JP6860853B2 - 圧力センサ装置 - Google Patents

Description

本開示の実施形態は、感圧体を利用した圧力センサ装置に関する。

従来、感圧体を利用した圧力センサ装置が知られている。感圧体とは、加えられる圧力に応じて、電気抵抗または静電容量などの電気特性が変化するよう構成された部材である。このような感圧体を利用した圧力センサ装置は、例えば感圧体の電気抵抗に基づき感圧体に加えられた圧力の値や分布を算出することができる。

上述のような感圧体を備える圧力センサ装置は、従来から種々提案されている。例えば特許文献１には、基板と、基板上にマトリクス状に設けられた有機ＴＦＴ（Organic Thin Film Transistor）と、各有機ＴＦＴのドレイン電極に対応して設けられた複数の通電部分を有する共通電極と、ドレイン電極と共通電極の通電部分との間のそれぞれに設けられた複数の感圧体と、を備える圧力センサ装置が開示されている。この圧力センサ装置では、ある感圧体に圧力が加わった場合に、有機ＴＦＴのソース電極と共通電極との間に、有機半導体、ドレイン電極及び感圧体を介して電流が流れる。この際、感圧体に加わった圧力に応じて電流の値が変化することで、圧力の値を算出することができる。

特開２０１６−４９４０号公報

特許文献１にかかる圧力センサ装置では、有機ＴＦＴのドレイン電極の数に対応して複数の感圧体が設けられるため、感圧体の形成に手間がかかる。

本開示の実施形態は、上記の点を考慮してなされたものであり、容易に作製可能な簡易な構造で、加えられた圧力を精度良く検出できる圧力センサ装置を提供することを目的とする。

本開示の一実施形態は、基板と、前記基板上に第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向に沿ってマトリクス状に設けられた複数の第１電極と、前記第１電極と同じ階層に設けられた第２電極と、複数の前記第１電極及び前記第２電極に跨がるように前記第１電極及び前記第２電極上に設けられた感圧体と、を備え、前記感圧体を介して前記第１電極と前記第２電極との間に流れる電流に応じて、前記感圧体に加えられた圧力の値を検出するようになっており、前記第２電極は、前記第１方向、前記第２方向およびこれらと交差する一つ又は複数の交差方向のうちの少なくともいずれかで隣り合う前記第１電極の間に位置するように形成されている、圧力センサ装置、である。

本開示の一実施形態にかかる圧力センサ装置において、前記第２電極は、前記第１方向、前記第２方向及び前記一つ又は複数の交差方向のうちの少なくとも二つの方向で隣り合う前記第１電極の間に位置するように形成されていてもよい。

また本開示の一実施形態にかかる圧力センサ装置において、前記第２電極は、前記第１方向及び前記第２方向の両方で隣り合う前記第１電極の間に位置していてもよい。

また本開示の一実施形態にかかる圧力センサ装置において、前記第２電極は、前記第１方向及び前記第２方向のそれぞれに規則的に並ぶセルを画成する格子状に形成され、前記セルによって前記第１電極を取り囲んでいてもよい。

また本開示の一実施形態にかかる圧力センサ装置において、前記第２方向は、前記第１方向に直交する方向であってもよい。

また本開示の一実施形態にかかる圧力センサ装置において、前記第２電極は、前記第１方向又は前記第２方向で隣り合う前記第１電極の間を通過する複数の線状部分からなる、ものでもよい。

本開示の実施形態によれば、容易に作製可能な簡易な構成で、加えられた圧力を精度良く検出できる。

図１は、実施形態にかかる圧力センサ装置を示す平面図。 図２は、図１に示す圧力センサ装置のセンサ基板を示す平面図。 図３は、図２の拡大図。 図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図。 図５は、図３のＶ−Ｖ線に沿う断面図。 図６は、図４の拡大図。 図７は、変形例にかかる圧力センサ装置の第１電極及び第２電極を拡大して示した平面図。 図８は、他の変形例にかかる圧力センサ装置の第１電極及び第２電極を拡大して示した平面図。 図９は、さらに他の変形例にかかる圧力センサ装置の断面図。

以下、本開示の一実施形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。また本明細書において、「基板」、「シート」、「フィルム」などの用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「基板」はシートやフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念である。さらに、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「直交」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。

