JP2018058362A - 低い寸法変化率を有する軟性銅箔積層フィルムおよびその製造方法 - Google Patents
低い寸法変化率を有する軟性銅箔積層フィルムおよびその製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
式1:RMD=(MD3+MD4)/2−(MD1+MD2)/2
式2:RTD=(TD3+TD4)/2−(TD1+TD2)/2
式1:RMD=(MD3+MD4)/2−(MD1+MD2)/2
式2:RTD=(TD3+TD4)/2−(TD1+TD2)/2
ポリイミドフィルムを赤外線(IR)ヒーターで乾燥させた後、プラズマ表面処理を遂行した。引き続き、スパッタリング工程を通じて前記ポリイミドフィルムの両面上に200Å厚さの第1および第2NiCrタイコート層をそれぞれ形成した。引き続き、スパッタリング工程を通じて第1および第2NiCrタイコート層上に600Å厚さの第1および第2銅シード層をそれぞれ形成した。引き続き、34℃の硫酸銅メッキ液温度、260Nの駆動張力、および2.0ASDの電流密度の条件下で垂直連続電気メッキを遂行することによって、第1および第2銅シード層上に2μm厚さの第1および第2銅メッキ層をそれぞれ形成した。
駆動張力が280Nであることを除いては実施例1と同じ方法で軟性銅箔積層フィルムを完成した。
メッキ液温度が35℃であり、駆動張力が280Nであることを除いては実施例1と同じ方法で軟性銅箔積層フィルムを完成した。
メッキ液温度が36℃であり、駆動張力が280Nであることを除いては実施例1と同じ方法で軟性銅箔積層フィルムを完成した。
メッキ液温度が36℃であり、駆動張力が300Nであることを除いては実施例1と同じ方法で軟性銅箔積層フィルムを完成した。
メッキ液温度が32℃であり、駆動張力が300Nであることを除いては実施例1と同じ方法で軟性銅箔積層フィルムを完成した。
メッキ液温度が32℃であり、駆動張力が350Nであることを除いては実施例1と同じ方法で軟性銅箔積層フィルムを完成した。
メッキ液温度が38℃であり、駆動張力が350Nであることを除いては実施例1と同じ方法で軟性銅箔積層フィルムを完成した。
メッキ液温度が38℃であり、駆動張力が300Nであることを除いては実施例1と同じ方法で軟性銅箔積層フィルムを完成した。
軟性銅箔積層フィルムから得られた200mm(長さ)×156mm(幅)のサンプルの両側面縁にそれぞれ32個の1mm角のホール(Hn、Hn’)をMD方向に沿って3.75mm間隔で形成するパンチング工程を遂行した直後、第1側面縁の一番目のホールと32番目のホール間の距離(MD1)、第2側面縁の一番目のホールと32番目のホール間の距離(MD2)、第1側面縁の一番目のホールと第2側面縁の一番目のホール間の距離(TD1)、および第1側面縁の32番目のホールと第2側面縁の32番目のホール間の距離(TD2)を3次元寸法測定機でそれぞれ測定した。
式1:RMD=(MD3+MD4)/2−(MD1+MD2)/2
式2:RTD=(TD3+TD4)/2−(TD1+TD2)/2
前記実施例および比較例によって製造された軟性銅箔積層フィルムを利用して通常のセミアディティブ方式によって回路パターンを形成した後、回路パターンの正確度を観察した。
110:非導電性高分子フィルム
120a、120b:タイコート層
130a、130b:銅層
131a、131b:銅シード層
132a、132b:銅メッキ層
Claims (11)
- 第1面およびその反対側の第2面を有する非導電性高分子フィルム(nonconductive polymer film);
前記非導電性高分子フィルムの前記第1面上の第1タイコート層(tiecoat layer);
前記第1タイコート層上の第1銅層(copper layer);
前記非導電性高分子フィルムの前記第2面上の第2タイコート層;および
前記第2タイコート層上の第2銅層を含み、
下記の式1によって定義される「パンチング後MD収縮率(post−punching MD shrinkage rate:RMD)」が0〜−40μmであり、下記の式2によって定義される「パンチング後TD収縮率(post−punching TD shrinkage rate:RTD)」が0〜+20μmであることを特徴とする、軟性銅箔積層フィルム。
式1:RMD=(MD3+MD4)/2−(MD1+MD2)/2
式2:RTD=(TD3+TD4)/2−(TD1+TD2)/2
