JP2018041925A - 流量測定装置及び流量測定システム - Google Patents

Abstract

【課題】容器毎に流入抵抗のばらつきがある場合でも、流入抵抗の互いに異なる複数の容器のそれぞれについて、容器の内部に供給される浄化気体の流量を精度良く推定することが可能な流量測定装置を実現する。【解決手段】流量測定装置１０は、吐出部３１に接続される給気部１１と、給気部１１に接続されて、吐出部３１から吐出される気体が流れる配管１２と、配管１２の内部を流れる気体の流量を計測する流量計１５と、配管１２の内部における気体の流れに抵抗を付与する抵抗体１３と、支持部３２に支持される被支持部１４ａを有し、給気部１１、配管１２、流量計１５、及び抵抗体１３を支持する本体部１４とを備える。抵抗体１３が付与する抵抗の大きさが可変である。【選択図】図５

Description

本発明は、浄化気体供給装置の検査に用いられる流量測定装置及び流量測定システムに関する。

浄化気体供給装置の検査に用いられる流量測定装置として、特開２０１５−１２０４０号公報（特許文献１）に記載された検査装置が知られている。具体的には、特許文献１には、収納部（９）に収納された容器（４）の内部に不活性気体（浄化気体の一例）を供給する不活性気体供給部（Ｆ）を備えた物品保管設備において、容器（４）に対する不活性気体の供給状態を検査するための検査装置（１）が開示されている。不活性気体供給部（Ｆ）は、容器（４）の内部に不活性気体を注入する供給ノズル（５３Ｎ）を、収納部（９）において容器（４）を支持する載置支持部（１５）に備えており、検査装置（１）は、載置支持部（１５）に支持された際に供給ノズル（５３Ｎ）と接合する検査用給気口（１Ｇ）と、流量計（１０１）と、検査用給気口（１Ｇ）と流量計（１０１）とを接続する検査用配管（１０３）とを備えている。そして、検査を行う際には、容器（４）に代えて検査装置（１）を載置支持部（１５）に支持させた状態で、供給ノズル（５３Ｎ）から検査用給気口（１Ｇ）を介して検査用配管（１０３）に流入する不活性気体の流量を流量計（１０１）により計測する。このようにして計測される不活性気体の流量に基づき、載置支持部（１５）に支持された容器（４）の内部に供給される不活性気体の流量を推定することができる。

特許文献１の構成では、容器（４）の内部に不活性気体を供給する際には、容器（４）に設けられた給気口（４Ｇ）と供給ノズル（５３Ｎ）とが容器（４）の自重により接合した状態で、供給ノズル（５３Ｎ）から吐出された不活性気体が給気口（４Ｇ）を介して容器（４）の内部に流入する。よって、容器（４）の内部に供給される不活性気体の流量は、給気口（４Ｇ）と供給ノズル（５３Ｎ）との接合強度に応じて（すなわち、当該接合部における外部との気密性の程度に応じて）変化し得る。特許文献１の構成では、容器（４）として、複数枚の基板を収容可能なものが用いられるため、収容されている基板の枚数に応じて容器（４）の総重量が変化し、容器（４）の総重量の変化に伴い給気口（４Ｇ）と供給ノズル（５３Ｎ）との接合強度も変化する。この点に鑑みて、特許文献１の構成では、重量調整用の錘を支持する錘支持部を検査装置（１）に備えることで、基板の収容状態（収容枚数）に応じて変化する給気口（４Ｇ）と供給ノズル（５３Ｎ）との接合強度に合わせて、検査用給気口（１Ｇ）と供給ノズル（５３Ｎ）との接合強度を錘により調整することを可能としている。これにより、容器（４）に収容されている基板の枚数によらず、流量計（１０１）により計測される不活性気体の流量を、容器（４）の内部に実際に供給される不活性気体の流量に近い値とすることを可能としている。

