JP2018048909A - センサ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の第1実施形態によるセンサ装置について図1乃至図6を用いて説明する。図1は、本実施形態によるセンサ装置の全体構造を示す概略図である。図2は、本実施形態によるセンサ装置におけるセンサセルの構造を示す概略図である。図3は、本実施形態によるセンサ装置における圧力センサを示す平面図である。図4は、本実施形態によるセンサ装置における圧力センサのセンサ層の立体形状を示す斜視図である。図5は、圧力センサの圧力に応じた電気抵抗値の電極形状に対する依存性の例を示すグラフである。図6は、本実施形態によるセンサ装置における圧力センサの配置の例を示す平面図である。
本発明の第2実施形態によるセンサ装置について図7を用いて説明する。図7は、本実施形態によるセンサ装置における圧力センサを示す断面図である。なお、上記第1実施形態によるセンサ装置と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し又は簡略にする。
本発明は、上記実施形態に限らず、種々の変形が可能である。
12…センサセル
20…垂直走査回路
30…検出回路
40…制御部
68、70…電極
82…センサ層
84…弾性体層
100…センサ装置
M…選択トランジスタ
S…圧力センサ
Claims (10)
- 圧力センサとアクティブ素子とをそれぞれが含み、2次元状に配された複数のセンサセルを有し、
複数の前記圧力センサが、互いに形状及び寸法のうちの少なくとも一方が異なるものであることを特徴とするセンサ装置。 - 前記圧力センサが、感圧導電性材料からなるセンサ層と、前記センサ層に接触する電極とを有することを特徴とする請求項1記載のセンサ装置。
- 前記複数の圧力センサが、前記センサ層について互いに形状及び寸法のうちの少なくとも一方が異なるものであることを特徴とする請求項2記載のセンサ装置。
- 前記複数の圧力センサが、前記電極について互いに形状及び寸法のうちの少なくとも一方が異なるものであることを特徴とする請求項2又は3に記載のセンサ装置。
- 前記センサ層が、前記センサ層上に形成された弾性体層を有することを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載のセンサ装置。
- 前記複数の圧力センサが、前記弾性体層について互いに形状及び寸法のうちの少なくとも一方が異なるものであることを特徴とする請求項5記載のセンサ装置。
- 前記弾性体層が、複数の前記センサ層上に跨がって形成されていることを特徴とする請求項6記載のセンサ装置。
- 前記複数の圧力センサの前記感圧導電性材料が、互いに同一の材料であることを特徴とする請求項2乃至7のいずれか1項に記載のセンサ装置。
- 前記複数の圧力センサの前記感圧導電性材料が、互いに異なる材料であることを特徴とする請求項2乃至7のいずれか1項に記載のセンサ装置。
- 前記アクティブ素子が薄膜トランジスタであることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のセンサ装置。
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