JP2018046109A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018046109A5 JP2018046109A5 JP2016178818A JP2016178818A JP2018046109A5 JP 2018046109 A5 JP2018046109 A5 JP 2018046109A5 JP 2016178818 A JP2016178818 A JP 2016178818A JP 2016178818 A JP2016178818 A JP 2016178818A JP 2018046109 A5 JP2018046109 A5 JP 2018046109A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- cleaning tool
- center
- outer periphery
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 123
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 75
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 16
- 230000002093 peripheral Effects 0.000 claims description 15
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N Bis(trimethylsilyl)amine Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing Effects 0.000 description 1
Description
図1に示すように、基板洗浄装置700は、スピンチャック200、ガード機構300、複数(本例では3つ)の受け渡し機構350、基板研磨部400、基板洗浄部500、筐体710および洗浄コントローラ780を含む。
筐体710は、4つの側壁711,712,713,714、天井部(図示せず)および底面部716を有する。側壁711,713が互いに対向するとともに、側壁712,714が互いに対向する。側壁711には、筐体710の内部と外部との間で基板Wを搬入および搬出するための図示しない開口が形成されている。
本実施の形態においては、水平面内で、研磨ヘッドphがヘッド待機位置p1にあるときにアーム410が延びる方向を基準として、ヘッド待機位置p1からスピンチャック200により保持される基板Wの中心へ向かう方向にアーム410の回転角度θ1が定義される。
熱処理装置PHPにおいては、基板Wの加熱処理が行われる。密着強化処理ユニットPAHPにおいては、基板Wと反射防止膜との密着性を向上させるための密着強化処理が行われる。具体的には、密着強化処理ユニットPAHPにおいて、基板WにHMDS(ヘキサメチルジシラザン)等の密着強化剤が塗布されるとともに、基板Wに加熱処理が行われる。冷却ユニットCPにおいては、基板Wの冷却処理が行われる。
(d)上記の例では、研磨ヘッドphが基板Wの外周端部WEから基板Wの中心WCに向かって移動する間に研磨ヘッドphが基板Wの下面から離間し、研磨ヘッドphが基板Wの中心WCから基板Wの外周端部WEに向かって移動する間に研磨ヘッドphが基板Wの下面に接触する。また、洗浄ブラシcbが基板Wの外周端部WEから基板Wの中心WCに向かって移動する間に洗浄ブラシcbが基板Wの下面から離間し、洗浄ブラシcbが基板Wの中心WCから基板Wの外周端部WEに向かって移動する間に洗浄ブラシcbが基板Wの下面に接触する。
図14の例では、第1の移動速度と第2の移動速度とが等しく設定されている。時点u0〜時点u2にかけて図8の時点t0〜時点t2の期間と同様に、研磨ヘッドphが基板Wの中心WCまで移動され、洗浄ブラシcbが基板Wの外周端部WEまで移動される。その後、時点u3で、図13のステップS110〜S112の処理により、基板Wの中心WCから基板Wの外周端部WEへ向かう研磨ヘッドphの移動と、基板Wの外周端部WEの下方の位置から基板Wの下面の中心WCに対向する位置へ向かう洗浄ブラシcbの移動とが同時に開始される。それにより、時点u5で研磨ヘッドphが基板Wの外周端部WEに到達すると同時に洗浄ブラシcbが基板Wの中心WCに到達する。
図15の例では、第2の移動速度が第1の移動速度以下に設定されている。時点v0〜時点v2にかけて図8の時点t0〜時点t2の期間と同様に、研磨ヘッドphが基板Wの中心WCまで移動され、洗浄ブラシcbが基板Wの外周端部WEまで移動される。その後、時点v3で、図13のステップS110〜S112の処理により、基板Wの中心WCから基板Wの外周端部WEへ向かう研磨ヘッドphの移動と、基板Wの外周端部WEの下方の位置から基板Wの下面の中心WCに対向する位置へ向かう洗浄ブラシcbの移動とが同時に開始される。それにより、時点v5で研磨ヘッドphが基板Wの外周端部WEに到達した後、過大な時間を要することなく時点v8で洗浄ブラシcbが基板Wの中心WCに到達する。
(e)上記実施の形態では、基板洗浄装置700には、基板Wの下面を洗浄する構成ための2つの構成(基板研磨部400および基板洗浄部500)が設けられるが、本発明はこれに限定されない。基板洗浄装置700には、基板Wの下面を洗浄する構成が3以上設けられてもよい。この場合においても、干渉領域が定義されるとともにその干渉領域に対応する位置情報が洗浄コントローラ780に記憶されることにより、その位置情報に基づいて図7および図13の制御方法を適用することができる。