特開２０１５−１２０４０号公報

ところで、給気口等の給気部から容器の内部に供給された浄化気体は、排気口等の排気部や隙間等から当該容器の外部に排出されるため、排気部における気体の排出抵抗の大きさや容器の気密性の程度等に応じて、給気部から容器の内部へ浄化気体を流入させる際の抵抗である、容器の流入抵抗（圧力損失）の大きさが定まる。容器の給気部と浄化気体の吐出部との接合強度だけでなく、容器の流入抵抗の大きさも、容器の内部に供給される浄化気体の流量に与える影響が一般に大きい。この点に鑑みて、浄化気体の供給対象となる容器の流入抵抗の大きさを考慮して流量測定装置を設計することで、測定される浄化気体の流量を、容器の内部に実際に供給される浄化気体の流量（以下、「実供給流量」という。）に近い値とすることが考えられる。しかしながら、容器の流入抵抗の大きさは、容器の種類（型式）や製造メーカによって異なる場合があり、同じ種類の容器であっても、個体差や経年変化等により異なる場合もある。そのため、仮に上記のように設計した流量測定装置を用いた場合、ある特定の流入抵抗を有する容器について、測定される浄化気体の流量を実供給流量に近い値とすることはできても、当該容器とは流入抵抗の大きさが異なる容器については、測定される浄化気体の流量と実供給流量との差が大きくなりやすい。すなわち、仮に上記のように設計した流量測定装置を用いたとしても、浄化気体の供給対象となる複数の容器の間で容器毎に流入抵抗のばらつきがある場合に、流入抵抗の互いに異なる複数の容器のそれぞれについて、容器の内部に供給される浄化気体の流量を精度良く推定することは容易ではない。しかしながら、特許文献１では、この点について特段の認識がなされていなかった。

そこで、容器毎に流入抵抗のばらつきがある場合でも、流入抵抗の互いに異なる複数の容器のそれぞれについて、容器の内部に供給される浄化気体の流量を精度良く推定することが可能な流量測定装置の実現が望まれる。

上記に鑑みた流量測定装置の特徴構成は、容器を支持する支持部と、前記支持部に設けられて、前記支持部に支持された前記容器の内部に浄化気体を吐出する吐出部と、を備えた浄化気体供給装置の検査に用いられ、前記支持部に支持された状態で前記吐出部から吐出される浄化気体の流量を測定する流量測定装置において、
前記吐出部に接続される給気部と、前記給気部に接続されて、前記吐出部から吐出される気体が流れる配管と、前記配管の内部を流れる気体の流量を計測する流量計と、前記配管の内部における気体の流れに抵抗を付与する抵抗体と、前記支持部に支持される被支持部を有し、前記給気部、前記配管、前記流量計、及び前記抵抗体を支持する本体部と、を備え、前記抵抗体が付与する抵抗の大きさが可変である点にある。

上記のような構成の流量測定装置を用い、吐出部と給気部とが接続されるように流量測定装置を支持部に支持させることで、吐出部から吐出される浄化気体を、給気部から配管の内部に流入させることができる。この状態で流量計により計測される流量は、給気部から配管の内部へ浄化気体を流入させる際の抵抗である、流量測定装置の流入抵抗に応じた流量となる。すなわち、流量計により計測される流量は、流量測定装置の流入抵抗と同程度の大きさの流入抵抗を有する容器が支持部に支持されている場合に、当該容器の内部に供給される浄化気体の流量に近い値となる。この結果、流量計により計測される流量に基づき、流量測定装置の流入抵抗と同程度の大きさの流入抵抗を有する容器の内部に供給される浄化気体の流量を、精度良く推定することが可能となる。
そして、上記の特徴構成によれば、抵抗体が付与する抵抗の大きさが可変であるため、抵抗体が付与する抵抗の大きさを変更することで、流量測定装置の流入抵抗の大きさを変更することができる。そのため、上記のように容器の内部に供給される浄化気体の流量を精度良く推定することを、ある特定の大きさの流入抵抗を有する容器だけでなく、流量測定装置の流入抵抗の変更範囲内に含まれる大きさの流入抵抗を有する複数の容器について行うことができる。すなわち、容器毎に流入抵抗のばらつきがある場合でも、１つの流量測定装置を用いた測定により、流入抵抗の互いに異なる複数の容器のそれぞれについて、容器の内部に供給される浄化気体の流量を精度良く推定することが可能となる。
以上のように、上記の特徴構成によれば、容器毎に流入抵抗のばらつきがある場合でも、流入抵抗の互いに異なる複数の容器のそれぞれについて、容器の内部に供給される浄化気体の流量を精度良く推定することが可能な流量測定装置を実現することができる。

