円形で延在する。
係止軸54の軸本体54a(以下、係止軸本体、とも言う)は、Oリング54cを支持する径大部54dと、径大部54dの軸線方向片端から径大部54dと同軸に突出する径小部54eとを有する。径小部54eは径大部54dに比べて径小に形成されている。
径大部54d及び径小部54eは、それぞれ断面円形で延在する。
係止軸54の係止突片54bは、径小部54eの径大部54d(以下、軸本体径大部、とも言う)とは反対側の端部(先端部)の側周から突出形成されている。
図7に例示する係止突片54bは、軸本体54aの径小部54e(以下、軸本体径小部、とも言う)と同心状の部分リング板状に形成されている。係止突片54bの軸本体径小部54e側周と同心状に湾曲する突端面54fは軸本体径大部54dの側周面の延長上に位置する。
係止突片54bの突端面54fは、その湾曲中心から開き角120度程度の範囲に延在している。
図7に例示する係止突片54bは、軸本体54aの径小部54e(以下、軸本体径小部、とも言う)と同心状の部分リング板状に形成されている。係止突片54bの軸本体径小部54e側周と同心状に湾曲する突端面54fは軸本体径大部54dの側周面の延長上に位置する。
係止突片54bの突端面54fは、その湾曲中心から開き角120度程度の範囲に延在している。
但し、図7の係止突片54bは、軸本体径小部54e側周の周方向全周の半分程度の範囲から突出され、軸本体径小部54e側周から突端面54f側へ行くに従って軸本体径小部54e周方向に沿う延在方向の寸法が縮小するように形成されている。
また、図7の係止突片54bの軸本体径小部54e周方向に沿う延在方向両端部は、係止突片54bの延在方向の端から延在方向中央部側に行くにしたがって板厚(軸本体54a軸線方向の寸法)が増大し、軸本体径大部54dに臨む面の軸本体径大部54dからの距離が縮小するテーパ部を形成している。
また、図7の係止突片54bの軸本体径小部54e周方向に沿う延在方向両端部は、係止突片54bの延在方向の端から延在方向中央部側に行くにしたがって板厚(軸本体54a軸線方向の寸法)が増大し、軸本体径大部54dに臨む面の軸本体径大部54dからの距離が縮小するテーパ部を形成している。
係止突片54bは、軸本体径大部54d側周面の仮想延長から外側に突出しない範囲で適宜設計変更可能である。係止突片54bは、軸本体径小部54e側周から軸本体径大部54d側周面の仮想延長に達しない範囲の突出寸法で形成することも可能である。
また、係止突片54bは、軸本体径小部54e側周の周方向の50%未満の範囲から突出された構成、例えば、軸本体径小部54e側周の周方向の10〜40%の範囲から突出された構成、も採用可能である。係止突片54bは、軸本体径小部54e側周の周方向の10〜60%の範囲から突出された構成、を採用可能である。
係止突片54bは、リプルホルダ53に対する離脱状態(係合解除状態)からの係合を円滑にする点で、延在方向両端部に既述のテーパ部を有することが好ましい。但し、係止突片54bは、その延在方向両端部にテーパ部を有していない構成も採用可能である。
図3等において、トップリング本体52は円板状(図8参照)に形成されたプラスチック製部材である。
リプルホルダ53はリング状に形成されている。
トップリング本体52には、リプルホルダ53のホルダ本体53a(後述)を収容するホルダ本体収容凹部52a、リプルホルダ53の軸係合部53b(後述)を収容する軸係合部収容溝52e(リプルホルダ収容溝)、及び係止軸54が嵌合される軸嵌合孔52bが形成されている。
リプルホルダ53はリング状に形成されている。
トップリング本体52には、リプルホルダ53のホルダ本体53a(後述)を収容するホルダ本体収容凹部52a、リプルホルダ53の軸係合部53b(後述)を収容する軸係合部収容溝52e(リプルホルダ収容溝)、及び係止軸54が嵌合される軸嵌合孔52bが形成されている。