上記実施の形態においては、基板Wが基板の例であり、スピンチャック200が回転保持部の例であり、基板Wの下面が基板の一面および下面の例であり、研磨ヘッドphが第1の洗浄具の例であり、洗浄ブラシcbが第2の洗浄具の例であり、第1の経路pt1が第1の経路の例であり、基板研磨部400のアーム410およびアーム支持柱420ならびにアーム支持柱420の内部構成が第1の移動部の例である。
Claims (8)
- 基板を保持して回転させる回転保持部と、
基板の一面に接触可能に構成された第1および第2の洗浄具と、
前記第1の洗浄具を前記回転保持部により回転される基板の前記一面に接触させつつ基板の中心と基板の外周部とを結ぶ第1の経路に沿って移動させる第1の移動部と、
前記第2の洗浄具を前記回転保持部により回転される基板の前記一面に接触させつつ基板の中心と基板の外周部とを結ぶ第2の経路に沿って移動させる第2の移動部と、
基板の中心から基板の外周部に向かって移動する前記第1の洗浄具が、前記第1の経路に沿った前記第1の洗浄具の軌跡と前記第2の経路に沿った前記第2の洗浄具の軌跡とが重複する干渉領域から外れる時点における前記第1の洗浄具の位置を示す位置情報を予め記憶する記憶部と、
前記第1の洗浄具が基板の中心から基板の外周部に向かって移動するように前記第1の移動部を制御し、前記位置情報に基づいて前記第1の洗浄具が前記干渉領域から外れたか否かを判定し、前記第1の洗浄具が前記干渉領域から外れたと判定した時点で、前記第2の洗浄具が基板の外周部から基板の中心に向かう移動を開始するように前記第2の移動部を制御する制御部とを備える、基板洗浄装置。 - 前記第2の洗浄具が基板の外周部から基板の中心に向かって移動する速度は、前記第1の洗浄具が基板の中心から基板の外周部に向かって移動する速度よりも高い、請求項1記載の基板洗浄装置。
- 前記制御部は、前記第1の洗浄具が基板の外周部から基板の中心に向かって移動する間に前記第1の洗浄具が基板の前記一面から離間し、前記第1の洗浄具が基板の中心から基板の外周部に向かって移動する間に前記第1の洗浄具が基板の前記一面に接触するように前記第1の移動部を制御し、前記第2の洗浄具が基板の外周部から基板の中心に向かって移動する間に前記第2の洗浄具が基板の前記一面から離間し、前記第2の洗浄具が基板の中心から基板の外周部に向かって移動する間に前記第2の洗浄具が基板の前記一面に接触するように前記第2の移動部を制御する、請求項1または2記載の基板洗浄装置。
- 前記第1の洗浄具が基板の外周部から基板の中心に向かって移動する速度は、前記第1の洗浄具が基板の中心から基板の外周部に向かって移動する速度よりも高く、前記第2の洗浄具が基板の外周部から基板の中心に向かって移動する速度は、前記第2の洗浄具が基板の中心から基板の外周部に向かって移動する速度よりも高い、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。
- 前記第1の洗浄具は、研磨具であり、
前記第2の洗浄具は、ブラシである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。 - 前記制御部は、前記第1の洗浄具が基板の中心から基板の外周部に向かうときの第1の移動速度と前記第2の洗浄具が基板の外周部から基板の中心に向かうときの第2の移動速度とを予め比較し、前記第1の移動速度が前記第2の移動速度以上である場合に、前記第1の洗浄具が前記干渉領域から外れたか否かの判定を行わずに、前記第1の洗浄具が基板の中心から基板の外周部に向かう移動と、前記第2の洗浄具が基板の外周部から基板の中心に向かう移動とを同時に開始するように前記第1および第2の移動部を制御する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。
- 露光装置に隣接するように配置される基板処理装置であって、
基板の上面に感光性膜を塗布する塗布装置と、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板洗浄装置と、
前記塗布装置、前記基板洗浄装置および前記露光装置の間で基板を搬送する搬送装置とを備え、
前記基板洗浄装置は、前記露光装置による基板の露光処理前に基板の前記一面としての下面の汚染を除去する、基板処理装置。 - 基板を保持して回転させるステップと、
第1の洗浄具を前記回転される基板の一面に接触させつつ基板の中心と基板の外周部とを結ぶ第1の経路に沿って移動させるステップと、
第2の洗浄具を前記回転される基板の前記一面に接触させつつ基板の中心と基板の外周部とを結ぶ第2の経路に沿って移動させるステップと、
基板の中心から基板の外周部に向かって移動する前記第1の洗浄具が、前記第1の経路に沿った前記第1の洗浄具の軌跡と前記第2の経路に沿った前記第2の洗浄具の軌跡とが重複する干渉領域から外れる時点における前記第1の洗浄具の位置を示す位置情報を予め記憶するステップとを含み、
前記第1の洗浄具を前記第1の経路に沿って移動させるステップは、
前記第1の洗浄具を基板の中心から基板の外周部に向かって移動させるステップと、
前記位置情報に基づいて前記第1の洗浄具が前記干渉領域から外れたか否かを判定するステップとを含み、
前記第2の洗浄具を前記第2の経路に沿って移動させるステップは、
前記判定するステップにより前記第1の洗浄具が前記干渉領域から外れたと判定された時点で基板の外周部から基板の中心に向かう前記第2の洗浄具の移動を開始させるステップを含む、基板洗浄方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016178818A JP6740066B2 (ja) | 2016-09-13 | 2016-09-13 | 基板洗浄装置、基板処理装置および基板洗浄方法 |
US15/697,775 US10668591B2 (en) | 2016-09-13 | 2017-09-07 | Substrate cleaning device, substrate processing apparatus and substrate cleaning method |