ここで、前記吐出部は、複数の吐出口を備え、前記給気部は、前記複数の吐出口のうちの対応する前記吐出口にそれぞれ接続される複数の給気口を備え、前記配管は、前記複数の給気口のうちの対応する前記給気口にそれぞれ接続される複数の第一配管部を備え、前記抵抗体は、前記複数の第一配管部のそれぞれにおける気体の流れに抵抗を付与するように設けられ、前記流量計が、前記複数の第一配管部のそれぞれに設けられていると好適である。

この構成によれば、流量測定装置を用いた検査により、吐出口毎の浄化気体の吐出量のデータを得ることができるため、容器の内部に供給される浄化気体の流量の推定に加えて、複数の吐出口の間での浄化気体の吐出量の偏りの有無やその程度を把握することも可能となる。よって、流量測定装置を用いて浄化気体供給装置の検査を行うことで、浄化気体供給装置の状態について、より多くの情報を得ることが可能となる。

また、前記吐出部は、複数の吐出口を備え、前記給気部は、前記複数の吐出口のうちの対応する前記吐出口にそれぞれ接続される複数の給気口を備え、前記配管は、前記複数の給気口のうちの対応する前記給気口にそれぞれ接続される複数の第一配管部と、前記複数の第一配管部のそれぞれにおける前記給気口とは反対側の端部に接続され、前記複数の第一配管部のそれぞれを流れる気体が合流した気体が流れる第二配管部と、を備え、前記抵抗体が、前記第二配管部に設けられていると好適である。

この構成によれば、第二配管部に設けられる抵抗体の調整によって、複数の第一配管部のそれぞれの抵抗（内部を流れる気体に対する抵抗）を調整することができる。よって、第一配管部のそれぞれに抵抗体が設けられる場合に比べて、流量測定装置の流入抵抗の調整作業の簡略化を図ることができる。また、第一配管部のそれぞれに抵抗体が設けられる場合に比べて、複数の第一配管部の間での、内部を流れる気体に対する抵抗の大きさのばらつきを小さく抑えやすいという利点もある。

上記に鑑みた流量測定システムの特徴構成は、容器を支持する複数の支持部と、前記複数の支持部のそれぞれに設けられて、前記支持部に支持された前記容器の内部に浄化気体を吐出する吐出部と、浄化気体の供給源から浄化気体が供給される主配管と、前記主配管の内部を流れる浄化気体の流量を制御する流量制御装置と、前記流量制御装置よりも下流側で前記主配管から分岐して、対応する前記吐出部にそれぞれ接続される複数の分岐配管と、を備えた浄化気体供給装置の検査に用いられる流量測定システムにおいて、
前記流量測定装置と、前記複数の支持部のうちの、前記流量測定装置が支持される前記支持部とは異なる前記支持部に支持される抵抗付与装置と、を備え、前記給気部を第一給気部とし、前記配管を第一配管とし、前記抵抗体を第一抵抗体とし、前記本体部を第一本体部とし、前記被支持部を第一被支持部として、前記抵抗付与装置は、前記吐出部に接続される第二給気部と、前記第二給気部に接続されて、前記吐出部から吐出される気体が流れる第二配管と、前記第二配管の内部における気体の流れに抵抗を付与する第二抵抗体と、前記支持部に支持される第二被支持部を有し、前記第二給気部、前記第二配管、及び前記第二抵抗体を支持する第二本体部と、を備え、前記第二抵抗体が付与する抵抗の大きさが可変である点にある。

