JP2018069391A - 研削装置 - Google Patents

Abstract

【課題】簡易かつ低コストで、機械の熱変形による影響を受けづらくすることが可能な研削装置を提供する。【解決手段】第１の研削装置１Ａは、タッチプローブ２２によって、外輪用ワークＷｏの溝加工完了時の第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）を測定し、次に測定基準４２の座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を測定する。次に第１のツルーイング装置４Ａを用いて溝研削用砥石２１ａのツルーイングを実行し、測定器４５にてツルーイング終了時点のツルーイング点Ｐｔの磨耗量ΔＸｔを測定してツルーイング終了時のツルーイング点Ｐｔの座標（Ｘｔ＋ΔＸｔ，Ｚｔ）を算出し、この座標と測定基準４２の座標とから第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を算出し、この相対距離と第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）とから、加工時に溝研削用砥石２１ａが第１の溝底部Ｄｂ１と接触するときのベース部２０の座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を算出する。【選択図】 図１

Description

本発明は、ツルーイング装置を備える研削装置に関する。

従来、研削加工において、研削加工の途中でタッチプローブ等の測定機によりワークの寸法測定を行い、その寸法を加工情報に反映している。しかし、加工中に生じる研削装置の各構成部材の熱変形によって、測定機と砥石との座標変換時に誤差が生じ、それが加工寸法の誤差につながるという問題があった。この問題を解決するための技術として、例えば、特許文献１及び２に開示された技術がある。

特許文献１の技術では、変数として複数に変化させた工作機械の各部材の線膨張係数の中から、温度変化の複数のパターンのそれぞれにおける熱変位推定値と実際の熱変位量との差を小さくするような各部材の線膨張係数を同定する。そして、同定した線膨張係数に基づき熱変位補正量を算出し、算出した熱変位補正量に基づき工作機械の移動体の位置を補正する制御を行っている。

また、特許文献２の技術では、熱変形が小さな低膨張合金製の基準フレームに、低膨張合金製のツール側とワーク側のスケールを設け、ツール側とワーク側のセンサによりスケールのマークを読み取る。これにより、ツール側の座標とワーク側の座標を、熱変形の影響を最小にしながら求めている。更に、求めた座標を切削加工での送りにフィードバックして、工作機械の熱変形によるワークの加工誤差を最小にしている。

特開２０１５−３００８３号公報 特開２０１４−２３７２０４号公報

しかしながら、上記特許文献１の従来技術は、研削盤が大型である場合、研削盤各部が複雑な温度分布となり、線膨張係数による熱変形の定量化（線膨張係数の同定）が複雑になる。更に、周辺、内部の高精度な温度調整が必要なことなど、実際には高い技術と高度な設備が必要であり、コストや実現性の面で問題があった。
また、上記特許文献２の従来技術は、ワークとツールの測定手段が異なるためワークとツール間の座標変換を行っている。そして、この座標変換の際に熱変形の誤差をなくすためにインバー材等の低膨張合金を使用している。しかし、この方法を大型研削盤に適用した場合、大きな構造材に一般的に高価で難加工な低膨張合金を使用することになるため、工作機械の高価格化を招く他、低膨張合金の材料特性上、構成部材として使用が出来ない場合がある。

そこで、本発明は、このような従来の技術の有する未解決の課題に着目してなされたものであって、簡易かつ低コストで、機械の熱変形による影響を受けづらくすることが可能な研削装置を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本発明の第１の態様に係る研削装置は、第１の回転軸と該第１の回転軸の先端部に取付けられた回転砥石と前記第１の回転軸を回転駆動する第１の回転駆動源とを有する研削部と、ワークを固定支持するワーク支持用部材と、前記ワーク支持用部材を第２の回転軸を介して前記第１の回転軸と並行な軸回りに回転可能に支持する支持台と、前記第２の回転軸を回転駆動する第２の回転駆動源とを有するワーク支持部と、センサ軸と該センサ軸の先端部に設けられた接触式の測定子とを有するタッチプローブと、前記研削部及び前記タッチプローブを軸並行に固定支持するベース部と、前記タッチプローブの位置基準となる測定基準と、基台と該基台の前記ワーク支持部と対向する側に設けられた前記回転砥石をツルーイングするためのドレッサーとを有するツルーイング部と、移動駆動源及び案内部材を備え、前記移動駆動源の駆動力によって、前記ベース部を、前記ワークの研削位置、前記回転砥石のツルーイング位置、前記ワークの形状の測定位置及び前記測定基準の測定位置へと前記案内部材に沿って直交２軸方向に移動する移動機構部と、前記第１及び第２回転駆動源並びに前記移動駆動源を駆動制御して、研削用の回転速度で回転する前記回転砥石を前記ワーク支持用部材に固定支持された前記ワークに接触させて、前記ワークを研削する処理を行う研削処理部と、前記移動駆動源を駆動制御して、前記タッチプローブの前記測定子を前記ワーク支持部に固定支持された研削加工後の前記ワークに接触させて、該ワークの形状を測定する処理を行うワーク形状測定処理部と、前記移動駆動源を駆動制御して、前記タッチプローブを前記測定基準に接触させて、前記測定基準の位置座標を測定する処理を行う測定基準座標測定部と、前記第１の回転駆動源及び前記移動駆動源を駆動制御して、ツルーイング用の回転速度で回転する前記回転砥石を前記ツルーイング部の前記ドレッサーに接触させて前記回転砥石をツルーイングする処理を行うツルーイング処理部と、前記回転砥石とツルーイング時に接触する前記ドレッサーの接触点であるツルーイング点の位置座標を測定するツルーイング点座標測定部と、を備える。

更に、ツルーイング終了時の前記ベース部の位置座標を前記測定基準の位置座標で代表して、該測定基準の位置座標とツルーイング終了時に前記ツルーイング点座標測定部で測定した前記ツルーイング点の位置座標との相対距離と、前記ワーク形状測定処理部で測定した前記ワークの形状情報とに基づき、研削加工時に前記回転砥石が前記ワークと接触するときの前記代表の位置座標に対応する前記ベース部の位置座標を決定するベース位置決定部と、前記ベース位置決定部で決定した前記ベース部の位置座標に基づき前記ワークの仕上げ加工を行う仕上げ加工部と、を備える。

そして、前記測定基準と前記ドレッサーとは、熱的影響による前記相対距離の誤差が予め設定した目標加工精度を満たす範囲内となる位置関係に配設されている。

本発明によれば、研削加工時のベース部の位置決定に、熱による影響を受けにくいツルーイング点と測定基準との相対距離を用いるので、熱による影響を抑制して安定した加工が可能になる。また、構造経由の距離、即ち研削装置の寸法によらずにツルーイング点と測定基準との位置関係の変化のみで熱変形の影響を抑えることが可能である。これにより、構造材の線膨張係数を考慮しなくてもよいので、従来と比較して材料の制約が無い。また、複雑な熱変形制御を行わなくてもよいので設備の高度化が不要であり、そのためのコストが不要となる。即ち、従来と比較して簡易且つ低コストで熱変形による影響を抑制したベース部の位置決めが可能となる。

第１実施形態に係る第１の研削装置の全体構成の一例を示す図である。 第２のベース部を移動する移動機構部の構成例を示す模式図である。 （ａ）及び（ｂ）は、タッチプローブの構成例を示す模式図である。 第１実施形態に係る第１の制御装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。 第１実施形態に係る第１の制御装置の機能構成の一例を示すブロック図である。 第１実施形態に係る外輪用ワークの溝加工処理の処理手順の一例を示すフローチャートである。 第１実施形態に係るワーク情報測定処理の処理手順の一例を示すフローチャートである。 第１実施形態に係るベース位置決定処理の処理手順の一例を示すフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、第１実施形態の第１の研削装置のベース位置を決定するまでの一連の動作を説明するための模式図である。 ツルーイング終了時の溝研削用砥石と第１のツルーイング装置との位置関係の一例を示す模式図である。 溝研削用砥石を第１の溝底部に接触させたときの外輪用ワークと、ベース部と、第１のツルーイング装置との位置関係を示す図である。 第１の研削装置の溝研削部、タッチプローブ、加工点、第１のツルーイング装置及び測定基準を含む各構成部の構造経由の距離を説明するための図である。 第２実施形態に係る第２の研削装置の全体構成の一例を示す図である。 ツルーイング終了時の溝研削用砥石と第２のツルーイング装置との位置関係の一例を示す模式図である。 第２実施形態に係る第２の制御装置の機能構成の一例を示すブロック図である。 第２実施形態に係る内輪用ワークの溝加工処理の処理手順の一例を示すフローチャートである。 基準砥石径測定処理の処理手順の一例を示すフローチャートである。 熱変形補正処理の処理手順の一例を示すフローチャートである。 （ａ）〜（ｄ）は、第２実施形態の基準砥石径を測定する一連の動作を説明するための模式図である。 （ａ）は、基準砥石径を測定する際の近接検知境界と溝研削用砥石とツルーイング点との位置関係の一例を示す図であり、（ｂ）は、ツルーイング終了時の砥石径を測定する際の近接検知境界と溝研削用砥石とツルーイング点との位置関係の一例を示す図である。 （ａ）〜（ｄ）は、第２実施形態の熱変形を考慮した砥石径を測定する一連の動作を説明するための模式図である。 溝研削用砥石を第３の溝底部に接触させたときの内輪用ワークと、ベース部と、第２のツルーイング装置との位置関係を示す図である。 （ａ）は、上記第１実施形態の変形例を示す模式図であり、（ｂ）は、上記第２実施形態の変形例を示す模式図である。

次に、図面を参照して、本発明の第１〜第２実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。但し、図面は模式的なものであり、部材乃至部分の縦横の寸法や縮尺は実際のものとは異なる場合があることに留意すべきである。従って、具体的な寸法や縮尺は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合があることは勿論である。

また、以下に示す第１〜第２実施形態は、本発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、本発明の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置などを下記のものに特定するものではない。本発明の技術的思想は、特許請求の範囲に記載された請求項が規定する技術的範囲内において、種々の変更を加えることができる。
（第１実施形態）
（構成）
第１実施形態に係る第１の研削装置１Ａは、例えば、玉軸受の軌道輪（外輪及び内輪）等のワークの周面にボールの転動路となる溝を、回転砥石による研削加工によって形成する装置である。

この第１の研削装置１Ａは、図１に示すように、研削測定部２と、ワーク支持部３と、第１のツルーイング装置４Ａと、第１の制御装置５Ａとを備えている。
研削測定部２は、ベース部２０と、溝研削部２１と、タッチプローブ２２とを備えている。ベース部２０は、第１のベース部２３と、第２のベース部２６とを備えている。
研削測定部２は、更に、移動機構部として、第１の左直動案内装置２４Ｌと、第１の右直動案内装置２４Ｒと、第１のボールねじ装置２５とを備えている。加えて、第２の左直動案内装置２７Ｌと、第２の右直動案内装置２７Ｒと、第２のボールねじ装置２８とを備えている。

溝研削部２１は、溝研削用砥石２１ａと、第１の回転軸としての砥石スピンドル２１ｂと、この砥石スピンドル２１ｂを内部に収容する砥石スピンドルハウジング２１ｃと、砥石スピンドル２１ｂの第１の回転駆動源である砥石スピンドル用モータ２１ｄとを備えている。
溝研削用砥石２１ａは、円盤状の回転砥石から構成され、砥石スピンドル２１ｂの先端に同芯に取り付けられている。なお、溝研削用砥石２１ａは、溝研削対象のワークの種類に応じた外径寸法、厚さ寸法を有したものが取り付けられる。また、溝研削用砥石２１ａは、第１のツルーイング装置４Ａによるツルーイング（形直し）によって、ワークに形成する溝形状に合致した凸状砥石面が外周面に成形されるようになっている。

かかる構成によって、溝研削部２１は、砥石スピンドル用モータ２１ｄによって砥石スピンドル２１ｂを回転駆動することで、砥石スピンドル２１ｂの先端に取り付けられた溝研削用砥石２１ａを研削用の回転速度で回転する。そして、この回転する溝研削用砥石２１ａをワークＷの周面に接触させることで、接触面を研削加工して溝を形成する。
一方、タッチプローブ２２は、溝研削部２１で研削加工した溝の表面の位置情報を測定する際に用いられる。なお、タッチプローブ２２の詳細については後述する。

ここで、第１実施形態において、第１の研削装置１Ａの全体の座標系は、図１に示す座標軸のように、正面視で左右方向をＸ軸、上下方向（高さ方向）をＺ軸、奥行き方向をＹ軸とした直交座標系として定義されている。なお、図１中の座標軸における「＋」及び「−」の符号は各軸のプラス方向及びマイナス方向を示す。
溝研削部２１とタッチプローブ２２とは、矩形状の第１のベース部２３のＺ軸のマイナス方向の端部からＺ軸に沿って突出した状態で第１のベース部２３に固定支持されている。加えて、溝研削部２１とタッチプローブ２２とは、Ｘ軸方向に所定の間隙を空けて軸並行に第１のベース部２３に固定支持されている。

第１の左直動案内装置２４Ｌは、第２のベース部２６上にボルトを介して固定支持された直線状の第１の左案内レール２４Ｌｒと、この第１の左案内レール２４Ｌｒに沿って直動するように第１の左案内レール２４Ｌｒに軸受機構を介して取り付けられた第１の左スライダ２４Ｌｓとを備えている。
第１の右直動案内装置２４Ｒは、第１のボールねじ装置２５を間に挟んで、第１の左直動案内装置２４Ｌの第１の左案内レール２４Ｌｒと並行に第２のベース部２６上にボルトを介して固定支持された直線状の第１の右案内レール２４Ｒｒを備えている。更に、第１の右案内レール２４Ｒｒに沿って直動するように第１の右案内レール２４Ｒｒに軸受機構を介して取り付けられた第１の右スライダ２４Ｒｓを備えている。

第１のボールねじ装置２５は、第１のボールねじ軸２５Ｂと、第１のボールねじナット２５Ｎと、第１のストッパ２５ＳＴＰと、Ｚ軸駆動用モータ２５Ｍと、Ｚ軸エンコーダ２５Ｅとを備えている。
第１のボールねじ軸２５Ｂは、螺旋状のねじ溝を外周面に有し、第１のボールねじナット２５Ｎは、ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有し、両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転動路内に転動自在に複数のボールが装填されている。

第１のボールねじ軸２５Ｂは、第１の左案内レール２４Ｌｒ及び第１の右案内レール２４Ｒｒと並行に配置されている。更に、一端側が、Ｚ軸駆動用モータ２５Ｍの駆動軸に例えばカップリングを介して連結され、他端側が、第１のストッパ２５ＳＴＰに例えば軸受を介して支持されている。
第１のストッパ２５ＳＴＰは、第２のベース部２６上にボルトを介して固定支持され、第１のボールねじ軸２５Ｂの他端側において、第１のボールねじナット２５Ｎの抜け落ちを防止する。

移動駆動源であるＺ軸駆動用モータ２５Ｍは、第１のボールねじ軸２５Ｂに回転力を付与するサーボモータであって、不図示の電気ケーブルを介した第１の制御装置５Ａからのモータ制御信号によって駆動制御される。また、Ｚ軸駆動用モータ２５Ｍは、第２のベース部２６上にボルトを介して固定支持され、第１のボールねじ軸２５Ｂの一端側において、第１のボールねじナット２５Ｎの抜け落ちを防止する。

Ｚ軸エンコーダ２５Ｅは、Ｚ軸駆動用モータ２５Ｍのモータ回転角度位置θｍｚを検出するインクリメンタル方式のロータリエンコーダである。Ｚ軸エンコーダ２５Ｅは、検出したモータ回転角度位置θｍｚを、不図示の電気ケーブルを介して第１の制御装置５Ａに送信する。
かかる構成によって、Ｚ軸駆動用モータ２５Ｍの回転駆動力によって、第１のボールねじ軸２５Ｂを回転駆動することで、ボールの転動を介して第１のボールねじナット２５Ｎが第１のボールねじ軸２５Ｂに沿って移動する。これに伴って、第１の左スライダ２４Ｌｓが第１の左案内レール２４Ｌｒに沿って直動し、第１の右スライダ２４Ｒｓが第１の右案内レール２４Ｒｒに沿って直動する。

ここで、第１のベース部２３は、第１の左スライダ２４Ｌｓ、第１の右スライダ２４Ｒｓ及び第１のボールねじナット２５ＮのＹ軸方向の手前側の端面にそれぞれボルトを介して固定されている。従って、第１のベース部２３がＺ軸方向に移動すると、第１のベース部２３に固定支持された溝研削部２１及びタッチプローブ２２がＺ軸方向に移動する。
一方、第２の左直動案内装置２７Ｌは、図１及び図２に示すように、不図示のコラム上にボルトを介して固定支持された直線状の第２の左案内レール２７Ｌｒと、この第２の左案内レール２７Ｌｒに沿って直動するように第２の左案内レール２７Ｌｒに軸受機構を介して取り付けられた第２の左スライダ２７Ｌｓとを備えている。

第２の右直動案内装置２７Ｒは、第２のボールねじ装置２８を間に挟んで、第２の左直動案内装置２７Ｌの第２の左案内レール２７Ｌｒと並行にコラム上に固定支持された直線状の第２の右案内レール２７Ｒｒを備えている。更に、第２の右案内レール２７Ｒｒに沿って直動するように第２の右案内レール２７Ｒｒに軸受機構を介して取り付けられた第２の右スライダ２７Ｒｓを備えている。

第２のボールねじ装置２８は、第２のボールねじ軸２８Ｂと、第２のボールねじナット２８Ｎと、第２のストッパ２８ＳＴＰと、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍと、Ｘ軸エンコーダ２８Ｅとを備えている。
第２のボールねじ軸２８Ｂは、螺旋状のねじ溝を外周面に有し、第２のボールねじナット２８Ｎは、ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝を内周面に有し、両ねじ溝により形成される螺旋状のボール転動路内に転動自在に複数のボールが装填されている。

第２のボールねじ軸２８Ｂは、第２の左案内レール２８Ｌｒ及び第２の右案内レール２８Ｒｒと並行に配置されている。更に、一端側が、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍの駆動軸に例えばカップリングを介して連結され、他端側が、第２のストッパ２８ＳＴＰに例えば軸受を介して支持されている。
第２のストッパ２８ＳＴＰは、コラム上にボルトを介して固定支持され、第２のボールねじ軸２８Ｂの他端側において、第２のボールねじナット２８Ｎの抜け落ちを防止する。

移動駆動源であるＸ軸駆動用モータ２８Ｍは、第２のボールねじ軸２８Ｂに回転力を付与するサーボモータであって、不図示の電気ケーブルを介した第１の制御装置５Ａからのモータ制御信号によって駆動制御される。また、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍは、コラム上にボルトを介して固定支持され、第２のボールねじ軸２８Ｂの一端側において、第２のボールねじナット２８Ｎの抜け落ちを防止する。