図6に示すように、リプルホルダ53は、概略リング板状のホルダ本体53aと、ホルダ本体53aの片面側に突設された軸係合部53b(以下、リプルホルダ軸係合部、とも言う)とを有する。軸係合部53bは、概略リング板状のホルダ本体53aの周方向全周にわたって突設されたリブ状に形成されている。
軸係合部53bには、係止軸54の係合突片54bが挿入される係合溝53cが形成されている。図6において、係合溝53cは具体的には、ホルダ本体53aに沿って湾曲する軸係合部53bの湾曲内周側(図6右側)に形成されている。
軸係合部53bには、係止軸54の係合突片54bが挿入される係合溝53cが形成されている。図6において、係合溝53cは具体的には、ホルダ本体53aに沿って湾曲する軸係合部53bの湾曲内周側(図6右側)に形成されている。
図6に示すように、ホルダ本体収容凹部52aは、トップリング本体52の弾性膜51が配置される底面52c(以下、トップリング本体底面、とも言う)から窪んでトップリング本体52に環状形成されている。
軸係合部収容溝52eは、ホルダ本体収容凹部52aからトップリング本体52のその底面52cとは反対の天面52d(以下、トップリング本体天面、とも言う)側へ窪んでトップリング本体52に環状形成(図8参照)されている。
軸係合部収容溝52eは、ホルダ本体収容凹部52aからトップリング本体52のその底面52cとは反対の天面52d(以下、トップリング本体天面、とも言う)側へ窪んでトップリング本体52に環状形成(図8参照)されている。
図3、図5に示すように、トップリング本体52の軸嵌合孔52bは、軸係合部収容溝52eの側部(溝幅方向の端部)からトップリング本体天面52dにわたってトップリング本体52に貫通形成されている。
軸嵌合孔52bは断面円形でトップリング本体52に延在形成されている。
軸嵌合孔52bは断面円形でトップリング本体52に延在形成されている。
軸嵌合孔52bにおいて、軸係合部収容溝52eよりもトップリング本体天面52d側に位置する部分52b1を、以下、主孔部、または軸嵌合孔主孔部、とも言う。また、軸嵌合孔52bのその主孔部52b1からトップリング本体底面52c側の部分52b2を、以下、奥孔部、あるいは軸嵌合孔奥孔部とも言う。
図3、図5に示すように、軸嵌合孔52bの奥孔部52b2は、軸係合部収容溝52eのその溝幅方向片側(図3、図5では軸係合部収容溝52eの湾曲内周側)に位置する。
軸嵌合孔奥孔部52b2は、その外周の一部を軸線方向全長にわたって軸係合部収容溝52eに開口させて形成されている。
軸嵌合孔奥孔部52b2は、その外周の一部を軸線方向全長にわたって軸係合部収容溝52eに開口させて形成されている。
軸嵌合孔主孔部52b1は、そのトップリング本体底面52c側の端の外周部の一部を軸係合部収容溝52e(図3、図5では軸係合部収容溝52eの湾曲内周側の端部)に開口させて形成されている。
軸嵌合孔52bは、その主孔部52b1及び奥孔部52b2をそれぞれ軸係合部収容溝52eと連通させて形成されている。
軸嵌合孔52bは、その主孔部52b1及び奥孔部52b2をそれぞれ軸係合部収容溝52eと連通させて形成されている。
図8に示すように、軸嵌合孔52bは、トップリング本体52において、軸係合部収容溝52e延在方向(湾曲の周方向)の互いに離隔する複数箇所に形成されている。
トップリング本体52において、軸嵌合孔52bは、軸係合部収容溝52eに沿う複数箇所に形成され、環状に並べて設けられている。
トップリング本体52において、軸嵌合孔52bは、軸係合部収容溝52eに沿う複数箇所に形成され、環状に並べて設けられている。
図6に示すように、係止軸54は、軸本体径大部54dをその側周に装着されたOリング54cとともにトップリング本体52の軸嵌合孔52b(具体的には軸嵌合孔主孔部52b1)に嵌合させ、軸本体径小部54eを軸嵌合孔奥孔部52b2に挿入してトップリング本体52に取り付けられる。
係止軸54の軸本体径大部54d及びOリング54cは、軸嵌合孔52bに嵌合する嵌合体部54gを構成する。
