JP7007112B2 - 力検出装置 - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態による力検出装置について図1乃至図4を用いて説明する。図1は、本実施形態による力検出装置の全体構造を示す概略図である。図2は、本実施形態による力検出装置における力検出部の構造を示す断面図である。図3及び図4は、本実施形態による力検出装置における力検出機構の圧力センサに対する配置の例を説明する図である。
次に、本実施形態による力検出装置の評価結果について図5及び図6を用いて説明する。図5は、実施例による力検出装置の構造を示す概略図である。図5(a)は、実施例による力検出装置の全体構成を示す概略図である。図5(b)は、図5(a)に破線で示す円内を拡大して示す断面図である。図5(c)は、図5(b)に示す構造の上面図である。図5(d)は、力検出機構の配置箇所を示す平面図である。図6は、実施例による力検出装置を用いて力を検出した結果を示す図である。
本発明は、上記実施形態に限らず、種々の変形が可能である。
12…センサセル
14…力検出部
20…垂直走査回路
30…検出回路
40…制御部
60…基板
62…ゲート電極
64…電源電圧線
66…ゲート絶縁層
68…半導体層
70D…ドレイン電極
70S…ソース電極
72…層間絶縁層
74…電極
76…電極
78…センサ層
80…力検出機構
82…センサ面
100…力検出装置
S…圧力センサ
M…選択トランジスタ
Claims (11)
- 感圧材料からなるセンサ層を有する圧力センサをそれぞれが含み、2次元状に配された複数のセンサセルと、
前記感圧材料よりも硬く、隣接する複数の前記圧力センサの複数の前記センサ層の複数の表面に固定されることで前記複数のセンサ層を連結する力検出機構と
を有し、
前記圧力センサが、前記センサ層に接触して形成された第1の電極と第2の電極とをさらに有する
ことを特徴とする力検出装置。 - 前記力検出機構が、前記複数のセンサ層上に前記複数のセンサ層を跨ぐように形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の力検出装置。 - 前記センサ層が、感圧導電性材料からなる
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の力検出装置。 - 前記複数の圧力センサが形成された基板を有し、
前記力検出機構が、前記基板の板面に対して垂直な方向に前記基板から離間するに従って幅が細くなる立体形状を有している
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の力検出装置。 - 前記力検出機構が、錐台状の立体形状を有する
ことを特徴とする請求項4記載の力検出装置。 - 複数の前記力検出機構を有し、
前記複数の力検出機構が、互いに別個独立に分離されている
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の力検出装置。 - 複数の前記力検出機構を有し、
前記複数の力検出機構が、互いに一体的に連続している
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の力検出装置。 - 前記力検出機構が、プラスチック又はゴムからなる
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の力検出装置。 - 前記複数のセンサセルのそれぞれが、アクティブ素子を含む
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の力検出装置。 - 前記アクティブ素子が薄膜トランジスタである
ことを特徴とする請求項9記載の力検出装置。 - 前記圧力センサが更に電源電圧線を含み、
前記電源電圧線は、前記薄膜トランジスタのゲート電極と同一の層に形成されており、
前記第1の電極は、前記薄膜トランジスタのドレイン電極と接続され、
前記第2の電極は、前記電源電圧線と接続されている、
ことを特徴とする請求項10記載の力検出装置。
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