（圧力センサ装置）
まず、図１を参照して圧力センサ装置１０全体について説明する。図１に示す実施形態にかかる圧力センサ装置１０は、感圧体４０を有するセンサ基板２０と、ケーブル４５を介してセンサ基板２０に電気的に接続された制御部５０と、を備えている。制御部５０は、感圧体４０の電気抵抗または静電容量などの電気特性に関する情報が得られるようセンサ基板２０に電気的に接続されている。制御部５０は、演算装置及び記憶媒体を含む。演算装置は、例えばＣＰＵである。記憶媒体は、例えばＲＯＭやＲＡＭなどのメモリーである。

圧力センサ装置１０の用途は特には限られないが、例えば用途の１つとして、圧力センサ装置１０をベッドなどの人体の荷重を受ける器具に組み込んで使用することが考えられる。

（センサ基板）
次に図１乃至図６を参照して、センサ基板２０について説明する。図２は、感圧体４０が便宜的に省略された状態のセンサ基板２０を示す平面図である。また図３は、図２の拡大図であって、センサ基板２０に設けられる後述する第１電極２４及び第２電極２５を示した図であり、第１電極２４及び第２電極２５には便宜的にドットを付している。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図、図５は、図３のＶ−Ｖ線に沿う断面図、図６は、図４の拡大図である。

図１乃至６に示すように、センサ基板２０は、シート状の基板２１と、基板２１上に第１方向Ｄ１および第１方向に交差する第２方向Ｄ２に沿ってマトリクス状に設けられた複数のトランジスタ３０と、トランジスタ３０の配列に対応したマトリクス状に設けられ、トランジスタ３０のそれぞれに電気的に接続された複数の第１電極２４と、第１電極２４と同じ階層に設けられた第２電極２５と、外側を向く第１面４０ａおよび基板２１側を向く第２面４０ｂを含むシート状の感圧体４０と、を有している。なお、本例において、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２はトランジスタの配列方向を示しており、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２は互いに直交している。

基板２１は、可撓性を有するフレキシブル基板であるが、その材料は特に限られることはなく、例えば可撓性を有しないリジット基板であってもよい。図示の例では、基板２１上に平坦化層２２が積層されている。平坦化層２２は硬化性樹脂を含む層であり、この平坦化層２２を設けることで基板２１に凹凸があっても表面を平坦化できる。これにより、平坦化層２２の表面に形成されるトランジスタ３０の断線などの欠陥を未然に防ぐことができる。また本例では、図１及び図２に示すように、基板２１が、第１方向Ｄ１に沿って延びる一対の第１辺２２ａと、第２方向Ｄ２に沿って延びる一対の第２辺２２ｂと、を含む矩形状の外形を有している。

トランジスタ３０は、図６に示すように、平坦化層２２を介して基板２１上に設けられる第１端子３１と、平坦化層２２を介して基板２１上に設けられ且つ第１端子３１と隣り合う第２端子３２と、第１端子３１と第２端子３２との間に設けられ且つ第１端子３１及び第２端子３２のそれぞれに接する半導体層３５と、半導体層３５、第１端子３１及び第２端子３２を覆うよう平坦化層２２上に設けられたゲート絶縁層３４を介して半導体層３５に対向するゲート端子３３と、を有している。第１端子３１および第２端子３２は、ゲート端子３３との間の電圧に応じて、一方がいわゆるソース端子として機能し、他方がいわゆるドレイン端子として機能する。また、ゲート端子３３およびゲート絶縁層３４を覆うように絶縁層３６が設けられている。

第１端子３１、第２端子３２、ゲート端子３３、ゲート絶縁層３４や絶縁層３６を構成する材料としては、トランジスタにおいて用いられる公知の材料が用いられる。例えば、特開２０１０−７９１９６号公報において開示されている材料を用いることができる。

半導体層３５を構成する材料としては、無機半導体材料または有機半導体材料のいずれが用いられてもよいが、好ましくは有機半導体材料が用いられる。有機半導体材料は一般に、無機半導体材料に比べて低い温度で基板上に形成され得る。このため、トランジスタ３０を支持する基板２１を構成する材料として、可撓性を有するプラスチックなどの材料を利用することができる。このことにより、機械的衝撃に対する安定性を有し、かつ軽量なトランジスタシートを提供することが可能となる。また、印刷法等の塗布プロセスを用いて有機半導体材料を基板２１上に形成することができるので、無機半導体材料が用いられる場合に比べて、多数の有機トランジスタを基板２１上に効率的に形成することが可能となる。このため、トランジスタシートの製造コストを低くすることができる可能性がある。