上記のような構成の浄化気体供給装置では、複数の分岐配管のそれぞれに流量制御装置が設けられる場合に比べて、吐出部から吐出される浄化気体の流量が、他の吐出部から吐出される浄化気体の流量の影響を受けやすくなる。この結果、支持部に支持された容器の内部に供給される浄化気体の流量は、当該容器の流入抵抗の大きさだけでなく、他の支持部に容器が支持されているか否かや、他の支持部に支持されている容器の流入抵抗の大きさに応じて変化し得る。
上記の特徴構成によれば、流量測定システムに、流量測定装置に加えて抵抗付与装置が備えられる。そして、この抵抗付与装置は、流量測定装置と同様に、流入抵抗（第二給気部から第二配管の内部へ浄化気体を流入させる際の抵抗）の大きさが変更可能に構成される。そのため、浄化気体の供給流量の推定対象の容器（以下、「第一容器」という。）が支持されている支持部（以下、「第一支持部」という。）とは別の支持部（以下、「第二支持部」という。）に、浄化気体の供給流量の推定対象ではない容器（以下、「第二容器」という。）が支持されていない状況を想定した検査では、抵抗付与装置を用いず、第一容器の流入抵抗に合わせて流入抵抗の大きさを調整した流量測定装置を第一支持部に支持させることで、流量測定装置の流量計により計測される流量を、想定している状況において第一容器の内部に実際に供給される流量に近い値とすることができる。また、第二支持部に第二容器が支持されている状況を想定した検査では、第一容器の流入抵抗に合わせて流入抵抗の大きさを調整した流量測定装置を第一支持部に支持させると共に、第二容器の流入抵抗に合わせて流入抵抗の大きさを調整した抵抗付与装置を第二支持部に支持させることで、流量測定装置の流量計により計測される流量を、想定している状況において第一容器の内部に実際に供給される流量に近い値とすることができる。よって、支持部に支持された容器の内部に供給される浄化気体の流量が、他の支持部に容器が支持されているか否かや、他の支持部に支持されている容器の流入抵抗の大きさに応じて変化する場合であっても、抵抗付与装置を必要に応じて用いることで、流量測定装置の流量計により計測される流量を、想定している状況において容器の内部に実際に供給される浄化気体の流量に近い値とすることができる。この結果、流量計により計測される流量に基づき、想定している状況において容器の内部に供給される浄化気体の流量を精度良く推定することが可能となる。

容器収納設備の縦断側面図 収納部の側面図 収納部の平面図 浄化気体供給装置の模式図 流量測定装置の側面図 流量測定装置の平面図 抵抗付与装置の側面図 抵抗付与装置の平面図

流量測定装置及び流量測定システムの実施形態について、図面を参照して説明する。ここでは、流量測定装置及び流量測定システムによる検査対象の浄化気体供給装置が、図１に示すように、容器収納設備１００に備えられる浄化気体供給装置３０である場合を例として説明する。

図１に示すように、本実施形態に係る容器収納設備１００は、容器８０を収納する収納棚９１と、容器８０を搬送する容器搬送装置９０と、収納棚９１に収納されている容器８０に対して浄化気体（パージガス）を供給する浄化気体供給装置３０とを備えている。図１〜図３に示すように、収納棚９１には、容器８０を収納する複数の収納部９２が、第二水平方向Ｙ及び上下方向Ｚに並べて設けられている。ここで、第二水平方向Ｙは、収納棚９１の横幅方向（棚横幅方向）に沿う水平方向である。収納部９２のそれぞれには、容器８０を支持する支持部３２が備えられる。容器８０は、支持部３２に支持された状態で、当該支持部３２を備える収納部９２に収納される。本実施形態では、一対の収納棚９１が、容器搬送装置９０の移動経路を挟んで第一水平方向Ｘに対向するように設けられている。ここで、第一水平方向Ｘは、収納棚９１の前後方向（棚前後方向）に沿う水平方向であり、第二水平方向Ｙに直交する水平方向である。