Ｘ軸エンコーダ２８Ｅは、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍのモータ回転角度位置θｍｘを検出するインクリメンタル方式のロータリエンコーダである。Ｘ軸エンコーダ２８Ｅは、検出したモータ回転角度位置θｍｘを、不図示の電気ケーブルを介して第１の制御装置５Ａに送信する。
かかる構成によって、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍの回転駆動力によって、第２のボールねじ軸２８Ｂを回転駆動することで、ボールの転動を介して第２のボールねじナット２８Ｎが第２のボールねじ軸２８Ｂに沿って移動する。これに伴って、第２の左スライダ２７Ｌｓが第２の左案内レール２７Ｌｒに沿って直動し、第２の右スライダ２７Ｒｓが第２の右案内レール２７Ｒｒに沿って直動する。

ここで、第２のベース部２６は、第２の左スライダ２７Ｌｓ、第２の右スライダ２７Ｒｓ及び第２のボールねじナット２８ＮのＹ軸方向の手前側の端面にそれぞれボルトを介して固定されている。従って、第２のベース部２６がＸ軸方向に移動すると、第２のベース部２６に固定支持された第１のベース部２３がＸ軸方向に移動する。即ち、ベース部２０の全体がＸ軸方向に移動するため、第１のベース部２３に固定支持された溝研削部２１及びタッチプローブ２２もＸ軸方向に移動する。

以上の構成によって、溝研削部２１及びタッチプローブ２２は、図１中のＸ軸方向とＺ軸方向とに移動可能となっている。なお、Ｙ軸方向の移動機構については図示省略したが、第１の研削装置１Ａのベース部２０は、Ｙ軸方向にも移動可能に構成されていてもよい。
ワーク支持部３は、図１に示すように、支持台３０と、支持台３０上に設けられたテーブル３１と、テーブル３１上に設けられたワーク支持用部材３２と、テーブル３１を回転自在に支持する第２の回転軸であるワーク回転用スピンドル３３とを備えている。更に、ワーク回転用スピンドル３３を内部に収容するワーク回転用スピンドルハウジング３４と、ワーク回転用スピンドル３３を回転駆動する第２の回転駆動源であるワーク回転用モータ３５とを備えている。

ワーク支持用部材３２は、磁力によってワークＷを固定支持するマグネットチャックから構成されている。また、ワーク支持用部材３２は、ワークＷの種類に対応して、様々な形状のものが用意されており、研削加工するワークの種類に応じて、対応する形状のものを付け替え可能に構成されている。ここで、第１実施形態において、ワークＷの種類としては、大きく分けて軸受の外輪用ワークＷｏと内輪用ワークＷｉとが含まれる。

なお、図１に例示したワークＷは、玉軸受の外輪用ワークＷｏであり、外輪の内周面に溝を形成するため、円筒形状のワーク支持用部材３２の上端に外輪用ワークＷｏを磁力で吸着して固定支持している。以下の説明において、外輪用ワークＷｏと内輪用ワークＷｉとを区別する必要が無い場合は、単に「ワークＷ」と記載する場合がある。
ワーク回転用モータ３５は、モータ回転角度位置を検出するアブソリュート方式のロータリエンコーダ３６Ｅ（以下、「ワーク回転軸エンコーダ３６Ｅ」と記載する場合がある）を備えている。そして、ワーク回転軸エンコーダ３６Ｅで検出したモータ回転角度位置θｍｒを、不図示の電気ケーブルを介して第１の制御装置５Ａに送信するように構成されている。

かかる構成によって、ワーク支持部３は、ワーク回転用モータ３５によってワーク回転用スピンドル３３を回転駆動することで、テーブル３１を回転すると共に、テーブル３１上にワーク支持用部材３２を介して固定支持されたワークＷを回転する。
第１のツルーイング装置４Ａは、ドレッサーベース４０と、ドレッサーベース４０に固定支持されたダイヤモンドドレッサー４１と、ドレッサーベース４０の上部に固定支持された測定基準４２とを備えている。

ダイヤモンドドレッサー４１は、ダイヤモンドを円錐形状に研磨してなる先端部Ｐｔを有し、溝研削用砥石２１ａの外周面に、ワークＷに形成する溝形状に合致した凸状砥石面を成形する際に用いられる。以下、ダイヤモンドドレッサー４１の先端部Ｐｔを、「ツルーイング点Ｐｔ」と記載する場合がある。
ここで、第１のツルーイング装置４Ａは、溝研削用砥石２１ａの回転速度と、ダイヤモンドドレッサー４１に対するＸ軸方向の送り速度及びＺ軸方向の送り速度を調整することによって、溝研削用砥石２１ａを、ツルーイング（形直し）又はドレッシング（目立て）する。

具体的に、第１の制御装置５Ａによって、砥石スピンドル用モータ２１ｄの回転速度を制御することで溝研削用砥石２１ａの回転速度を制御する。加えて、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍの回転速度、即ち溝研削用砥石２１ａのＸ軸方向の移動速度を制御することで、溝研削用砥石２１ａのダイヤモンドドレッサー４１に対する切り込み速度を制御する。更に、Ｚ軸駆動用モータ２５Ｍの回転速度、即ち溝研削用砥石２１ａのＺ軸方向の移動速度を制御することで、溝研削用砥石２１ａのダイヤモンドドレッサー４１に対する送り速度を制御する。

また、第１実施形態の第１のツルーイング装置４Ａは、ダイヤモンドドレッサー４１のツルーイング点Ｐｔの基準座標（Ｘｔ，Ｚｔ）及びこの基準座標に対する磨耗量ΔＸｔを測定する測定器４５（例えば、電気マイクロメータ）を備えている。この測定器４５は、測定基準４２に対して厳密に位置決めされて取り付けられている。そのため、測定器４５からの測定値は装置全体の座標系におけるＸ軸座標値及びＺ軸座標値に変換することができる。

測定基準４２は、タッチプローブ２２の位置基準であり、例えば、金属製の円柱状部材から構成されている。測定基準４２は、その測定点Ｐｍがタッチプローブ２２で定期的に測定され、タッチプローブ２２の位置誤差を補正するのに用いられる。第１実施形態において、測定基準４２は、ドレッサーベース４０の上部に設けられている。なお、測定基準４２は、タッチプローブ２２で測定可能な位置でかつ熱的影響による測定基準４２の位置座標とツルーイング点Ｐｔの位置座標との相対距離の誤差が、予め設定した目標加工精度を満たす範囲内となる位置に設けられている。具体的に、測定基準４２とダイヤモンドドレッサー４１とは、例えば、ドレッサーベース４０のフレームが鉄製であり、目標加工精度を５［μｍ］以下に設定した場合に、両者の構造経由の距離が、４１［ｃｍ］以下となる位置関係に設けられる。ここで、鉄の線膨張係数は１２．１×１０^−６であり、温度が１［℃］変化すると１［ｍ］当たり１２．１［μｍ］だけ長さが変化する。また、第１のツルーイング装置４Ａは、支持台３０上における熱的影響の少ない位置（例えば、発熱源から可能な限り遠い位置など）に設けられている。なお、温度環境が原因で目標加工精度を満たせない場合は、例えばドレッサーベース４０に研削用のクーラントを通すなどして温度変化を１［℃］以内にコントロールするようにしてもよい。

第１の制御装置５Ａは、砥石スピンドル用モータ２１ｄ、ワーク回転用モータ３５、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、第１のツルーイング装置４Ａを用いたドレス処理、溝研削部２１による溝研削処理、タッチプローブ２２によるワーク情報測定処理、測定情報に基づくベース位置決定処理等を実行する。なお、第１の制御装置５Ａの詳細な構成については後述する。

（タッチプローブ２２の構成）
次に、図３に基づき、本実施形態のタッチプローブ２２の構成を説明する。
タッチプローブ２２は、図３（ａ）に示すように、プローブハウジング２２ａと、プローブヘッド２２ｂとを備えている。
プローブヘッド２２ｂは、プローブ軸２２ｓと、測定子２２ｔとを備えている。測定子２２ｔは、プローブ軸２２ｓの先端部の外周面から該先端部を介して背中合せに外側に突出する第１アーム部２２ｃ及び第２アーム部２２ｅを備えている。更に、プローブ軸２２ｓの先端部の外周面から第１アーム部２２ｃ及び第２アーム部２２ｅと直交する方向に背中合わせに外側に突出する第３アーム部２２ｇ及び第４アーム部２２ｉを備えている。なお更に、測定子２２ｔは、第１アーム部２２ｃ及び第２アーム部２２ｅの先端に形成された第１先端球２２ｄ及び第２先端球２２ｆと、第３アーム部２２ｇ及び第４アーム部２２ｉの先端に形成された第３先端球２２ｈ及び第４先端球２２ｊとを備えている。

更に、タッチプローブ２２は、図示省略するが、プローブハウジング２２ａの内部に設けられた圧力センサと、プローブヘッド２２ｂの傾きに応じた力を圧力センサに伝達する伝達部材とを備えている。
かかる構成によって、第１先端球２２ｄが溝の表面に接触して押されることで、押された方向とは逆方向にプローブヘッド２２ｂが傾く。これにより、伝達部材が押されて圧力センサにおいてこの押圧力Ｐｒ１が検出される。同様に、第２先端球２２ｆが溝の表面に接触して押されることで、押圧力Ｐｒ２が検出され、第３先端球２２ｈが溝の表面に接触して押されることで、押圧力Ｐｒ３が検出される。また、第４先端球２２ｊが溝の表面に接触して押されることで、押圧力Ｐｒ４が検出される。

以下、第１先端球２２ｄ、第２先端球２２ｆ、第３先端球２２ｈ及び第４先端球２２ｊを、単に「先端球２２ｄ、２２ｆ、２２ｈ及び２２ｊ」と略記する場合がある。
これら検出された押圧力の検出値Ｐｒ１、Ｐｒ２、Ｐｒ３及びＰｒ４は、不図示の電気ケーブルを介して第１の制御装置５Ａに送信される。
（第１の制御装置５Ａのハードウェア構成）
次に、図４に基づき、第１の制御装置５Ａのハードウェア構成を説明する。

第１の制御装置５Ａは、コンピュータシステムを備えている。このコンピュータシステムは、図４に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）６０と、ＲＡＭ（Random Access Memory）６２と、ＲＯＭ（Read Only Memory）６４とを備えている。加えて、各種内外バス６８と、入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）６６とを備えている。
ＣＰＵ６０、ＲＡＭ６２及びＲＯＭ６４は、各種内外バス６８を介して接続されていると共に、このバス６８にＩ／Ｆ６６を介して、タッチプローブ２２（圧力センサ）、第１のツルーイング装置４Ａ（磨耗量測定機）、Ｘ軸エンコーダ２８Ｅ、Ｚ軸エンコーダ２５Ｅが接続されている。更に、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）などの記憶装置（Secondary Storage）７０や、ＬＣＤモニタ等の出力装置７２、操作パネル、キーボード、マウスなどの入力装置７４などが接続されている。

そして、電源を投入すると、ＲＯＭ６４等に記憶されたＢＩＯＳ等のシステムプログラムが、ＲＯＭ６４に予め記憶された各種専用のコンピュータプログラム、あるいは、ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ−ＲＯＭなどの記憶媒体を介して記憶装置７０にインストールされた各種専用のコンピュータプログラムをＲＡＭ６２にロードし、ＲＡＭ６２にロードされたプログラムに記述された命令に従ってＣＰＵ６０が各種リソースを駆使して所定の制御及び演算処理を行うことで後述する各機能をソフトウェア上で実現できるようになっている。

（第１の制御装置５Ａの機能構成）
次に、図５に基づき、第１の制御装置５Ａの機能構成を説明する。
第１の制御装置５Ａの第１の機能構成部５０Ａは、図５に示すように、溝研削処理部５１と、ワーク情報測定部５２と、測定基準座標測定部５３と、ツルーイング処理部５４と、ベース位置決定部５５とを備えている。

溝研削処理部５１は、入力装置７４を介して入力される研削開始指令に応じて、記憶装置７０に予め記憶された、形成する溝の種類（例えば商品又はワークの型番等）に対応した、目標溝形状データ、加工条件データ等の溝研削加工に必要なデータを記憶装置７０から読み出す。そして、読み出したデータに基づき、まず、溝研削用砥石２１ａのツルーイング処理を実行してから、溝の研削加工処理を実行する。

ここで、目標溝形状データは、加工対象のワークの型番毎に１つのデータが用意されている。具体的に、目標溝断面形状に係る情報を含むデータである。
また、加工条件データは、ワークＷの形状、材質等、溝研削用砥石２１ａの種類等によって予め決められた加工条件のデータである。例えば、商品又はワークの型番毎に設定されるデータである。

また、溝研削処理部５１は、加工対象のワークが外輪用ワークＷｏの場合に、研削加工を繰り返し実行して、２回目以降のツルーイングの実行タイミングになったと判定すると、ワーク情報測定指令をワーク情報測定部５２に出力する。
ワーク情報測定部５２は、タッチプローブ２２を用いて、溝研削加工後の外輪用ワークＷｏの溝部分とこれと対向する溝部分との溝底部間の距離を測定する。加えて、外輪用ワークＷｏの中心位置Ｒｃｉの座標を測定する。

ここで、第１実施形態では、図１に示すように、溝研削加工後の外輪用ワークＷｏに形成された溝の、加工点Ｐｇ側の溝部分の溝底部である第１の溝底部Ｄｂ１とこれと対向する溝部分の溝底部である第２の溝底部Ｄｂ２との間の距離である第１の溝底径Ｄｉを測定する。加えて、外輪用ワークＷｏの中心位置Ｒｃｉの座標である第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）を測定する。ここで、加工点Ｐｇは、溝研削加工時の溝研削用砥石２１ａとワークＷとの接点である。

具体的に、ワーク情報測定部５２は、溝研削処理部５１から入力されるワーク情報測定指令に応じて、まず、タッチプローブ２２を用いて、溝研削加工後の外輪用ワークＷｏの溝の形状を測定する。この処理は、ワーク回転用モータ３５、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ、及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御することで実行する。
具体的に、ワーク情報測定部５２は、加工点Ｐｇに対応する溝部分とその対向位置の溝部分の２箇所の溝形状を測定する。

即ち、ワーク情報測定部５２は、まず、加工点Ｐｇに対応する溝部分の位置に対して、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御する。そして、プローブヘッド２２ｂを測定位置への位置合わせに必要な各軸方向に移動して測定対象の溝部分正面の予め設定されたＺ軸座標位置で停止する。このとき、各溝部分の測定に用いる先端球を予め決定しておく。ここでは、例えば、第２先端球２２ｆを加工点Ｐｇ側の測定に用い、第１先端球２２ｄを対向側の測定に用いる先端球に決定する。従って、まず、第２先端球２２ｆが加工点Ｐｇに対応する溝部分の正面に来るように移動を行う。引き続き、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍを駆動制御して、プローブヘッド２２ｂをＸ軸方向に移動し、第２先端球２２ｆを溝表面に接触させ、接触時のモータ回転角度位置θｍｘ及びθｍｚを測定する。更に、モータ回転角度位置θｍｘ及びθｍｚから、接触位置のＸ軸座標値及びＺ軸座標値を算出し、このＸ軸座標値及びＺ軸座標値を組にして、ＲＡＭ６２に記憶する。この位置測定を溝部分に沿ってＺ軸座標位置を変更しながら繰り返し行い、加工点Ｐｇ側の溝形状を測定する。

続いて、ワーク情報測定部５２は、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍを駆動制御して、第２先端球２２ｆと背面対向する第１先端球２２ｄを加工点Ｐｇに対応する溝部分と対向する位置にある溝部分の正面へと移動する。引き続き、Ｚ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、プローブヘッド２２ｂをＺ軸方向に移動し、先端球を予め設定されたＺ軸座標位置で停止する。そして、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍを駆動制御して、プローブヘッド２２ｂをＸ軸方向に移動し、第１先端球２２ｄを溝表面に接触させ、接触時のモータ回転角度位置θｍｘ及びθｍｚを測定する。更に、モータ回転角度位置θｍｘ及びθｍｚから、接触位置のＸ軸座標値及びＺ軸座標値を算出し、このＸ軸座標値及びＺ軸座標値を組にして、ＲＡＭ６２に記憶する。この位置測定を溝部分に沿ってＺ軸座標位置を変更しながら繰り返し行い、対向側の溝形状を測定する。

ワーク情報測定部５２は、溝形状の測定結果に基づき、外輪用ワークＷｏの対向する２箇所の溝部分に対して溝の最も深い部分、即ち加工点側及び対向側の第１及び第２の溝底部Ｄｂ１及びＤｂ２の座標である第１及び第２の溝底座標（Ｘ１，Ｚ１）及び（Ｘ２，Ｚ２）を特定する。なお、Ｚ１＝Ｚ２となる。そして、特定した第１及び第２の溝底座標（Ｘ１，Ｚ１）及び（Ｘ２，Ｚ２）に基づき溝底間の距離（第１の溝底径）Ｄｉ及び外輪用ワークＷｏの中心位置Ｒｃｉの座標である第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）を算出する。そして、算出した第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）をＲＡＭ６２に記憶する。

ワーク情報測定部５２は、第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）の測定を終了すると、測定基準座標測定指令を、測定基準座標測定部５３に出力する。
図５に戻って、測定基準座標測定部５３は、タッチプローブ２２を用いて、第１のツルーイング装置４Ａの測定基準４２の測定点Ｐｍの位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）（以下、「測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）」と記載する場合がある）を測定する。

具体的に、測定基準座標測定部５３は、ワーク情報測定部５２から入力される測定基準座標測定指令に応じて、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御する。これにより、プローブヘッド２２ｂをＸ軸方向及びＺ軸方向に移動し、予め測定用として決定した先端球（例えば、第２先端球２２ｆ）を測定基準４２の測定点Ｐｍに接触させる。そして、接触時のモータ回転角度位置θｍｘ及びθｍｚを測定する。更に、モータ回転角度位置θｍｘ及びθｍｚから、接触位置のＸ軸座標値Ｘｒ及びＺ軸座標値Ｚｒを算出し、このＸ軸座標及びＺ軸座標を組にして、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）としてＲＡＭ６２に記憶する。

測定基準座標測定部５３は、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）の測定が完了すると、ツルーイング実行指令を、ツルーイング処理部５４に出力する。
ツルーイング処理部５４は、第１のツルーイング装置４Ａを用いて、溝研削用砥石２１ａのツルーイングを実行する。
具体的に、ツルーイング処理部５４は、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、溝研削用砥石２１ａを、第１のツルーイング装置４Ａのダイヤモンドドレッサー４１のツルーイング点Ｐｔの近傍位置へと移動する。その後、砥石スピンドル用モータ２１ｄを駆動制御し、溝研削用砥石２１ａをツルーイング用の回転速度で回転する。そして、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、溝研削用砥石２１ａを、ツルーイング点Ｐｔに向けてツルーイング用の切り込み速度でＸ軸方向に移動すると共に、ツルーイング用の送り速度でＺ軸方向に移動する。これによって、溝研削用砥石２１ａのツルーイングを行う。ツルーイング処理部５４は、ツルーイングが終了すると、第１のツルーイング装置４Ａの測定器４５に、ダイヤモンドドレッサー４１のツルーイング点Ｐｔの基準位置（Ｘｔ，Ｚｔ）に対する磨耗量ΔＸｔを測定させる。そして、測定された磨耗量ΔＸｔをＲＡＭ６２に記憶する。加えて、ＲＡＭ６２に記憶された測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を、ツルーイング終了時のベース部２０の代表座標（以下、「ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）」と記載する場合がある）として設定する。ここで、第１実施形態において、ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）は変数として管理されている。従って、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を、変数であるベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）に代入することで、ツルーイング終了時のベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を決定する。