係止軸54の軸本体径大部54d及びOリング54cは、軸嵌合孔52bに嵌合する嵌合体部54gを構成する。
軸嵌合孔52bに嵌合された嵌合体部54gのOリング54cは、軸嵌合孔52b内周面に圧接されて、軸嵌合孔52b内周面との間を密閉封止する。軸嵌合孔52bに嵌合された嵌合体部54gは、軸嵌合孔52bの嵌合体部54gを介してトップリング本体底面52c側とトップリング本体天面52d側との間を気密に仕切る。
係止軸54について、以下、軸本体径小部54e側を先端側、軸本体径大部54d側を基端側として説明する。
図6において、軸嵌合孔52bに挿入された係止軸54は、その先端(軸本体径小部54eの軸本体径大部54dとは反対側の端)を軸嵌合孔52bの孔底面52b0に当接させてトップリング本体52に対して位置決めして設けられている。
図6において、軸嵌合孔52bに挿入された係止軸54は、その先端(軸本体径小部54eの軸本体径大部54dとは反対側の端)を軸嵌合孔52bの孔底面52b0に当接させてトップリング本体52に対して位置決めして設けられている。
図6に示すように、軸嵌合孔52bに挿入状態の係止軸54は、その基端側に形成された工具係合部54hにドライバ、レンチ等の手工具を係合させて軸回り回転させることができる。
図6に例示した工具係合部54hは、係止軸54の基端から窪んで形成された係合凹部である。なお、工具係合部は、係合凹部に限定されず、例えば、係止軸54中心軸線に垂直の断面が六角形、四角形等の突部(係合突部)等であっても良い。
図6に例示した工具係合部54hは、係止軸54の基端から窪んで形成された係合凹部である。なお、工具係合部は、係合凹部に限定されず、例えば、係止軸54中心軸線に垂直の断面が六角形、四角形等の突部(係合突部)等であっても良い。
係止軸54は、軸回り回転させることで、係止突片54bを軸係合部収容溝52eへ出没させることができる。
図6は係止突片54bを軸係合部収容溝52eへ突出させた状態、図3、図5は係止突片54bを軸嵌合孔52b(具体的には軸嵌合孔奥孔部52b2)に収容し軸係合部収容溝52eに突出させていない状態、を示す。
図6は係止突片54bを軸係合部収容溝52eへ突出させた状態、図3、図5は係止突片54bを軸嵌合孔52b(具体的には軸嵌合孔奥孔部52b2)に収容し軸係合部収容溝52eに突出させていない状態、を示す。
図6に示すように、弾性膜51は、トップリング本体底面12cに沿って延在配置される膜本体51aと、膜本体51aからトップリング本体12に対面される側に突出されたリプル部51bとを有する。
トップリング50において、係止軸54は、係止突片54bを、軸係合部収容溝52e内のリプルホルダ軸係合部53bに形成された係合溝53cに挿入することで、リプルホルダ53をトップリング52に保持(係止)し、リプルホルダ53のホルダ本体53aとトップリング本体52との間に弾性膜51のリプル部51bを挟持した状態を維持する。また、その結果、弾性膜51の膜本体51bは、トップリング本体底面12cに沿って延在配置された状態が維持される。
トップリング50において、係止軸54は、係止突片54bを、軸係合部収容溝52e内のリプルホルダ軸係合部53bに形成された係合溝53cに挿入することで、リプルホルダ53をトップリング52に保持(係止)し、リプルホルダ53のホルダ本体53aとトップリング本体52との間に弾性膜51のリプル部51bを挟持した状態を維持する。また、その結果、弾性膜51の膜本体51bは、トップリング本体底面12cに沿って延在配置された状態が維持される。
次に、図6のように組み立てられたトップリング50のトップリング本体52から軸抜き治具を用いて係止軸54を抜き去る方法(トップリング用係止軸の抜去方法)について説明する。