本実施形態では、支持部３２は、容器８０を下側から支持するように構成されている。具体的には、図３に示すように、支持部３２は、上下方向Ｚに見てＵ字状に形成されており、容器８０の底面８１における外周部分を支持するように構成されている。支持部３２は、第一水平方向Ｘの一端部（Ｕ字の底部に対応する部分）が収納棚９１のフレームに固定されることで、片持ち姿勢で当該フレームに支持されている。図２及び図３に示すように、支持部３２は、位置決め用の突出部９３（位置決めピン）を備えている。突出部９３は、支持部３２の上面（平坦状の部分）から上方に突出するように形成されている。支持部３２は、複数の突出部９３を備え、本実施形態では、３つの突出部９３を備えている。突出部９３は、上記Ｕ字の底部、及び両端部の３箇所に形成されている。

図２に示すように、容器８０の底面８１には、上方に向かって窪んだ形状の凹部８２が形成されている。凹部８２は、突出部９３と同数形成され、本実施形態では、３つの凹部８２が容器８０の底面８１に形成されている。容器８０は、突出部９３と凹部８２との係合により支持部３２に対して位置決めされた状態で、支持部３２に支持される。凹部８２の内面は傾斜面となっており、容器８０を支持部３２に載せる際に容器８０の位置が支持部３２に対する適正位置から水平方向にずれている場合であっても、突出部９３が凹部８２の内面によって案内されることで、容器８０の支持部３２に対する水平方向の位置が適正位置に修正される。本実施形態では、容器８０は、ＥＵＶ（極端紫外線）リソグラフィ用のレチクル（フォトマスク）を収容するレチクルポッドである。

容器搬送装置９０は、収納棚９１の前方を第二水平方向Ｙに沿って移動して、収納部９２に又は収納部９２から容器８０を搬送する。本実施形態では、容器搬送装置９０は、一対の収納棚９１の間を第二水平方向Ｙに沿って移動する。本実施形態では、容器搬送装置９０は、スタッカークレーンである。詳細は省略するが、容器搬送装置９０は、収納棚９１に入庫する容器８０を、入庫用の移載箇所から収納部９２に搬送し、収納棚９１から出庫する容器８０を、当該容器８０が収納されている収納部９２から、上記入庫用の移載箇所と共通の出庫用の移載箇所に、或いは、上記入庫用の移載箇所とは別に設けられた出庫用の移載箇所に搬送する。

本実施形態では、容器収納設備１００は、清浄空気が天井側から床側に向けて下向きに通流するダウンフロー式のクリーンルーム内に設置されている。本実施形態では、容器収納設備１００は、収納棚９１及び容器搬送装置９０が配置される空間（以下、「設置空間」という。）の側周囲（上下方向視での周囲）を囲む壁体９４を備えている。壁体９４は、無孔状の部材により形成されている。設置空間の内部に天井側から流入した清浄空気は、後述する吐出部３１から吐出される浄化気体（吐出部３１から容器８０の内部に吐出された後に、容器８０から排出される浄化気体を含む。）と共に設置空間の内部を下方に流動した後、床部の近傍において設置空間の外側の空間に排出される。

図２〜図４に示すように、浄化気体供給装置３０は、容器８０を支持する支持部３２と、支持部３２に支持された容器８０の内部に浄化気体を吐出する吐出部３１と、を備えている。吐出部３１は、支持部３２に設けられる。本実施形態では、浄化気体供給装置３０は、複数の支持部３２を備え、吐出部３１は、複数の支持部３２のそれぞれに設けられて、支持部３２に支持された容器８０の内部に浄化気体を吐出する。本実施形態では、浄化気体供給装置３０は、容器収納設備１００に備えられており、複数の収納部９２のそれぞれにおいて、収納された容器８０の内部に浄化気体を供給する。そのため、本実施形態では、浄化気体供給装置３０は、収納部９２に備えられる支持部３２を、浄化気体の供給対象の容器８０を支持する支持部として利用している。別の見方をすれば、浄化気体供給装置３０が備える支持部３２が、収納部９２において容器８０を支持するためにも用いられている。なお、浄化気体とは、例えば、窒素ガス等の不活性ガス、又は、塵埃及び湿気が除去された清浄乾燥空気（クリーンドライエア）である。本実施形態では、浄化気体は、不活性ガスである。