ツルーイング処理部５４は、ツルーイング及び磨耗量ΔＸｔの測定が終了すると、ベース位置決定指令を、ベース位置決定部５５に出力する。
ベース位置決定部５５は、溝研削用砥石２１ａと外輪用ワークＷｏの加工点Ｐｇ側の第１の溝底部Ｄｂ１とが接触するときのベース部２０の位置を決定する。
具体的に、ベース位置決定部５５は、ＲＡＭ６２に記憶された、ツルーイング点Ｐｔの基準位置座標（Ｘｔ，Ｚｔ）と、磨耗量ΔＸｔとから、ツルーイング終了時のツルーイング点Ｐｔの座標（Ｘｔ＋ΔＸｔ，Ｚｔ）を算出する。次に、この座標（Ｘｔ＋ΔＸｔ，Ｚｔ）と、ＲＡＭ６２に記憶された測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）とから、下式（１）及び（２）に従って、ツルーイング終了時のツルーイング点Ｐｔの座標と測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）との相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を算出する。以下、この相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を、「第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）」と記載する場合がある。

Ｘｒｔ＝Ｘｒ−（Ｘｔ＋ΔＸｔ） ・・・（１）
Ｚｒｔ＝Ｚｒ−Ｚｔ ・・・（２）
引き続き、算出した第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、ＲＡＭ６２に記憶された第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）とから、下式（３）及び（４）に基づき、溝研削用砥石２１ａと外輪用ワークＷｏの第１の溝底部Ｄｂ１とが接触するときのベース部２０の座標であるベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を算出する。

Ｘｂ＝Ｘｃｉ＋Ｘｒｔ＋Ｄｉ／２ ・・・（３）
Ｚｂ＝Ｚｃｉ＋Ｚｒｔ ・・・（４）
そして、算出したベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）をＲＡＭ６２に記憶する。即ち、変数であるベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）に、算出値を代入する。
このように、熱の影響を受けにくいツルーイング点Ｐｔと測定点Ｐｍとの第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、熱の影響を受けない第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）とからベース座標を決定することで、熱変形による誤差を補正する。

そして、ベース位置決定部５５は、ベース座標が決定すると、位置決定終了通知を溝研削処理部５１に出力する。
溝研削処理部５１は、ベース位置決定部５５からの位置決定終了通知を受信すると、以降は、ＲＡＭ６２に記憶されたベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を用いて、外輪用ワークＷｏの仕上げ加工を行う。

（外輪用ワークＷｏの溝加工処理）
次に、図６に基づき、第１実施形態の外輪用ワークＷｏの溝加工処理の処理手順を説明する。
第１の制御装置５ＡのＣＰＵ６０によってプログラムが実行され、外輪用ワークＷｏの溝加工処理が開始されると、図６に示すように、まず、ステップＳ１００に移行する。

ステップＳ１００では、溝研削処理部５１において、記憶装置７０から、研削加工対象の外輪用ワークＷｏの型番に対応する目標溝形状データ及び加工条件データをＲＡＭ６２に読み込んで、ステップＳ１０２に移行する。
ステップＳ１０２では、溝研削処理部５１において、ＲＡＭ６２に読み込んだ加工条件データに基づき溝形状管理処理を行う。その後、ステップＳ１０４に移行する。

ここで、溝形状管理処理は、第１のツルーイング装置４Ａを用いて、溝研削用砥石２１ａを、これから形成する溝形状を形成可能な形状にツルーイングする処理と、ツルーイングした溝研削用砥石２１ａを用いて外輪用マスターワークＷｏｍの周面に溝を研削加工する処理とを含む。更に、溝形状管理処理は、最初に加工する外輪用ワークＷｏに対して、位置基準マスターを測定し、この測定値を位置基準マスター初期値として、ＲＡＭ６２に記憶する処理を含む。

ステップＳ１０４では、溝研削処理部５１において、溝の研削加工処理を実行する。その後、ステップＳ１０６に移行する。
ここで、第１実施形態の溝の研削加工処理は、砥石スピンドル用モータ２１ｄ、ワーク回転用モータ３５、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、まず、外輪用ワークＷｏの内周面に溝研削用砥石２１ａを用いて溝を粗研削加工する。引き続き、ワーク回転用モータ３５、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、タッチプローブ２２によって外輪用ワークＷｏの溝形状を測定する。続いて、この測定結果に基づき寸法誤差を算出し、算出した寸法誤差に基づき、砥石スピンドル用モータ２１ｄ、ワーク回転用モータ３５、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、溝の仕上げ加工を行う処理となる。

このとき、ステップＳ１１６のベース位置決定処理を実行前は、砥石スピンドル２１ｂとプローブ軸２２ｓとのＸＺ軸座標の相対距離（Ｘｗｔ，Ｚｗｔ）に基づき、溝研削用砥石２１ａとプローブヘッド２２ｂとの間の座標変換を行って仕上げ加工を行う。以下、この相対距離（Ｘｗｔ，Ｚｗｔ）を、「第２の相対距離（Ｘｗｔ，Ｚｗｔ）」と記載する場合がある。ここで、第２の相対距離（Ｘｗｔ，Ｚｗｔ）は、砥石スピンドル２１ｂとプローブ軸２２ｓとの構造経由の距離が大きくなるほど熱の影響を受けやすくなる。ここで、構造経由の距離とは、必ずＸ／Ｙ／Ｚ軸のどれかの軸に並進し、空中を通過しない経路のみで構成された経路の距離である。即ち、空中経由の距離が短くても構造経由の距離が長い場合は熱変形が大きくなる。特に、大型の研削装置では、構造経由の距離が数［ｍ］にもなるため、僅かな温度変化でも相対位置は数十［μｍ］も変形する場合がある。この熱を起因とする相対位置変化は、座標変換時の大きな誤差となる。

一方、ベース位置決定処理の実行後は、ベース位置決定部５５で、第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）に基づき算出されたベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）に基づき、仕上げ加工を行う。即ち、熱的な影響を受けにくい第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を用いて座標変換を行うので熱変形による誤差を抑制することが可能となる。
本実施形態では、更に、２個目以降の溝形成後の外輪用ワークＷｏに対して位置基準マスターを測定し、この測定結果と位置基準マスター初期値との差を演算する。そして、演算結果が予め設定した規定値以下である場合に、以降の外輪用ワークＷｏに対して溝の研削加工処理を実行する。一方、規定値を超えている場合に、異常であると判断し動作を中断して、操作者に対して警報等によって報知する。

ステップＳ１０６では、溝研削処理部５１において、ツルーイングの実行タイミングであるか否かを判定する。そして、実行タイミングであると判定した場合（Ｙｅｓ）は、ワーク情報測定指令をワーク情報測定部５２に出力して、ステップＳ１０８に移行し、そうでないと判定した場合は、ステップＳ１０４に移行する。
ステップＳ１０８に移行した場合は、ワーク情報測定部において、外輪用ワークＷｏの第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）を測定する。その後、測定基準座標測定部５３に、測定基準座標測定指令を出力して、ステップＳ１１０に移行する。

ステップＳ１１０では、測定基準座標測定部５３において、タッチプローブ２２を用いて、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を測定する。その後、ツルーイング処理部５４に、ツルーイング実行指令を出力して、ステップＳ１１２に移行する。
ステップＳ１１２では、ツルーイング処理部５４において、溝研削用砥石２１ａのツルーイングを実行して、ステップＳ１１４に移行する。

ここで、砥石スピンドル２１ｂとプローブ軸２２ｓとの距離Ｘｗｔと、交換直後の溝研削用砥石２１ａの径は既知である。ツルーイング時はこれらの熱変形を考慮して、ダイヤモンドドレッサー４１に対して溝研削用砥石２１ａを位置決めし、切り込んでいく。また、ツルーイングが完了した時点でのベース部２０の位置を測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）で代表する。

ステップＳ１１４では、ツルーイング処理部５４において、第１のツルーイング装置４Ａの測定器４５に対して磨耗測定指令を出力して、ツルーイング点Ｐｔの基準位置（Ｘｔ，Ｚｔ）に対する磨耗量ΔＸｔを測定させる。そして、その後、ベース位置決定部５５に、ベース位置決定指令を出力して、ステップＳ１１６に移行する。
ステップＳ１１６では、ベース位置決定部５５において、ツルーイング終了時の第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を算出する。更に、この第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）とから、溝研削用砥石２１ａが第１の溝底部Ｄｂ１と接触するときのベース部２０の座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を算出する。これにより、ベース部２０の位置を補正する。その後、溝研削処理部５１に、位置決定終了通知を出力して、ステップＳ１１８に移行する。

ステップＳ１１８では、溝研削処理部５１において、溝加工処理が終了したか否かを判定し、終了したと判定した場合（Ｙｅｓ）は、一連の処理を終了し、終了していないと判定した場合（Ｎｏ）は、ステップＳ１０４に移行する。
（ワーク情報測定処理）
次に、上記ステップＳ１０８で実行されるワーク情報測定処理の処理手順を説明する。

ステップＳ１０８において、ワーク情報測定処理が実行されると、図７に示すように、まず、ステップＳ２００に移行する。
ステップＳ２００では、ワーク情報測定部５２において、タッチプローブ２２を用いて、加工点Ｐｇに対応する溝部分、及び外輪用ワークＷｏの中心を通ってこの溝部分と対向する溝部分の形状を測定する。その後、ステップＳ２０２に移行する。

ここで、第１及び第２先端球２２ｄ及び２２ｆを測定に用いることとする。この場合、ワーク情報測定部５２は、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、まず、測定に用いる第１及び第２先端球２２ｄ及び２２ｆを測定対象の溝部分正面の未測定のＺ軸座標位置へと移動する。
第１実施形態では、加工対象が外輪用ワークＷｏであるため、測定対象の溝部分は、対向位置にある一対の溝部分となる。この場合、同時に、一対の測定対象の溝部分の一方が第１先端球２２ｄと対向し、他方が第２先端球２２ｆと対向することになる。

Ｚ軸座標位置が決まると、次に、プローブヘッド２２ｂの第１先端球２２ｄ又は第２先端球２２ｆを、測定対象の溝部分の表面に接触させる。具体的に、ワーク情報測定部５２は、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍを駆動制御して、タッチプローブ２２をＸ軸方向に移動する。そして、第１先端球２２ｄ又は第２先端球２２ｆを測定対象の溝部分の表面に接触させる。

続いて、ワーク情報測定部５２は、Ｘ軸エンコーダ２８Ｅ及びＺ軸エンコーダ２５Ｅからの接触位置におけるモータ回転角度位置θｍｘ及びθｍｚを取得する。そして、取得したモータ回転角度位置θｍｘ及びθｍｚを、例えば、記憶装置７０に予め記憶された変換テーブルを参照して、ワーク座標系のＸ軸座標値及びＺ軸座標値に変換し、これらの組を、ＲＡＭ６２に記憶する。

以上の一連の測定処理を溝部分の形状を測定するのに必要な範囲内でＺ軸座標を変えながら繰り返し行うことで溝形状を測定する。
ステップＳ２０２では、ワーク情報測定部５２において、ステップＳ２００で測定した対向する一対の溝部分の溝形状情報（座標情報）に基づき、第１及び第２の溝底部Ｄｂ１及びＤｂ２の第１及び第２の溝底座標（Ｘ１，Ｚ１）及び（Ｘ２，Ｚ２）を特定する。そして、特定した第１及び第２の溝底座標（Ｘ１，Ｚ１）及び（Ｘ２，Ｚ２）から第１の溝底径Ｄｉ（＝Ｘ１−Ｘ２）を算出する。その後、特定した第１及び第２の溝底座標（Ｘ１，Ｚ１）及び（Ｘ２，Ｚ２）と、算出した第１の溝底径ＤｉとをＲＡＭ６２に記憶して、ステップＳ２０４に移行する。

ステップＳ２０４では、ワーク情報測定部５２において、ステップＳ２０２で算出した第１の溝底径Ｄｉと、ＲＡＭ６２に記憶された第１及び第２の溝底部Ｄｂ１及びＤｂ２のＺ軸座標とから外輪用ワークＷｏの第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）を算出する。その後、算出した第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）をＲＡＭ６２に記憶して、一連の処理を終了し元の処理に復帰する。

（ベース位置決定処理）
次に、上記ステップＳ１１６で実行されるベース位置決定処理の処理手順を説明する。
ステップＳ１１６において、ベース位置決定処理が実行されると、図８に示すように、まず、ステップＳ３００に移行する。
ステップＳ３００では、ベース位置決定部５５において、ツルーイング終了時の第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を算出する。その後、ステップＳ３０２に移行する。

具体的に、ベース位置決定部５５は、ＲＡＭ６２に記憶された、ツルーイング点Ｐｔの基準位置座標（Ｘｔ，Ｚｔ）と、磨耗量ΔＸｔとから、ツルーイング終了時のツルーイング点Ｐｔの座標（Ｘｔ＋ΔＸｔ，Ｚｔ）を算出する。引き続き、この座標（Ｘｔ＋ΔＸｔ，Ｚｔ）と測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）とから、上式（１）及び（２）に従って、ツルーイング終了時の第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）＝（Ｘｒ−（Ｘｔ＋ΔＸｔ），Ｚｒ−Ｚｔ）を算出する。

ステップＳ３０２では、ベース位置決定部５５において、ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を算出する。その後、算出したベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）をＲＡＭ６２に記憶して、一連の処理を終了し元の処理に復帰する。
具体的に、ベース位置決定部５５は、ステップＳ３００で算出した第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、ＲＡＭ６２に記憶された第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）とから、上式（３）及び（４）に従って、ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を算出する。

（動作）
次に、図１〜図８を参照しつつ、図９〜図１２に基づき、第１実施形態の第１の研削装置１Ａの動作例を説明する。
いま第１の制御装置５Ａに対して入力装置７４を介して外輪用ワークＷｏの研削開始指令が入力されたとする。これにより、第１の制御装置５Ａは、まず、記憶装置７０に記憶された、目標溝形状データ及び加工条件データをＲＡＭ６２に読み込む。そして、読み込んだデータに基づき、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、溝研削用砥石２１ａを第１のツルーイング装置４Ａのツルーイング点Ｐｔの近傍（但し、Ｚ軸座標はツルーイング開始位置）に移動する。

次に、第１の制御装置５Ａは、砥石スピンドル用モータ２１ｄを駆動制御して、溝研削用砥石２１ａを予め設定したツルーイング用の回転速度で回転する。引き続き、第１の制御装置５Ａは、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、溝研削用砥石２１ａを、ツルーイング点Ｐｔにツルーイング用の切り込み速度でＸ軸方向に移動する（切り込む）と共に、ツルーイング用の送り速度でＺ軸方向に移動する。これにより、溝研削用砥石２１ａの砥石面を所望の形状へと成形する。

次に、第１の制御装置５Ａは、不図示のワーク交換機構によって、ワーク支持部３のワーク支持用部材３２に外輪用マスターワークＷｏｍを固定支持する。そして、第１の制御装置５Ａは、砥石スピンドル用モータ２１ｄを駆動制御して、溝研削用砥石２１ａを予め設定した溝研削用の回転速度で回転する。
引き続き、第１の制御装置５Ａは、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して溝研削部２１を移動し、回転する溝研削用砥石２１ａの砥石面を、ワーク支持用部材３２に固定支持された外輪用マスターワークＷｏｍの内周面の溝形成位置へと移動すると共に予め設定した切り込み量で切り込む。これによって、外輪用マスターワークＷｏｍの溝研削用砥石２１ａの接触位置に溝が形成される。第１の制御装置５Ａは、ワーク回転用モータ３５を駆動制御して、外輪用マスターワークＷｏｍを予め設定した回転角度ずつ回転させて、外輪用マスターワークＷｏｍの内周面に溝を形成する。

続いて、第１の制御装置５Ａは、タッチプローブ２２によって、外輪用マスターワークＷｏｍの内周面に形成した溝の形状測定処理を行う。これによって、外輪用マスターワークＷｏｍの溝形状の情報を得ると、次に、第１の制御装置５Ａは、測定した溝形状情報と、ＲＡＭ６２に読み込んだ目標溝形状データとに基づき、目標溝形状に対する形成した溝形状のズレ量を算出する。そして、算出したズレ量を補正値としてＲＡＭ６２に記憶する。

補正値の測定処理が終了すると、第１の制御装置５Ａは、不図示のワーク交換機構によって、最初に加工する外輪用ワークＷｏをワーク支持用部材３２に固定支持する。そして、第１の制御装置５Ａは、この最初に加工する外輪用ワークＷｏに対して、プローブヘッド２２ｂによって、位置基準マスターを測定する。
具体的に、第１の制御装置５Ａは、Ｚ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、プローブヘッド２２ｂの先端球２２ｆを、Ｚ軸方向に移動して、外輪用ワークＷｏのＺ軸方向の上端位置及び下端位置を測定する。次に、第１の制御装置５Ａは、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍを駆動制御して、プローブヘッド２２ｂの先端球２２ｆを、Ｘ軸方向に移動して、ワーク支持用部材３２との接触位置を測定する。そして、これら測定した位置情報を位置基準マスター初期値として、ＲＡＭ６２に記憶する。

次に、第１の制御装置５Ａは、溝研削部２１によって、外輪用ワークＷｏの内周面を粗研削加工して溝を形成する。更に、第１の制御装置５Ａは、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、タッチプローブ２２を用いて、外輪用ワークＷｏに形成した溝の形状測定を行う。
続いて、第１の制御装置５Ａは、測定した溝形状情報と、ＲＡＭ６２に記憶された目標溝形状データ及び補正値とに基づき、直径等の各種寸法と、楕円量、傾斜誤差等の各種寸法誤差とを算出する。そして、第１の制御装置５Ａは、算出した各種寸法及び各種寸法誤差を、ＲＡＭ６２に記憶する。

その後、第１の制御装置５Ａは、ＲＡＭ６２に記憶された各種寸法及び各種寸法誤差に基づき、溝研削部２１の姿勢補正のための補正値等の各種補正値及び溝の取り残し代を算出する。
そして、第１の制御装置５Ａは、各種補正値に基づき各種モータを制御して機械の姿勢を補正し、外輪用ワークＷｏに形成した溝の取り残し代分を加工する。即ち、仕上げ加工を行う。このとき、溝研削用砥石２１ａとプローブヘッド２２ｂとの間の座標変換は、第２の相対距離（Ｘｗｔ，Ｚｗｔ）を用いて行う。