ここで説明するトップリング用係止軸の抜去方法は、まず、トップリング50のトップリング本体52から弾性膜51及びリプルホルダ53を取り外す(弾性膜取り外し工程)。次いで、軸抜き治具を用いてトップリング本体52に対して係止軸54をトップリング本体天面52d側へ押し動かし、トップリング本体天面52d側へ突出させた係止軸54を手指等で把持してトップリング本体52から抜き去る(軸抜き去り工程)。
ここで説明するトップリング用係止軸の抜去方法は、まず、トップリング50のトップリング本体52から弾性膜51及びリプルホルダ53を取り外す(弾性膜取り外し工程)。次いで、軸抜き治具を用いてトップリング本体52に対して係止軸54をトップリング本体天面52d側へ押し動かし、トップリング本体天面52d側へ突出させた係止軸54を手指等で把持してトップリング本体52から抜き去る(軸抜き去り工程)。
弾性膜取り外し工程では、係止軸54を軸回り回転させ、係止突片54bをリプルホルダ軸係合部53bの係合溝53cから抜き出し、係止軸54のリプルホルダ53に対する係合を解除し、トップリング本体52から弾性膜51及びリプルホルダ53を取り外す。
係止軸54の係止突片54bは、係止軸54の軸回り回転によって、その全体を軸嵌合孔52b(具体的には奥孔部52b2)内に配置させ、軸係合部収容溝52eへの突出を解消する。
係止軸54の係止突片54bは、係止軸54の軸回り回転によって、その全体を軸嵌合孔52b(具体的には奥孔部52b2)内に配置させ、軸係合部収容溝52eへの突出を解消する。
軸抜き去り工程では、まず、図3に示すように、支持台等に形成された載置面91に治具本体を当接して載置した軸抜き治具上にトップリング本体52を載置する(重ねる)。このとき、係止軸本体54aのトップリング本体52の軸係合部収容溝52eに突出した部分を軸抜き治具の突き出し用突部上に載置し当接させる。そして、図4に示すように、トップリング本体52を下方へ押圧して、係止軸54をトップリング本体52に対してトップリング本体天面52d側へ押し動かしトップリング本体天面52d側へ突出させる(軸押し出し工程)。次いで、係止軸54のトップリング本体天面52d側へ突出させた部分を手指等で把持して係止軸54をトップリング本体52から抜き去る。
図3、図8に例示するトップリング本体52には、2本の軸係合部収容溝52eが互い同心状に形成されている。
図3、図5は、第1治具10内側に第2治具20を嵌合した構成の軸抜き治具ユニット30を使用した軸押し出し工程を説明する図である。
図3に示すように、第1治具10及び第2治具20のそれぞれの突き出し用突部12、22間の間隔は、トップリング本体52の2本の軸係合部収容溝52e間の間隔に対応している。図3において軸抜き治具ユニット30は載置面91上に載置されている。
図3、図5は、第1治具10内側に第2治具20を嵌合した構成の軸抜き治具ユニット30を使用した軸押し出し工程を説明する図である。
図3に示すように、第1治具10及び第2治具20のそれぞれの突き出し用突部12、22間の間隔は、トップリング本体52の2本の軸係合部収容溝52e間の間隔に対応している。図3において軸抜き治具ユニット30は載置面91上に載置されている。
トップリング本体52はその底面52cを軸抜き治具ユニット30に対面させた向きで下降させて軸抜き治具ユニット30上に載置する(重ねる)。この際、トップリング本体52は、下降によって、軸抜き治具ユニット30の2つの突き出し用突部12、22を、2本の軸係合部収容溝52eにそれぞれに対応するホルダ本体収容凹部52aを介して挿入させ、係止軸本体54aの各軸係合部収容溝52eに突出した部分を突き出し用突部12、22上に載置する。そして、トップリング本体52を下方へ押圧して、係止軸54をトップリング本体52に対してトップリング本体天面52d側へ押し動かしトップリング本体天面52d側へ突出させる(軸押し出し工程。図5参照)。
トップリング本体52を下方へ押圧して、係止軸54をトップリング本体52に対してトップリング本体天面52d側へ押し動かしトップリング本体天面52d側へ突出させる軸押し出し工程は、例えば、トップリング本体52に複数設けられた係止軸54について1本ずつ行う。但し、軸押し出し工程は、複数の係止軸54について同時に行なっても良い。