有機半導体材料としては、ペンタセン等の低分子有機半導体材料や、ポリピロール類等の高分子有機半導体材料が用いられ得る。より具体的には、特開２０１３−２１１９０号公報において開示されている低分子有機半導体材料や高分子有機半導体材料を用いることができる。ここで「低分子有機半導体材料」とは、例えば、分子量が１００００未満の有機半導体材料を意味している。また「高分子有機半導体材料」とは、例えば、分子量が１００００以上の有機半導体材料を意味している。

なお図４乃至図６においては、トランジスタ３０がいわゆるトップゲート型となっている例を示した。しかしながら、トランジスタ３０のタイプがトップゲート型に限られることはない。

次にトランジスタ３０に電気的に接続される配線について説明する。図１および図２において、符号Ｙ１〜Ｙｎが付された点線は、第１方向Ｄ１に延び、第１方向Ｄ１に沿って並ぶ複数のトランジスタ３０の第１端子３１に電気的に接続される複数の第１ラインを示している。例えば第１ラインＹ１は、図１および図２の紙面において最も左側に位置付けられ、第１方向Ｄ１に沿って並ぶ複数のトランジスタ３０の第１端子３１に電気的に接続されている。第１ラインＹ１〜Ｙｎは、各トランジスタ３０を介して感圧体４０の電気特性の変化を制御部５０に伝達するために設けられている。また本例における第１ラインＹ１〜Ｙｎは、第１端子３１と同じ階層に設けられている。第１ラインＹ１〜Ｙｎは、信号線、データライン、ビットラインなどとも称されるラインである。なお、以下において、第１ラインＹ１〜Ｙｎに共通する事項を説明する際には、第１ラインＹ１〜Ｙｎを第１ラインＹと記す場合がある。

また符号Ｘ１〜Ｘｍが付された点線は、各トランジスタ３０を順にオン状態にするための制御信号を伝達するために設けられた第２ラインを表している。第２ラインＸ１〜Ｘｍはそれぞれ、第２方向Ｄ２に延び、第２方向Ｄ２に沿って並ぶ複数のトランジスタ３０のゲート端子３３に電気的に接続されている。例えば第２ラインＸ１は、図１および図２の紙面において最も下側に位置付けられ、第２方向Ｄ２に沿って並ぶ複数のトランジスタ３０のゲート端子３３に電気的に接続されている。このため、例えばトランジスタ３０がＰ型である場合、トランジスタ３０の第１端子３１または第２端子３２に対するゲート端子３３の電圧が負になるように第２ラインＸ１に電圧を印加することにより、第２ラインＸ１に接続された複数のトランジスタ３０を同時にオン状態にすることができる。また本例における第２ラインＸ１〜Ｘｎは、ゲート端子３３と同じ階層に設けられている。第２ラインＸ１〜Ｘｍは、走査線、スキャンライン、ワードラインなどとも称されるラインである。なお、以下において、第２ラインＸ１〜Ｘｎに共通する事項を説明する際には、第２ラインＸ１〜Ｘｎを第１ラインＸと記す場合がある。

図１および図２に示すように、第１ラインＹ１〜Ｙｎおよび第２ラインＸ１〜Ｘｍはそれぞれ、対応する基板２１上に設けられた端子部２８に接続されている。また上述のケーブル４５も、対応する端子部２８に接続され、端子部２８を制御部５０に電気的に接続する。端子部２８は、基板２１の各外縁に沿って第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に並ぶように配置されている。図１においては、説明の便宜上、図面において左側に位置する第１辺２２ａに沿って並ぶ複数の端子部２８のみにケーブル４５が接続されているが、他の辺に沿って並ぶ複数の端子部２８にも同様のケーブルが接続されている。

次に絶縁層３６上に設けられる第１電極２４及び第２電極２５について説明する。図６に示すように、まず、第１電極２４は、絶縁層３６の一部に形成された貫通孔３６ａ内及びゲート絶縁層３４の一部に形成され貫通孔３６ａに連通する貫通孔３４ａ内に設けられた導電性を有する接続部３７及び接続部３８を介して第２端子３２に電気的に接続されている。図４乃至６に示す例においては、貫通孔３６ａ及び貫通孔３４ａが第２端子３２上に形成されており、これら貫通孔３６ａ，３４ａを介して第２端子３２と第１電極２４とが電気的に接続している。そして図３に示すように、第１電極２４は、平面視形状が四角形状となっている。ここで、図２に示すように、第１電極２４は、複数のトランジスタ３０の各第２端子３２に電気的に接続されるため、トランジスタ３０のマトリクス状の配列に対応したマトリクス状に設けられることになる。なお、本例においては、第１電極２４と接続部３７とが同時に形成されて一体になった例が示されている。