引き続き、２個目以降の外輪用ワークＷｏについて、第１の制御装置５Ａは、まず、砥石スピンドル用モータ２１ｄ、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、溝研削部２１によって、外輪用ワークＷｏの内周面を粗研削加工して溝を形成する。次に、タッチプローブ２２によって、溝研削加工後の外輪用ワークＷｏに対して位置基準マスターを測定する。

更に、位置基準マスター測定値と、先に測定した位置基準マスター初期値との差分値を算出し、算出した差分値と規定値とを比較する。そして、差分値が規定値以下であると判定した場合、引き続き、上記同様に位置情報の測定処理、各種寸法及び各種寸法誤差の算出処理、各種補正値及び溝の取り残し代の算出処理、仕上げ加工処理を実施する。
以降は、上記同様の処理を繰り返し行い、外輪用ワークＷｏの内周面に順次溝を形成していく。

一方、位置基準マスター測定値と位置基準マスター初期値との差分値が規定値を超えると判定した場合、異常があったと見なして以降の動作を中止し、不図示の警報装置によって、操作者に異常があったことを報知する。
異常が検出されず溝加工処理が繰り返し行われると、第１の制御装置５Ａは、溝加工途中において、ツルーイングが必要なタイミングになったか否かを判定する。これは、例えば、溝研削加工数や連続研削時間等から判定する。

第１の制御装置５Ａは、ツルーイングが必要なタイミングになったと判定すると、まず、溝加工後の外輪用ワークＷｏに対して、タッチプローブ２２を用いて、ワーク情報の測定を行う。
具体的に、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、例えば、図９（ａ）に示すように、タッチプローブ２２を用いて、加工点Ｐｇ側の溝部である第１の溝部Ｄ１の形状と、第１の溝部Ｄ１と対向する溝部である第２の溝部Ｄ２の形状とを測定する。即ち、第１の制御装置５Ａは、タッチプローブ２２の第２先端球２２ｆを第１の溝部Ｄ１の表面に接触させて溝表面の座標情報を取得する処理を、第１の溝部Ｄ１に沿ってＺ軸座標位置を変えながら繰り返し行う。同様に、タッチプローブ２２の第１先端球２２ｄを第２の溝部Ｄ２の表面に接触させて溝表面の座標情報を取得する処理を、第２の溝部Ｄ２に沿ってＺ軸座標位置を変えながら繰り返し行う。

第１の制御装置５Ａは、測定した第１の溝部Ｄ１の形状情報と、測定した第２の溝部Ｄ２の形状情報とに基づき、第１の溝底部Ｄｂ１の第１の溝底座標（Ｘ１，Ｚ１）と第２の溝底部Ｄｂ２の第２の溝底座標（Ｘ２，Ｚ２）とを特定する。
引き続き、第１及び第２の溝底座標（Ｘ１，Ｚ１）及び（Ｘ２，Ｚ２）に基づき、第１の溝底径Ｄｉ（＝Ｘ１−Ｘ２）を算出する。更に、第１の溝底径Ｄｉ、第１の溝底座標（Ｘ１，Ｚ１）及び第２の溝底座標（Ｘ２，Ｚ２）に基づき、「Ｘｃｉ＝Ｘ１−Ｄｉ／２」、「Ｚｃｉ＝Ｚ１＝Ｚ２」から第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）を算出する。第１の制御装置５Ａは、算出した第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）をＲＡＭ６２に記憶する。

続いて、第１の制御装置５Ａは、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を測定する。
具体的に、第１の制御装置５Ａは、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、例えば、図９（ｂ）に示すように、タッチプローブ２２を用いて、測定点基準位置座標を測定する。ここでは、タッチプローブ２２の第２先端球２２ｆを測定点Ｐｍに接触させ、接触位置の座標情報を取得することで、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を測定する。

引き続き、第１の制御装置５Ａは、上記溝加工前の最初のツルーイング時と同様に、溝研削用砥石２１ａのツルーイングを行う。即ち、第１の制御装置５Ａは、各種モータを制御して、例えば、図９（ｃ）に示すように、溝研削用砥石２１ａをツルーイング用の回転速度で回転した状態で、ツルーイング用の切り込み速度でＸ軸方向に移動すると共に、ツルーイング用の送り速度でＺ軸方向に移動する。これにより、溝研削用砥石２１ａの砥石面を形直しする。

ツルーイングの終了後、第１の制御装置５Ａは、第１のツルーイング装置４Ａの測定器４５に、ツルーイング点Ｐｔの基準位置（Ｘｔ，Ｚｔ）からの磨耗量ΔＸｔの測定指令を出力する。これにより、測定器４５は、例えば、図９（ｄ）の下図に示すように、ツルーイングによる磨耗後のツルーイング点Ｐｔの位置を測定する。そして、図９（ｄ）の上図に示すツルーイング前の基準位置との差ΔＸｔを算出する。測定器４５で測定された磨耗量ΔＸｔは不図示の電気ケーブルを介して第１の制御装置５Ａに入力される。

第１の制御装置５Ａは、入力された磨耗量ΔＸｔから、図１０に示すように、ツルーイング終了時の溝研削用砥石２１ａの外輪用ワークＷｏの第１の溝底部Ｄｂ１と接触する部分（ツルーイング終了時のツルーイング点Ｐｔと接触する部分）の座標（Ｘｔ＋ΔＸｔ，Ｚｔ）を算出する。
引き続き、第１の制御装置５Ａは、ツルーイング終了時の溝研削用砥石２１ａの外輪用ワークＷｏの第１の溝底部Ｄｂ１と接触する部分の座標（Ｘｔ＋ΔＸｔ，Ｚｔ）と、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）との相対距離を算出する。

具体的に、第１の制御装置５Ａは、図１０に示すように、上式（１）に従って、Ｘ軸座標の相対距離Ｘｒｔを「Ｘｒｔ＝Ｘｒ−（Ｘｔ＋ΔＸｔ）」と算出し、上式（２）に従って、Ｚ軸座標の相対距離Ｚｒｔを「Ｚｒｔ＝Ｚｒ−Ｚｔ」と算出する。
そして、第１の制御装置５Ａは、算出した第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）とから、ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を算出する。

具体的に、第１の制御装置５Ａは、上式（３）に従って、ベース部２０のツルーイング終了時の測定点ＰｍのＸ軸座標Ｘｒに対応する位置のＸ軸座標Ｘｂを「Ｘｂ＝Ｘｃｉ＋Ｘｒｔ＋Ｄｉ／２」と算出する。更に、上式（４）に従って、ベース部２０のツルーイング終了時の測定点ＰｍのＺ軸座標Ｚｒに対応する位置のＺ軸座標Ｚｂを「Ｚｂ＝Ｚｃｉ＋Ｚｒｔ」と算出する。

即ち、ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）は、図１１に示すように、ツルーイング終了時の溝研削用砥石２１ａがツルーイング点Ｐｔに接触しているときの測定基準４２の測定点Ｐｍの位置に対応した位置の座標となる。
このように、溝研削用砥石２１ａが第１の溝底部Ｄｂ１に接触するときのベース部２０の位置を、熱的影響の比較的小さいツルーイング点Ｐｔと測定点Ｐｍとの相対距離から算出するようにした。これにより、熱的影響の比較的大きい砥石スピンドル２１ｂとプローブ軸２２ｓとの相対距離である第２の相対距離（Ｘｗｔ，Ｚｗｔ）を用いた場合と比較して、熱的影響による相対位置変化を抑制することが可能となる。

第１の制御装置５Ａは、ベース座標決定後の仕上げ処理において、例えば、図９（ｅ）に示すように、現在の第１の溝底径Ｄｉに対して、目標溝底径Ｄｉｆとした場合に、ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）から、（Ｄｉｆ−Ｄｉ）／２を相対移動させて外輪用ワークＷｏを加工することで所望の寸法に仕上げることが可能となる。
以降は、次のツルーイングを実行するタイミングとなるまで、外輪用ワークＷｏ毎に、タッチプローブ２２によって溝形状を測定し、測定した溝形状データに基づき、第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）を算出する。そして、これら算出値と、今回算出した第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）とを用いて、溝研削用砥石２１ａが第１の溝底部Ｄｂ１に接触するときのベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を決定し、上記同様の仕上げ加工処理を行う。

また、ツルーイングを実行するタイミングとなる毎に、上記一連の処理を実行して、第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を算出する。そして、算出した第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）から、ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を決定し、上記同様の仕上げ加工処理を行う。
一方、上記ツルーイング点Ｐｔと測定基準４２の測定点Ｐｍとの第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を利用したベース位置決定処理を行わない場合の、溝研削用砥石２１ａが第１の溝底部Ｄｂ１に接触するときのベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を求める方法の一例を説明する。

まず、タッチプローブ２２を用いて、外輪用ワークＷｏの第１の溝部Ｄ１の形状と、第２の溝部Ｄ２の形状とを測定する。更に、測定した形状情報に基づき、第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）を算出する。
次に、プローブ軸２２ｓの先端部の中心位置をベース部２０の位置として、第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）と、第３先端球２２ｈのＸＺ軸の中心座標との位置を合わせて、このときの座標をベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）＝（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）に設定する。

更に、溝研削用砥石２１ａの砥石径をＤｇとして、溝研削用砥石２１ａが第１の溝底部Ｄｂ１に接触するときのベース部２０の位置（即ち、第３先端球２２ｈのＸＺ軸の中心位置）は、砥石スピンドル２１ｂとプローブ軸２２ｓとの相対距離（Ｘｗｔ，Ｚｗｔ）を用いて、下式（５）及び（６）から求めることができる。
Ｘｂ＝Ｘｃｉ＋（Ｘｗｔ−Ｄｇ／２）＋Ｄｉ／２ ・・・（５）
Ｚｂ＝Ｚｃｉ＋Ｚｗｔ ・・・（６）
ここで、測定値である第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）と、第１の溝底径Ｄｉとは熱変形による影響を受けない値である。一方、図１２中の（１）の双方向矢印線に示すように、砥石スピンドル２１ｂとプローブ軸２２ｓとは、両者の間の構造経由の距離が長く、特に、大型の研削装置（大型研削盤）などでは数［ｍ］にもなる。加えて、同図中の（１）の経路にある構造体内に、砥石スピンドル用モータ２１ｄを要因とする第１の発熱源Ｈｓ１が存在する。

また、図１２中の（２）の双方向矢印線に示すように、溝加工時の溝研削用砥石２１ａと第１のツルーイング装置４Ａのダイヤモンドドレッサー４１とは、両者の間の構造経由の距離が長く、特に、大型研削盤などでは数［ｍ］にもなる。加えて、熱の影響を受けることで、砥石径Ｄｇは、溝研削用砥石２１ａとダイヤモンドドレッサー４１との相対位置関係の倍で変化する。更に、図１２に示すように、同図中の（２）の経路には、加工点Ｐｇでの溝加工を要因とする第２の発熱源Ｈｓ２と、ワーク回転用モータ３５を要因とする第３の発熱源Ｈｓ３とが存在する。

以上のことから、第２の相対距離（Ｘｗｔ，Ｚｗｔ）及び砥石径Ｄｇは、熱の影響を受けやすい距離及び寸法となり、構造体の熱変形による誤差が生じやすい。
これに対して、図１２中の（３）の双方向矢印線に示すように、測定基準４２と第１のツルーイング装置４Ａのダイヤモンドドレッサー４１とは、両者の間の構造経由の距離が短く、かつ、周辺に発熱源が少ないため熱的に安定した位置にある構成部となる。即ち、測定基準４２の測定点Ｐｍとダイヤモンドドレッサー４１のツルーイング点Ｐｔとの第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）は、構造体の熱変形による誤差が生じにくい。

ここで、溝研削用砥石２１ａは回転砥石に対応し、第１のツルーイング装置４Ａはツルーイング部に対応し、ドレッサーベース４０は基台に対応し、ダイヤモンドドレッサー４１はドレッサーに対応する。
また、溝研削処理部５１は研削処理部に対応し、ワーク情報測定部５２はワーク形状測定処理部に対応し、測定器４５は、ツルーイング点座標測定部に対応する。

（第１実施形態の作用及び効果）
第１実施形態に係る第１の研削装置１Ａは、加工点Ｐｇの位置が、Ｙ軸方向から視て、砥石スピンドル２１ｂを挟んでツルーイング点Ｐｔ側に位置するように構成されている。加えて、砥石スピンドル２１ｂとこの砥石スピンドル２１ｂの先端部に取付けられた溝研削用砥石２１ａと砥石スピンドル２１ｂを回転駆動する砥石スピンドル用モータ２１ｄとを有する溝研削部２１を備える。更に、ワークＷを固定支持するワーク支持用部材３２と、ワーク支持用部材３２を、ワーク回転用スピンドル３３を介して砥石スピンドル２１ｂと並行な軸回りに回転可能に支持するテーブル３１と、ワーク回転用スピンドル３３を回転駆動するワーク回転用モータ３５とを有するワーク支持部３を備える。更に、プローブ軸２２ｓとこのプローブ軸２２ｓの先端部に設けられた測定子２２ｔとを有するタッチプローブ２２を備える。更に、溝研削部２１及びタッチプローブ２２を軸並行に固定支持するベース部２０と、タッチプローブ２２の位置基準である測定基準４２とを備える。更に、ドレッサーベース４０と、ドレッサーベース４０のワーク支持部３と対向する側に設けられた溝研削用砥石２１ａをツルーイングするためのダイヤモンドドレッサー４１とを有する第１のツルーイング装置４Ａを備える。更に、第１及び第２のベース部２３及び２６を、ワークＷの研削位置、溝研削用砥石２１ａのツルーイング位置、ワークＷの形状の測定位置及び測定基準４２の測定位置へと移動する移動機構部を備える。この移動機構部は、ベース部２０の第１のベース部２３をＺ軸方向に移動するための機構部として、Ｚ軸駆動用モータ２５Ｍ、第１の左直動案内装置２４Ｌ、第１の右直動案内装置２４Ｒ、及び第１のボールねじ装置２５を備える。更に、この移動機構部は、ベース部２０の第２のベース部２６をＸ軸方向に移動するための機構部として、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ、第２の左直動案内装置２７Ｌ、第２の右直動案内装置２７Ｒ及び第２のボールねじ装置２８を備える。

そして、第１実施形態に係る第１の研削装置１Ａは、溝研削処理部５１が、砥石スピンドル用モータ２１ｄ、ワーク回転用モータ３５、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、予め設定した溝研削用の回転速度で回転する溝研削用砥石２１ａをワーク支持用部材３２に固定支持されたワークＷに接触させて、ワークＷを研削する処理を行う。ワーク情報測定部５２が、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、タッチプローブ２２の測定子２２ｔをワーク支持部３に固定支持された研削加工後のワークＷに接触させて、該ワークＷの形状を測定する処理を行う。測定基準座標測定部５３が、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、タッチプローブ２２の測定子２２ｔを測定基準４２に接触させて、測定基準４２の測定点Ｐｍの位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を測定する処理を行う。ツルーイング処理部５４が、砥石スピンドル用モータ２１ｄ、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、予め設定したツルーイング用の回転速度で回転する溝研削用砥石２１ａを第１のツルーイング装置４Ａのダイヤモンドドレッサー４１のツルーイング点Ｐｔに接触させて溝研削用砥石２１ａをツルーイングする処理を行う。第１のツルーイング装置４Ａの測定器４５が、ツルーイング点Ｐｔの位置座標（Ｘｔ，Ｚｔ）を測定する。

ここで、測定基準４２とダイヤモンドドレッサー４１とは、熱的影響による測定点Ｐｍの位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）とツルーイング点Ｐｔの位置座標（Ｘｔ，Ｚｔ）との相対距離である第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）の誤差が予め設定した目標加工精度を満たす範囲内となる位置関係に配設されている。具体的に、第１実施形態において、第１のツルーイング装置４Ａは、例えば、発熱源から可能な限り離れた位置に配設され、測定基準４２は、第１のツルーイング装置４Ａのドレッサーベース４０の上部に設けられている。より具体的に、測定基準４２は、例えば、ドレッサーベース４０のフレームが鉄製であり、目標加工精度を５［μｍ］以下に設定した場合に、ダイヤモンドドレッサー４１との構造経由の距離が４１［ｃｍ］以下となる位置に設けられる。

更に、ベース位置決定部５５が、ツルーイング終了時のベース部２０の位置座標を測定基準４２の位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）で代表する。加えて、測定基準４２の位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）とツルーイング終了時に測定器４５で測定したツルーイング点Ｐｔの位置座標（Ｘｔ，Ｚｔ）との第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、ワーク情報測定部５２で測定したワークＷの形状情報とに基づき、研削加工時に溝研削用砥石２１ａがワークＷと接触するときの前記代表の位置座標に対応するベース部２０の位置座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を決定する。溝研削処理部５１が、ベース位置決定部５５で決定したベース部の位置座標（Ｖｂ，Ｚｂ）に基づきワークＷの仕上げ加工を行う。

更に、ワークＷは、転がり軸受の軌道輪を構成する円環状の部材（外輪用ワークＷｏ，内輪用ワークＷｉ）である。そして、第１実施形態の溝研削処理部５１は、外輪用ワークＷｏの内周面に転動体の転動路となる溝を研削する溝研削処理を行う。ワーク情報測定部５２が、外輪用ワークＷｏの内周面に形成された溝の外輪用ワークＷｏの中心を介して対向する第１及び第２の溝部Ｄ１及びＤ２の形状を測定する。加えて、第１及び第２の溝部Ｄ１及びＤ２の形状から特定される第１の溝底部Ｄｂ１の座標（Ｘ１，Ｚ１）及び第２の溝底部Ｄｂ２の座標（Ｘ２，Ｚ２）に基づき溝底部間の直線距離である第１の溝底径Ｄｉ及び外輪用ワークＷｏの第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）を算出する処理を行う。ベース位置決定部５５が、測定基準４２の位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）とツルーイング終了時のツルーイング点Ｐｔの位置座標（Ｘｔ，Ｚｔ）との第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）とに基づき、溝研削加工時に溝研削用砥石２１ａが外輪用ワークＷｏの第１の溝底部Ｄｂ１と接触するときの前記代表の位置座標に対応するベース部２０の位置座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を決定する。

具体的に、測定基準４２の測定点Ｐｍの座標（Ｘｒ，Ｚｒ）とツルーイング終了時点のツルーイング点Ｐｔの座標（Ｘｔ，Ｚｔ）との第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、第１の溝底径Ｄｉと、外輪用ワークＷｏの第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）とから、前記代表の位置座標に対応するベース部２０の座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を上式（３）及び（４）に従って算出する。