軸押し出し工程を完了した係止軸54は、トップリング本体天面52d側へ突出させた部分を手指等で把持してトップリング本体52から抜き去る。
軸押し出し工程を完了した係止軸54は、トップリング本体天面52d側へ突出させた部分を手指等で把持してトップリング本体52から抜き去る。
第1治具10及び第2治具20は、軸抜き治具ユニット30の形態で使用することに限定されず、それぞれ単独で軸押し出し工程に使用することができる。
第1治具10は、例えば、作業者が手指で、第1治具10の取っ手部13とトップリング本体52外周部とを一括把持して、係止軸本体54aの軸係合部収容溝52eに突出した部分を突き出し用突部12によって押圧し、軸押し出し工程を実施することも可能である。
第1治具10は、例えば、作業者が手指で、第1治具10の取っ手部13とトップリング本体52外周部とを一括把持して、係止軸本体54aの軸係合部収容溝52eに突出した部分を突き出し用突部12によって押圧し、軸押し出し工程を実施することも可能である。
軸抜き治具を用いてトップリング本体52から係止軸54を抜き去る抜去方法は、軸抜き治具の突き出し用突部を利用して、係止軸本体54aの軸係合部収容溝52eに突出した部分を押圧するだけで、係止軸54を楽にトップリング本体天面52d側へ押し動かすことができる。係止軸54は、軸押し出し工程によってトップリング本体天面52d側へ突出されることで、トップリング本体52の軸嵌合孔52b内面との接触部分が減少するため、軸嵌合孔52bからの抜き去りを手指等によって行なうことが容易である。
したがい、軸抜き治具を用いてトップリング本体52から係止軸54を抜き去る抜去方法は、従来に比べて、トップリング本体から係止軸の抜き去りを容易に行なえ、その作業性を向上できる。
したがい、軸抜き治具を用いてトップリング本体52から係止軸54を抜き去る抜去方法は、従来に比べて、トップリング本体から係止軸の抜き去りを容易に行なえ、その作業性を向上できる。
また、軸抜き治具を用いてトップリング本体52から係止軸54を抜き去る抜去方法は、軸抜き治具にトップリング本体52を重ねた状態のまま、トップリング本体52に取り付けられている複数の係止軸54のそれぞれについて軸押し出し工程を行なえるため、複数本の係止軸54の抜き去りを短時間で効率良く行える。
また、軸抜き治具を用いてトップリング本体52から係止軸54を抜き去る抜去方法は、軸抜き治具の突き出し用突部をトップリング本体の軸係合部収容溝52eに挿入したまま複数の係止軸54について軸押し出し工程を行なえる。このため、軸抜き治具に対するトップリング本体52の位置ずれを防ぐことができ、複数本の係止軸54の抜き去りの作業性を向上できる。
また、軸抜き治具を用いてトップリング本体52から係止軸54を抜き去る抜去方法は、軸抜き治具の突き出し用突部をトップリング本体の軸係合部収容溝52eに挿入したまま複数の係止軸54について軸押し出し工程を行なえる。このため、軸抜き治具に対するトップリング本体52の位置ずれを防ぐことができ、複数本の係止軸54の抜き去りの作業性を向上できる。
軸抜き治具ユニット30を用いてトップリング本体52から係止軸54を抜き去る抜去方法は、軸抜き治具ユニット30の各軸抜き治具の突き出し用突部をトップリング本体の複数の軸係合部収容溝52eに挿入して軸押し出し工程を行なうので、軸抜き治具に対するトップリング本体52の位置ずれをより確実に防ぐことができる。
軸抜き治具ユニットは、軸抜き治具ユニットを構成する各軸抜き治具の突き出し用突部間の間隔をトップリング本体の複数の軸係合部収容溝52e間の間隔に対応させるべく、治具本体に対する突き出し用突部の形成位置(治具本体外周の湾曲半径方向における形成位置)等が互いに異なる軸抜き治具を選択使用することが可能である。
