JP2018066913A - 液浸系対物レンズ - Google Patents
液浸系対物レンズ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018066913A JP2018066913A JP2016206388A JP2016206388A JP2018066913A JP 2018066913 A JP2018066913 A JP 2018066913A JP 2016206388 A JP2016206388 A JP 2016206388A JP 2016206388 A JP2016206388 A JP 2016206388A JP 2018066913 A JP2018066913 A JP 2018066913A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- objective lens
- cemented
- object side
- negative
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007654 immersion Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 claims abstract description 81
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 claims abstract description 34
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 27
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 48
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 26
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 9
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 3
- 238000000492 total internal reflection fluorescence microscopy Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B9/00—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or -
- G02B9/12—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or - having three components only
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/33—Immersion oils, or microscope systems or objectives for use with immersion fluids
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
【解決手段】対物レンズ1は、1.42以上の開口数を有する液浸系対物レンズであり、物体側から順に、正の第1レンズ群G1、正の第2レンズ群G2、負の第3レンズ群G3からなる。第1レンズ群G1は、平凸レンズL1と物体側に凹面を向けた第1のメニスカスレンズL2を含む第1の接合レンズCL1と正レンズL3からなる。第2レンズ群G2は、複数の接合レンズを含む。第3レンズ群G3は、物体側から順に、正レンズL11と負レンズL12を含む像側に凹面を向けた接合レンズCL4と物体側に凹面を向けた負レンズL13と正レンズL14からなる。Hを軸上マージナル光線高さの最大値とし、fを焦点距離とし、NAobを開口数とするとき、以下の条件式を満たす。
3.5 ≦ (H/f)×NAob ≦ 5.2 (1)
【選択図】図1
Description
3.5 ≦ (H/f)×NAob ≦ 5.2 (1)
3.5 ≦ (H/f)×NAob ≦ 5.2 (1)
対物レンズは、以下の条件式(2)から条件式(5)を満たすように構成されることが望ましい。
1.8 ≦ ((H−L)/f)×NAob ≦ 3.2 (2)
1 ≦ (f1/f)×NAob ≦ 1.4 (3)
1.75 ≦ n1≦ 1.9 (4)
9 ≦ fp/f≦ 17 (5)
0.005 ≦ d/h1 ≦ 0.1 (6)
3.8 ≦ (H/f)×NAob≦ 4.8 (1−1)
2.4 ≦ ((H−L)/f)×NAob≦ 3.0 (2−1)
1.03 ≦ (f1/f)×NAob≦ 1.2 (3−1)
1.8 ≦ n1 ≦ 1.89 (4−1)
10 ≦ fp/f≦ 16 (5−1)
以下、上述した対物レンズの実施例について説明する。
図1は、本実施例に係る対物レンズ1の断面図である。対物レンズ1は、物体側から順に配置された、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3からなる、顕微鏡用の液浸系対物レンズである。
対物レンズ1
s r d nd νd
1 INF 0
2 INF 0.17 1.52397 54.41
3 INF 0.152 1.51495 41
4 INF 0.756 1.51633 64.14
5 -3.0323 3.649 1.883 40.76
6 -3.3067 0.1
7 -10 1.306 1.883 40.76
8 -7.6719 0.15
9 13.0236 7.376 1.43875 94.93
10 -8.042 0.573 1.738 32.26
11 -28.0828 3.659 1.43875 94.93
12 -10.2544 0.311
13 45.4925 0.565 1.63775 42.41
14 14.4615 7.275 1.43875 94.93
15 -7.8092 0.564 1.63775 42.41
16 -32.0204 0.25
17 12.2183 5.141 1.43875 94.93
18 -24.5259 0.15
19 6.3796 5.386 1.43875 94.93
20 -12.7768 0.578 1.63775 42.41
21 3.7146 4.272
22 -3.3463 4.361 1.7725 49.6
23 -11.08 2.719 1.7847 26.29
24 -7.3475
d=0.573mm、h1=16.0312mm、
d=0.565mm、h1=15.014mm、
d=0.564mm、h1=15.342mm、
(1)(H/f)×NAob=4.036
(2)((H−L)/f)×NAob=2.8545
(3)(f1/f)×NAob=1.0648
(4)n1=1.833
(5)fp/f=15
(6)d/h1=0.03574 (メニスカスレンズL5の場合)