上記構成であれば、従来の位置決め方法と比較して、ベース部２０の位置座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を決定する際に、熱による影響を受けにくい第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を用いるので、相対的に安定した加工が可能になる。また、構造経由の距離、即ち研削装置の寸法によらずにツルーイング点Ｐｔと測定基準４２との位置関係の変化のみで熱変形の影響を抑えることが可能である。この効果は、Ｘ軸方向の第１の相対距離Ｘｒｔと第２の相対距離Ｘｗｔとの差、Ｚ軸方向の第１の相対距離Ｚｒｔと第２の相対距離Ｚｗｔとの差が大きくなる大型の研削盤において顕著となる。また、構造材の線膨張係数を考慮しなくてもよいので、従来と比較して材料の制約が無い。また、複雑な熱変形制御を行わなくてもよいので設備の高度化が不要であり、そのためのコストが不要となる。即ち、従来と比較して簡易且つ低コストで熱変形による影響を抑制した位置決めが可能となる。
（第２実施形態）
（構成）
第２実施形態は、上記第１実施形態の第１の研削装置１Ａにおいて、第１のツルーイング装置４Ａ及び第１の制御装置５Ａに代えて、第２のツルーイング装置４Ｂ及び第２の制御装置５Ｂを備える点が異なる。また、上記第１実施形態の第１の研削装置１Ａは、加工点Ｐｇが、Ｙ軸方向から視て、砥石スピンドル２１ｂを挟んでツルーイング点Ｐｔと同じ側にある。これに対して、第２実施形態の第２の研削装置１Ｂでは、加工点Ｐｇが、Ｙ軸方向から視て、砥石スピンドル２１ｂを挟んでツルーイング点Ｐｔと反対側にある点が異なる。即ち、溝研削用砥石２１ａのツルーイング時の接触点と加工時の接触点とが砥石スピンドル２１ｂを挟んで反対となるため、第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を利用して座標変換を行う場合に、溝研削用砥石２１ａの砥石径を考慮する必要がある。しかし、砥石径は、ツルーイング点Ｐｔと溝研削用砥石２１ａとの位置関係の変化の２倍で変化するため、砥石径を補正する必要がある。そのため、第２実施形態の第２の研削装置１Ｂは、砥石径を補正する手段を有している点で上記第１実施形態と異なる。

以下、上記第１実施形態と同じ構成部に対しては同じ符号を付して適宜説明を省略し、異なる点を詳細に説明する。
第２実施形態に係る第２の研削装置１Ｂは、図１３に示すように、研削測定部２と、ワーク支持部３と、第２のツルーイング装置４Ｂと、第２の制御装置５Ｂとを備えている。
なお、図１３に例示したワークＷは、玉軸受の内輪用ワークＷｉであり、内輪の外周面に溝を形成するため、円筒形状のワーク支持用部材３２の上端に内輪用ワークＷｉを磁力で吸着して固定支持している。

第２のツルーイング装置４Ｂは、図１３及び図１４に示すように、ドレッサーベース４０と、ダイヤモンドドレッサー４１と、測定基準４２と、センサ支持部４３と、近接センサ４４とを備えている。
センサ支持部４３は、第１支持部４３ａと、第１支持部４３ａに接続する第２支持部４３ｂとを有する。第１支持部４３ａは、ドレッサーベース４０のダイヤモンドドレッサー４１側の面に一端が固定され、一端側からワーク支持部３に向かって水平方向に延長する低線膨張合金製の例えば角柱状の部材から構成されている。第２支持部４３ｂは、第１支持部４３ａの他端部（先端部）から上方に向かって垂直方向に延長する低線膨張合金製の角柱状の部材から構成されている。

近接センサ４４は、第２支持部４３ｂの上端部（Ｘ軸方向においてツルーイング点Ｐｔと対向する位置）に設けられ、近接検知境界ＤＰ以内に近づいた物体を検出するセンサである。例えば、エアマイクロセンサ、ＡＥ（Acoustic Emission）センサなどが該当する。ここで、近接検知境界ＤＰは、近接センサ４４が自身に近接した物体を検知可能な範囲と検知不可能な範囲との境界である。第２実施形態では、近接センサ４４は、図１４に示すように、ダイヤモンドドレッサー４１側から近接検知境界ＤＰ以内へと接近した溝研削用砥石２１ａを検知する。

（第２の制御装置５Ｂのハードウェア構成）
第２の制御装置５Ｂのハードウェア構成は、上記第１実施形態の第１の制御装置５Ａのハードウェア構成と同様となる。
（第２の制御装置５Ｂの機能構成）
第２の制御装置５Ｂは、第２の機能構成部５０Ｂとして、溝研削処理部５１と、ワーク情報測定部５２と、測定基準座標測定部５３と、ツルーイング処理部５４と、ベース位置決定部５５と、砥石径測定部５６とを備えている。

第２実施形態の溝研削処理部５１は、電源投入後の２回目のツルーイングの実行タイミングにおいて、ツルーイングの実行前に、溝加工終了時点の溝研削用砥石２１ａの中心点ＧＳｃの座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）を測定する。そして、測定した中心点ＧＳｃの座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）をＲＡＭ６２に記憶する。その後、ワーク情報測定指令をワーク情報測定部５２に出力する。

第２実施形態の溝研削処理部５１は、更に、砥石径測定部５６からの基準砥石径算出完了通知に応じて、２回目のツルーイングを実行後の溝研削用砥石２１ａを用いて、溝加工処理を実行する。加えて、ベース位置決定部５５からの位置決定終了通知に応じて、３回目以降のツルーイングを実行後の溝研削用砥石２１ａを用いて、溝加工処理を実行する。
第２実施形態のワーク情報測定部５２は、溝研削処理部５１からのワーク情報測定指令に応じて、タッチプローブ２２を用いて、溝研削加工後の内輪用ワークＷｉの溝部分とこれと背面対向する溝部分との溝底部間の距離を測定する。加えて、内輪用ワークＷｉの中心位置Ｒｃｏの座標を測定する。

ここで、第２実施形態では、図１３に示すように、溝研削加工後の内輪用ワークＷｉに形成された溝の、加工点Ｐｇ側の溝部分の溝底部である第３の溝底部Ｄｂ３とこれと背面対向する溝部分の溝底部である第４の溝底部Ｄｂ４との間の距離である第２の溝底径Ｄｏを測定する。加えて、内輪用ワークＷｉの中心位置Ｒｃｏの座標である第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）を測定する。

具体的に、ワーク情報測定部５２は、溝研削処理部５１から入力されるワーク情報測定指令に応じて、まず、タッチプローブ２２を用いて、溝研削加工後の内輪用ワークＷｉの溝の形状を測定する。上記第１実施形態の外輪用ワークＷｏのときと同様に、この処理は、ワーク回転用モータ３５、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ、及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御することで実行する。

第２実施形態のワーク情報測定部５２は、溝形状の測定結果に基づき、内輪用ワークＷｉの背面対向する２箇所の溝部分に対して溝の最も深い部分、即ち加工点Ｐｇ側及び背面対向側の第３及び第４の溝底部Ｄｂ３及びＤｂ４の座標である第３及び第４の溝底座標（Ｘ３，Ｚ３）及び（Ｘ４，Ｚ４）を特定する。なお、Ｚ３＝Ｚ４となる。そして、特定した第３及び第４の溝底座標（Ｘ３，Ｚ３）及び（Ｘ４，Ｚ４）に基づき溝底間の距離（第２の溝底径）Ｄｏ及び内輪用ワークＷｉの中心位置Ｒｃｏの座標である第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）を算出する。

第２実施形態のワーク情報測定部５２は、２回目のツルーイングの実行タイミングにおいて、その実行前に第２の溝底径Ｄｏ及び第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）の測定を終了すると、砥石径算出指令を砥石径測定部５６に出力する。
第２実施形態の測定基準座標測定部５３は、２回目のツルーイングの実行タイミングにおいて、ツルーイングの実行前に、ワーク情報測定部５２からの指令に応じて、タッチプローブ２２を用いて、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を測定する。そして、測定した測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）をＲＡＭ６２に記憶する。その後、測定完了通知をツルーイング処理部５４に出力する。また、３回目以降のツルーイングの実行タイミングにおいて、ツルーイングの実行前に、ツルーイング処理部５４からの指令に応じて、タッチプローブ２２を用いて、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を測定する。そして、測定した測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）をＲＡＭ６２に記憶する。その後、ツルーイング実行指令をツルーイング処理部５４に出力する。

砥石径測定部５６は、ワーク情報測定部５２からの砥石径算出指令に応じて、ＲＡＭ６２に記憶された、溝研削用砥石２１ａの中心点ＧＳｃの座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）と、第２の溝底径Ｄｏ及び第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）とから、下式（７）に従って、溝加工完了時の第１の砥石径Ｄｗｎを算出する。
Ｄｗｎ＝２×（Ｘｏｗ−Ｘｏｃ）−Ｄｏ・・・（７）
砥石径測定部５６は、算出した溝加工完了時の第１の砥石径ＤｗｎをＲＡＭ６２に記憶し、その後、測定基準座標測定指令を、測定基準座標測定部５３に出力する。

砥石径測定部５６は、更に、ツルーイング処理部５４からの砥石送り距離測定指令に応じて、２回目のツルーイングの実行前に、近接センサ４４を用いて、ツルーイング点Ｐｔから所定距離αだけ離れた位置から近接検知境界ＤＰまでの溝研削用砥石２１ａの送り距離である第１の砥石送り距離Ｘｗ０を測定する。そして、測定した第１の砥石送り距離Ｘｗ０をＲＡＭ６２に記憶し、ツルーイング実行指令をツルーイング処理部５４に出力する。

砥石径測定部５６は、ツルーイング処理部５４からの基準砥石径測定指令に応じて、まず、近接センサ４４を用いて、２回目のツルーイング後のツルーイング点Ｐｔから近接検知境界ＤＰまでの溝研削用砥石２１ａの送り距離である第２の砥石送り距離Ｘｗ１を測定する。次に、ＲＡＭ６２に記憶された溝加工完了時の第１の砥石径Ｄｗｎ、第１の砥石送り距離Ｘｗ０及び第２の砥石送り距離Ｘｗ１と、ＲＯＭ６４又は記憶装置７０に予め記憶された所定距離α及び２回目のツルーイング時の切り込み量Ａ０とから、下式（８）に従って、基準砥石径Ｄｗ０を算出する。

Ｄｗ０＝Ｄｗｎ−２×（Ｘｗ１−Ｘｗ０−Ａ０） ・・・（８）
なお、上式（８）の算出過程は、下式（８ａ）〜（８ｄ）となる（図２０（ａ）を参照）。
Ｄｗ０＝Ｄｗｎ−２×（Ａ０−α） ・・・（８ａ）
Ｘｗ１＋Ｄｗｎ−２×（Ａ０−α）＝Ｘｗ０＋Ｄｗｎ＋ａ ・・・（８ｂ）
α＝Ｘｗ０−Ｘｗ１＋２Ａ０ ・・・（８ｃ）
Ｄｗ０＝Ｄｗｎ−２×（Ａ０−（Ｘｗ０−Ｘｗ１＋２Ａ０）） ・・・（８ｄ）
上式（８ｄ）を整理することで、上式（８）が導出される。

そして、算出した基準砥石径Ｄｗ０をＲＡＭ６２に記憶する。その後、基準砥石径算出完了通知を溝研削処理部５１に出力する。
砥石径測定部５６は、ツルーイング処理部５４からの砥石径測定指令に応じて、まず、近接センサ４４を用いて、ツルーイング点Ｐｔから近接検知境界ＤＰまでの溝研削用砥石２１ａの送り距離である第３の砥石送り距離Ｘｗ２を測定する。そして、第２の砥石送り距離Ｘｗ１と第３の砥石送り距離Ｘｗ２との差である距離差ΔＸｗを算出する。次に、第１のツルーイング装置４Ａの測定器４５に、ダイヤモンドドレッサー４１のツルーイング点Ｐｔの現在の磨耗位置Ｔ１を測定させる。そして、基準磨耗位置Ｔ０（後述）と測定した磨耗位置Ｔ１との差である磨耗差ΔＴを算出する。引き続き、ＲＡＭ６２に記憶された基準砥石径Ｄｗ０と、算出した磨耗差ΔＴ及び距離差ΔＸｗとから、下式（９）に従って、熱変形による誤差が補正された砥石径である第２の砥石径Ｄｗを算出する。そして、算出した第２の砥石径ＤｗをＲＡＭ６２に記憶する。その後、ベース位置決定指令を、ベース位置決定部５５に出力する。

Ｄｗ＝Ｄｗ０−２×（ΔＸｗ＋ΔＴ）・・・（９）
第２実施形態のツルーイング処理部５４は、測定基準座標測定部５３からの測定完了通知に応じて、２回目のツルーイングの実行前に、第２のツルーイング装置４Ｂの測定器４５に、ダイヤモンドドレッサー４１のツルーイング点Ｐｔの基準磨耗位置Ｔ０を測定させる。そして、測定した基準磨耗位置Ｔ０をＲＡＭ６２に記憶し、砥石送り距離測定指令を砥石径測定部５６に出力する。

第２実施形態のツルーイング処理部５４は、更に、砥石径測定部５６からのツルーイング実行指令に応じて、上記第１実施形態と同様の手順で、溝研削用砥石２１ａの２回目のツルーイングを行う。その後、基準砥石径測定指令を砥石径測定部５６に出力する。
また、第２実施形態のツルーイング処理部５４は、３回目以降のツルーイングの実行タイミングにおいて、測定基準座標測定部５３からのツルーイング実行指令に応じてツルーイングを実行する。その後、砥石径測定指令を、砥石径測定部５６に出力する。

第２実施形態のベース位置決定部５５は、溝研削用砥石２１ａと内輪用ワークＷｉの加工点Ｐｇ側の第３の溝底部Ｄｂ３とが接触するときのベース部２０の位置を決定する。
具体的に、ベース位置決定部５５は、砥石径測定部５６からのベース位置決定指令に応じて、ＲＡＭ６２に記憶された、ツルーイング終了時点のツルーイング点Ｐｔの座標（Ｘｔ，Ｚｔ）と、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）とから、第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を算出する。

続いて、算出した第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、ＲＡＭ６２に記憶された、第２の溝底径Ｄｏ、第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）及び第２の砥石径Ｄｗとから、下式（１０）及び（１１）に基づき、溝研削用砥石２１ａと内輪用ワークＷｉの第３の溝底部Ｄｂ３とが接触するときのベース部２０の位置であるベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を算出する。そして、算出したベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）をＲＡＭ６２に記憶する。

このように、熱の影響を受けにくいツルーイング点Ｐｔと測定点Ｐｍとの第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、熱の影響を受けない、第２の砥石径Ｄｗ、第２の溝底径Ｄｏ及び第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）とからベース座標を決定することで、熱変形による誤差を補正する。
Ｘｂ＝Ｘｏｃ＋Ｄｏ／２＋Ｘｒｔ＋Ｄｗ ・・・（１０）
Ｚｂ＝Ｚｏｃ＋Ｚｒｔ ・・・（１１）
そして、ベース位置決定部５５は、ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）が決定すると、位置決定終了通知を溝研削処理部５１に出力する。

（内輪用ワークＷｉの溝加工処理）
次に、図１６に基づき、第２実施形態の内輪用ワークＷｉの溝加工処理の処理手順を説明する。
第２の制御装置５ＢのＣＰＵ６０によってプログラムが実行され、内輪用ワークＷｉの溝加工処理が開始されると、図１６に示すように、まず、ステップＳ４００に移行する。

ステップＳ４００では、溝研削処理部５１において、記憶装置７０から、研削加工対象の内輪用ワークＷｉの型番に対応する目標溝形状データ及び加工条件データをＲＡＭ６２に読み込んで、ステップＳ４０２に移行する。
ステップＳ４０２では、溝研削処理部５１において、ＲＡＭ６２に読み込んだ加工条件データに基づき溝形状管理処理を行う。その後、ステップＳ４０４に移行する。

ここで、溝形状管理処理は、第２のツルーイング装置４Ｂを用いて、溝研削用砥石２１ａを、これから形成する溝形状を形成可能な形状にツルーイングする処理と、ツルーイングした溝研削用砥石２１ａを用いて内輪用マスターワークＷｉｍの周面に溝を研削加工する処理とを含む。更に、溝形状管理処理は、最初に加工する外輪用ワークＷｏに対して、位置基準マスターを測定し、この測定値を位置基準マスター初期値として、ＲＡＭ６２に記憶する処理を含む。

ステップＳ４０４では、溝研削処理部５１において、溝の研削加工処理を実行する。その後、ステップＳ４０６に移行する。
ここで、第２実施形態の溝の研削加工処理は、砥石スピンドル用モータ２１ｄ、ワーク回転用モータ３５、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、まず、内輪用ワークＷｉの外周面に溝研削用砥石２１ａを用いて溝を粗研削加工する。引き続き、ワーク回転用モータ３５、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、タッチプローブ２２によって内輪用ワークＷｉの溝形状を測定する。続いて、この測定結果に基づき寸法誤差を算出し、算出した寸法誤差に基づき、砥石スピンドル用モータ２１ｄ、ワーク回転用モータ３５、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、溝の仕上げ加工を行う処理となる。

このとき、ステップＳ４１８の熱変形補正処理の実行前は、第２の相対距離（Ｘｗｔ，Ｚｗｔ）に基づき、溝研削用砥石２１ａとプローブヘッド２２ｂとの間の座標変換を行って仕上げ加工を行う。
一方、熱変形補正処理の実行後は、ベース位置決定部５５で、第２の砥石径Ｄｗと、第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）とに基づき算出されたベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）に基づき、仕上げ加工を行う。即ち、近接センサ４４による測定によって寸法誤差の補正された第２の砥石径Ｄｗと、熱的な影響を受けにくい第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）とを用いて座標変換を行うので熱変形による誤差を抑制することが可能となる。

本実施形態では、更に、２個目以降の溝形成後の内輪用ワークＷｉに対して位置基準マスターを測定し、この測定結果と位置基準マスター初期値との差を演算する。そして、演算結果が予め設定した規定値以下である場合に、以降の内輪用ワークＷｉに対して溝の研削加工処理を実行する。一方、規定値を超えている場合に、異常であると判断し動作を中断して、操作者に対して警報等によって報知する。

ステップＳ４０６では、溝研削処理部５１において、ツルーイング実行タイミングか否かを判定し、実行タイミングであると判定した場合（Ｙｅｓ）は、ステップＳ４０８に移行し、そうでないと判定した場合（Ｎｏ）は、ステップＳ４１０に移行する。
ステップＳ４０８に移行した場合は、溝研削処理部５１において、２回目のツルーイングの実行タイミングか否かを判定する。そして、２回目の実行タイミングであると判定した場合（Ｙｅｓ）は、ステップＳ４１０に移行し、そうでないと判定した場合（Ｎｏ）は、ステップＳ４１２に移行する。

