JP2018048054A - 結晶育成装置 - Google Patents
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Abstract
Description
該坩堝の周囲に配置された第1の加熱手段と、
該第1の加熱手段を昇降させる第1の昇降機構と、
前記坩堝よりも上方に配置された第2の加熱手段と、
該第2の加熱手段を昇降させる第2の昇降機構と、を有する。
40 アフターヒーター
70 引き上げ軸
71 種結晶保持部
72 引き上げ軸駆動部
80 メインワークコイル
81 メインワークコイルサポート
82、92 駆動モーター
83、93 ウォームギア
84、94 ボールネジ
85、95 昇降機構
90 サブワークコイル
91 サブワークコイルサポート
110 メイン電源
120 サブ電源
140 制御部
150 種結晶
160 原料融液
170 単結晶
Claims (7)
- 原料融液を保持可能な坩堝と、
該坩堝の周囲に配置された第1の加熱手段と、
該第1の加熱手段を昇降させる第1の昇降機構と、
前記坩堝よりも上方に配置された第2の加熱手段と、
該第2の加熱手段を昇降させる第2の昇降機構と、を有する結晶育成装置。 - 前記第1及び第2の昇降機構は、それぞれ個別にモーターを有する請求項1に記載の結晶育成装置。
- 前記坩堝の上方にはアフターヒーターが設けられ、
前記第2の加熱手段は、該アフターヒーターの周囲に設けられた請求項1又は2に記載の結晶育成装置。 - 前記第1及び第2の加熱手段は誘導加熱コイルからなり、
前記第1の加熱手段に接続された第1の高周波電源と、
前記第2の加熱手段に接続された第2の高周波電源と、を有し、
前記第1の高周波電源と前記第2の高周波電源の周波数は、5倍以上の差を有する請求項1乃至3のいずれか一項に記載の結晶育成装置。 - 下端に種結晶を保持し、該種結晶を前記坩堝に保持された前記原料融液の液面に接触させることにより単結晶を引き上げ可能な引き上げ軸と、
該引き上げ軸、前記第1の昇降機構及び前記第2の昇降機構の昇降動作を制御する制御手段と、を更に有し、
該制御手段は、前記引き上げ軸の引き上げ動作に連動させて、前記第1の昇降機構及び前記第2の昇降機構の前記昇降動作を制御する請求項1乃至4のいずれか一項に記載の結晶育成装置。 - 前記制御手段は、前記第2の加熱手段が、前記単結晶の上端を囲む位置となるように前記第2の昇降機構の前記昇降動作を制御する請求項5に記載の結晶育成装置。
- 前記制御手段は、前記第1の加熱手段が、前記原料融液の液面を囲む位置となるように前記第1の昇降機構の前記昇降動作を制御する請求項5又は6に記載の結晶育成装置。
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