JP2018079547A - トップリング用係止軸抜き治具、軸抜き治具ユニット、トップリング用係止軸の抜去方法 - Google Patents

Abstract

【課題】トップリング本体からの係止軸の取り出し（抜去）を簡単に短時間で行なえる技術の提供。【解決手段】リング板状の治具本体１１、２１と、治具本体１１、２１の片面側に治具本体に沿って湾曲延在し、トップリング本体５２の軸嵌合孔５２ｂに嵌合された係止軸５４を押圧する突き出し用突部１２、２２とを有するトップリング用係止軸抜き治具１０、２０、この治具を用いた軸抜き治具ユニット３０、トップリング用係止軸の抜去方法を提供する。【選択図】図３

Description

本発明は、ウェハ等の基板を研磨する研磨装置に用いられるトップリングにおいて、基板を研磨面に押圧するための弾性膜をトップリング本体に保持するトップリング用係止軸をトップリング本体から抜き去る作業に利用可能なトップリング用係止軸抜き治具、それを用いた軸抜き治具ユニット、トップリング用係止軸の抜去方法に関する。

近年、半導体デバイスの高集積化が進むにつれて回路の配線が微細化し、配線間距離もより狭くなりつつある。特に線幅が０．５μｍ以下の光リソグラフィの場合、焦点深度が浅くなるためステッパーの結像面の平坦度を必要とする。このような半導体ウェハの表面を平坦化する一手段として、化学機械的研磨（Chemical Mechanical Polishing:ＣＭＰ）を行う研磨装置が知られている。

この種の研磨装置は、研磨パッドからなる研磨面を有する研磨テーブルと、研磨対象物としての半導体ウェハを保持するためのトップリングとを備えている。このような研磨装置を用いて半導体ウェハの研磨を行う場合には、トップリングにより半導体ウェハを保持しつつ、この半導体ウェハを研磨テーブルに対して所定の圧力で押圧する。このとき、研磨テーブルとトップリングとを相対運動させることにより半導体ウェハが研磨面に摺接し、半導体ウェハの表面が平坦かつ鏡面に研磨される。

トップリングは、基板を研磨面に押圧するための弾性膜と、弾性膜を保持するトップリング本体とを有する。また、トップリングは、弾性膜に突出形成されたリプル部をトップリング本体との間に挟み込むリプルホルダと、リプルホルダに係止突片を係合させてリプルホルダをトップリング本体に保持する係止軸とを有するものが提案されている（例えば特許文献１、２）。係止軸の係止突片を係合させたリプルホルダは、トップリング本体との間に弾性膜のリプル部を挟持固定することで弾性膜をトップリング本体に保持する。

トップリング本体には、弾性膜が配置される底面から窪むリプルホルダ収容凹所と、リプルホルダ収容凹所の側部からトップリング本体底面とは反対の天面にわたって延在する係止軸嵌合孔とが形成されている。係止軸は、係止軸嵌合孔に嵌合された軸本体と、軸本体の側周から突出する係止突片とを有する。係止軸は、リプルホルダ収容凹所に収容されたリプルホルダに係止突片を係合させることで、弾性膜のリプル部をリプルホルダとトップリング本体との間に挟持した状態を維持する。
トップリング本体に保持された弾性膜及びリプルホルダは、係止軸を軸回り回転させて係止突片のリプルホルダに対する係合を解除することでトップリング本体から取り外すことができる。

特開２００６−１２８５８２号公報

ところで、研磨中のウェハと研磨パッドの研磨面との間の相対的な押圧力がウェハの全面に亘って均一でない場合には、ウェハの各部分に与えられる押圧力に応じて研磨不足や過研磨が生じてしまう。そこで、ウェハに対する押圧力を均一化するために、トップリング本体とその下側の弾性膜との間に空気などの流体が供給される圧力室を確保し、この圧力室に供給される流体圧により弾性膜を介してウェハを押圧することが行われている。
このため、圧力室からの流体の漏出を防ぐべく、係止軸の軸本体側周には係止軸嵌合孔内周面との間を気密に封止するＯリングが設けられている。係止軸はＯリングを含む。

係止軸の軸本体側周のＯリングの劣化や損傷は、圧力室の内圧低下、それに起因する研磨品質（精度）の低下の原因の１つになる。
このため、弾性膜を交換等のためにトップリング本体から取り外す際に、係止軸をトップリング本体から取り出し、Ｏリングの状態を確認することも行なわれている。

係止軸のトップリング本体から取り出しは、従来、係止軸をレンチ等の手工具を用いて軸回り回転させながら手指でトップリング本体底面側から押圧して係止軸嵌合孔から押し出している。しかしながら、係止軸は、係止軸嵌合孔内周面にＯリングを圧接させて係止軸嵌合孔に強固に嵌合している。このため、係止軸のトップリング本体からの取り出しは労力を要し、作業性が悪かった。また、トップリング本体の複数箇所に設けられた係止軸をひとつずつ手作業で回転させながら係止軸嵌合孔から押し出すのでは、全ての係止軸の取り出しに時間が掛かる。

本発明の幾つかの実施形態が解決しようとする課題は、トップリング本体からの係止軸の取り出し（抜去）を簡単に短時間で行なうためのトップリング用係止軸抜き治具、軸抜き治具ユニット、トップリング用係止軸の抜去方法を提供することである。