(6)d/h1=0.03763 (メニスカスレンズL7の場合)
(6)d/h1=0.03676 (メニスカスレンズL9の場合)
結像レンズ10
s r d nd νd
1 193.123 5.5 1.48749 70.23
2 -61.238 4.6 1.72047 34.71
3 -105.391
図4は、本実施例に係る対物レンズ2の断面図である。対物レンズ2は、物体側から順に配置された、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3からなる、顕微鏡用の液浸系対物レンズである。
対物レンズ2
s r d nd νd
1 INF 0
2 INF 0.17 1.52397 54.41
3 INF 0.143 1.51495 41
4 INF 0.6 1.51633 64.14
5 -2.9657 4.088 1.883 40.76
6 -3.4989 0.1
7 -10 1.597 1.883 40.76
8 -7.2578 0.15
9 12.6465 7.37 1.43875 94.93
10 -8.042 0.523 1.738 32.26
11 -75.5769 4.357 1.43875 94.93
12 -10.1926 0.283
13 45.2348 0.523 1.63775 42.41
14 14.1108 6.542 1.43875 94.93
15 -8.2794 0.475 1.63775 42.41
16 -48.0863 0.25
17 12.1423 4.759 1.43875 94.93
18 -34.4139 0.15
19 6.4418 5.523 1.43875 94.93
20 -13.6512 0.597 1.63775 42.41
21 3.8526 4.37
22 -3.4655 3.461 1.7725 49.6
23 -10.3549 0.5
24 -12 2.536 1.80518 25.42
25 -7.3961
d=0.523mm、h1=16.472mm、
d=0.523mm、h1=14.824mm、
d=0.475mm、h1=14.674mm、
(1)(H/f)×NAob=3.9865
(2)((H−L)/f)×NAob=2.727
(3)(f1/f)×NAob=1.131066667
(4)n1=1.833
(5)fp/f=15
(6)d/h1=0.03175 (メニスカスレンズL5の場合)
(6)d/h1=0.03528 (メニスカスレンズL7の場合)
(6)d/h1=0.03237 (メニスカスレンズL9の場合)
図6は、本実施例に係る対物レンズ3の断面図である。対物レンズ3は、物体側から順に配置された、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3からなる、顕微鏡用の液浸系対物レンズである。
対物レンズ3
s r d nd νd
1 INF 0
2 INF 0.17 1.52397 54.41
3 INF 0.144 1.51495 41
4 INF 0.667 1.51633 64.14
5 -2.8462 3.705 1.883 40.76
6 -3.2561 0.1
7 -10 0.924 1.883 40.76
8 -8.8357 0.15
9 49.7862 1.2 1.883 40.76
10 -132.2999 0.15
11 16.1699 6.797 1.43875 94.93
12 -8.042 0.474 1.738 32.26
13 -30.4208 3.517 1.43875 94.93
14 -10.5162 0.366
15 36.573 0.502 1.63775 42.41
16 11.4502 7.533 1.43875 94.93
17 -8.6066 0.485 1.63775 42.41
18 -27.1528 0.249
19 10.3799 5.468 1.43875 94.93
20 -35.9049 0.15
21 7.0141 5.038 1.43875 94.93
22 -10.4018 0.57 1.63775 42.41
23 4.175 4.018
24 -3.1086 4.346 1.7725 49.6
25 -9.9919 2.737 1.7847 26.29
26 -7.1561
対物レンズ3の各種データは、以下のとおりである。
d=0.474mm、h1=16.61mm、
d=0.502mm、h1=15.818mm、
d=0.485mm、h1=16.24mm、
(1)(H/f)×NAob=4.0045
(2)((H−L)/f)×NAob=2.8365
(3)(f1/f)×NAob=1.046355556
(4)n1=1.833
(5)fp/f=15
(6)d/h1=0.02854 (メニスカスレンズL6の場合)
(6)d/h1=0.03174 (メニスカスレンズL8の場合)
(6)d/h1=0.02986 (メニスカスレンズL10の場合)
Claims (6)
- 1.42以上の物体側開口数を有する液浸系対物レンズであって、
物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、正の屈折力を有する第2レンズ群と、負の屈折力を有する第3レンズ群からなり、
前記第1レンズ群は、平凸レンズと物体側に凹面を向けた第1のメニスカスレンズとを含む第1の接合レンズと、少なくとも1枚の正レンズからなり、
前記第2レンズ群は、複数の接合レンズを含み、
前記第3レンズ群は、物体側から順に、像側に凹面を向けた第2の接合レンズであって正レンズと負レンズを含む第2の接合レンズと、物体側に凹面を向けた負レンズと、正レンズと、からなり、
Hを前記液浸系対物レンズにおける軸上マージナル光線高さの最大値とし、fを前記液浸系対物レンズの焦点距離とし、NAobを前記液浸系対物レンズの開口数とするとき、以下の条件式
3.5 ≦ (H/f)×NAob ≦ 5.2 (1)
を満たすことを特徴とする液浸系対物レンズ。 - 請求項1に記載の液浸系対物レンズにおいて、
Lを前記第3レンズ群における軸上マージナル光線高さの最小値とするとき、以下の条件式
1.8 ≦ ((H−L)/f)×NAob ≦ 3.2 (2)
を満たすことを特徴とする液浸系対物レンズ。 - 請求項1又は請求項2に記載の液浸系対物レンズにおいて、
f1を第1の接合レンズの焦点距離とするとき、以下の条件式
1 ≦ (f1/f)×NAob ≦ 1.4 (3)
を満たすことを特徴とする液浸系対物レンズ。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の液浸系対物レンズにおいて、
n1を第1のメニスカスレンズの屈折率とするとき、以下の条件式
1.75 ≦ n1≦ 1.9 (4)
を満たすことを特徴とする液浸系対物レンズ。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の液浸系対物レンズにおいて、
fpを前記液浸系対物レンズの同焦点距離とするとき、以下の条件式
9 ≦ fp/f≦ 17 (5)
