JP2018194525A - 圧力センサ装置 - Google Patents
圧力センサ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018194525A JP2018194525A JP2017100974A JP2017100974A JP2018194525A JP 2018194525 A JP2018194525 A JP 2018194525A JP 2017100974 A JP2017100974 A JP 2017100974A JP 2017100974 A JP2017100974 A JP 2017100974A JP 2018194525 A JP2018194525 A JP 2018194525A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- substrate
- electrode
- protrusion
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
Description
図1及び図2を参照して、本実施の形態に係る圧力センサ装置10について説明する。図1は、圧力センサ装置10を示す断面図である。図2は、図1の圧力センサ装置10を拡大して示す断面図である。圧力センサ装置10の用途は特には限られないが、例えば用途の1つとして、圧力センサ装置10をベッドなどの人体の荷重を受ける器具に組み込んで使用することが考えられる。
まず、図1乃至図3を参照して、センサ基板20について説明する。図3は、圧力センサ装置10のセンサ基板20を示す平面図である。
続いて、図1、図2及び図4を参照して、感圧部40について説明する。図4は、圧力センサ装置10を感圧部40側から見た場合を示す平面図である。
次に、支持部50について説明する。図2に示すように、支持部50は、外部の物体からの圧力が感圧体41に加えられていない時に感圧体41と第1電極24との間に適切な隙間が存在するように感圧体41とセンサ基板20との間に介在される部材である。図2に示すように、基板21の法線方向における支持部50の一端は、センサ基板20の例えば絶縁層36に接しており、支持部50の他端は、感圧体41に接している。隙間sは、例えば1μm以上且つ500μm以下である。支持部50の高さtは、例えば1μm以上且つ1000μm以下である。
次に、圧力センサ装置10の動作について説明する。
上述の実施の形態においては、感圧体41が、基板21の法線方向に沿って見た場合に複数の突起部42と重なるように広がっている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図6に示すように、基板21の法線方向に沿って見た場合に1つの感圧体41が1つの突起部42と重なっていてもよい。図6に示す例においても、センサ基板20と感圧体41との間に支持部50が設けられていてもよい。
また、図7に示すように、基板21の法線方向に沿って見た場合に複数の感圧体41が1つの突起部42と重なっていてもよい。例えば、基板21の法線方向に沿って見た場合に1つの感圧体41が1つの第1電極24と重なっていてもよい。図7に示す例においても、センサ基板20と感圧体41との間に支持部50が設けられていてもよい。
図8に示すように、感圧部40は、基板21の法線方向に沿って見た場合に複数の突起部42と重なるように広がるカバー部43を更に有していてもよい。カバー部43は、突起部42に対してセンサ基板20の反対側に位置する。カバー部43を構成する材料の例としては、金属、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を挙げることができる。カバー部43の厚みは、例えば1μm以上且つ1000μm以下である。
上述の実施の形態においては、第2電極25が第1電極24と同一平面に位置する例を示した。しかしながら、感圧体41に圧力が加えられた時に感圧体41を介して第1電極24と第2電極25との間に電流が流れることができる限りにおいて、第2電極25の具体的な配置は特には限定されない。例えば、図9に示すように、第2電極25は、感圧体41と突起部42との間に位置していてもよい。
上述の実施の形態においては、突起部42が矩形の横断面形状を有する例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図10に示すように、突起部42は、円形の横断面形状を有していてもよい。これにより、面内方向圧力が突起部42により等方的に作用するようになるので、面内方向圧力を精度良く検出することができる。なお、横断面形状とは、基板21の面内方向に平行な方向における突起部42の断面形状である。また、円形とは、真円形だけでなく楕円形なども含む概念である。
上述の実施の形態においては、感圧体41と突起部42とが別個の部材である例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図11に示すように、感圧体41及び突起部42は、同一の材料によって一体的に構成されていてもよい。
上述の実施の形態においては、突起部42の頂部421が平坦面である例を示した。しかしながら、圧力センサ装置10に加えられた圧力をセンサ基板20の一部に集中させることができる限りにおいて、突起部42の形状は特には限定されない。例えば、図12に示すように、突起部42は、センサ基板20から遠ざかるにつれて幅が小さくなる先細状の形状を有していてもよい。この場合、頂部421は、突起部42の先端である。また、図12に示す例において、突起部42の幅W2は、例えば、基板21の法線方向における突起部42の中間位置における突起部42の幅である。
まず、図13に示す圧力センサ装置10を準備した。圧力センサ装置10の突起部42は、第1方向D1に並ぶ6列の第1電極24、及び第2方向D2に並ぶ6列の第1電極24に重なっている。
圧力センサ装置10に鉛直方向圧力だけでなく面内方向圧力FDを加えたこと以外は、実施例1の場合と同様にして、圧力センサ装置10を用いて圧力を算出した。結果を図14に示す。図14に示すように、突起部42のうち面内方向圧力FDの向きの上流側に位置する部分において検出された圧力は、突起部42のうち面内方向圧力FDの向きの下流側に位置する部分において検出された圧力よりも小さかった。圧力の分布を解析することにより、面内方向圧力FDを算出することができた。
20 センサ基板
21 基板
22 平坦化層
23 センサ部
24 第1電極
25 第2電極
30 トランジスタ
31 ゲート端子
32 絶縁層
33 第1端子
34 第2端子
35 半導体層
36 絶縁層
37 接続部
40 感圧部
41 感圧体
42 突起部
421 頂部
43 カバー部
50 支持部
60 物体
X 第1ライン
Y 第2ライン
Claims (5)
- 基板と、第1方向及び前記第1方向に交差する第2方向に沿って前記基板上に並び、第1電極と、前記第1電極に電気的に接続されたトランジスタと、を含む複数のセンサ部と、を有するセンサ基板と、
前記センサ部に対向する感圧体と、前記感圧体に対して前記センサ基板の反対側に位置する複数の突起部と、を有する感圧部と、を備え、
前記突起部は、前記基板の法線方向に沿って見た場合に複数の前記第1電極と重なっている、圧力センサ装置。 - 前記センサ基板は、前記第1電極と同一平面に位置し、前記感圧体に対向する第2電極を更に有する、請求項1に記載の圧力センサ装置。
- 前記突起部は、熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂を含む、請求項1又は2に記載の圧力センサ装置。
- 前記突起部は、円形の横断面形状を有する、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の圧力センサ装置。
- 前記センサ基板と前記感圧部との間に位置する複数の支持部を更に備え、