ステップＳ４１０に移行した場合は、第２の機能構成部５０Ｂにおいて、基準砥石径測定処理を実行して、ステップＳ４１４に移行する。
一方、ステップＳ４１２に移行した場合は、第２の機能構成部５０Ｂにおいて、熱変形補正処理を実行して、ステップＳ４１４に移行する。
ステップＳ４１４では、溝研削処理部５１において、溝加工処理が終了したか否かを判定し、終了したと判定した場合（Ｙｅｓ）は、一連の処理を終了し、終了していないと判定した場合（Ｎｏ）は、ステップＳ４０４に移行する。

（基準砥石径測定処理）
次に、図１７に基づき、上記ステップＳ４１０で実行される基準砥石径測定処理の処理手順について説明する。
上記ステップＳ４１０において、基準砥石径測定処理が実行されると、図１７に示すように、まず、ステップＳ５００に移行する。

ステップＳ５００では、溝研削処理部５１において、２回目のツルーイング処理の実行前に、溝加工完了時の溝研削用砥石２１ａの中心点ＧＳｃの座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）を測定する。そして、測定した中心座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）をＲＡＭ６２に記憶する。その後、ワーク情報測定指令をワーク情報測定部５２に出力して、ステップＳ５０２に移行する。

ここで、溝研削処理部５１は、Ｘ軸エンコーダ２８Ｅ及びＺ軸エンコーダ２５Ｅから、溝加工完了時のモータ回転角度位置θｍｘ及びθｍｚを取得する。そして、取得したモータ回転角度位置θｍｘ及びθｍｚを、溝研削用砥石２１ａの中心点ＧＳｃのＸ軸座標値Ｘｏｗ及びＺ軸座標値Ｚｏｗに変換し、これらの組を、ＲＡＭ６２に記憶する。
ステップＳ５０２では、ワーク情報測定部５２において、ワーク情報測定指令の入力に応じて、タッチプローブ２２を用いて、ワーク情報を測定し、測定したワーク情報をＲＡＭ６２に記憶する。その後、砥石径測定部５６に砥石径算出指令を出力して、ステップＳ５０４に移行する。

具体的に、ワーク情報測定部５２は、上記第１実施形態の外輪用ワークＷｏのときと同様に、加工点Ｐｇに対応する溝部分、及び内輪用ワークＷｉの中心を通ってこの溝部分と背面対向する溝部分の形状を測定する。次に、測定した背面対向する一対の溝部分の溝形状情報（座標情報）に基づき、第３及び第４の溝底部Ｄｂ３及びＤｂ４の第３及び第４の溝底座標（Ｘ３，Ｚ３）及び（Ｘ４，Ｚ４）を特定する。更に、第３及び第４の溝底座標（Ｘ３，Ｚ３）及び（Ｘ４，Ｚ４）から、第２の溝底径Ｄｏ（＝Ｘ３−Ｘ４）を算出する。そして、第３及び第４の溝底座標（Ｘ３，Ｚ３）及び（Ｘ４，Ｚ４）及び第２の溝底径Ｄｏから、内輪用ワークＷｉの第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）を算出する。

ステップＳ５０４では、砥石径測定部５６において、砥石径算出指令の入力に応じて、ＲＡＭ６２に記憶されている第２の溝底径Ｄｏ、第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）及び中心点ＧＳｃの座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）から、上式（７）に従って、第１の砥石径Ｄｗｎを算出する。その後、算出した第１の砥石径ＤｗｎをＲＡＭ６２に記憶し、測定基準座標測定部５３に測定基準座標測定指令を出力して、ステップＳ５０６に移行する。

なお、砥石径測定部５６は、溝研削用砥石２１ａが交換直後のものである場合、第１の砥石径Ｄｗｎとして予めＲＯＭ６４又は記憶装置７０に記憶されたカタログ値をＲＡＭ６２に記憶する。
ステップＳ５０６では、測定基準座標測定部５３において、測定基準座標測定指令の入力に応じて、タッチプローブ２２を用いて、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を測定する。その後、測定した測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）をＲＡＭ６２に記憶し、ツルーイング処理部５４に測定完了通知を出力して、ステップＳ５０８に移行する。

ステップＳ５０８では、ツルーイング処理部５４において、測定完了通知の入力に応じて、第２のツルーイング装置４Ｂの測定器４５に対して磨耗測定指令を出力して、ツルーイング点Ｐｔの基準磨耗位置Ｔ０を測定させる。そして、測定された基準磨耗位置Ｔ０をＲＡＭ６２に記憶し、砥石径測定部５６に砥石送り距離測定指令を出力して、ステップＳ５１０に移行する。

具体的に、測定器４５は、現在のツルーイング点ＰｔのＸ座標Ｘｔ０を測定し、このＸｔ０を基準磨耗位置Ｔ０としてＲＡＭ６２に記憶する。
ステップＳ５１０では、砥石径測定部５６において、砥石送り距離測定指令の入力に応じて、近接センサ４４を用いて、第１の砥石送り距離Ｘｗ０を測定する。その後、測定した第１の砥石送り距離Ｘｗ０をＲＡＭ６２に記憶し、ツルーイング処理部５４にツルーイング実行指令を出力して、ステップＳ５１２に移行する。

具体的に、砥石径測定部５６は、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、まず、ツルーイング点Ｐｔから所定距離αだけ離れた位置に溝研削用砥石２１ａを移動する。そして、Ｘ軸エンコーダ２８Ｅから、モータ回転角度位置θｍｘを取得し、これをＸ軸座標値に変換し、変換したＸ座標値である第１の砥石Ｘ座標値Ｘｇ１をＲＡＭ６２に記憶する。次に、砥石径測定部５６は、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍを駆動制御して、溝研削用砥石２１ａをＸ軸のマイナス方向（図１３中のＸ−の方向）に移動する。そして、近接センサ４４が溝研削用砥石２１ａの接近を初めて検知した位置（近接検知境界ＤＰの位置）で溝研削用砥石２１ａを停止し、Ｘ軸エンコーダ２８Ｅからモータ回転角度位置θｍｘを取得する。そして、取得したモータ回転角度位置θｍｘをＸ軸座標値に変換して、第２の砥石Ｘ座標値Ｘｇ２を得る。

続いて、砥石径測定部５６は、ＲＡＭ６２に記憶された第１の砥石Ｘ座標値Ｘｇ１から、第２の砥石Ｘ座標値Ｘｇ２を減算して、第１の砥石送り距離Ｘｗ０を算出する。
ステップＳ５１２では、ツルーイング処理部５４において、ツルーイング実行指令の入力に応じて、溝研削用砥石２１ａのツルーイングを実行する。その後、砥石径測定部５６に砥石径測定指令を出力して、ステップＳ５１４に移行する。

具体的に、ツルーイング処理部５４は、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍを駆動制御して、溝研削用砥石２１ａを、ダイヤモンドドレッサー４１のツルーイング点Ｐｔに対して切り込み量Ａ０だけ切り込み、ツルーイングを行う。
ステップＳ５１４では、砥石径測定部５６において、砥石径測定指令の入力に応じて、近接センサ４４を用いて、第２の砥石送り距離Ｘｗ１を測定する。その後、測定した第２の砥石送り距離Ｘｗ１をＲＡＭ６２に記憶して、ステップＳ５１６に移行する。

具体的に、砥石径測定部５６は、まず、Ｘ軸エンコーダ２８Ｅからツルーイング終了時のモータ回転角度位置θｍｘを取得する。そして、取得したモータ回転角度位置θｍｘをＸ軸座標値に変換して、第３の砥石Ｘ座標値Ｘｇ２を得る。そして、第３の砥石Ｘ座標値Ｘｇ２をＲＡＭ６２に記憶する。次に、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍを駆動制御して、溝研削用砥石２１ａをＸ軸のマイナス方向に移動する。そして、近接センサ４４が溝研削用砥石２１ａの接近を初めて検知した位置（近接検知境界ＤＰの位置）で溝研削用砥石２１ａを停止し、Ｘ軸エンコーダ２８Ｅからモータ回転角度位置θｍｘを取得する。そして、取得したモータ回転角度位置θｍｘをＸ軸座標値に変換して、第４の砥石Ｘ座標値Ｘｇ３を得る。

続いて、砥石径測定部５６は、ＲＡＭ６２に記憶された第３の砥石Ｘ座標値Ｘｇ２から、第４の砥石Ｘ座標値Ｘｇ３を減算して、第２の砥石送り距離Ｘｗ１を算出する。
ステップＳ５１６では、砥石径測定部５６において、基準砥石径Ｄｗ０を算出し、算出した基準砥石径Ｄｗ０をＲＡＭ６２に記憶する。その後、砥石径算出完了通知を、溝研削処理部５１に出力して、一連の処理を終了し元の処理に復帰する。

具体的に、砥石径測定部５６は、予め設定された所定距離α及び切り込み量Ａ０と、ＲＡＭ６２に記憶された第１の砥石径Ｄｗｎ、第１の砥石送り距離Ｘｗ０及び第２の砥石送り距離Ｘｗ１とから、上式（８）に従って、基準砥石径Ｄｗ０を算出する。
（熱変形補正処理）
次に、図１８に基づき、上記ステップＳ４１２で実行される熱変形補正処理の処理手順について説明する。

上記ステップＳ４１２において、熱変形補正処理が実行されると、図１８に示すように、まず、ステップＳ６００に移行する。
ステップＳ６００では、溝研削処理部５１において、３回目以降のツルーイング処理の実行前に、溝加工完了時の溝研削用砥石２１ａの中心点ＧＳｃの座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）を測定する。そして、測定した中心座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）をＲＡＭ６２に記憶する。その後、測定基準座標測定部５３に測定基準座標測定指令を出力して、ステップＳ６０２に移行する。

ステップＳ６０２では、測定基準座標測定部５３において、測定基準座標測定指令の入力に応じて、タッチプローブ２２を用いて、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を測定する。その後、測定した測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）をＲＡＭ６２に記憶し、ツルーイング処理部５４にツルーイング実行指令を出力して、ステップＳ６０４に移行する。
ステップＳ６０４では、ツルーイング処理部５４において、ツルーイング実行指令の入力に応じて、溝研削用砥石２１ａのツルーイングを実行する。その後、砥石径測定部５６に砥石送り距離測定指令を出力して、ステップＳ６０６に移行する。

具体的に、ツルーイング処理部５４は、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍを駆動制御して、溝研削用砥石２１ａを、ダイヤモンドドレッサー４１のツルーイング点Ｐｔに対して切り込み量Ａ１だけ切り込み、ツルーイングを行う。
ステップＳ６０６では、砥石径測定部５６において、砥石送り距離測定指令の入力に応じて、近接センサ４４を用いて、第３の砥石送り距離Ｘｗ２を測定する。その後、測定した第３の砥石送り距離Ｘｗ２をＲＡＭ６２に記憶して、ステップＳ６０８に移行する。

ここで、砥石径測定部５６は、上記ステップＳ５１４と同様に、３回目以降のツルーイング終了時の位置から近接検知境界ＤＰまでの砥石送り距離である第３の砥石送り距離Ｘｗ２を測定する。
ステップＳ６０８では、砥石径測定部５６において、ＲＡＭ６２に記憶された第２の砥石送り距離Ｘｗ１と第３の砥石送り距離Ｘｗ２との差分（Ｘｗ２−Ｘｗ１）である距離差ΔＸｗを算出する。そして、算出した距離差ΔＸｗをＲＡＭ６２に記憶して、ステップＳ６１０に移行する。

ステップＳ６１０では、砥石径測定部５６において、第２のツルーイング装置４Ｂの測定器４５に対して磨耗測定指令を出力して、ツルーイング点Ｐｔの現在の磨耗位置Ｔ１を測定させる。そして、測定された磨耗位置Ｔ１をＲＡＭ６２に記憶して、ステップＳ６１２に移行する。
具体的に、測定器４５は、現在のツルーイング点ＰｔのＸ座標Ｘｔ１及びＺ座標Ｚｔ１を測定し、測定したＸ座標Ｘｔ１を現在の磨耗位置Ｔ１としてＲＡＭ６２に記憶する。加えて、現在のツルーイング点Ｐｔの座標（Ｘｔ１，Ｚｔ１）をＲＡＭ６２に記憶する。

ステップＳ６１２では、砥石径測定部５６において、ＲＡＭ６２に記憶されている基準磨耗位置Ｔ０と磨耗位置Ｔ１との差である磨耗差ΔＴ（＝Ｔ１−Ｔ０）を算出する。そして、算出した磨耗差ΔＴをＲＡＭ６２に記憶して、ステップＳ６１４に移行する。
ステップＳ６１４では、砥石径測定部５６において、ＲＡＭ６２に記憶された基準砥石径Ｄｗ０、距離差ΔＸｗ及び磨耗差ΔＴから、上式（９）に従って、第２の砥石径Ｄｗを算出する。そして、算出した第２の砥石径ＤｗをＲＡＭ６２に記憶する。その後、ベース位置決定部５５にベース位置決定指令を出力して、ステップＳ６１６に移行する。

ステップＳ６１６では、ベース位置決定部５５において、ベース位置決定指令の入力に応じて、溝研削用砥石２１ａと内輪用ワークＷｉの第３の溝底部Ｄｂ３とが接触するときのベース部２０の位置であるベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を算出する。そして、算出したベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）をＲＡＭ６２に記憶して、一連の処理を終了し元の処理に復帰する。

具体的に、ベース位置決定部５５は、まず、ＲＡＭ６２に記憶された測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）及びツルーイング点Ｐｔの座標（Ｘｔ１，Ｚｔ１）から、第１の相対距離（Ｘｒｔ＝Ｘｒ−Ｘｔ１，Ｚｒｔ＝Ｚｒ−Ｚｔ１）を算出する。次に、算出した第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、ＲＡＭ６２に記憶された基準砥石径Ｄｗ０、距離差ΔＸｗ及び磨耗差ΔＴとから、上式（１０）及び（１１）に従って、ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を算出する。このベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）は、熱変形による誤差が補正された座標となる。

（動作）
次に、図１３〜図１８を参照しつつ、図１９〜図２１に基づき、第２実施形態の第２の研削装置１Ｂの動作例を説明する。
第２実施形態では、溝研削用砥石２１ａの加工点Ｐｇとの接点とツルーイング点Ｐｔとの接点とが砥石スピンドル２１ｂを挟んで反対側にある構成となっている。加えて、ここでは、加工対象のワークＷが、内輪用マスターワークＷｉｍ及び内輪用ワークＷｉとなっており、ワークの外周面に溝を加工するようになっている。これらが、上記第１実施形態の外輪用マスターワークＷｏｍ及び外輪用ワークＷｏを加工時の構成との違いであり、２回目のツルーイングの実行タイミングまでの動作は基本的に同様となる。そのため、以下、２回目のツルーイングの実行タイミングになった後からの動作を説明する。

第２の制御装置５Ｂは、２回目のツルーイングの実行タイミングになったと判定すると、まず、図１９（ａ）に示すように、溝加工完了時の溝研削用砥石２１ａの中心点ＧＳｃの座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）を測定する。そして、測定した座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）をＲＡＭ６２に記憶する。
続いて、第２の制御装置５Ｂは、溝加工後の内輪用ワークＷｉに対して、タッチプローブ２２を用いて、ワーク情報の測定を行う。

具体的に、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、タッチプローブ２２を移動し、図１９（ｂ）に示すように、第３の溝部Ｄ３の形状と、第４の溝部Ｄ４の形状とを測定する。即ち、第２の制御装置５Ｂは、タッチプローブ２２の第１先端球２２ｄを第３の溝部Ｄ３の表面に接触させて溝表面の座標情報を取得する処理を、第３の溝部Ｄ３に沿ってＺ軸座標位置を変えながら繰り返し行う。同様に、タッチプローブ２２の第２先端球２２ｆを第４の溝部Ｄ４の表面に接触させて溝表面の座標情報を取得する処理を、第４の溝部Ｄ４に沿ってＺ軸座標位置を変えながら繰り返し行う。

第２の制御装置５Ｂは、測定した第３の溝部Ｄ３の形状情報と、測定した第４の溝部Ｄ４の形状情報とに基づき、第３の溝底部Ｄｂ３の第３の溝底座標（Ｘ３，Ｚ３）と第４の溝底部Ｄｂ４の第４の溝底座標（Ｘ４，Ｚ４）とを特定する。
引き続き、第３及び第４の溝底座標（Ｘ３，Ｚ３）及び（Ｘ４，Ｚ４）に基づき、第２の溝底径Ｄｏ（＝Ｘ３−Ｘ４）を算出する。更に、第２の溝底径Ｄｏと、第３及び第４の溝底座標（Ｘ３，Ｚ３）及び（Ｘ４，Ｚ４）とに基づき、「Ｘｏｃ＝Ｘ３−Ｄｏ／２」、「Ｚｏｃ＝Ｚ３＝Ｚ４」から第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）を算出する。第２の制御装置５Ｂは、算出した第２の溝底径Ｄｏ及び第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）をＲＡＭ６２に記憶する。

続いて、第２の制御装置５Ｂは、ＲＡＭ６２に記憶された中心点ＧＳｃの座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）、第２の溝底径Ｄｏ及び第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）から、上式（７）に従って、加工完了時の第１の砥石径Ｄｗｎを算出する。そして、算出した第１の砥石径ＤｗｎをＲＡＭ６２に記憶する。
引き続き、第２の制御装置５Ｂは、例えば、図１９（ｃ）に示すように、タッチプローブ２２を用いて、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を測定する。そして、測定した測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）をＲＡＭ６２に記憶する。

続いて、第２の制御装置５Ｂは、第２のツルーイング装置４Ｂの測定器４５を用いて、例えば、図１９（ｄ）に示すように、基準磨耗位置Ｔ０を測定する。そして、測定した基準磨耗位置Ｔ０をＲＡＭ６２に記憶する。
次に、第２の制御装置５Ｂは、第２のツルーイング装置４Ｂの近接センサ４４を用いて、溝研削用砥石２１ａの第１の砥石送り距離Ｘｗ０を測定する。具体的に、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、図２０（ａ）の（１）に示すように、溝研削用砥石２１ａをツルーイング点Ｐｔから所定距離αだけ離れた位置に移動する。更に、この位置から近接検知境界ＤＰに向かって溝研削用砥石２１ａを移動し、第１の砥石送り距離Ｘｗ０を測定する。そして、測定した第１の砥石送り距離Ｘｗ０をＲＡＭ６２に記憶する。

続いて、第２の制御装置５Ｂは、第２のツルーイング装置４Ｂを用いて、溝研削用砥石２１ａのツルーイングを行う。具体的に、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、例えば、図２０（ａ）の（２）に示すように、溝研削用砥石２１ａをツルーイング点Ｐｔに対して切り込み量Ａ０で切り込み、ツルーイングを行う。
第２の制御装置５Ｂは、ツルーイングを終了すると、例えば、図２０（ａ）の（３）に示すように、終了時の位置から近接検知境界ＤＰに向かって溝研削用砥石２１ａを移動し、第２の砥石送り距離Ｘｗ１を測定する。そして、測定した第２の砥石送り距離Ｘｗ１をＲＡＭ６２に記憶する。