を満たすことを特徴とする液浸系対物レンズ。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の液浸系対物レンズにおいて、
前記液浸系対物レンズは、第1の負レンズを有し、
dを前記第1の負レンズの光軸上の厚さとし、h1を前記第1の負レンズの物体側のレンズ面における軸上マージナル光線高さとするとき、以下の条件式
0.005 ≦ d/h1 ≦ 0.1 (6)
を満たすことを特徴とする液浸系対物レンズ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016206388A JP6906923B2 (ja) | 2016-10-20 | 2016-10-20 | 液浸系対物レンズ |
US15/782,104 US10324269B2 (en) | 2016-10-20 | 2017-10-12 | Immersion objective |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016206388A JP6906923B2 (ja) | 2016-10-20 | 2016-10-20 | 液浸系対物レンズ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018066913A true JP2018066913A (ja) | 2018-04-26 |
JP6906923B2 JP6906923B2 (ja) | 2021-07-21 |
Family
ID=61968317
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016206388A Active JP6906923B2 (ja) | 2016-10-20 | 2016-10-20 | 液浸系対物レンズ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10324269B2 (ja) |
JP (1) | JP6906923B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7107525B2 (ja) * | 2018-08-24 | 2022-07-27 | 株式会社エビデント | 液浸系の顕微鏡対物レンズ |
CN113866994B (zh) * | 2020-06-30 | 2023-04-18 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种准直镜及像传感器 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07281097A (ja) * | 1994-04-13 | 1995-10-27 | Olympus Optical Co Ltd | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP2006113486A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Nikon Corp | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP2007121338A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Olympus Corp | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000035541A (ja) | 1998-07-16 | 2000-02-02 | Nikon Corp | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP4692698B2 (ja) * | 2000-11-14 | 2011-06-01 | 株式会社ニコン | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
DE10108796A1 (de) * | 2001-02-21 | 2002-09-05 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Hochaperturiges Objektiv |
JP2002341249A (ja) | 2001-05-11 | 2002-11-27 | Nikon Corp | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP2003015047A (ja) | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Nikon Corp | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
US7199938B2 (en) | 2005-01-13 | 2007-04-03 | Olympus Corporation | Immersion objective lens system for microscope |
DE102005027423B4 (de) | 2005-06-10 | 2013-03-28 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Apochromatisch korrigiertes Mikroskopobjektiv |
JP5112832B2 (ja) | 2006-12-11 | 2013-01-09 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた蛍光観察装置 |
JP5385442B2 (ja) | 2006-12-11 | 2014-01-08 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた蛍光観察装置 |
JP5536995B2 (ja) | 2007-07-17 | 2014-07-02 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡対物レンズおよびレーザー走査型顕微鏡システム |
JP5445898B2 (ja) * | 2007-11-02 | 2014-03-19 | 株式会社ニコン | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
DE102010014502B4 (de) | 2010-04-10 | 2019-03-14 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Hochaperturiges Immersionsobjektiv |
JP2013235246A (ja) * | 2012-04-12 | 2013-11-21 | Olympus Corp | 液浸顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた顕微鏡 |