図４に示すように、本実施形態では、浄化気体供給装置３０は、浄化気体の供給源４１から浄化気体が供給される主配管３４と、主配管３４の内部を流れる浄化気体の流量を制御する流量制御装置３３（マスフローコントローラ）と、流量制御装置３３よりも下流側で主配管３４から分岐して、対応する吐出部３１にそれぞれ接続される複数の分岐配管３５と、を備えている。図３に示すように、本実施形態では、吐出部３１は、複数の吐出口３１ａを備え、具体的には、２つの吐出口３１ａを備えている。すなわち、吐出口３１ａが形成された部材を吐出口形成部材とすると、１つの吐出部３１は、支持部３２における互いに異なる位置（本実施形態では２つの異なる位置）に配置された吐出口形成部材の群により構成されている。図３に示すように、吐出口形成部材は、平面視（上下方向視）での形状が円形に形成されており、当該円形の中心に吐出口３１ａが形成されている。分岐配管３５の下流側部分は、１つの吐出部３１に備えられる吐出口３１ａのそれぞれに接続されており、吐出口３１ａのそれぞれから浄化気体が吐出される。本実施形態では、分岐配管３５のそれぞれには、浄化気体に含まれる塵埃を除去するフィルタ３７が設けられており、各吐出口３１ａからは、フィルタ３７により塵埃が除去された後の浄化気体が吐出される。

図２〜図４に示すように、容器８０には、給気口（第三給気口８３）と排気口８４とが設けられている。なお、後述する第一給気口１１ａや第二給気口２１ａと区別して、容器８０に設けられる給気口を第三給気口８３としている。図２に示すように、第三給気口８３は、容器８０の底面８１に形成され、図示は省略するが、排気口８４も、容器８０の底面８１に形成されている。詳細は省略するが、第三給気口８３や排気口８４は、容器８０の底面８１に設けられたグロメットを上下方向Ｚに貫通するように形成されている。容器８０が支持部３２に支持された状態で、第三給気口８３が支持部３２に設けられた吐出部３１に接続されることで、吐出部３１から吐出された浄化気体が、第三給気口８３から容器８０の内部に流入する。本実施形態では、容器８０の底面８１には、１つの吐出部３１に備えられる吐出口３１ａと同数（本実施形態では２つ）の第三給気口８３が形成されている。容器８０が支持部３２に支持された状態で、第三給気口８３のそれぞれが対応する吐出口３１ａに接続され、第三給気口８３のそれぞれから容器８０の内部に浄化気体が流入する。

第三給気口８３には、給気用開閉弁（図示せず）が備えられ、排気口８４には排気用開閉弁（図示せず）が設けられている。給気用開閉弁及び排気用開閉弁は、スプリング等の付勢体によって閉じ状態に付勢されている。第三給気口８３に吐出部３１（吐出口３１ａ）が接続された状態で吐出部３１から浄化気体が噴出されると、その圧力により給気用開閉弁が開き、浄化気体が第三給気口８３から容器８０の内部に供給される。また、浄化気体が供給されて容器８０の内部の圧力が高くなると、その圧力により排気用開閉弁が開き、容器８０の内部の気体（空気や湿った空気、既に充填されている浄化気体など）が排気口８４から排出される。尚、容器８０は気密性を有するように構成されている。つまり、吐出部３１と第三給気口８３との接続が解消され、容器搬送装置９０によって容器８０が搬送される際に、容器８０の内部の浄化気体が漏れにくいように構成されている。