軸抜き治具ユニットは、軸抜き治具ユニットを構成する各軸抜き治具の突き出し用突部間の間隔をトップリング本体の複数の軸係合部収容溝52e間の間隔に対応させるべく、治具本体に対する突き出し用突部の形成位置(治具本体外周の湾曲半径方向における形成位置)等が互いに異なる軸抜き治具を選択使用することが可能である。
トップリング本体は、軸係合部収容溝52eが2本形成された構成(図8等参照)に限定されず、軸係合部収容溝52eが1本又は3本以上形成された構成もであっても良い。
軸抜き治具ユニットは、例えば、軸係合部収容溝52eが3本以上形成されたトップリング本体に対して、突き出し用突部を1つのみ有する軸抜き治具をトップリング本体の軸係合部収容溝52eの数と同数使用して構成することが可能である。このとき、軸抜き治具ユニットは、互いに隣り合う軸抜き治具の一方の治具本体の内側に他方の軸抜き治具の治具本体を嵌合させて3以上の軸抜き治具を用いて構成される。
軸抜き治具ユニットは、例えば、軸係合部収容溝52eが3本以上形成されたトップリング本体に対して、突き出し用突部を1つのみ有する軸抜き治具をトップリング本体の軸係合部収容溝52eの数と同数使用して構成することが可能である。このとき、軸抜き治具ユニットは、互いに隣り合う軸抜き治具の一方の治具本体の内側に他方の軸抜き治具の治具本体を嵌合させて3以上の軸抜き治具を用いて構成される。
軸抜き治具は、突き出し用突部を1つのみ有する構成に限定されず、例えば図9に示す軸抜き治具40のように、円板状の治具本体41外周の湾曲半径方向の複数箇所に突き出し用突部42を有する構成も採用可能である。
図9の軸抜き治具40は、複数の突き出し用突部42のうち、治具本体41外周の湾曲半径方向において最も外側に位置する突き出し用突部42(最外周突き出し用突部42A)から最外周突き出し用突部42Aの湾曲外周側に突出する取っ手部13を有する。
図9の軸抜き治具40は、複数の突き出し用突部42のうち、治具本体41外周の湾曲半径方向において最も外側に位置する突き出し用突部42(最外周突き出し用突部42A)から最外周突き出し用突部42Aの湾曲外周側に突出する取っ手部13を有する。
なお、図1(a)、(b)等に示すように、突き出し用突部を1つだけ有する軸抜き治具については、この軸抜き治具の突き出し用突部自体が最外周突き出し用突部である。
以上、本発明を最良の形態に基づいて説明してきたが、本発明は上述の最良の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
例えば軸抜き治具の治具本体はリング板状、円板状に限定されない。例えば図10に示すように、治具本体111は、180度よりも大きく360度未満の中心角θを以て湾曲延在する部分リング板状であっても良い。
図10(a)、(b)は、図1(a)、(b)に例示した軸抜き治具10について、その治具本体11の湾曲周方向の一部を切り欠いた構成の軸抜き治具110を示す。図10(a)、(b)の軸抜き治具110は、治具本体111にその湾曲周方向全長にわたってリブ状に突出する突き出し用突部112を有する構成である。但し、突き出し用突部112は、180度よりも大きい中心角θを以て湾曲延在する部分リング状である。
なお、取っ手部には図中符号113を付記した。
例えば軸抜き治具の治具本体はリング板状、円板状に限定されない。例えば図10に示すように、治具本体111は、180度よりも大きく360度未満の中心角θを以て湾曲延在する部分リング板状であっても良い。
図10(a)、(b)は、図1(a)、(b)に例示した軸抜き治具10について、その治具本体11の湾曲周方向の一部を切り欠いた構成の軸抜き治具110を示す。図10(a)、(b)の軸抜き治具110は、治具本体111にその湾曲周方向全長にわたってリブ状に突出する突き出し用突部112を有する構成である。但し、突き出し用突部112は、180度よりも大きい中心角θを以て湾曲延在する部分リング状である。
なお、取っ手部には図中符号113を付記した。