引き続き、第２の制御装置５Ｂは、第１の砥石径Ｄｗｎ、所定距離α、切り込み量Ａ０、第１の砥石送り距離Ｘｗ０及び第２の砥石送り距離Ｘｗ１から、上式（８）に従って、基準砥石径Ｄｗ０を算出する。そして、算出した基準砥石径Ｄｗ０をＲＡＭ６２に記憶する。
引き続き、第２の制御装置５Ｂは、２回目のツルーイング後の溝研削用砥石２１ａを用いて溝研削加工を行う。

その後、第２の制御装置５Ｂは、３回目のツルーイングの実行タイミングになったと判定すると、図２１（ａ）に示すように、溝加工完了時の溝研削用砥石２１ａの中心点ＧＳｃの座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）を測定する。そして、測定した座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）をＲＡＭ６２に記憶する。
続いて、第２の制御装置５Ｂは、例えば、図２１（ｂ）に示すように、タッチプローブ２２を用いて、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を測定する。そして、測定した測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）をＲＡＭ６２に記憶する（上書きする）。

次に、第２の制御装置５Ｂは、第２のツルーイング装置４Ｂを用いて、溝研削用砥石２１ａのツルーイングを行う。具体的に、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、例えば、図２０（ｂ）の（１）及び図２１（ｃ）に示すように、溝研削用砥石２１ａをツルーイング点Ｐｔに対して切り込み量Ａ１で切り込み、ツルーイングを行う。

第２の制御装置５Ｂは、ツルーイングを終了すると、例えば、図２０（ｂ）の（２）及び図２１（ｃ）に示すように、ツルーイング終了時の位置から近接検知境界ＤＰに向かって溝研削用砥石２１ａを移動し、第３の砥石送り距離Ｘｗ２を測定する。そして、測定した第３の砥石送り距離Ｘｗ２をＲＡＭ６２に記憶する。
引き続き、第２の制御装置５Ｂは、ＲＡＭ６２に記憶された第２の砥石送り距離Ｘｗ１と第３の砥石送り距離Ｘｗ２との差である距離差ΔＸｗを算出する。そして、算出した距離差ΔＸｗをＲＡＭ６２に記憶する。

続いて、第２の制御装置５Ｂは、第２のツルーイング装置４Ｂの測定器４５を用いて、例えば、図２１（ｄ）に示すように、現在の磨耗位置Ｔ１を測定する。そして、測定した磨耗位置Ｔ１と、Ｔ１を測定時に測定した現在のツルーイング点Ｐｔの座標（Ｘｔ１，Ｚｔ１）とをＲＡＭ６２に記憶する。引き続き、図２１（ｄ）に示すように、ＲＡＭ６２に記憶された基準磨耗位置Ｔ０と現在の磨耗位置Ｔ１との差である磨耗差ΔＴを算出する。そして、算出した磨耗差ΔＴをＲＡＭ６２に記憶する。

続いて、第２の制御装置５Ｂは、ＲＡＭ６２に記憶された基準砥石径Ｄｗ０、距離差ΔＸｗ及び磨耗差ΔＴから、上式（９）に従って、熱変形による誤差を補正した第２の砥石径Ｄｗを算出する。そして、算出した第２の砥石径ＤｗをＲＡＭ６２に記憶する。
引き続き、第２の制御装置５Ｂは、ＲＡＭ６２に記憶された測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）及びツルーイング点Ｐｔの座標（Ｘｔ１，Ｚｔ１）から、第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を算出する。そして、算出した第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、ＲＡＭ６２に記憶された第２の溝底径Ｄｏ、第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）及び第２の砥石径Ｄｗから、上式（１０）及び（１１）に従って、溝研削用砥石２１ａと第３の溝底部Ｄｂ３とが接触するときのベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を算出する。

具体的に、第２の制御装置５Ｂは、上式（１０）に従って、ベース部２０のツルーイング終了時の測定点ＰｍのＸ軸座標Ｘｒに対応する位置のＸ軸座標Ｘｂを「Ｘｂ＝Ｘｏｃ＋Ｄｏ／２＋Ｘｒｔ＋Ｄｗ」と算出する。更に、上式（１１）に従って、ベース部２０のツルーイング終了時の測定点ＰｍのＺ軸座標Ｚｒに対応する位置のＺ軸座標Ｚｂを「Ｚｂ＝Ｚｏｃ＋Ｚｒｔ」と算出する。

即ち、ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）は、図２２に示すように、ツルーイング終了時の溝研削用砥石２１ａがツルーイング点Ｐｔに接触しているときの測定基準４２の測定点Ｐｍの位置に対応した位置の座標となる。
このように、溝研削用砥石２１ａが第３の溝底部Ｄｂ３に接触するときのベース部２０の位置を、正確に測定した第２の砥石径Ｄｗと、熱的影響の比較的小さいツルーイング点Ｐｔと測定点Ｐｍとの第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）とから算出するようにした。これにより、熱的影響の比較的大きい砥石スピンドル２１ｂとプローブ軸２２ｓとの相対距離である第２の相対距離（Ｘｗｔ，Ｚｗｔ）を用いた場合と比較して、熱的影響による相対位置変化を抑制することが可能となる。

第２の制御装置５Ｂは、ベース座標決定後の仕上げ処理において、例えば、現在の第２の溝底径Ｄｏに対して、目標溝底径Ｄｏｆとした場合に、ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）から、（Ｄｏｆ−Ｄｉ）／２を相対移動させて内輪用ワークＷｉを加工することで所望の寸法に仕上げることが可能となる。
以降は、次のツルーイングを実行するタイミングとなるまで、内輪用ワークＷｉ毎に、今回算出した第２の砥石径Ｄｗ及び第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）とを用いて、溝研削用砥石２１ａが第３の溝底部Ｄｂ３に接触するときのベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を決定し、上記同様の仕上げ加工処理を行う。

また、以降はツルーイングを実行するタイミングとなる毎に、上記一連の処理を実行して、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）、ツルーイング後のツルーイング点Ｐｔの座標（Ｘｔ，Ｚｔ）、距離差ΔＸｗ及び磨耗差ΔＴを測定する。更に、距離差ΔＸｗ及び磨耗差ΔＴとから第２の砥石径Ｄｗを算出し、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）及びツルーイング点Ｐｔの座標（Ｘｔ，Ｚｔ）とから第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を算出する。そして、第２の砥石径Ｄｗと、第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、第２の溝底径Ｄｏ及び第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）とに基づきベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を決定し、上記同様の仕上げ加工処理を行う。

一方、上記熱の影響が補正された第２の砥石径Ｄｗ及び上記第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を利用したベース位置決定処理を行わない場合の、溝研削用砥石２１ａが第３の溝底部Ｄｂ３に接触するときのベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を求める方法の一例を説明する。
まず、タッチプローブ２２を用いて、内輪用ワークＷｉの第３の溝部Ｄ３の形状と、第４の溝部Ｄ４の形状とを測定する。更に、測定した形状情報に基づき、第２の溝底径Ｄｏ及び第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）を算出する。

次に、プローブ軸２２ｓの先端部の中心位置をベース部２０の位置として、第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）と、第３先端球２２ｈのＸＺ軸の中心座標との位置を合わせて、このときの座標をベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）＝（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）に設定する。
更に、溝研削用砥石２１ａの砥石径をＤｇとして、溝研削用砥石２１ａが第３の溝底部Ｄｂ３に接触するときのベース部２０の位置（即ち、第３先端球２２ｈのＸＺ軸の中心位置）は、砥石スピンドル２１ｂとプローブ軸２２ｓとの相対距離（Ｘｗｔ，Ｚｗｔ）を用いて、下式（１２）及び（１３）から求めることができる。

Ｘｂ＝Ｘｏｃ＋Ｄｏ／２＋Ｄｇ／２＋Ｘｗｔ ・・・（１２）
Ｚｂ＝Ｚｏｃ＋Ｚｗｔ ・・・（１３）
ここで、測定値である第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）と、第２の溝底径Ｄｏとは熱変形による影響を受けない値である。一方、砥石スピンドル２１ｂとプローブ軸２２ｓとは、上記第１実施形態と同様に両者の間の構造経由の距離が長く、特に、大型の研削装置（大型研削盤）などでは数［ｍ］にもなる。加えて、上記第１実施形態と同様に、構造体内に、砥石スピンドル用モータ２１ｄを要因とする発熱源が存在する。

また、上記第１実施形態と同様に、溝加工時の溝研削用砥石２１ａと第２のツルーイング装置４Ｂのダイヤモンドドレッサー４１とは、両者の間の構造経由の距離が長く、特に、大型研削盤などでは数［ｍ］にもなる。加えて、熱の影響を受けることで、砥石径Ｄｇは、溝研削用砥石２１ａとダイヤモンドドレッサー４１との相対位置関係の倍で変化する。更に、加工点Ｐｇでの溝加工を要因とする発熱源と、ワーク回転用モータ３５を要因とする発熱源とが存在する。

以上のことから、第２の相対距離（Ｘｗｔ，Ｚｗｔ）及び砥石径Ｄｇは、熱の影響を受けやすい距離及び寸法となり、構造体の熱変形による誤差が生じやすい。
これに対して、測定基準４２と第２のツルーイング装置４Ｂのダイヤモンドドレッサー４１とは、両者の間の構造経由の距離が短く、かつ、周辺に発熱源が少ないため熱的に安定した位置にある構成部となる。即ち、測定基準４２の測定点Ｐｍとダイヤモンドドレッサー４１のツルーイング点Ｐｔとの第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）は、構造体の熱変形による誤差が生じにくい。加えて、熱変形の小さい低線膨張合金製のセンサ支持部４３で支持された近接センサ４４によって、正確な第２の砥石径Ｄｗを測定している。即ち、第２の砥石径Ｄｗは熱の影響を加味した値となる。

ここで、溝研削用砥石２１ａは回転砥石に対応し、砥石スピンドル２１ｂは回転軸に対応し、砥石スピンドル用モータ２１ｄは回転駆動源に対応し、第１のツルーイング装置４Ａはツルーイング部に対応し、ダイヤモンドドレッサー４１はドレッサーに対応する。
また、センサ支持部４３はセンサ支持部材に対応し、溝研削処理部５１は研削処理部に対応し、ワーク情報測定部５２はワーク形状測定処理部に対応し、測定器４５は、ツルーイング点座標測定部に対応する。

（第２実施形態の作用及び効果）
第２実施形態に係る第２の研削装置１Ｂは、加工点Ｐｇの位置が、Ｙ軸方向から視て、砥石スピンドル２１ｂを挟んでツルーイング点Ｐｔとは反対側に位置するように構成されている。加えて、砥石スピンドル２１ｂとこの砥石スピンドル２１ｂの先端部に取付けられた溝研削用砥石２１ａと砥石スピンドル２１ｂを回転駆動する砥石スピンドル用モータ２１ｄとを有する溝研削部２１を備える。更に、ワークＷを固定支持するワーク支持用部材３２と、ワーク支持用部材３２を、ワーク回転用スピンドル３３を介して砥石スピンドル２１ｂと並行な軸回りに回転可能に支持するテーブル３１と、ワーク回転用スピンドル３３を回転駆動するワーク回転用モータ３５とを有するワーク支持部３を備える。更に、プローブ軸２２ｓとこのプローブ軸２２ｓの先端部に設けられた測定子２２ｔとを有するタッチプローブ２２を備える。更に、溝研削部２１及びタッチプローブ２２を軸並行に固定支持するベース部２０と、タッチプローブ２２の位置基準である測定基準４２とを備える。更に、ドレッサーベース４０と、ドレッサーベース４０のワーク支持部３と対向する側に設けられた溝研削用砥石２１ａをツルーイングするためのダイヤモンドドレッサー４１とを有する第１のツルーイング装置４Ａを備える。更に、第１及び第２のベース部２３及び２６を、ワークＷの研削位置、溝研削用砥石２１ａのツルーイング位置、ワークＷの形状の測定位置及び測定基準４２の測定位置へと移動する移動機構部を備える。この移動機構部は、ベース部２０の第１のベース部２３をＺ軸方向に移動するための機構部として、Ｚ軸駆動用モータ２５Ｍ、第１の左直動案内装置２４Ｌ、第１の右直動案内装置２４Ｒ、及び第１のボールねじ装置２５を備える。更に、この移動機構部は、ベース部２０の第２のベース部２６をＸ軸方向に移動するための機構部として、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ、第２の左直動案内装置２７Ｌ、第２の右直動案内装置２７Ｒ及び第２のボールねじ装置２８を備える。

そして、第２実施形態に係る第２の研削装置１Ｂは、溝研削処理部５１が、砥石スピンドル用モータ２１ｄ、ワーク回転用モータ３５、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、予め設定した溝研削用の回転速度で回転する溝研削用砥石２１ａをワーク支持部３のワーク支持用部材３２に固定支持されたワークＷに接触させて、ワークＷを研削する処理を行う。ワーク情報測定部５２が、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、タッチプローブ２２の測定子２２ｔをワーク支持部３のワーク支持用部材３２に固定支持された研削加工後のワークＷに接触させて、該ワークＷの形状を測定する処理を行う。測定基準座標測定部５３が、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、タッチプローブ２２の測定子２２ｔを測定基準４２に接触させて、測定基準４２の測定点Ｐｍの位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）を測定する処理を行う。ツルーイング処理部５４が、砥石スピンドル用モータ２１ｄ、Ｘ軸駆動用モータ２８Ｍ及びＺ軸駆動用モータ２５Ｍを駆動制御して、予め設定したツルーイング用の回転速度で回転する溝研削用砥石２１ａを第１のツルーイング装置４Ａのダイヤモンドドレッサー４１のツルーイング点Ｐｔに接触させて溝研削用砥石２１ａをツルーイングする処理を行う。第１のツルーイング装置４Ａの測定器４５が、ツルーイング点Ｐｔの位置座標（Ｘｔ，Ｚｔ）を測定する。ツルーイング点Ｐｔと対向して該ツルーイング点ＰｔからＸ軸方向に溝研削用砥石２１ａの砥石径の長さよりも離れた位置に設けられた近接センサ４４を備える。砥石径測定部５６が、近接センサ４４を用いて、溝研削用砥石２１ａの直径である第２の砥石径Ｄｗを測定する。

ここで、測定基準４２とダイヤモンドドレッサー４１とは、熱的影響による測定点Ｐｍの位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）とツルーイング点Ｐｔの位置座標（Ｘｔ，Ｚｔ）との相対距離である第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）との誤差が予め設定した目標加工精度を満たす範囲内となる位置関係に配設されている。具体的に、第２実施形態において、第２のツルーイング装置４Ｂは、発熱源から可能な限り離れた位置に配設され、測定基準４２は、第２のツルーイング装置４Ｂのドレッサーベース４０の上部に設けられている。より具体的に、測定基準４２は、例えば、ドレッサーベース４０のフレームが鉄製であり、目標加工精度を５［μｍ］以下と設定した場合に、ダイヤモンドドレッサー４１との構造経由の距離が４１［ｃｍ］以下となる位置に設けられる。

また、近接センサ４４は、第２のツルーイング装置４Ｂを構成するドレッサーベース４０にセンサ支持部４３を介して支持されており、センサ支持部４３は、低線膨張合金製の部材から構成されている。
更に、ベース位置決定部５５が、測定基準４２の測定点Ｐｍの位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）とツルーイング終了時のツルーイング点Ｐｔの位置座標（Ｘｔ，Ｚｔ）との間の第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、ツルーイング終了時に砥石径測定部５６で測定した第２の砥石径Ｄｗと、ワークＷの形状情報とに基づき、研削加工時に溝研削用砥石２１ａがワークＷと接触するときの前記代表の位置座標に対応するベース部２０の位置座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を決定する。

更に、ワークＷは、転がり軸受の軌道輪を構成する円環状の部材（外輪用ワークＷｏ，内輪用ワークＷｉ）である。そして、第２実施形態の溝研削処理部５１は、内輪用ワークＷｉの外周面に転動体の転動路となる溝を研削する溝研削処理を行う。ワーク情報測定部５２が、内輪用ワークＷｉの外周面に形成された溝の内輪用ワークＷｉの中心を介して背面対向する第３及び第４の溝部Ｄ３及びＤ４の形状を測定する。加えて、第３及び第４の溝部Ｄ３及びＤ４の形状から特定される第３の溝底部Ｄｂ３の座標（Ｘ３，Ｚ３）及び第４の溝底部Ｄｂ４の座標（Ｘ４，Ｚ４）に基づきこれら溝底部間の直線距離である第２の溝底径Ｄｏ及び内輪用ワークＷｉの第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）を算出する処理を行う。ベース位置決定部５５が、測定基準４２の位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）とツルーイング終了時のツルーイング点Ｐｔの位置座標（Ｘｔ，Ｚｔ）との第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、ツルーイング終了時の第２の砥石径Ｄｗと、第２の溝底径Ｄｏ及び第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）とに基づき、溝研削加工時に溝研削用砥石２１ａが外輪用ワークＷｏの第３の溝底部Ｄｂ３と接触するときの前記代表の位置座標に対応するベース部２０の位置座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を決定する。

具体的に、砥石径測定部５６が、ツルーイングの実行タイミングにおいて、内輪用ワークＷｉの加工完了時の溝研削用砥石２１ａの中心点の座標（Ｘｏｗ，Ｚｏｗ）、第２の溝底径Ｄｏ及び第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）から、上式（７）に従って、加工完了時の第１の砥石径Ｄｗｎを算出する処理（第１の砥石径算出処理）を行う。砥石径測定部５６が、第１の砥石径Ｄｗｎを算出後に溝研削用砥石２１ａをツルーイング点Ｐｔから所定距離αだけ離れた位置から近接センサ４４の近接検知境界ＤＰまで移動したときの第１の砥石送り距離Ｘｗ０を測定する。砥石径測定部５６が、第１の砥石送り距離Ｘｗ０の測定後に溝研削用砥石２１ａを切り込み量Ａ０だけ切り込んでツルーイングした後の終了時の位置から溝研削用砥石２１ａを近接検知境界ＤＰまで移動したときの第２の砥石送り距離Ｘｗ１を測定する。砥石径測定部５６が、第１の砥石径Ｄｗｎ、第１の砥石送り距離Ｘｗ０、切り込み量Ａ０及び第２の砥石送り距離Ｘｗ１から上式（８）に従って、溝研削用砥石２１ａの基準砥石径Ｄｗ０を算出する処理（第２の砥石径算出処理）を行う。砥石径測定部５６が、以降のツルーイングの実行タイミングにおいて、溝研削用砥石２１ａを切り込み量Ａ１で切り込んでツルーイングした後の終了時の位置から、溝研削用砥石２１ａを近接検知境界ＤＰまで移動したときの第３の砥石送り距離Ｘｗ２を測定する。砥石径測定部５６が、第２の砥石送り距離Ｘｗ１と第３の砥石送り距離Ｘｗ２との差である距離差ΔＸｗを算出する。砥石径測定部５６が、基準砥石径Ｄｗ０を算出時のツルーイング点ＰｔのＸ軸方向の基準磨耗位置Ｔ０と第３の砥石送り距離Ｘｗ２を測定時のツルーイング点ＰｔのＸ軸方向の磨耗位置Ｔ１との差である磨耗差ΔＴを算出する。砥石径測定部５６が、基準砥石径Ｄｗ０と、距離差ΔＸｗと、磨耗差ΔＴとから、上式（９）に従って、ツルーイング終了時の第２の砥石径Ｄｗを算出する処理（第３の砥石径算出処理）を行う。