TW106130753A TWI653680B (zh) | 2016-09-13 | 2017-09-08 | 基板洗淨裝置、基板處理裝置及基板洗淨方法 |
CN201710814078.0A CN107818929B (zh) | 2016-09-13 | 2017-09-11 | 基板清洗装置、基板处理装置及基板清洗方法 |
KR1020170115952A KR101993047B1 (ko) | 2016-09-13 | 2017-09-11 | 기판 세정 장치, 기판 처리 장치 및 기판 세정 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016178818A JP6740066B2 (ja) | 2016-09-13 | 2016-09-13 | 基板洗浄装置、基板処理装置および基板洗浄方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018046109A JP2018046109A (ja) | 2018-03-22 |
JP2018046109A5 true JP2018046109A5 (ja) | 2019-11-14 |
JP6740066B2 JP6740066B2 (ja) | 2020-08-12 |
Family
ID=61559572
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016178818A Active JP6740066B2 (ja) | 2016-09-13 | 2016-09-13 | 基板洗浄装置、基板処理装置および基板洗浄方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10668591B2 (ja) |
JP (1) | JP6740066B2 (ja) |
KR (1) | KR101993047B1 (ja) |
CN (1) | CN107818929B (ja) |
TW (1) | TWI653680B (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10269555B2 (en) * | 2015-09-30 | 2019-04-23 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Post-CMP cleaning and apparatus |
CN109623658A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-04-16 | 浙江杰奈尔新材料有限公司 | 一种研磨机用清洗装置 |
JP7446073B2 (ja) * | 2019-09-27 | 2024-03-08 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
CN110639878B (zh) * | 2019-10-16 | 2021-05-28 | 郑美花 | 一种废弃锂电池石墨棒清洁方法 |
CN111261553B (zh) * | 2020-01-19 | 2024-03-26 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 晶圆清洗装置 |
US11417512B2 (en) * | 2020-02-10 | 2022-08-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method for cleaning semiconductor wafer backside surface by hybrid brush assembly |
CN114639601B (zh) * | 2022-02-17 | 2023-04-28 | 中环领先半导体材料有限公司 | 一种提升减薄机稼动率的新型工艺 |
CN115338718B (zh) * | 2022-10-18 | 2023-03-24 | 杭州众硅电子科技有限公司 | 一种晶圆抛光系统 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5518542A (en) * | 1993-11-05 | 1996-05-21 | Tokyo Electron Limited | Double-sided substrate cleaning apparatus |
JPH0936070A (ja) * | 1995-07-21 | 1997-02-07 | Nippon Steel Corp | 半導体ウエハの研磨装置 |
JP3393016B2 (ja) | 1996-04-15 | 2003-04-07 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板洗浄装置および方法 |
JP3372760B2 (ja) * | 1996-07-02 | 2003-02-04 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
JP2002361155A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-17 | Tokyo Electron Ltd | 塗布処理装置及びその方法 |
JP2005228961A (ja) | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄装置 |
JP2008016781A (ja) | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP4983565B2 (ja) * | 2006-12-20 | 2012-07-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び記憶媒体 |
US8578953B2 (en) | 2006-12-20 | 2013-11-12 | Tokyo Electron Limited | Substrate cleaning apparatus, substrate cleaning method, and computer-readable storage medium |
JP5039468B2 (ja) | 2007-07-26 | 2012-10-03 | 株式会社Sokudo | 基板洗浄装置およびそれを備えた基板処理装置 |
JP4939376B2 (ja) * | 2007-11-13 | 2012-05-23 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5173517B2 (ja) * | 2008-03-26 | 2013-04-03 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP6228508B2 (ja) | 2014-05-01 | 2017-11-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄装置、剥離システム、洗浄方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP6503194B2 (ja) | 2015-02-16 | 2019-04-17 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
-
2016
- 2016-09-13 JP JP2016178818A patent/JP6740066B2/ja active Active
-
2017
- 2017-09-07 US US15/697,775 patent/US10668591B2/en active Active
- 2017-09-08 TW TW106130753A patent/TWI653680B/zh active
- 2017-09-11 KR KR1020170115952A patent/KR101993047B1/ko active IP Right Grant
- 2017-09-11 CN CN201710814078.0A patent/CN107818929B/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2018046109A5 (ja) | ||
KR101993047B1 (ko) | 기판 세정 장치, 기판 처리 장치 및 기판 세정 방법 | |
JP2018046108A5 (ja) | ||
TWI713721B (zh) | 教導系統、教導方法、洗淨裝置、記憶媒體及維護套組 | |
US11084072B2 (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method and recording medium | |
US11244820B2 (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium | |
US10656524B2 (en) | Substrate processing apparatus including transport device | |
TWI660787B (zh) | 周緣部處理裝置及周緣部處理方法 | |
JP2016058724A (ja) | 処理モジュール、処理装置、及び、処理方法 | |
US20150174763A1 (en) | Detection system and detection method | |
JP6794275B2 (ja) | 研磨方法 | |
JP2007103741A (ja) | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法並びに基板洗浄プログラム | |
JP2005005608A (ja) | 基板搬送ロボットのティーチング装置及びティーチング方法 | |
US20190184517A1 (en) | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium storing program | |
JP2018041754A5 (ja) | ||
KR101972226B1 (ko) | 기판 세정 장치 및 그것을 구비하는 기판 처리 장치 | |
US11534886B2 (en) | Polishing device, polishing head, polishing method, and method of manufacturing semiconductor device | |
US10818531B2 (en) | Substrate transport system, substrate processing apparatus, hand position adjustment method | |
JP6165647B2 (ja) | 塗布装置および接合システム | |
TW202002143A (zh) | 用於基板搬送系統的教導裝置及教導方法 | |
JP2010114125A (ja) | 半導体ウエーハ加工装置 | |
JP7149869B2 (ja) | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 | |
JP6426965B2 (ja) | 処理コンポーネント、処理モジュール、及び、処理方法 | |
JP2866570B2 (ja) | 基板処理装置 | |
TWI837242B (zh) | 基板處理裝置 |