ここで、MD1およびMD2は前記軟性銅箔積層フィルムから得られた200mm(長さ)×156mm(幅)のサンプルの両側面縁にそれぞれ32個の1mm角のホールをMD方向に沿って3.75mm間隔で形成するパンチング工程を遂行した直後にそれぞれ測定された、第1側面縁の一番目のホールと32番目のホール間の距離および第2側面縁の一番目のホールと32番目のホール間の距離であり、
TD1およびTD2は前記パンチング工程直後にそれぞれ測定された前記第1側面縁の一番目のホールと前記第2側面縁の一番目のホール間の距離および前記第1側面縁の32番目のホールと前記第2側面縁の32番目のホール間の距離であり、
MD3およびMD4は前記パンチングされたサンプルから前記第1および第2タイコート層および前記第1および第2銅層を除去する食刻工程を遂行してから24時間が経過した後にそれぞれ測定された前記第1側面縁の一番目のホールと32番目のホール間の距離および前記第2側面縁の一番目のホールと32番目のホール間の距離であり、
TD3およびTD4は前記食刻工程を遂行してから24時間が経過した後にそれぞれ測定された前記第1側面縁の一番目のホールと前記第2側面縁の一番目のホール間の距離および前記第1側面縁の32番目のホールと前記第2側面縁の32番目のホール間の距離である。 - 前記非導電性高分子フィルムはポリイミドを含み、10〜40μmの厚さを有することを特徴とする、請求項1に記載の軟性銅箔積層フィルム。
- 前記第1および第2タイコート層のそれぞれは、ニッケル(Ni)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、ニオブ(Nb)、鉄(Fe)またはこれらのうち2以上の混合物を含み、150〜300Åの厚さを有することを特徴とする、請求項1に記載の軟性銅箔積層フィルム。
- 前記第1および第2タイコート層のそれぞれは、ニッケルおよびクロムを含み、前記クロムの含量は5〜25重量%であることを特徴とする、請求項3に記載の軟性銅箔積層フィルム。
- 前記第1銅層は、
前記第1タイコート層上の第1銅シード層;および
前記第1銅シード層上の第1銅メッキ層を含み、
前記第2銅層は、
前記第2タイコート層上の第2銅シード層;および
前記第2銅シード層上の第2銅メッキ層を含み、
前記第1および第2銅シード層のそれぞれは、500〜1,500Åの厚さを有し、
前記第1および第2銅メッキ層のそれぞれは、1.8〜2.4μmの厚さを有する、請求項1に記載の軟性銅箔積層フィルム。 - 非導電性高分子フィルムを準備する段階;
スパッタリング工程を通じて前記非導電性高分子フィルムの第1および第2面上に第1および第2タイコート層をそれぞれ形成する段階;
スパッタリング工程を通じて前記第1および第2タイコート層上に第1および第2銅シード層をそれぞれ形成する段階;および
連続電気メッキ工程を通じて前記第1および第2銅シード層上に第1および第2銅メッキ層をそれぞれ形成する段階を含み、
前記連続電気メッキ工程は33〜37℃に維持される硫酸銅メッキ液内で220〜300Nの張力下で遂行されることを特徴とする、軟性銅箔積層フィルムの製造方法。 - 前記硫酸銅メッキ液は20〜60g/Lの銅および100〜200g/Lの硫酸を含むことを特徴とする、請求項6に記載の軟性銅箔積層フィルムの製造方法。
- 前記連続電気メッキ工程は前記第1および第2銅メッキ層のそれぞれの厚さが1.8〜2.4μmとなるまで1〜5mpmの速度で遂行されることを特徴とする、請求項6に記載の軟性銅箔積層フィルムの製造方法。
- 前記連続電気メッキ工程中に加えられる電流密度は1〜3.5ASDであることを特徴とする、請求項6に記載の軟性銅箔積層フィルムの製造方法。
- 前記連続電気メッキ工程は垂直方式であることを特徴とする、請求項6に記載の軟性銅箔積層フィルムの製造方法。
- 前記第1および第2タイコート層を形成する前に、
真空雰囲気で50〜300℃の赤外線ヒーターを利用して前記非導電性高分子フィルムから水分および残留ガスを除去する段階;および
前記非導電性高分子フィルムの前記第1および第2面をプラズマで処理する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項6に記載の軟性銅箔積層フィルムの製造方法。
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