前記突起部は、前記基板の法線方向に沿って見た場合に前記突起部の頂部が前記支持部と重ならないように配置されている、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の圧力センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017100974A JP2018194525A (ja) | 2017-05-22 | 2017-05-22 | 圧力センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017100974A JP2018194525A (ja) | 2017-05-22 | 2017-05-22 | 圧力センサ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018194525A true JP2018194525A (ja) | 2018-12-06 |
Family
ID=64570850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017100974A Ceased JP2018194525A (ja) | 2017-05-22 | 2017-05-22 | 圧力センサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018194525A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018200281A (ja) * | 2017-05-29 | 2018-12-20 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 力検出装置 |
JP2021025850A (ja) * | 2019-08-02 | 2021-02-22 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 力センサ及び力検出装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006090983A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Univ Of Tokyo | 面状素子モジュールおよびその製造方法並びに面状素子装置 |
JP2008164557A (ja) * | 2007-01-04 | 2008-07-17 | Niigata Univ | 触覚センサ |
JP2013068563A (ja) * | 2011-09-26 | 2013-04-18 | Fujikura Ltd | 圧力センサ |
US20160282999A1 (en) * | 2015-03-23 | 2016-09-29 | Lg Display Co., Ltd. | Touch screen device and method for driving thereof, and portable electronic device comprising the same |
-
2017
- 2017-05-22 JP JP2017100974A patent/JP2018194525A/ja not_active Ceased
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006090983A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Univ Of Tokyo | 面状素子モジュールおよびその製造方法並びに面状素子装置 |
JP2008164557A (ja) * | 2007-01-04 | 2008-07-17 | Niigata Univ | 触覚センサ |
JP2013068563A (ja) * | 2011-09-26 | 2013-04-18 | Fujikura Ltd | 圧力センサ |
US20160282999A1 (en) * | 2015-03-23 | 2016-09-29 | Lg Display Co., Ltd. | Touch screen device and method for driving thereof, and portable electronic device comprising the same |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018200281A (ja) * | 2017-05-29 | 2018-12-20 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 力検出装置 |
JP7007112B2 (ja) | 2017-05-29 | 2022-01-24 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 力検出装置 |
JP2021025850A (ja) * | 2019-08-02 | 2021-02-22 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 力センサ及び力検出装置 |
JP7418167B2 (ja) | 2019-08-02 | 2024-01-19 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 力センサ及び力検出装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20170242518A1 (en) | Touch display panel and touch display device | |
JP5907337B2 (ja) | タッチパネル及びタッチパネル付表示装置 | |
JP2011247729A5 (ja) | 素子構造体、慣性センサー、電子機器 | |
JP6325639B1 (ja) | 圧力センサ | |
WO2019202928A1 (ja) | 圧力センサ及び圧力センサの製造方法 | |
CN105493010A (zh) | 传感器装置、显示装置和输入装置 | |
JP2018194525A (ja) | 圧力センサ装置 | |
JPWO2014017169A1 (ja) | 押圧力センサ | |
JP6358080B2 (ja) | 圧力センサ | |
US20150070600A1 (en) | Sensor device, method of manufacturing sensor device, display apparatus, and input apparatus | |
TWI566651B (zh) | 電性連接組件及其檢測方法 | |
JP2009251785A (ja) | タッチパネル付表示装置 | |
JP6358081B2 (ja) | 圧力センサ | |
TW201317552A (zh) | 壓力感測構件 | |
JP2019029514A (ja) | 配線デバイスおよびひずみセンサー | |
JP6330595B2 (ja) | 荷重センサ | |
JP6946740B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
US20220187145A1 (en) | Force sensor | |
JP2018189583A (ja) | 圧力センサ装置 | |
US9543332B2 (en) | Array substrate, display panel and display device | |
JP6860853B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
JP2017022225A (ja) | 基板及び電子機器 | |
JP6435941B2 (ja) | 圧力センサ | |
US9351401B2 (en) | Display panel and display device | |
JP2019029515A (ja) | 配線デバイスおよびひずみセンサー |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200330 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210316 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211012 |
|
A045 | Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20220218 |