（１）本発明の一態様に係るトップリング用係止軸抜き治具は、基板を研磨面に押圧するための弾性膜をトップリング本体に保持する係止軸を前記係止軸が複数環状配置された前記トップリング本体から抜き去る作業に使用可能な治具であって、リング板状、円板状、１８０度よりも大きい中心角を以て延在する部分リング板状または部分円板状、のいずれか１つである治具本体と、前記治具本体の片面側に突出され前記治具本体に沿って湾曲延在し、前記トップリング本体に形成された軸嵌合孔に嵌合された前記係止軸を前記トップリング本体の前記弾性膜が設けられる底面側から押圧するための突き出し用突部とを有する。

（２）上記（１）に記載されたトップリング用係止軸抜き治具であって、前記突き出し用突部を複数有し、複数の前記突き出し用突部は同心状に配置されていても良い。
（３）上記（１）または（２）に記載されたトップリング用係止軸抜き治具であって、前記突き出し用突部のうち前記治具本体の湾曲半径方向において最も外周側に位置する突き出し用突部である最外周突き出し用突部からその湾曲外周側に突出する取っ手部をさらに有していても良い。

（４）本発明の一態様に係る軸抜き治具ユニットは、上記（１）〜（３）のいずれか１つに記載されたトップリング用係止軸抜き治具である第１治具と、上記（１）〜（３）のいずれか１つに記載されたトップリング用係止軸抜き治具であり前記治具本体を前記第１治具の前記治具本体の湾曲内周側に脱着可能に嵌合させて設けられる第２治具とを有する。

（５）本発明の一態様に係るトップリング用係止軸の抜去方法は、基板を研磨面に押圧するための弾性膜と、前記弾性膜が取り付けられるトップリング本体と、前記弾性膜の片面側に突出形成されたリプル部を前記トップリング本体との間に挟み込むリプルホルダと、前記リプルホルダに係合することで前記リプルホルダを前記トップリング本体との間に挟み込んだ前記リプル部とともに前記トップリングに固定する係止軸とを有し、前記係止軸は、前記トップリング本体を貫通する軸嵌合孔に嵌合された軸本体と、前記軸本体の側周に突出され前記軸本体の軸回り回転により前記リプルホルダに対する係脱を切り換える係止突片とを有するトップリングについて、前記トップリング本体から前記係止軸を抜き去る方法であって、前記係止軸の前記軸本体を軸回り回転させて前記係止突片の前記リプルホルダに対する係合を解除し、前記弾性膜及び前記リプルホルダを前記トップリング本体から取り外す弾性膜取り外し工程と、弾性膜取り外し工程の後、上記（１）〜（４）のいずれか１つに記載されたトップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部によって、前記トップリング本体の前記弾性膜が設けられる底面側に突出した前記係止軸を押圧して前記係止軸を前記トップリング本体に対してその前記底面とは反対の天面側へ押し動かす軸押し出し工程とを有し、前記軸押し出し工程では、前記トップリング本体に環状配置された複数の前記係止軸を前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部上に配置した状態で、前記トップリング本体を前記治具本体に向かって押圧して前記係止軸を前記トップリング本体に対してその天面側へ押し動かす。
（６）上記（５）に記載されたトップリング用係止軸の抜去方法であって、前記トップリング本体には、リング状の前記リプルホルダを収容するリプルホルダ収容溝が前記底面から窪んで環状形成され、かつ前記リプルホルダ収容溝に連通する位置に形成された複数の前記軸嵌合孔が環状配置され、前記軸押し出し工程では、前記載置面上に載置した前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部を前記リプルホルダ収容溝に収容し、前記軸嵌合孔に嵌合され前記トップリング本体から前記リプルホルダ収容溝に突出する前記係止軸を前記前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部上に複数配置した状態で前記トップリング本体を前記治具本体に向かって押圧しても良い。

本発明の幾つかの実施形態によれば、載置面に載置したトップリング用係止軸抜き治具の突き出し用突部上にトップリング本体から突出する係止軸を配置し、トップリング本体をトップリング用係止軸抜き治具に向かって押圧するだけで、トップリング本体からの係止軸の取り出し（抜去）を簡単に短時間で行なえる。
また、トップリング本体に複数環状配置された係止軸に対応して、トップリング用係止軸抜き治具の突き出し用突部の湾曲半径を各係止軸に当接可能に選択することで、トップリング本体に設けられている複数の係止軸のトップリング本体からの抜き去りを効率良く行える。