軸抜き治具は、180度よりも大きい中心角θを以て延在する部分円板状の治具本体も採用可能である。本発明に係る実施形態の軸抜き治具の治具本体はリング板状、円板状、部分リング板状、部分円板状のいずれの構成も採用可能である。
なお、リング板状、部分リング板状の治具本体は、湾曲半径方向の幅寸法を以て、湾曲中心から180度よりも大きい中心角θを以て延在する板状の治具本体を指す。
なお、リング板状、部分リング板状の治具本体は、湾曲半径方向の幅寸法を以て、湾曲中心から180度よりも大きい中心角θを以て延在する板状の治具本体を指す。
但し、軸抜き治具は、180度よりも大きい中心角θを以て湾曲延在する部分リング状の突き出し突部を確保した構成を採用する。
180度よりも大きい中心角θを以て延在する突き出し用突部を有する軸抜き治具は、突き出し用突部が中心角が180度以下の範囲で延在形成された軸抜き治具に比べて、トップリング本体の軸係合部収容溝に突き出し用突部を挿入したときのトップリング本体に対する位置決め安定性を向上できる。
180度よりも大きい中心角θを以て延在する突き出し用突部を有する軸抜き治具は、突き出し用突部が中心角が180度以下の範囲で延在形成された軸抜き治具に比べて、トップリング本体の軸係合部収容溝に突き出し用突部を挿入したときのトップリング本体に対する位置決め安定性を向上できる。
1A…治具本体、10…トップリング用係止軸抜き治具、第1治具、11…治具本体、12…突き出し用突部、13…取っ手部、20…トップリング用係止軸抜き治具、第2治具、21…治具本体、22…突き出し用突部、30…軸抜き治具ユニット、40…トップリング用係止軸抜き治具、41…治具本体、42…突き出し用突部、42A…最外周突き出し用突部、50…トップリング、51…弾性膜、51a…膜本体、51b…リプル部、52…トップリング本体、52a…ホルダ本体収容凹部、52b…軸嵌合孔、52c…(トップリング本体の)底面、52d…(トップリング本体の)天面、52e…リプルホルダ収容溝(軸係合部収容溝)、53…リプルホルダ、53a…ホルダ本体、53b…軸係合部、53c…係合溝、54…係止軸、54a…軸本体、54b…係止突片、54c…Oリング、110…トップリング用係止軸抜き治具、111…治具本体、112…突き出し用突部、113…取っ手部。
Claims (6)
- 基板を研磨面に押圧するための弾性膜をトップリング本体に保持する係止軸を前記係止軸が複数環状配置された前記トップリング本体から抜き去る作業に使用可能な治具であって、
リング板状、円板状、180度よりも大きい中心角を以て延在する部分リング板状または部分円板状、のいずれか1つである治具本体と、前記治具本体の片面側に突出され前記治具本体に沿って湾曲延在し、前記トップリング本体に形成された軸嵌合孔に嵌合された前記係止軸を前記トップリング本体の前記弾性膜が設けられる底面側から押圧するための突き出し用突部とを有することを特徴とするトップリング用係止軸抜き治具。 - 前記突き出し用突部を複数有し、複数の前記突き出し用突部は同心状に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のトップリング用係止軸抜き治具。
- 前記突き出し用突部のうち前記治具本体の湾曲半径方向において最も外側に位置する突き出し用突部である最外周突き出し用突部からその湾曲外周側に突出する取っ手部をさらに有すること特徴とする請求項1または2に記載のトップリング用係止軸抜き治具。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載のトップリング用係止軸抜き治具である第1治具と、請求項1〜3のいずれか1項に記載のトップリング用係止軸抜き治具であり前記治具本体を前記第1治具の前記治具本体の湾曲内周側に脱着可能に嵌合させて設けられる第2治具とを有することを特徴とする軸抜き治具ユニット。
