JP2018073913A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2018073913A5
JP2018073913A5 JP2016209854A JP2016209854A JP2018073913A5 JP 2018073913 A5 JP2018073913 A5 JP 2018073913A5 JP 2016209854 A JP2016209854 A JP 2016209854A JP 2016209854 A JP2016209854 A JP 2016209854A JP 2018073913 A5 JP2018073913 A5 JP 2018073913A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetoresistive element
ferromagnetic layer
layer
area
forming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2016209854A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2018073913A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2016209854A priority Critical patent/JP2018073913A/ja
Priority claimed from JP2016209854A external-priority patent/JP2018073913A/ja
Priority to PCT/JP2017/037844 priority patent/WO2018079404A1/ja
Publication of JP2018073913A publication Critical patent/JP2018073913A/ja
Publication of JP2018073913A5 publication Critical patent/JP2018073913A5/ja
Priority to US16/386,428 priority patent/US10901049B2/en
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2016209854A 2016-10-26 2016-10-26 磁気センサおよびその製造方法 Pending JP2018073913A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016209854A JP2018073913A (ja) 2016-10-26 2016-10-26 磁気センサおよびその製造方法
PCT/JP2017/037844 WO2018079404A1 (ja) 2016-10-26 2017-10-19 磁気センサおよびその製造方法
US16/386,428 US10901049B2 (en) 2016-10-26 2019-04-17 Magnetic sensor and method for manufacturing said magnetic sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016209854A JP2018073913A (ja) 2016-10-26 2016-10-26 磁気センサおよびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018073913A JP2018073913A (ja) 2018-05-10
JP2018073913A5 true JP2018073913A5 (enExample) 2019-02-14

Family

ID=62024984

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016209854A Pending JP2018073913A (ja) 2016-10-26 2016-10-26 磁気センサおよびその製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10901049B2 (enExample)
JP (1) JP2018073913A (enExample)
WO (1) WO2018079404A1 (enExample)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7023637B2 (ja) * 2017-08-08 2022-02-22 株式会社日立ハイテク 磁気トンネル接合素子の製造方法
US10794968B2 (en) 2017-08-24 2020-10-06 Everspin Technologies, Inc. Magnetic field sensor and method of manufacture
US11493573B2 (en) 2019-08-27 2022-11-08 Western Digital Technologies, Inc. Magnetic sensor with dual TMR films and the method of making the same
US11428758B2 (en) * 2019-08-27 2022-08-30 Western Digital Technologies, Inc. High sensitivity TMR magnetic sensor
JP7136137B2 (ja) * 2020-01-29 2022-09-13 Tdk株式会社 磁気センサ、磁気検出装置及び磁気検出システム
JP2022109020A (ja) * 2021-01-14 2022-07-27 大銀微系統股▲分▼有限公司 位置検出機構
JP7746233B2 (ja) * 2022-08-09 2025-09-30 株式会社東芝 磁気センサ及び検査装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6424506B1 (en) 1998-07-21 2002-07-23 Alps Electric Co., Ltd. Spin-valve magnetoresistive thin film element
JP3623418B2 (ja) * 1999-12-06 2005-02-23 アルプス電気株式会社 スピンバルブ型磁気抵抗効果素子及びそれを備えた薄膜磁気へッドとそれらの製造方法
JP3969002B2 (ja) * 2001-02-22 2007-08-29 ヤマハ株式会社 磁気センサ
US7023670B2 (en) 2001-11-19 2006-04-04 Alps Electric Co., Ltd. Magnetic sensing element with in-stack biasing using ferromagnetic sublayers
JP2003338644A (ja) * 2001-11-19 2003-11-28 Alps Electric Co Ltd 磁気検出素子及びその製造方法
US6956766B2 (en) * 2002-11-26 2005-10-18 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic cell and magnetic memory
JP4673274B2 (ja) 2006-09-11 2011-04-20 ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ 外部ストレス耐性の高い磁気抵抗効果型ヘッド
WO2011111493A1 (ja) * 2010-03-12 2011-09-15 アルプス・グリーンデバイス株式会社 電流センサ
JP5343936B2 (ja) 2010-07-06 2013-11-13 株式会社デンソー 磁気センサ装置
JP5447616B2 (ja) * 2012-08-07 2014-03-19 Ｔｄｋ株式会社 磁気センサの製造方法
JPWO2015033464A1 (ja) * 2013-09-09 2017-03-02 株式会社日立製作所 磁気センサ素子

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2018073913A5 (enExample)
JP6766138B2 (ja) 磁気抵抗センサの作製方法
JP6514707B2 (ja) 磁場に対する向上した応答を促すための改良されたシード層を備える磁気抵抗素子
JP6763887B2 (ja) 磁界に対する応答が改善されたスピンバルブ磁気抵抗効果素子
JP2017505538A5 (enExample)
CN102809665B (zh) 一种磁电阻齿轮传感器
US9207290B2 (en) Magnetic field sensor for sensing external magnetic field
JP2011523506A5 (enExample)
JP5686635B2 (ja) 磁気センサ及びその製造方法
CN102435963B (zh) 单片双轴桥式磁场传感器
JP2017505537A5 (enExample)
JP2012133864A5 (enExample)
US9915710B2 (en) Magnetic sensor, method of manufacturing magnetic sensor, and method of designing magnetic sensor
CN102721427A (zh) 一种薄膜磁阻传感器元件及薄膜磁阻电桥
JP2011129930A5 (enExample)
JP2018006598A5 (enExample)
JP2015108527A (ja) 磁気センサ
JP2017103378A (ja) 磁気抵抗効果素子及び磁気センサ、並びに磁気抵抗効果素子の製造方法及び磁気センサの製造方法
JP6225748B2 (ja) 磁気センサ
JP6923881B2 (ja) トンネル磁気抵抗素子及びその製造方法
US10535456B2 (en) Permanent magnet comprising a stack of ferromagnetic and antiferromagnetic layers
JP2003215222A (ja) 磁気抵抗効果素子センサ
JP6969751B2 (ja) トンネル磁気抵抗素子及び磁化方向補正回路
CN113196076A (zh) 具有双tmr膜的磁性传感器及其制造方法
WO2004097441A1 (ja) 制御素子と一体化した感磁素子