容器８０の内部に供給される浄化気体の流量（本実施形態では、第三給気口８３のそれぞれから容器８０の内部に供給される浄化気体の流量の総和）は、容器８０の流入抵抗に応じた流量となる。ここで、容器８０の流入抵抗は、第三給気口８３から容器８０の内部へ浄化気体を流入させる際の抵抗（圧力損失）である。容器８０の流入抵抗は、給気用開閉弁及び排気用開閉弁のそれぞれの付勢力や、容器８０の気密性の程度等に応じて定まる。

図４に示すように、本実施形態では、主配管３４には、本管４０を介して浄化気体の供給源４１から浄化気体が供給される。また、本実施形態では、浄化気体供給装置３０は、分岐配管３５が主配管３４から分岐する部分に、中継配管３６を備えている。中継配管３６には、複数の分岐配管３５のそれぞれの上流側端部が接続されていると共に、主配管３４の下流側端部が接続されている。ここで、同一の主配管３４から分岐した分岐配管３５が接続される一群の吐出部３１を「吐出部群」とし、当該一群の吐出部３１が設けられる一群の支持部３２を「支持部群」とし、当該一群の支持部３２が設けられる一群の収納部９２を「収納部群」とする。本実施形態では、同じ収納部群に属する複数の収納部９２は、同じ列に配置される複数の収納部９２（上下方向Ｚに見て重複する複数の収納部９２）である。図１に示すように、中継配管３６は、同じ収納部群に属する複数の収納部９２の配置領域の全域に亘って上下方向Ｚに延びるように配置されている。

流量制御装置３３は、主配管３４の途中に設けられており、主配管３４における流量制御装置３３よりも上流側の部分に接続される流入ポートと、主配管３４における流量制御装置３３よりも下流側の部分に接続される吐出ポートとを備えている。更に、流量制御装置３３は、流入ポートと吐出ポートとを接続する内部流路と、吐出ポート側に向かって内部流路を流れる気体の流量を調節する流量調節弁と、内部流路を流れる気体の流量を計測する流量センサと、流量調節弁の作動を制御する内部制御部とを備えている。流量制御装置３３（内部制御部）は、浄化気体供給装置３０の作動を制御する制御装置（図示せず）から出力される流量指令に応じて流量調節弁の作動を制御することで、主配管３４の内部を流れる浄化気体の流量（単位時間当たりの流量）を、当該流量指令に合わせて制御する。このように、本実施形態では、流量制御装置３３は、分岐配管３５ではなく、主配管３４に設けられている。そのため、主配管３４における流量制御装置３３よりも下流側の部分の浄化気体の流量がゼロよりも大きい状態では、容器８０の第三給気口８３に接続されている吐出部３１だけでなく、容器８０の第三給気口８３に接続されていない吐出部３１からも浄化気体が吐出される。すなわち、当該主配管３４の下流側の吐出部群を構成する全ての吐出部３１から、浄化気体が吐出される。

次に、浄化気体供給装置３０の検査に用いられる流量測定装置１０と、浄化気体供給装置３０の検査に用いられる流量測定システムについて説明する。流量測定装置１０は、流量測定システムに備えられる。流量測定装置１０は、支持部３２に支持された状態で吐出部３１から吐出される浄化気体の流量（単位時間当たりの流量）を測定する装置である。本実施形態では、流量測定装置１０や後述する抵抗付与装置２０は、支持部３２によって下側から支持される。以下に述べるように、流量測定装置１０を用いた測定により、支持部３２に支持された容器８０の内部に吐出部３１から供給される浄化気体の流量を推定することができる。図５及び図６に示すように、流量測定装置１０は、流量測定装置１０が支持部３２に支持された状態で吐出部３１に接続される第一給気部１１と、第一給気部１１に接続される第一配管１２と、第一配管１２の内部を流れる気体の流量（単位時間当たりの流量）を計測する流量計１５と、第一配管１２の内部における気体の流れに抵抗を付与する第一抵抗体１３と、第一本体部１４と、を備えている。流量測定装置１０が支持部３２に支持された状態で、吐出部３１から吐出された気体が第一配管１２の内部を流れ、この際の第一配管１２の内部を下流側に向かって流れる気体の流量が、流量計１５により計測される。本実施形態では、第一抵抗体１３は、第一配管１２の延在方向に沿って、流量計１５よりも下流側（第一給気部１１との接続部とは反対側）に配置されている。言い換えれば、流量計１５は、第一配管１２の延在方向に沿って、第一抵抗体１３よりも上流側（第一給気部１１との接続部側）に配置されている。本実施形態では、第一給気部１１が「給気部」に相当し、第一配管１２が「配管」に相当し、第一抵抗体１３が「抵抗体」に相当し、第一本体部１４が「本体部」に相当する。