- 基板を研磨面に押圧するための弾性膜と、前記弾性膜が取り付けられるトップリング本体と、前記弾性膜の片面側に突出形成されたリプル部を前記トップリング本体との間に挟み込むリプルホルダと、前記リプルホルダに係合することで前記リプルホルダを前記トップリング本体との間に挟み込んだ前記リプル部とともに前記トップリングに固定する係止軸とを有し、前記係止軸は、前記トップリング本体を貫通する軸嵌合孔に嵌合された軸本体と、前記軸本体の側周に突出され前記軸本体の軸回り回転により前記リプルホルダに対する係脱を切り換える係止突片とを有するトップリングについて、前記トップリング本体から前記係止軸を抜き去る方法であって、
前記係止軸の前記軸本体を軸回り回転させて前記係止突片の前記リプルホルダに対する係合を解除し、前記弾性膜及び前記リプルホルダを前記トップリング本体から取り外す弾性膜取り外し工程と、
弾性膜取り外し工程の後、請求項1〜4のいずれか1項に記載のトップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部によって、前記トップリング本体の前記弾性膜が設けられる底面側に突出した前記係止軸を押圧して前記係止軸を前記トップリング本体に対してその前記底面とは反対の天面側へ押し動かす軸押し出し工程とを有し、
前記軸押し出し工程では、前記トップリング本体に環状配置された複数の前記係止軸を前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部上に配置した状態で、前記トップリング本体を前記治具本体に向かって押圧して前記係止軸を前記トップリング本体に対してその天面側へ押し動かすことを特徴とするトップリング用係止軸の抜去方法。 - 前記トップリング本体には、リング状の前記リプルホルダを収容するリプルホルダ収容溝が前記底面から窪んで環状形成され、かつ前記リプルホルダ収容溝に連通する位置に形成された複数の前記軸嵌合孔が環状配置され、
前記軸押し出し工程では、前記載置面上に載置した前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部を前記リプルホルダ収容溝に収容し、前記軸嵌合孔に嵌合され前記トップリング本体から前記リプルホルダ収容溝に突出する前記係止軸を前記前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部上に複数配置した状態で前記トップリング本体を前記治具本体に向かって押圧することを特徴とする請求項5に記載のトップリング用係止軸の抜去方法。
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016224429A Pending JP2018079547A (ja) | 2016-11-17 | 2016-11-17 | トップリング用係止軸抜き治具、軸抜き治具ユニット、トップリング用係止軸の抜去方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018079547A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112164929A (zh) * | 2020-09-14 | 2021-01-01 | 扬州船用电子仪器研究所(中国船舶重工集团公司第七二三研究所) | 一种和机箱配合使用的插件助插拔器 |
-
2016
- 2016-11-17 JP JP2016224429A patent/JP2018079547A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112164929A (zh) * | 2020-09-14 | 2021-01-01 | 扬州船用电子仪器研究所(中国船舶重工集团公司第七二三研究所) | 一种和机箱配合使用的插件助插拔器 |
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