次いで、本実施形態における第２電極２５は、図２および図３に示すように、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の両方で隣り合う第１電極２４の間に位置するように形成されている。詳しくは、図２および図３に示す第２電極２５は、第１方向Ｄ１に平行に延び且つ第２方向Ｄ２で隣り合う第１電極２４の間を通過する複数の第１線状部分２５Ａと、第２方向Ｄ２に平行に延び且つ第１方向Ｄ１で隣り合う第１電極２４の間を通過する複数の第２線状部分２５Ｂと、を有し、第１線状部分２５Ａと第２線状部分２５Ｂとを交差させることで格子状に形成されている。これにより、第１線状部分２５Ａと第２線状部分２５Ｂとは互いに電気的に接続された状態になっている。より詳しくは、複数の第１線状部分２５Ａは、第２方向Ｄ２で隣り合う第１電極２４の間を互い異なる位置で通過するように配列され、複数の第２線状部分２５Ｂは、第１方向Ｄ１で隣り合う第１電極２４の間を互い異なる位置で通過するように配列されている。これにより、第２電極２５は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２のそれぞれに規則的に並ぶ矩形状のセル２５Ｃを画成し、一つのセル２５Ｃによって一つの第１電極２４を取り囲むように構成されている。

第２電極２５は、図示しない配線を介して、電源又はグランド配線に電気的に接続されている。第２電極２５が電源に電気的に接続される場合、当該電源から制御部５０に向けて感圧体４０を介して電流を通流させることが可能となる。一方、第２電極２５がグランド配線に電気的に接続される場合には、制御部５０からグランド配線に向けて感圧体４０を介して電流を通流させることが可能となる。また本実施形態における第２電極２５は、第１ラインＹ及び第２ラインＸとは異なる階層に設けられている。第１電極２４および第２電極２５を構成する材料は、例えば導電性炭素材料であってもよい。このような導電性炭素材料としては、グラファイト構造またはそれに類似する構造を有するもの、例えばカーボンブラックなどを用いることができる。

次に感圧体４０について説明する。図１および図４に示すように、感圧体４０はシート状に形成されており、複数の第１電極２４及び第２電極２５に跨がるように第１電極２４及び第２電極２５上に設けられている。感圧体４０は、感圧体４０に加えられる圧力に応じて電気抵抗または静電容量が変化する部材である。感圧体４０は、例えば、感圧体に加えられる圧力に応じて電気抵抗が変化するよう構成された、いわゆる感圧導電体である。感圧導電体は、例えば、シリコーンゴムなどのゴムと、ゴムに添加されたカーボンなどの導電性を有する複数の粒子と、を含んでいる。感圧体４０に圧力が加えられた際には、感圧体４０が変形して第１電極２４及び第２電極２５に接触し得る。このような接触が生じた場合、第１電極２４と第２電極２５との間に感圧体４０を介して電流が流れる。このように流れる電流の値は、感圧体４０への外力の大きさに応じて感圧体４０の電気特性が変化することで変化する。これにより、圧力センサ装置１０は、感圧体４０に加えられた圧力の値を測定することが可能となっている。

また図４に示すように、本実施形態では、センサ基板２０と感圧体４０との間に支持部６０が設けられている。基板２１の法線方向における支持部６０の一端は、センサ基板２０に接しており、支持部６０の他端は、感圧体４０に接している。基板２１の法線方向における支持部６０の寸法は、感圧体４０に圧力が加えられていないときに感圧体４０が第１電極２４および第２電極２５に接触しないように定められている。このため、感圧体４０に圧力が加えられていない場合に第１電極２４と第２電極２５との間に電流が流れることを抑制することができる。また、基板２１の法線方向における支持部６０の寸法は、感圧体４０に圧力が加えられているときに感圧体４０が第１電極２４及び第２電極２５に接触するように定められている。

支持部６０は、例えば接着剤を含む。接着剤は、無機材料を含む無機系接着剤であってもよく、有機材料を含む有機系接着剤であってもよい。接着剤の例としては、アクリル樹脂系接着剤、ウレタン樹脂系接着剤、エポキシ樹脂系接着剤などを挙げることができる。