本発明に係るトップリング用係止軸抜き治具の第１実施形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線矢視断面図である。 本発明に係るトップリング用係止軸抜き治具の第２実施形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線矢視断面図である。 本発明の１実施形態に係る軸抜き治具ユニット及びそれを用いたトップリング用係止軸の抜去方法を説明する図であり、トップリング本体の係止軸を軸抜き治具ユニットの突き出し用突部上に載置し当接させた状態を示す部分正断面図である。 図３の状態のトップリング本体を下方に押圧する軸押し出し工程を説明する部分破断斜視図である。 本発明の１実施形態に係る軸抜き治具ユニット及びそれを用いたトップリング用係止軸の抜去方法を説明する図であり、軸抜き治具ユニットの突き出し用突部に当接させた係止軸をトップリング本体天面側に移動させた状態を示す部分正断面図である。 トップリング本体に弾性膜及びリプルホルダを装着して組み立てられたトップリングのリプルホルダ及び係止軸の付近の構造を示す部分正断面図である。 図６の係止軸の構造を示す図であって、係止軸の軸本体（具体的には径小部）の途中部から係止突片側を見た構造を示す部分断面平面図である。 図６のトップリング本体における軸嵌合孔の形成位置を示す平面図である。 突き出し用突部を複数有するトップリング用係止軸抜き治具の例を示す部分正断面図である。 部分リング板状の治具本体を有するトップリング用係止軸抜き治具の例を示す平面図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は図１０（ａ）のＣ−Ｃ線矢視断面図である。

以下、本発明の幾つかの実施形態のトップリング用係止軸抜き治具、軸抜き治具ユニット、トップリング用係止軸の抜去方法について、図面を参照して説明する。
ここで説明するトップリング用係止軸抜き治具（以下、軸抜き治具、とも言う）、軸抜き治具ユニット、トップリング用係止軸の抜去方法は、半導体ウェハ等の基板を研磨する研磨装置に用いられるトップリング５０（図６参照）のトップリング本体５２から係止軸５４を取り出す（抜き去る）作業に適用されるものである。

図１（ａ）、（ｂ）は軸抜き治具の一例（第１実施形態）を示す。
図１（ａ）、（ｂ）に示す軸抜き治具１０は、リング板状の治具本体１１と、治具本体１１の片面（おもて面１１ａ）側に突出され治具本体１１周方向に沿って湾曲延在する突き出し用突部１２とを有する。
また、軸抜き治具１０は、突き出し用突部１２からその湾曲外周側に突出する取っ手部１３も有している。取っ手部１３は、治具本体１１周方向に沿ってリング状に延在する突き出し用突部１２の全周にわたってその湾曲外周側に突出形成されている。

図２（ａ）、（ｂ）に示す軸抜き治具の他の例（第２実施形態）を示す。
図２（ａ）、（ｂ）に示す軸抜き治具２０は、円板状の治具本体２１と、治具本体２１の片面（おもて面２１ａ）側に突出され治具本体２１周方向に沿って湾曲延在する突き出し用突部２２とを有する。
また、軸抜き治具２０は、突き出し用突部２２からその湾曲外周側に突出する当接突部２３も有している。当接突部２３は、治具本体２１周方向に沿ってリング状に延在する突き出し用突部２２の周方向全周にわたってその湾曲外周側に突出形成されている。

図１（ａ）、（ｂ）、図２（ａ）、（ｂ）の軸抜き治具１０、２０は、それぞれプラスチック製の一体成形品である。
但し、軸抜き治具１０、２０は、プラスチック製一体成形品に限定されず、複数部材によって組み立てた構成も採用可能である。

図１（ａ）、（ｂ）の軸抜き治具１０と図２（ａ）、（ｂ）の軸抜き治具２０とは、図３、図５に示すように、図１（ａ）、（ｂ）の軸抜き治具１０（以下、第１治具、とも言う）の湾曲内周側に図２（ａ）、（ｂ）の軸抜き治具２０（以下、第２治具、とも言う）を脱着可能に嵌合した構造の軸抜き治具ユニット３０を構成する。

図３、図５に示すように、第２治具２０の治具本体２１の外径は、第１治具１０の治具本体１１の内径に揃えられている。第２治具２０の治具本体２１は第１治具１０の治具本体１１の内側に脱着可能に嵌合させることができる。
第２治具２０は、その治具本体２１を第１治具１０の治具本体１１の内側に嵌め込み、当接突部２２を第１治具１０の治具本体１１の内周端部のおもて面１１ａに当接させて、第１治具１０の内側に第１治具１０に対して脱着可能に設けられる。

第２治具２０は、その治具本体２１だけでなく当接突部２２も第１治具１０の治具本体１１の内周端部に当接させることで、第１治具１０に対する嵌合位置を安定させることができる。
その結果、軸抜き治具ユニット３０は、第１治具１０の内側に第２治具２０が嵌合した状態を保ったまま搬送するといったことも容易となる。
また、軸抜き治具ユニット３０は、軸抜き治具１０、２０を互いに分離した状態で収納ケース等に収納する場合に比べて、軸抜き治具１０、２０の収納スペースの縮小に有効に寄与する。

第１治具１０及び第２治具２０は、例えば図３、図５に示すように、支持台等に形成された載置面９１上に治具本体１１、２１を載置して、研磨装置のトップリング本体５１からの係止軸５４の取り出し（抜き去り）作業に利用できる。
治具本体１１、２１は、突き出し用突部２１、２２が突設されているおもて面１１ａ、２１ａとは反対の底面１１ｂ、２１ｂを載置面９１に当接させて載置面９１上に載置される。

