JP2018046254A - スイッチング素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本明細書が開示するスイッチング素子は、半導体基板と、半導体基板の上面に設けられるトレンチと、ゲート絶縁膜と、ゲート電極、を備えている。半導体基板は、ゲート絶縁膜に接しているn型のソース領域と、ソース領域の下側でゲート絶縁膜に接しているp型のボディ領域と、ボディ領域の下側でゲート絶縁膜に接しており、ボディ領域によってソース領域から分離されているn型のドリフト領域と、トレンチの底面においてゲート絶縁膜に接しているp型の底部領域と、トレンチの短手方向の側面においてゲート絶縁膜に接しており、ボディ領域と底部領域を接続している複数のp型の接続領域、を備えている。トレンチの長手方向における接続領域の幅が、ボディ領域の下面からトレンチの下面までの長さより短い。
【選択図】 図4
Description
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は、複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
12:半導体基板
22:トレンチ
24:ゲート絶縁膜
24a:底部絶縁膜
24b:側面絶縁膜
26:ゲート電極
28:層間絶縁膜
30:ソース領域
32:ボディ領域
34:ドリフト領域
35:ドレイン領域
36:底部領域
38:接続領域
70:上部電極
72:下部電極
Claims (1)
- スイッチング素子であって、
半導体基板と、
前記半導体基板の上面に設けられており、前記上面において一方向に長く伸びるトレンチと、
前記トレンチの内面を覆っているゲート絶縁膜と、
前記トレンチ内に配置されており、前記ゲート絶縁膜によって前記半導体基板から絶縁されているゲート電極、
を備えており、
前記半導体基板が、
前記ゲート絶縁膜に接しているn型のソース領域と、
前記ソース領域の下側で前記ゲート絶縁膜に接しているp型のボディ領域と、
前記ボディ領域の下側で前記ゲート絶縁膜に接しており、前記ボディ領域によって前記ソース領域から分離されているn型のドリフト領域と、
前記トレンチの底面において前記ゲート絶縁膜に接しているp型の底部領域と、
前記トレンチの短手方向の側面において前記ゲート絶縁膜に接しており、前記ボディ領域と前記底部領域を接続している複数のp型の接続領域、
を備えており、
前記トレンチの長手方向における前記接続領域の幅が、前記ボディ領域の下面から前記トレンチの下面までの長さより短い、
スイッチング素子。
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JP2016182031A JP2018046254A (ja) | 2016-09-16 | 2016-09-16 | スイッチング素子 |
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JP2016182031A JP2018046254A (ja) | 2016-09-16 | 2016-09-16 | スイッチング素子 |
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