（圧力センサ装置の動作）
次に、圧力センサ装置１０の動作について説明する。

まず、外部の物体からの圧力が圧力センサ装置１０に加えられていない時の圧力センサ装置１０の動作について説明する。上述のように、圧力センサ装置１０は、感圧体４０とセンサ基板２０との間に位置する支持部６０を備える。このため、外部の物体からの圧力が圧力センサ装置１０に加えられていない時に感圧体４０と第１電極２４との間に適切な隙間を生成することができる。この結果、外部の物体からの圧力が圧力センサ装置１０に加えられていない時には、第１電極２４及び第２電極２５に電流が全く又はほとんど流れないようになる。

次に、外部の物体からの圧力が圧力センサ装置１０に加えられている時の圧力センサ装置１０の動作について説明する。外部の物体からの圧力が圧力センサ装置１０に加えられると、感圧体４０がセンサ基板２０側へ押圧される。これにより、感圧体４０が第１電極２４及び第２電極２５に接触することができる。感圧体４０が第１電極２４及び第２電極２５に接触すると、感圧体４０を介して第１電極２４と第２電極２５との間に電流が流れる。この際、電流は、感圧体４０への圧力の大きさに応じて感圧体４０の電気特性が変化することで、その値が変化する。これにより、圧力センサ装置１０は、感圧体４０に加えられた圧力の値を測定することが可能となる。

上述のように感圧体４０を介して第１電極２４と第２電極２５との間に電流が流れる際、本実施形態では、第２電極２５が隣り合う第１電極２４の間に位置するため、隣り合う第１電極２４のうちの一方から他方へ感圧体４０を介して電流が流れることが抑制される。すなわち、隣り合う第１電極２４のうちの一方から他方へ感圧体４０を介して流れようとする電流は、途中で第２電極２５に流れるため、一方の第１電極２４から他方の第１電極２４への電流の通流が抑制される。これにより、隣り合う第１電極２４の間での電流の通流により生じ得る検出感度の低下を抑制することが可能となる。

また本実施形態では、感圧体４０が複数の第１電極２４及び第２電極２５に跨がるように第１電極２４及び第２電極２５上に設けられるため、第１電極２４と第２電極２５との間のそれぞれに感圧体が設けられる場合に比較して、製造に手間がかからず構造も簡易となる。ここで、隣り合う第１電極２４の一方から他方への電流の流れ込みによる検出感度への影響は、感圧体４０が複数の第１電極２４及び第２電極２５に跨がるように設けられる場合に生じ得るが、本実施形態においては、このような問題が、第２電極２５が隣り合う第１電極２４の間に位置する上述の構造によって抑制されている。

よって、本実施形態にかかる圧力センサ装置１０よれば、容易に作製可能な簡易な構造で、加えられた圧力を精度良く検出できる。とりわけ本実施形態では、第２電極２５が、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の両方で隣り合う第１電極２４の間に位置しているため、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の両方で隣り合う第１電極２４の間での電流の通流が抑制されるため、加えられた圧力の検出精度を向上できる。より詳しくは、第２電極２５は、セル２５Ｃを画成する格子状に形成され、セル２５Ｃによって第１電極２４を取り囲んでいるため、セル２５Ｃによって囲まれた第１電極２４に他の第１電極２４から電流が流れることが確実に抑制されるため、加えられた圧力の検出精度を一層向上できるようになっている。

また本実施の形態においては、第２電極２５が、第１ラインＤが延びる第１方向Ｄ１に延びる部分、すなわち第１線状部分２５Ａを有しており、この場合、同時にオン状態になる複数のトランジスタ３０に流れる電流が、１本の第２電極２５に流れ込むことを防ぐことができる。このことにより、第２電極２５において電圧降下が生じることも抑制することができる。

なお、上述した実施形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、必要に応じて図面を参照しながら、変形例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した実施形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。また、上述した実施形態において得られる作用効果が変形例においても得られることが明らかである場合、その説明を省略することもある。

（変形例１）
まず、図７に示す変形例では、第２電極２５が、格子状に形成されておらず、第１方向Ｄ１に平行に延び且つ第２方向Ｄ２で隣り合う第１電極２４の間を通過する複数の第１線状部分２５Ａからなる。このような変形例によっても、第２方向Ｄ２で隣り合う第１電極２４の一方から他方への電流の通流が抑制されるため、容易に作製可能な簡易な構造で、加えられた圧力を精度良く検出できる。また第２電極２５が、第１ラインＹが延びる第１方向Ｄ１に延びる部分からなるため、同時にオン状態になる複数のトランジスタ３０に流れる電流が、１本の第２電極２５に流れ込むことを防ぐことができ、第２電極２５において電圧降下が生じることも抑制することができる。とりわけ第２電極２５の形状が極めて簡易的ため、生産性を向上できる。