DE102012007359B3 (de) * | 2012-04-12 | 2013-10-02 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Immersionsobjektiv und Lichtmikroskop |
JP5993250B2 (ja) | 2012-08-29 | 2016-09-14 | オリンパス株式会社 | 液浸顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた顕微鏡 |
JP6367685B2 (ja) | 2014-10-24 | 2018-08-01 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡用対物レンズ |
-
2016
- 2016-10-20 JP JP2016206388A patent/JP6906923B2/ja active Active
-
2017
- 2017-10-12 US US15/782,104 patent/US10324269B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07281097A (ja) * | 1994-04-13 | 1995-10-27 | Olympus Optical Co Ltd | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP2006113486A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Nikon Corp | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
JP2007121338A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Olympus Corp | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180113279A1 (en) | 2018-04-26 |
JP6906923B2 (ja) | 2021-07-21 |
US10324269B2 (en) | 2019-06-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5885537B2 (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
US8199408B2 (en) | Immersion microscope objective lens | |
US10330908B2 (en) | Immersion objective | |
JP7186011B2 (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
JP6906923B2 (ja) | 液浸系対物レンズ | |
JP4748508B2 (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
US11199687B2 (en) | Dry objective | |
US10162160B2 (en) | Microscope objective | |
JP2017215541A (ja) | 顕微鏡対物レンズ、及びそれを用いた顕微鏡結像光学系 | |
US10859808B2 (en) | Microscope objective | |
JP2019003001A (ja) | 対物レンズ | |
JP7107525B2 (ja) | 液浸系の顕微鏡対物レンズ | |
JP3944099B2 (ja) | 液浸系顕微鏡対物レンズ | |
US10598911B2 (en) | Objective | |
JP7194007B2 (ja) | 乾燥系対物レンズ | |
JP2019191272A (ja) | 液浸系の顕微鏡対物レンズ | |
JP7134685B2 (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
JP7163055B2 (ja) | 液浸系の顕微鏡対物レンズ | |
JP7107519B2 (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
JP7134684B2 (ja) | 乾燥系対物レンズ | |
JP2003098438A (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
JP2023032561A (ja) | 液浸顕微鏡対物レンズ | |
JP2023086154A (ja) | 対物レンズ | |
JP2023088000A (ja) | 顕微鏡対物レンズ | |
JP2010008527A (ja) | 液浸顕微鏡対物レンズ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190719 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20190719 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200616 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200630 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20200821 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201012 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210415 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20210415 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20210422 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20210427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210601 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210630 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6906923 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |