JP2018046043A - ウエーハの識別マーク読取装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示すウエーハWは、円形板状の被加工物であって、特に限定されるものではない。ウエーハWは、例えば複数のデバイスが形成された第1の面W1と、第1の面W1と反対側の第2の面W2とを有している。第1の面W1には、ウエーハWを識別するための識別情報(ウエーハID)などを含む識別マークM1が形成され、第2の面W2には、識別マークM2が形成されている。識別マークM1,M2は、例えばレーザマーキングによって形成された文字(例えば英数字の組み合わせによるウエーハID)又はウエーハIDがコード化された2次元コード(例えばQRコード(登録商標))である。このように構成されるウエーハWは、例えば研削装置により所定の厚みに至るまで研削される。
図1に示す識別マーク読取装置1は、ウエーハWの第1の面W1と第2の面W2との両面に形成された識別マークM1,M2を読み取る読取装置の第1例である。識別マーク読取装置1は、例えば、研削装置において、ウエーハWを仮置きする仮置きテーブルに組み込まれて使用される。識別マーク読取装置1は、ウエーハWを保持する保持テーブル2と、保持テーブル2に保持されたウエーハWの識別マークM1,M2を読み取る読取手段3とを備えている。
図2に示す識別マーク読取装置1Aは、ウエーハWの第1の面W1と第2の面W2との両面に形成された識別マークM1,M2を読み取る読取装置の第2例である。識別マーク読取装置1Aは、上記読取手段3の変形例となる読取手段4を備え、読取手段4を備えた点以外は、識別マーク読取装置1と同様の構成となっている。
図3に示す識別マーク読取装置1Bは、ウエーハWの第1の面W1と第2の面W2との両面に形成された識別マークM1,M2を読み取る読取装置の第3例である。識別マーク読取装置1Bは、上記読取手段3の変形例となる読取手段5を備え、読取手段5を備えた点以外は、識別マーク読取装置1と同様の構成となっている。
20a:保持面 21:回転手段 22:配管 23:ロータリージョイント
24:吸引源 3:読取手段 30:カメラ 31:ミラーユニット
310:第1のミラー 311:第2のミラー 32:移動手段 320:ボールネジ
321:モータ 322:枠体 323:ガイド 324:移動部
4:読取手段 40:カメラ 41:ミラーユニット
410:第1のミラー 411:第2のミラー 412:第3のミラー
42:第4のミラー 43:移動手段
5:読取手段 50:カメラ 51:第1のミラー 52:第2のミラー
53:移動手段
Claims (2)
- ウエーハの第1の面と第2の面との両面に形成された識別マークを読み取るウエーハの識別マーク読取装置であって、
保持面でウエーハの該第1の面を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持されたウエーハに形成された該識別マークを読み取る読取手段とを備え、
該読取手段は、該識別マークを撮像するカメラと、
2つ以上のミラーと、
該カメラを移動させる移動手段とを備え、
該移動手段によって該カメラを移動させ、該保持テーブルに保持されたウエーハの該第1の面に形成された該識別マークと該カメラとの距離と、該保持テーブルに保持されたウエーハの該第2の面に形成された該識別マークと該カメラとの距離とを一致させ該第1の面と該第2の面とに形成された2つの該識別マークを読み取ることを特徴とするウエーハの識別マーク読取装置。 - 前記保持テーブルは、該保持テーブルを回転させる回転手段を備え、
前記第1の面に形成された前記識別マークと前記第2の面に形成された前記識別マークとが円周方向に異なる位置に形成されていても該回転手段により該保持テーブルに保持されたウエーハを回転させ、該第1の面と該第2の面とに形成された2つの該識別マークを読取可能とする請求項1記載のウエーハの識別マーク読取装置。
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Citations (4)
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JP2002170106A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Nidek Co Ltd | 識別子読取装置 |
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- 2016-09-12 JP JP2016177428A patent/JP6875087B2/ja active Active
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