次に、本発明に係る実施形態のトップリング用係止軸抜き治具、トップリング用係止軸の抜去方法を適用するトップリングの一例について説明する。
ここで説明するトップリングは、半導体ウェハ等の基板を研磨する研磨装置に用いられて、基板を保持しつつ、研磨テーブルに設けられた研磨パッドが形成する研磨面に押圧するものである。研磨装置は、研磨テーブルとトップリングとを相対運動させることにより基板を研磨面に摺接させ、基板表面を平坦かつ鏡面に研磨する。

図６に示すように、トップリング５０は、基板を研磨面に押圧するための弾性膜５１と、弾性膜５１を保持するトップリング本体５２とを有する。
また、トップリング５０は、弾性膜５１に突出形成されたリプル部５１ｂをトップリング本体５２との間に挟み込むリプルホルダ５３と、リプルホルダ５３に係合突片５４ｂを係合させてリプルホルダ５３をトップリング本体５２に保持する係止軸５４とを有する。
リプルホルダ５３は、係止軸５４の係合突片５４ｂとの係合により、弾性膜５１のリプル部５１ｂをトップリング本体５２との間に挟み込んで固定した状態を維持する。

図３、図６に示すように、係止軸５４は、軸本体５４ａと、軸本体５４ａのその軸線方向片側の端部の側周から突出する係止突片５４ｂと、軸本体５４ａの側周に設けられたＯリング５４ｃとを有する。
係止軸５４の軸本体５４ａ（以下、係止軸本体、とも言う）は、Ｏリング５４ｃを支持する径大部５４ｄと、径大部５４ｄの軸線方向片端から径大部５４ｄと同軸に突出する径小部５４ｅとを有する。径小部５４ｅは径大部５４ｄに比べて径小に形成されている。
径大部５４ｄ及び径小部５４ｅは、それぞれ断面円形で延在する。

係止軸５４の係止突片５４ｂは、径小部５４ｅの径大部５４ｄ（以下、軸本体径大部、とも言う）とは反対側の端部（先端部）の側周から突出形成されている。
図７に例示する係止突片５４ｂは、軸本体５４ａの径小部５４ｅ（以下、軸本体径小部、とも言う）と同心状の部分リング板状に形成されている。係止突片５４ｂの軸本体径小部５４ｅ側周と同心状に湾曲する突端面５４ｆは軸本体径大部５４ｄの側周面の延長上に位置する。
係止突片５４ｂの突端面５４ｆは、その湾曲中心から開き角１２０度程度の範囲に延在している。

但し、図７の係止突片５４ｂは、軸本体径小部５４ｅ側周の周方向全周の半分程度の範囲から突出され、軸本体径小部５４ｅ側周から突端面５４ｆ側へ行くに従って軸本体径小部５４ｅ周方向に沿う延在方向の寸法が縮小するように形成されている。
また、図７の係止突片５４ｂの軸本体径小部５４ｅ周方向に沿う延在方向両端部は、係止突片５４ｂの延在方向の端から延在方向中央部側に行くにしたがって板厚（軸本体５４ａ軸線方向の寸法）が増大し、軸本体径大部５４ｄに臨む面の軸本体径大部５４ｄからの距離が縮小するテーパ部を形成している。

係止突片５４ｂは、軸本体径大部５４ｄ側周面の仮想延長から外側に突出しない範囲で適宜設計変更可能である。係止突片５４ｂは、軸本体径小部５４ｅ側周から軸本体径大部５４ｄ側周面の仮想延長に達しない範囲の突出寸法で形成することも可能である。

また、係止突片５４ｂは、軸本体径小部５４ｅ側周の周方向の５０％未満の範囲から突出された構成、例えば、軸本体径小部５４ｅ側周の周方向の１０〜４０％の範囲から突出された構成、も採用可能である。係止突片５４ｂは、軸本体径小部５４ｅ側周の周方向の１０〜６０％の範囲から突出された構成、を採用可能である。

係止突片５４ｂは、リプルホルダ５３に対する離脱状態（係合解除状態）からの係合を円滑にする点で、延在方向両端部に既述のテーパ部を有することが好ましい。但し、係止突片５４ｂは、その延在方向両端部にテーパ部を有していない構成も採用可能である。

図３等において、トップリング本体５２は円板状（図８参照）に形成されたプラスチック製部材である。
リプルホルダ５３はリング状に形成されている。
トップリング本体５２には、リプルホルダ５３のホルダ本体５３ａ（後述）を収容するホルダ本体収容凹部５２ａ、リプルホルダ５３の軸係合部５３ｂ（後述）を収容する軸係合部収容溝５２ｅ（リプルホルダ収容溝）、及び係止軸５４が嵌合される軸嵌合孔５２ｂが形成されている。

図６に示すように、リプルホルダ５３は、概略リング板状のホルダ本体５３ａと、ホルダ本体５３ａの片面側に突設された軸係合部５３ｂ（以下、リプルホルダ軸係合部、とも言う）とを有する。軸係合部５３ｂは、概略リング板状のホルダ本体５３ａの周方向全周にわたって突設されたリブ状に形成されている。
軸係合部５３ｂには、係止軸５４の係合突片５４ｂが挿入される係合溝５３ｃが形成されている。図６において、係合溝５３ｃは具体的には、ホルダ本体５３ａに沿って湾曲する軸係合部５３ｂの湾曲内周側（図６右側）に形成されている。