そして、ベース位置決定部５５が、測定基準位置座標（Ｘｒ，Ｚｒ）とツルーイング終了時のツルーイング点Ｐｔの座標（Ｘｔ，Ｚｔ）との第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）と、ツルーイング終了時の第２の砥石径Ｄｗと、第２の溝底径Ｄｏ及び第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）とから、上式（１０）及び（１１）に従って、前記代表の位置座標に対応するベース部２０の座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を算出する。

上記構成であれば、従来の位置決め方法と比較して、ベース部２０の位置座標（Ｘｂ，Ｚｂ）を決定する際に、熱による影響の無い第２の砥石径Ｄｗ及び熱による影響を受けにくい第１の相対距離（Ｘｒｔ，Ｚｒｔ）を用いるので、相対的に安定した加工が可能になる。また、構造経由の距離、即ち研削装置の寸法によらずにツルーイング点Ｐｔと測定基準４２との位置関係の変化のみで熱変形の影響を抑えることが可能である。この効果は、Ｘ軸方向の第１の相対距離Ｘｒｔと第２の相対距離Ｘｗｔとの差、Ｚ軸方向の第１の相対距離Ｚｒｔと第２の相対距離Ｚｗｔとの差が大きくなる大型の研削盤において顕著となる。また、近接センサ４４を支持するセンサ支持部４３は、単純形状で、かつ研削装置の寸法と比較して小型のものでよいことから、大型の構造部材に低線膨張合金を使用する場合と比較して低コストで導入可能である。また、複雑な熱変形制御を行わなくてもよいので設備の高度化が不要であり、そのためのコストが不要となる。即ち、従来と比較して簡易且つ低コストで熱変形による影響が補正された位置決めが可能となる。

（変形例）
（１）上記第１実施形態において、外輪用ワークＷｏを例に挙げて説明したが、この構成に限らず、図２３（ａ）に示すように、内輪用ワークＷｉにも上記第１実施形態に係る発明は適用可能である。この場合、上記第２実施形態と同様の手順で内輪用ワークＷｉの第２の溝底径Ｄｏ及び第２の中心座標（Ｘｏｃ，Ｚｏｃ）を測定する。また、ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）の算出に、上式（３）及び（４）に代えて、下式（１４）及び（１５）を用いる。

Ｘｂ＝Ｘｏｃ−Ｄｏ／２＋Ｘｒｔ ・・・（１４）
Ｚｂ＝Ｚｏｃ＋Ｚｒｔ ・・・（１５）
（２）上記第２実施形態において、内輪用ワークＷｉを例に挙げて説明したが、この構成に限らず、図２３（ｂ）に示すように、外輪用ワークＷｏにも上記第２実施形態に係る発明は適用可能である。この場合、上記第１実施形態と同様の手順で外輪用ワークＷｏの第１の溝底径Ｄｉ及び第１の中心座標（Ｘｃｉ，Ｚｃｉ）を測定する。また、ベース座標（Ｘｂ，Ｚｂ）の算出に、上式（１０）及び（１１）に代えて、下式（１６）及び（１７）を用いる。

Ｘｂ＝Ｘｃｉ−Ｄｉ／２＋Ｄｗ＋Ｘｒｔ ・・・（１６）
Ｚｂ＝Ｚｃｉ＋Ｚｒｔ ・・・（１７）
（３）上記第２実施形態では、近接センサ４４を用いて各砥石送り距離を測定する構成としたが、この構成に限らない。例えば、レーザ距離センサを用いることで、溝研削用砥石２１ａをＸ軸のマイナス方向に送る動作をすることなく第１〜第３の砥石送り距離Ｘｗ０〜Ｘｗ２を測定することが可能となる。これによって、サイクルタイムを短縮することが可能となる。また、ツルーイング後の溝研削用砥石２１ａの正確な第２の砥石径Ｄｗを測定できるのであれば他の測定器を用いてもよい。

（４）上記各実施形態において、ダイヤモンドドレッサー４１を、ダイヤモンドを円錐形状に研磨してなる先端部Ｐｔを有するポイントドレッサーから構成したが、この構成に限らない。例えば、角錐状に研磨した先端部Ｐｔを備える構成など他の構成としてもよい。
（５）上記各実施形態では、タッチプローブ２２の測定子２２ｔを十字状に４つの先端球を配置し、かつ溝部分の表面位置をタッチプローブ２２のプローブ軸２２ｓ回り方向の回転位置を変えずに測定する構成としたが、この構成に限らない。例えば、測定子２２ｔの先端球及びアーム部を背面対向する２つに減らした場合に、測定子２２ｔの位置を回転駆動機構等によってプローブ軸２２ｓ回りに回転させることで、各対向する溝部分に対応させる構成としてもよい。また、測定子２２ｔの先端球及びアームの組を１つにして、溝部分毎に測定子を回転させて対応させる構成としてもよい。また、プローブ軸２２ｓの先端部にのみ測定子としての先端球を設けた構成としてもよい。この場合に、プローブ軸２２ｓの基端部を支点に支点回りにプローブ軸２２ｓがＸ軸方向に回動する構成としてもよい。

（６）上記各実施形態では、ツルーイング装置のドレッサーベース４０の上部に測定基準４２を設ける構成としたが、この構成に限らず、側部等の他の位置に設ける構成としてもよい。また、ツルーイング装置に設けることに限らず、両者の間の距離が近接距離範囲内であって、かつ熱的な影響が許容範囲内の位置であれば、研削装置内の他の位置に設ける構成としてもよい。

（７）上記各実施形態では、研削測定部２の位置測定処理において、モータ、ボールねじ及びエンコーダの組合せで各種座標位置を測定する構成としたが、この構成に限らない。例えば、リニアスケールやレーザ変位計等の測定器を用いて各種座標位置を測定する構成としてもよい。

１Ａ，１Ｂ…第１，第２の研削装置、２…研削測定部、３…ワーク支持部、４Ａ，４Ｂ…第１，第２のツルーイング装置、５Ａ，５Ｂ…第１，第２の制御装置、２０…ベース部、２１…溝研削部、２１ａ…溝研削用砥石、２１ｂ…砥石スピンドル、２１ｃ…砥石スピンドルハウジング、２１ｄ…砥石スピンドル用モータ、２２…タッチプローブ、２２ａ…プローブハウジング、２２ｂ…プローブヘッド、２２ｓ…プローブ軸、２２ｔ…測定子、２３…第１のベース部、２４Ｌ…第１の左直動案内装置２４Ｌ、２４Ｒ…第１の右直動案内装置、２５…第１のボールねじ装置、２５Ｍ…Ｚ軸駆動用モータ、２６…第２のベース部、２７Ｌ…第２の左直動案内装置、２７Ｒ…第２の右直動案内装置、２８…第２のボールねじ装置、２８Ｍ…Ｘ軸駆動用モータ、５１…溝研削処理部、５２…ワーク情報測定部、５３…測定基準座標測定部、５４…ツルーイング処理部、５５…ベース位置決定部、５６…砥石径測定部、４１…ダイヤモンドドレッサー、４２…測定基準、４３…センサ支持部、４４…近接センサ、４５…測定器

Claims (10)

1. 第１の回転軸と該第１の回転軸の先端部に取付けられた回転砥石と前記第１の回転軸を回転駆動する第１の回転駆動源とを有する研削部と、
   ワークを固定支持するワーク支持用部材と、前記ワーク支持用部材を第２の回転軸を介して前記第１の回転軸と並行な軸回りに回転可能に支持する支持台と、前記第２の回転軸を回転駆動する第２の回転駆動源とを有するワーク支持部と、
   センサ軸と該センサ軸の先端部に設けられた接触式の測定子とを有するタッチプローブと、
   前記研削部及び前記タッチプローブを軸並行に固定支持するベース部と、
   前記タッチプローブの位置基準となる測定基準と、
   基台と該基台の前記ワーク支持部と対向する側に設けられた前記回転砥石をツルーイングするためのドレッサーとを有するツルーイング部と、
   移動駆動源及び案内部材を備え、前記移動駆動源の駆動力によって、前記ベース部を、前記ワークの研削位置、前記回転砥石のツルーイング位置、前記ワークの形状の測定位置及び前記測定基準の測定位置へと前記案内部材に沿って直交２軸方向に移動する移動機構部と、
   前記第１及び第２の回転駆動源並びに前記移動駆動源を駆動制御して、研削用の回転速度で回転する前記回転砥石を前記ワーク支持用部材に固定支持された前記ワークに接触させて、前記ワークを研削する処理を行う研削処理部と、
   前記移動駆動源を駆動制御して、前記タッチプローブの前記測定子を前記ワーク支持部に固定支持された研削加工後の前記ワークに接触させて、該ワークの形状を測定する処理を行うワーク形状測定処理部と、
   前記移動駆動源を駆動制御して、前記タッチプローブを前記測定基準に接触させて、前記測定基準の位置座標を測定する処理を行う測定基準座標測定部と、
   前記第１の回転駆動源及び前記移動駆動源を駆動制御して、ツルーイング用の回転速度で回転する前記回転砥石を前記ツルーイング部の前記ドレッサーに接触させて前記回転砥石をツルーイングする処理を行うツルーイング処理部と、
   前記回転砥石とツルーイング時に接触する前記ドレッサーの接触点であるツルーイング点の位置座標を測定するツルーイング点座標測定部と、
   ツルーイング終了時の前記ベース部の位置座標を前記測定基準の位置座標で代表して、該測定基準の位置座標とツルーイング終了時に前記ツルーイング点座標測定部で測定した前記ツルーイング点の位置座標との相対距離と、前記ワーク形状測定処理部で測定した前記ワークの形状情報とに基づき、研削加工時に前記回転砥石が前記ワークと接触するときの前記代表の位置座標に対応する前記ベース部の位置座標を決定するベース位置決定部と、
   前記ベース位置決定部で決定した前記ベース部の位置座標に基づき前記ワークの仕上げ加工を行う仕上げ加工部と、を備え、
   前記測定基準と前記ドレッサーとは、熱的影響による前記相対距離の誤差が予め設定した目標加工精度を満たす範囲内となる位置関係に配設されている研削装置。
2. 前記測定基準は前記ツルーイング部を構成する前記基台に設けられている請求項１に記載の研削装置。
3. 研削加工時の前記回転砥石と前記ワークとの接触点である加工点の位置が、前記直交２軸方向に対して直交する軸方向から視て、前記第１の回転軸を挟んで前記ツルーイング点側に位置するように構成されている請求項１又は２に記載の研削装置。
4. 前記ワークは、転がり軸受の軌道輪を構成する円環状の部材であり、
   前記研削処理部は、前記ワークの周面に転動体の転動路となる溝を研削する溝研削処理を行うように構成されており、
   前記ワーク形状測定処理部は、前記ワークの周面に形成された前記溝の前記ワークの中心を介して対向又は背面対向する２つの溝部の形状を測定すると共に、該２つの溝部の形状から特定される溝底部の座標に基づき溝底部間の直線距離である溝底径及び前記ワークの中心位置の座標を算出する処理を行うように構成されており、
   前記ベース位置決定部は、前記測定基準の位置座標とツルーイング終了時の前記ツルーイング点の位置座標との相対距離と、前記溝底径及び前記ワークの中心位置の座標とに基づき、研削加工時に前記回転砥石が前記ワークと接触するときの前記代表の位置座標に対応する前記ベース部の位置座標を決定する請求項３に記載の研削装置。
5. 前記ワークは、前記転がり軸受の外輪を構成する部材であり、
   前記直交２軸は、鉛直方向の一方の軸であるＺ軸と、前記ワーク支持部と前記ツルーイング部とが並ぶ方向の他方の軸であるＸ軸とから構成され、
   前記測定基準のＸ軸座標及びＺ軸座標とツルーイング終了時点の前記ツルーイング点のＸ軸座標及びＺ軸座標との相対距離をＸｒｔ及びＺｒｔとし、前記外輪を構成する部材に形成された溝の溝底径である第１の溝底径をＤｉとし、前記外輪を構成する部材の中心位置のＸ軸座標及びＺ軸座標である第１の中心座標をＸｃｉ及びＺｃｉとし、前記代表の位置座標に対応する前記ベース部のＸ軸座標及びＺ軸座標をＸｂ及びＺｂとして、該Ｘｂ及びＺｂを下式（１）及び（２）に従って算出する請求項４に記載の研削装置。
   Ｘｂ＝Ｘｃｉ＋Ｘｒｔ＋Ｄｉ／２ ・・・（１）
   Ｚｂ＝Ｚｃｉ＋Ｚｒｔ ・・・（２）
6. 研削加工時の前記回転砥石と前記ワークとの接触点である加工点の位置が、前記直交２軸方向に対して直交する軸方向から視て、前記第１の回転軸を挟んで前記ツルーイング点とは反対側に位置するように構成され、
   前記回転砥石の直径である砥石径を測定する砥石径測定部を備え、
   前記ベース位置決定部は、前記測定基準の位置座標とツルーイング終了時の前記ツルーイング点の位置座標との相対距離と、前記ツルーイング終了時に前記砥石径測定部で測定した前記砥石径と、前記ワークの形状情報とに基づき、研削加工時に前記回転砥石が前記ワークと接触するときの前記代表の位置座標に対応する前記ベース部の位置座標を決定する請求項１又は２に記載の研削装置。
7. 前記ワークは、転がり軸受の軌道輪を構成する円環状の部材であり、
   前記研削処理部は、前記ワークの周面に転動体の転動路となる溝を研削する溝研削処理を行うように構成されており、
   前記ワーク形状測定処理部は、前記ワークの周面に形成された前記溝の前記ワークの中心を介して背面対向する２つの溝部の形状を測定すると共に、該２つの溝部の形状から特定される溝底部の座標に基づき溝底部間の直線距離である溝底径及び前記ワークの中心位置の座標を算出する処理を行うように構成されており、
   前記ベース位置決定部は、ツルーイング終了時の前記測定基準の位置座標と前記ツルーイング点の位置座標との相対距離と、前記ツルーイング終了時の前記砥石径と、前記溝底径及び前記ワークの中心位置の座標とに基づき、研削加工時に前記回転砥石が前記ワークと接触するときの前記代表の位置座標に対応する前記ベース部の位置座標を決定する請求項６に記載の研削装置。
8. 前記ワークは、前記転がり軸受の内輪を構成する部材であり、
   前記直交２軸は、鉛直方向の一方の軸であるＺ軸と、前記ワーク支持部と前記ツルーイング部とが並ぶ方向の他方の軸であるＸ軸とから構成され、
   前記測定基準のＸ軸座標及びＺ軸座標とツルーイング終了時の前記ツルーイング点のＸ軸座標及びＺ軸座標との相対距離をＸｒｔ及びＺｒｔとし、前記ツルーイング終了時の前記砥石径をＤｗとし、前記内輪を構成する部材に形成された溝の溝底径である第２の溝底径をＤｏとし、前記内輪を構成する部材の中心位置のＸ軸座標及びＺ軸座標である第２の中心座標をＸｏｃ及びＺｏｃとし、前記代表の位置座標に対応する前記ベース部のＸ軸座標及びＺ軸座標をＸｂ及びＺｂとして、該Ｘｂ及びＺｂを下式（３）及び（４）に従って算出する請求項７に記載の研削装置。
   Ｘｂ＝Ｘｏｃ＋Ｄｏ／２＋Ｘｒｔ＋Ｄｗ ・・・（３）
   Ｚｂ＝Ｚｏｃ＋Ｚｒｔ ・・・（４）
9. 前記ツルーイング点と対向して該ツルーイング点からＸ軸方向に前記砥石径の長さよりも離れた位置に設けられた近接センサを備え、
   前記砥石径測定部は、
   ツルーイングの実行タイミングにおいて、前記ワークの加工完了時の前記回転砥石の中心点のＸ軸座標Ｘｏｗ及びＺ軸座標Ｚｏｗと、前記第２の溝底径Ｄｏと、前記第２の中心座標Ｘｏｃ及びＺｏｃとから、下式（５）に従って、加工完了時の砥石径である第１の砥石径Ｄｗｎを算出する第１の砥石径算出処理と、
   前記第１の砥石径Ｄｗｎを算出後に前記回転砥石を、前記ツルーイング点から所定距離αだけ離れた位置から前記近接センサの検知範囲の境界である近接検知境界まで送ったときの第１の砥石送り距離Ｘｗ０を測定し、該第１の砥石送り距離Ｘｗ０の測定後に前記回転砥石を切り込み量Ａ０だけ切り込んでツルーイングした後のツルーイング終了時の位置から前記回転砥石を前記近接検知境界まで送ったときの第２の砥石送り距離Ｘｗ１を測定し、前記第１の砥石径Ｄｗｎと前記第１の砥石送り距離Ｘｗ０と前記切り込み量Ａ０と前記第２の砥石送り距離Ｘｗ１とから下式（６）に従って、前記回転砥石の基準の砥石径である基準砥石径Ｄｗ０を算出する基準砥石径算出処理と、
   以降のツルーイングの実行タイミングにおいて、前記回転砥石を切り込み量Ａ１で切り込んでツルーイングした後のツルーイング終了時の位置から、前記回転砥石を前記近接検知境界まで送ったときの第３の砥石送り距離Ｘｗ２を測定し、前記第２の砥石送り距離Ｘｗ１と前記第３の砥石送り距離Ｘｗ２との差である距離差ΔＸｗを算出し、前記基準砥石径Ｄｗ０を算出時の前記ツルーイング点のＸ軸方向の磨耗位置Ｔ０と前記第３の砥石送り距離Ｘ２を測定時の前記ツルーイング点のＸ軸方向の磨耗位置Ｔ１との差である磨耗差ΔＴを算出し、前記基準砥石径Ｄｗ０と前記距離差ΔＸｗと前記磨耗差ΔＴとから、下式（７）に従って、前記ツルーイング終了時の砥石径である第２の砥石径Ｄｗを算出する第２の砥石径算出処理と、を実行する請求項８に記載の研削装置。
   Ｄｗｎ＝２×（Ｘｏｗ−Ｘｏｃ）−Ｄｏ ・・・（５）
   Ｄｗ０＝Ｄｗｎ−２×（Ｘｗ１−Ｘｗ０−Ａ０） ・・・（６）
   Ｄｗ＝Ｄｗ０−２×（ΔＸｗ＋ΔＴ） ・・・（７）
10. 前記近接センサは、前記ツルーイング部を構成する前記基台にセンサ支持部材を介して支持されており、
    前記センサ支持部材は、低線膨張合金製の部材から構成されている請求項９に記載の研削装置。

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