JP2018059892A - 試料作製システムおよび作製方法 - Google Patents
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Abstract
Description
第1タンク120は、試料切片50aを受け取るために使用することができる。試料切片50aは、第1タンク120内の流体10上で浮遊し、流体10の流動とともに移動することができる。そのため、試料切片50aは、図1(a)に示すように、それぞれ流体10により搬送され、スライスモジュール110から配列モジュール130に順次移動する。
50 試料ブロック
50a 試料切片
60 シリコン窒化膜
100、200 試料作製システム
110 スライスモジュール
112 クランプ部
112a クランプアーム
114 切断工具
120、210 第1タンク
122 座繰り穴
130、230 配列モジュール
140、240、340 ピックアップモジュール
142 試料ピックアップ装置
142a 固定台
142b 支持アーム
146、246 試料ホルダ
210a 第1埋込溝
210b 第2埋込溝
220 タンク本体
222 チャンバ
222a 液体入口
222b 液体出口
232 第1本体
234 第1検出装置
236 分離装置
236a 接触部
236b 圧電素子
236c、249 スライドレール
239 スライドシュート
242 第2本体
244 第2検出装置
245 ピックアップ装置
246a シリコンベース
246a1 開口
248 ピックアップリング
250 流路
252 受け取り領域
254 ピックアップ領域
254a 底板
256 配列領域
260 制御装置
270 プラットホーム
280 第2タンク
290 計算ユニット
305 開放スロット
D1 第1方向
D2 第2方向
D3 第3方向
D4 第4方向
S401〜S405 ステップ
Claims (16)
- 試料ブロックを複数の試料切片に順次スライスするのに適したスライスモジュールと、
前記試料切片を受け取るよう構成された第1タンクであって、前記試料切片が、前記第1タンク内の流体上で浮遊し、前記流体の流動とともに移動するのに適した前記第1タンクと、
前記第1タンクの一側に配置され、前記試料切片を順次分離する配列モジュールと、
前記第1タンクに結合され、前記試料切片を前記第1タンクから順次ピックアップして、前記試料切片を対応する試料ホルダの上に配置するピックアップモジュールと、
を含む試料作製システム。 - 前記スライスモジュールが、
前記試料ブロックを挟持するよう構成されたクランプ部と、
前記第1タンクの端部に配置され、前記試料ブロックを順次スライスする切断工具と、
を含む請求項1に記載の試料作製システム。 - 前記第1タンクが、
チャンバ、および前記チャンバを介して接続された液体入口および液体出口を有し、前記流体が、前記液体入口を介して前記チャンバに進入し、流路に沿って流動することにより、前記液体出口から前記チャンバを退出するタンク本体を含み、前記流路が、
前記液体入口に隣接し、前記試料切片を受け取るよう構成された受け取り領域と、
前記液体出口に隣接するピックアップ領域と、
前記受け取り領域と前記ピックアップ領域の間に設置された配列領域と、
を含み、前記ピックアップモジュールが、前記ピックアップ領域から前記試料切片をピックアップし、前記試料切片が、前記配列領域を順次通過し、前記配列モジュールが、前記試料切片を分離する請求項1に記載の試料作製システム。 - 前記配列領域の幅が、前記受け取り領域および前記ピックアップ領域の幅よりも小さい請求項3に記載の試料作製システム。
- 前記配列モジュールが、前記流路の上に配置され、前記配列モジュールが、
第1本体と、
前記流路に対応して配置され、前記試料切片の位置を決定する第1検出装置と、
前記第1本体の上に配置されるとともに、前記第1タンク内の前記試料切片に向かって移動し、2つの隣接する前記試料切片を分離するのに適した分離装置と、
を含む請求項3に記載の試料作製システム。 - 前記配列モジュールが、さらに、前記分離装置に結合され、前記分離装置が振動するよう駆動して、前記2つの隣接した試料切片に分離する圧電素子を含む請求項5に記載の試料作製システム。
- 前記配列モジュールの前記第1本体が、第1方向に沿って前記第1タンクの上に滑動可能に配置された請求項5に記載の試料作製システム。
- 前記配列モジュールの前記分離装置が、第2方向に沿って前記第1本体の上に滑動可能に配置され、前記第1方向と前記第2方向が直交する請求項7に記載の試料作製システム。
- 前記ピックアップモジュールが、
第2本体と、
前記第2本体の上に配置されたピックアップ装置と、
前記第1タンクに対応して配置され、前記試料切片の位置を検出する第2検出装置と、
を含み、前記ピックアップ装置が、前記第2検出装置の検出結果に基づいて、前記第1タンクに相対して移動することにより、前記ピックアップ領域から前記試料切片を順次ピックアップし、前記試料切片を前記対応する試料ホルダの上に配置するのに適した請求項1に記載の試料作製システム。 - 前記第1タンクの一側に結合された、または前記第1タンクの中に配置された第2タンクをさらに含み、前記第2タンクが、前記スライスモジュールから前記試料切片を受け取るのに適し、前記試料切片が、前記流体により搬送され、前記第2タンクから前記第1タンクへ移動する請求項1に記載の試料作製システム。
- 前記試料切片の輪郭形状が、台形、両端が切断された円形、または多角形を含む請求項1に記載の試料作製システム。
- スライスモジュールにより試料ブロックを複数の試料切片に順次スライスするステップと、
第1タンクで前記試料切片を受け取り、前記試料切片が前記第1タンク内の流体上で浮遊するステップと、
前記試料切片を前記流体とともに流動させ、前記第1タンク内の分離位置に移動させるステップと、
配列モジュールにより前記分離位置で前記試料切片を順次分離するステップと、
ピックアップモジュールにより前記第1タンクから分離した前記試料切片をピックアップし、前記試料切片を試料ホルダの上に順次配置および配列するステップと、
を含む試料作製方法。 - 前記スライスモジュールが前記試料ブロックを順次スライスした時、前記試料ブロックの輪郭形状設計により、前記第1タンクで受け取った順次スライスされた前記試料切片を互いに折り重ねて、前記第1タンク内の前記流体上で浮遊する試料鎖を形成するステップをさらに含む請求項12に記載の試料作製方法。
- 前記配列モジュールが、前記試料鎖に接近または接触し、各前記試料切片を分離するよう構成された分離装置を有する請求項13に記載の試料作製方法。
- 前記スライスモジュールが前記試料ブロックを前記試料切片に順次スライスした後、第2タンクで前記スライスモジュールから前記試料切片を受け取るステップをさらに含む請求項12に記載の試料作製方法。
- 前記試料切片を前記第2タンクから前記第1タンクに運ぶステップをさらに含み、
前記第2タンクが、前記第1タンクの一側に移動可能に埋め込まれる、または前記第1タンクの中に配置され、前記流体が、前記第2タンクに注入され、前記流体とともに前記試料切片を前記第2タンクから前記第1タンクへ搬送し、前記試料切片の後続の分離ステップを順番に実行する請求項15に記載の試料作製方法。
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