図６に示すように、ホルダ本体収容凹部５２ａは、トップリング本体５２の弾性膜５１が配置される底面５２ｃ（以下、トップリング本体底面、とも言う）から窪んでトップリング本体５２に環状形成されている。
軸係合部収容溝５２ｅは、ホルダ本体収容凹部５２ａからトップリング本体５２のその底面５２ｃとは反対の天面５２ｄ（以下、トップリング本体天面、とも言う）側へ窪んでトップリング本体５２に環状形成（図８参照）されている。

図３、図５に示すように、トップリング本体５２の軸嵌合孔５２ｂは、軸係合部収容溝５２ｅの側部（溝幅方向の端部）からトップリング本体天面５２ｄにわたってトップリング本体５２に貫通形成されている。
軸嵌合孔５２ｂは断面円形でトップリング本体５２に延在形成されている。

軸嵌合孔５２ｂにおいて、軸係合部収容溝５２ｅよりもトップリング本体天面５２ｄ側に位置する部分５２ｂ１を、以下、主孔部、または軸嵌合孔主孔部、とも言う。また、軸嵌合孔５２ｂのその主孔部５２ｂ１からトップリング本体底面５２ｃ側の部分５２ｂ２を、以下、奥孔部、あるいは軸嵌合孔奥孔部とも言う。

図３、図５に示すように、軸嵌合孔５２ｂの奥孔部５２ｂ２は、軸係合部収容溝５２ｅのその溝幅方向片側（図３、図５では軸係合部収容溝５２ｅの湾曲内周側）に位置する。
軸嵌合孔奥孔部５２ｂ２は、その外周の一部を軸線方向全長にわたって軸係合部収容溝５２ｅに開口させて形成されている。

軸嵌合孔主孔部５２ｂ１は、そのトップリング本体底面５２ｃ側の端の外周部の一部を軸係合部収容溝５２ｅ（図３、図５では軸係合部収容溝５２ｅの湾曲内周側の端部）に開口させて形成されている。
軸嵌合孔５２ｂは、その主孔部５２ｂ１及び奥孔部５２ｂ２をそれぞれ軸係合部収容溝５２ｅと連通させて形成されている。

図８に示すように、軸嵌合孔５２ｂは、トップリング本体５２において、軸係合部収容溝５２ｅ延在方向（湾曲の周方向）の互いに離隔する複数箇所に形成されている。
トップリング本体５２において、軸嵌合孔５２ｂは、軸係合部収容溝５２ｅに沿う複数箇所に形成され、環状に並べて設けられている。

図６に示すように、係止軸５４は、軸本体径大部５４ｄをその側周に装着されたＯリング５４ｃとともにトップリング本体５２の軸嵌合孔５２ｂ（具体的には軸嵌合孔主孔部５２ｂ１）に嵌合させ、軸本体径小部５４ｅを軸嵌合孔奥孔部５２ｂ２に挿入してトップリング本体５２に取り付けられる。
係止軸５４の軸本体径大部５４ｄ及びＯリング５４ｃは、軸嵌合孔５２ｂに嵌合する嵌合体部５４ｇを構成する。

軸嵌合孔５２ｂに嵌合された嵌合体部５４ｇのＯリング５４ｃは、軸嵌合孔５２ｂ内周面に圧接されて、軸嵌合孔５２ｂ内周面との間を密閉封止する。軸嵌合孔５２ｂに嵌合された嵌合体部５４ｇは、軸嵌合孔５２ｂの嵌合体部５４ｇを介してトップリング本体底面５２ｃ側とトップリング本体天面５２ｄ側との間を気密に仕切る。

係止軸５４について、以下、軸本体径小部５４ｅ側を先端側、軸本体径大部５４ｄ側を基端側として説明する。
図６において、軸嵌合孔５２ｂに挿入された係止軸５４は、その先端（軸本体径小部５４ｅの軸本体径大部５４ｄとは反対側の端）を軸嵌合孔５２ｂの孔底面５２ｂ０に当接させてトップリング本体５２に対して位置決めして設けられている。

図６に示すように、軸嵌合孔５２ｂに挿入状態の係止軸５４は、その基端側に形成された工具係合部５４ｈにドライバ、レンチ等の手工具を係合させて軸回り回転させることができる。
図６に例示した工具係合部５４ｈは、係止軸５４の基端から窪んで形成された係合凹部である。なお、工具係合部は、係合凹部に限定されず、例えば、係止軸５４中心軸線に垂直の断面が六角形、四角形等の突部（係合突部）等であっても良い。

係止軸５４は、軸回り回転させることで、係止突片５４ｂを軸係合部収容溝５２ｅへ出没させることができる。
図６は係止突片５４ｂを軸係合部収容溝５２ｅへ突出させた状態、図３、図５は係止突片５４ｂを軸嵌合孔５２ｂ（具体的には軸嵌合孔奥孔部５２ｂ２）に収容し軸係合部収容溝５２ｅに突出させていない状態、を示す。

図６に示すように、弾性膜５１は、トップリング本体底面１２ｃに沿って延在配置される膜本体５１ａと、膜本体５１ａからトップリング本体１２に対面される側に突出されたリプル部５１ｂとを有する。
トップリング５０において、係止軸５４は、係止突片５４ｂを、軸係合部収容溝５２ｅ内のリプルホルダ軸係合部５３ｂに形成された係合溝５３ｃに挿入することで、リプルホルダ５３をトップリング５２に保持（係止）し、リプルホルダ５３のホルダ本体５３ａとトップリング本体５２との間に弾性膜５１のリプル部５１ｂを挟持した状態を維持する。また、その結果、弾性膜５１の膜本体５１ｂは、トップリング本体底面１２ｃに沿って延在配置された状態が維持される。

次に、図６のように組み立てられたトップリング５０のトップリング本体５２から軸抜き治具を用いて係止軸５４を抜き去る方法（トップリング用係止軸の抜去方法）について説明する。
ここで説明するトップリング用係止軸の抜去方法は、まず、トップリング５０のトップリング本体５２から弾性膜５１及びリプルホルダ５３を取り外す（弾性膜取り外し工程）。次いで、軸抜き治具を用いてトップリング本体５２に対して係止軸５４をトップリング本体天面５２ｄ側へ押し動かし、トップリング本体天面５２ｄ側へ突出させた係止軸５４を手指等で把持してトップリング本体５２から抜き去る（軸抜き去り工程）。

弾性膜取り外し工程では、係止軸５４を軸回り回転させ、係止突片５４ｂをリプルホルダ軸係合部５３ｂの係合溝５３ｃから抜き出し、係止軸５４のリプルホルダ５３に対する係合を解除し、トップリング本体５２から弾性膜５１及びリプルホルダ５３を取り外す。
係止軸５４の係止突片５４ｂは、係止軸５４の軸回り回転によって、その全体を軸嵌合孔５２ｂ（具体的には奥孔部５２ｂ２）内に配置させ、軸係合部収容溝５２ｅへの突出を解消する。

軸抜き去り工程では、まず、図３に示すように、支持台等に形成された載置面９１に治具本体を当接して載置した軸抜き治具上にトップリング本体５２を載置する（重ねる）。このとき、係止軸本体５４ａのトップリング本体５２の軸係合部収容溝５２ｅに突出した部分を軸抜き治具の突き出し用突部上に載置し当接させる。そして、図４に示すように、トップリング本体５２を下方へ押圧して、係止軸５４をトップリング本体５２に対してトップリング本体天面５２ｄ側へ押し動かしトップリング本体天面５２ｄ側へ突出させる（軸押し出し工程）。次いで、係止軸５４のトップリング本体天面５２ｄ側へ突出させた部分を手指等で把持して係止軸５４をトップリング本体５２から抜き去る。

図３、図８に例示するトップリング本体５２には、２本の軸係合部収容溝５２ｅが互い同心状に形成されている。
図３、図５は、第１治具１０内側に第２治具２０を嵌合した構成の軸抜き治具ユニット３０を使用した軸押し出し工程を説明する図である。
図３に示すように、第１治具１０及び第２治具２０のそれぞれの突き出し用突部１２、２２間の間隔は、トップリング本体５２の２本の軸係合部収容溝５２ｅ間の間隔に対応している。図３において軸抜き治具ユニット３０は載置面９１上に載置されている。

トップリング本体５２はその底面５２ｃを軸抜き治具ユニット３０に対面させた向きで下降させて軸抜き治具ユニット３０上に載置する（重ねる）。この際、トップリング本体５２は、下降によって、軸抜き治具ユニット３０の２つの突き出し用突部１２、２２を、２本の軸係合部収容溝５２ｅにそれぞれに対応するホルダ本体収容凹部５２ａを介して挿入させ、係止軸本体５４ａの各軸係合部収容溝５２ｅに突出した部分を突き出し用突部１２、２２上に載置する。そして、トップリング本体５２を下方へ押圧して、係止軸５４をトップリング本体５２に対してトップリング本体天面５２ｄ側へ押し動かしトップリング本体天面５２ｄ側へ突出させる（軸押し出し工程。図５参照）。

トップリング本体５２を下方へ押圧して、係止軸５４をトップリング本体５２に対してトップリング本体天面５２ｄ側へ押し動かしトップリング本体天面５２ｄ側へ突出させる軸押し出し工程は、例えば、トップリング本体５２に複数設けられた係止軸５４について１本ずつ行う。但し、軸押し出し工程は、複数の係止軸５４について同時に行なっても良い。
軸押し出し工程を完了した係止軸５４は、トップリング本体天面５２ｄ側へ突出させた部分を手指等で把持してトップリング本体５２から抜き去る。

第１治具１０及び第２治具２０は、軸抜き治具ユニット３０の形態で使用することに限定されず、それぞれ単独で軸押し出し工程に使用することができる。
第１治具１０は、例えば、作業者が手指で、第１治具１０の取っ手部１３とトップリング本体５２外周部とを一括把持して、係止軸本体５４ａの軸係合部収容溝５２ｅに突出した部分を突き出し用突部１２によって押圧し、軸押し出し工程を実施することも可能である。

軸抜き治具を用いてトップリング本体５２から係止軸５４を抜き去る抜去方法は、軸抜き治具の突き出し用突部を利用して、係止軸本体５４ａの軸係合部収容溝５２ｅに突出した部分を押圧するだけで、係止軸５４を楽にトップリング本体天面５２ｄ側へ押し動かすことができる。係止軸５４は、軸押し出し工程によってトップリング本体天面５２ｄ側へ突出されることで、トップリング本体５２の軸嵌合孔５２ｂ内面との接触部分が減少するため、軸嵌合孔５２ｂからの抜き去りを手指等によって行なうことが容易である。
したがい、軸抜き治具を用いてトップリング本体５２から係止軸５４を抜き去る抜去方法は、従来に比べて、トップリング本体から係止軸の抜き去りを容易に行なえ、その作業性を向上できる。

また、軸抜き治具を用いてトップリング本体５２から係止軸５４を抜き去る抜去方法は、軸抜き治具にトップリング本体５２を重ねた状態のまま、トップリング本体５２に取り付けられている複数の係止軸５４のそれぞれについて軸押し出し工程を行なえるため、複数本の係止軸５４の抜き去りを短時間で効率良く行える。
また、軸抜き治具を用いてトップリング本体５２から係止軸５４を抜き去る抜去方法は、軸抜き治具の突き出し用突部をトップリング本体の軸係合部収容溝５２ｅに挿入したまま複数の係止軸５４について軸押し出し工程を行なえる。このため、軸抜き治具に対するトップリング本体５２の位置ずれを防ぐことができ、複数本の係止軸５４の抜き去りの作業性を向上できる。

軸抜き治具ユニット３０を用いてトップリング本体５２から係止軸５４を抜き去る抜去方法は、軸抜き治具ユニット３０の各軸抜き治具の突き出し用突部をトップリング本体の複数の軸係合部収容溝５２ｅに挿入して軸押し出し工程を行なうので、軸抜き治具に対するトップリング本体５２の位置ずれをより確実に防ぐことができる。
軸抜き治具ユニットは、軸抜き治具ユニットを構成する各軸抜き治具の突き出し用突部間の間隔をトップリング本体の複数の軸係合部収容溝５２ｅ間の間隔に対応させるべく、治具本体に対する突き出し用突部の形成位置（治具本体外周の湾曲半径方向における形成位置）等が互いに異なる軸抜き治具を選択使用することが可能である。

トップリング本体は、軸係合部収容溝５２ｅが２本形成された構成（図８等参照）に限定されず、軸係合部収容溝５２ｅが１本又は３本以上形成された構成もであっても良い。
軸抜き治具ユニットは、例えば、軸係合部収容溝５２ｅが３本以上形成されたトップリング本体に対して、突き出し用突部を１つのみ有する軸抜き治具をトップリング本体の軸係合部収容溝５２ｅの数と同数使用して構成することが可能である。このとき、軸抜き治具ユニットは、互いに隣り合う軸抜き治具の一方の治具本体の内側に他方の軸抜き治具の治具本体を嵌合させて３以上の軸抜き治具を用いて構成される。

軸抜き治具は、突き出し用突部を１つのみ有する構成に限定されず、例えば図９に示す軸抜き治具４０のように、円板状の治具本体４１外周の湾曲半径方向の複数箇所に突き出し用突部４２を有する構成も採用可能である。
図９の軸抜き治具４０は、複数の突き出し用突部４２のうち、治具本体４１外周の湾曲半径方向において最も外側に位置する突き出し用突部４２（最外周突き出し用突部４２Ａ）から最外周突き出し用突部４２Ａの湾曲外周側に突出する取っ手部１３を有する。

なお、図１（ａ）、（ｂ）等に示すように、突き出し用突部を１つだけ有する軸抜き治具については、この軸抜き治具の突き出し用突部自体が最外周突き出し用突部である。

以上、本発明を最良の形態に基づいて説明してきたが、本発明は上述の最良の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
例えば軸抜き治具の治具本体はリング板状、円板状に限定されない。例えば図１０に示すように、治具本体１１１は、１８０度よりも大きく３６０度未満の中心角θを以て湾曲延在する部分リング板状であっても良い。
図１０（ａ）、（ｂ）は、図１（ａ）、（ｂ）に例示した軸抜き治具１０について、その治具本体１１の湾曲周方向の一部を切り欠いた構成の軸抜き治具１１０を示す。図１０（ａ）、（ｂ）の軸抜き治具１１０は、治具本体１１１にその湾曲周方向全長にわたってリブ状に突出する突き出し用突部１１２を有する構成である。但し、突き出し用突部１１２は、１８０度よりも大きい中心角θを以て湾曲延在する部分リング状である。
なお、取っ手部には図中符号１１３を付記した。

軸抜き治具は、１８０度よりも大きい中心角θを以て延在する部分円板状の治具本体も採用可能である。本発明に係る実施形態の軸抜き治具の治具本体はリング板状、円板状、部分リング板状、部分円板状のいずれの構成も採用可能である。
なお、リング板状、部分リング板状の治具本体は、湾曲半径方向の幅寸法を以て、湾曲中心から１８０度よりも大きい中心角θを以て延在する板状の治具本体を指す。