（変形例２）
次に、図８に示す変形例では、第２電極２５が、第２方向Ｄ２に平行に延び且つ第１方向Ｄ１で隣り合う第１電極２４の間を通過する複数の第２線状部分２５Ｂと、各第２線状部分２５Ｂから第１方向Ｄ１に平行に延び且つ第２方向Ｄ２で隣り合う第１電極２４の間を通過するが、隣接する第２線状部分２５Ｂには交差しない複数の第１線状部分２５Ａと、を有している。このような変形例によっても、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２で隣り合う第１電極２４の一方から他方への電流の通流が抑制されるため、容易に作製可能な簡易な構造で、加えられた圧力を精度良く検出できる。また第２電極２５が、第１ラインＹが延びる第１方向Ｄ１に延びる部分を有するため、同時にオン状態になる複数のトランジスタ３０に流れる電流が、１本の第２電極２５に流れ込むことを防ぐことができ、第２電極２５において電圧降下が生じることも抑制することができる。

（変形例３）
次に、図９に示す変形例では、トランジスタ３０がボトムゲート型となっている。すなわち、変形例にかかるトランジスタ３０は、平坦化層２２を介して基板２１上に設けられるゲート端子３３と、ゲート端子３３をゲート絶縁層３４上に設けられた第１端子３１および第２端子３２と、第１端子３１と第２端子３２との間に設けられ且つゲート絶縁層３４を介してゲート端子３３に対向した半導体層３５と、を有している。このようにトランジスタ３０の形式は特に限られるものではない。

（変形例４）
また、上述の実施形態における図２および図３に示す第２電極２５は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の両方で隣り合う第１電極２４の間に位置するように形成されている。この態様に代えて、第２電極２５は、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に交差する一つ又は複数の交差方向で隣り合う第１電極２４の間に位置するように形成されてもよい。もっとも、図２および図３に示すように、第２電極２５が格子状に形成され、そのセル２５Ｃによって第１電極２４を取り囲む場合には、第２電極２５は、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２およびこれらに交差する一つ又は複数の交差方向で隣り合う第１電極２４のそれぞれの間に位置することになる。

１０…圧力センサ装置
２０…センサ基板
２１…基板
２４…第１電極
２５…第２電極
２５Ａ…第１線状部分
２５Ｂ…第２線状部分
３１…第１端子
３２…第２端子
３３…ゲート端子
３４…ゲート絶縁層
３５…半導体層
３６…絶縁層
３６ａ…貫通孔
４０…感圧体
Ｄ１…第１方向
Ｄ２…第２方向
Ｙ１〜Ｙｍ 第１ライン
Ｘ１〜Ｘｍ 第２ライン

Claims (6)

1. 基板と、
   前記基板上に第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向に沿ってマトリクス状に設けられた複数の第１電極と、
   前記第１電極と同じ階層に設けられた第２電極と、
   複数の前記第１電極及び前記第２電極に跨がるように前記第１電極及び前記第２電極上に設けられた感圧体と、を備え、
   前記感圧体を介して前記第１電極と前記第２電極との間に流れる電流に応じて、前記感圧体に加えられた圧力の値を検出するようになっており、
   前記第２電極は、前記第１方向、前記第２方向およびこれらと交差する一つ又は複数の交差方向のうちの少なくともいずれかで隣り合う前記第１電極の間の複数を通過する部分であって、前記感圧体に圧力が加えられた際に前記感圧体と接触し得る部分を有するように形成されている、圧力センサ装置。
2. 前記第２電極は、前記第１方向、前記第２方向及び前記一つ又は複数の交差方向のうちの少なくとも二つの方向で隣り合う前記第１電極の間に位置するように形成されている、請求項１に記載の圧力センサ装置。
3. 前記第２電極は、前記第１方向及び前記第２方向の両方で隣り合う前記第１電極の間に位置している、請求項２に記載の圧力センサ装置。
4. 前記第２電極は、前記第１方向及び前記第２方向のそれぞれに規則的に並ぶセルを画成する格子状に形成され、前記セルによって前記第１電極を取り囲む、請求項１乃至３のいずれかに記載の圧力センサ装置。
5. 前記第２方向は、前記第１方向に直交する方向である、請求項１乃至４のいずれかに記載の圧力センサ装置。
6. 前記第２電極は、前記第１方向又は前記第２方向で隣り合う前記第１電極の間を通過する複数の線状部分からなる、請求項１に記載の圧力センサ装置。

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