但し、軸抜き治具は、１８０度よりも大きい中心角θを以て湾曲延在する部分リング状の突き出し突部を確保した構成を採用する。
１８０度よりも大きい中心角θを以て延在する突き出し用突部を有する軸抜き治具は、突き出し用突部が中心角が１８０度以下の範囲で延在形成された軸抜き治具に比べて、トップリング本体の軸係合部収容溝に突き出し用突部を挿入したときのトップリング本体に対する位置決め安定性を向上できる。

１Ａ…治具本体、１０…トップリング用係止軸抜き治具、第１治具、１１…治具本体、１２…突き出し用突部、１３…取っ手部、２０…トップリング用係止軸抜き治具、第２治具、２１…治具本体、２２…突き出し用突部、３０…軸抜き治具ユニット、４０…トップリング用係止軸抜き治具、４１…治具本体、４２…突き出し用突部、４２Ａ…最外周突き出し用突部、５０…トップリング、５１…弾性膜、５１ａ…膜本体、５１ｂ…リプル部、５２…トップリング本体、５２ａ…ホルダ本体収容凹部、５２ｂ…軸嵌合孔、５２ｃ…（トップリング本体の）底面、５２ｄ…（トップリング本体の）天面、５２ｅ…リプルホルダ収容溝（軸係合部収容溝）、５３…リプルホルダ、５３ａ…ホルダ本体、５３ｂ…軸係合部、５３ｃ…係合溝、５４…係止軸、５４ａ…軸本体、５４ｂ…係止突片、５４ｃ…Ｏリング、１１０…トップリング用係止軸抜き治具、１１１…治具本体、１１２…突き出し用突部、１１３…取っ手部。

Claims (6)

1. 基板を研磨面に押圧するための弾性膜をトップリング本体に保持する係止軸を前記係止軸が複数環状配置された前記トップリング本体から抜き去る作業に使用可能な治具であって、
   リング板状、円板状、１８０度よりも大きい中心角を以て延在する部分リング板状または部分円板状、のいずれか１つである治具本体と、前記治具本体の片面側に突出され前記治具本体に沿って湾曲延在し、前記トップリング本体に形成された軸嵌合孔に嵌合された前記係止軸を前記トップリング本体の前記弾性膜が設けられる底面側から押圧するための突き出し用突部とを有することを特徴とするトップリング用係止軸抜き治具。
2. 前記突き出し用突部を複数有し、複数の前記突き出し用突部は同心状に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のトップリング用係止軸抜き治具。
3. 前記突き出し用突部のうち前記治具本体の湾曲半径方向において最も外側に位置する突き出し用突部である最外周突き出し用突部からその湾曲外周側に突出する取っ手部をさらに有すること特徴とする請求項１または２に記載のトップリング用係止軸抜き治具。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載のトップリング用係止軸抜き治具である第１治具と、請求項１〜３のいずれか１項に記載のトップリング用係止軸抜き治具であり前記治具本体を前記第１治具の前記治具本体の湾曲内周側に脱着可能に嵌合させて設けられる第２治具とを有することを特徴とする軸抜き治具ユニット。
5. 基板を研磨面に押圧するための弾性膜と、前記弾性膜が取り付けられるトップリング本体と、前記弾性膜の片面側に突出形成されたリプル部を前記トップリング本体との間に挟み込むリプルホルダと、前記リプルホルダに係合することで前記リプルホルダを前記トップリング本体との間に挟み込んだ前記リプル部とともに前記トップリングに固定する係止軸とを有し、前記係止軸は、前記トップリング本体を貫通する軸嵌合孔に嵌合された軸本体と、前記軸本体の側周に突出され前記軸本体の軸回り回転により前記リプルホルダに対する係脱を切り換える係止突片とを有するトップリングについて、前記トップリング本体から前記係止軸を抜き去る方法であって、
   前記係止軸の前記軸本体を軸回り回転させて前記係止突片の前記リプルホルダに対する係合を解除し、前記弾性膜及び前記リプルホルダを前記トップリング本体から取り外す弾性膜取り外し工程と、
   弾性膜取り外し工程の後、請求項１〜４のいずれか１項に記載のトップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部によって、前記トップリング本体の前記弾性膜が設けられる底面側に突出した前記係止軸を押圧して前記係止軸を前記トップリング本体に対してその前記底面とは反対の天面側へ押し動かす軸押し出し工程とを有し、
   前記軸押し出し工程では、前記トップリング本体に環状配置された複数の前記係止軸を前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部上に配置した状態で、前記トップリング本体を前記治具本体に向かって押圧して前記係止軸を前記トップリング本体に対してその天面側へ押し動かすことを特徴とするトップリング用係止軸の抜去方法。
6. 前記トップリング本体には、リング状の前記リプルホルダを収容するリプルホルダ収容溝が前記底面から窪んで環状形成され、かつ前記リプルホルダ収容溝に連通する位置に形成された複数の前記軸嵌合孔が環状配置され、
   前記軸押し出し工程では、前記載置面上に載置した前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部を前記リプルホルダ収容溝に収容し、前記軸嵌合孔に嵌合され前記トップリング本体から前記リプルホルダ収容溝に突出する前記係止軸を前記前記トップリング用係止軸抜き治具の前記突き出し用突部上に複数配置した状態で前記トップリング本体を前記治具本体に向かって押圧することを特徴とする請求項５に記載のトップリング用係止軸の抜去方法。

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