第一本体部１４は、支持部３２に支持される第一被支持部１４ａを有し、第一給気部１１、第一配管１２、流量計１５、及び第一抵抗体１３を支持する部材である。第一給気部１１、第一配管１２、流量計１５、及び第一抵抗体１３のそれぞれは、直接的に或いは間接的に、第一本体部１４に支持される。本実施形態では、第一本体部１４は、平板状の部材であり、第一本体部１４の底面である第一底面１４ｂに、第一被支持部１４ａが形成されている。第一被支持部１４ａは、第一底面１４ｂにおいて、上方に向かって窪んだ形状に形成されている。第一被支持部１４ａは、支持部３２に設けられた突出部９３と同数形成され、本実施形態では、３つの第一被支持部１４ａが第一底面１４ｂに形成されている。第一本体部１４は、支持部３２に設けられた突出部９３と第一被支持部１４ａとの係合により支持部３２に対して位置決めされた状態で、支持部３２に支持される。凹状に形成された第一被支持部１４ａの内面は傾斜面となっており、流量測定装置１０を支持部３２に載せる際に流量測定装置１０（第一本体部１４）の位置が支持部３２に対する適正位置から水平方向にずれている場合であっても、突出部９３が第一被支持部１４ａの内面によって案内されることで、流量測定装置１０の支持部３２に対する水平方向の位置が適正位置に修正される。流量測定装置１０が支持部３２に支持された状態では、第一被支持部１４ａと突出部９３との接触部と第一給気部１１と吐出部３１との接触部においてのみ、流量測定装置１０と支持部３２とが接触する。すなわち、第一給気部１１、第一配管１２、流量計１５、及び第一抵抗体１３を支持する第一本体部１４は、突出部９３及び吐出部３１のみ（主に突出部９３）によって下側から支持される。本実施形態では、第一被支持部１４ａが「被支持部」に相当する。

図５に示すように、第一給気部１１は、吐出部３１の吐出口３１ａに接続される給気口である第一給気口１１ａを備えている。第一給気口１１ａは、第一給気部１１に備えられるグロメットを上下方向Ｚに貫通するように形成されている。上述したように、本実施形態では、吐出部３１が複数の吐出口３１ａを備えており、これに対応して、第一給気部１１は、複数の吐出口３１ａのうちの対応する吐出口にそれぞれ接続される複数の第一給気口１１ａを備えている。具体的には、第一給気部１１は、２つの第一給気口１１ａを備えている。すなわち、第一給気口１１ａが形成された部材（本実施形態では、上記のグロメット）を給気口形成部材とすると、第一給気部１１は、第一本体部１４における互いに異なる位置（本実施形態では２つの異なる位置）に配置された給気口形成部材の群により構成されている。本実施形態では、第一給気口１１ａが「給気口」に相当する。

上記のように、本実施形態では、第一給気部１１が複数の第一給気口１１ａを備えており、これに対応して、第一配管１２は、複数の第一給気口１１ａのうちの対応する給気口にそれぞれ接続される複数の第一配管部１２ａを備えている。具体的には、第一配管１２は、２つの第一配管部１２ａを備えている。また、本実施形態では、第一配管１２は、複数の第一配管部１２ａ（本実施形態では２つの第一配管部１２ａ、以下同様。）のそれぞれにおける第一給気口１１ａとは反対側の端部に接続され、当該複数の第一配管部１２ａのそれぞれを流れる気体が合流した気体が流れる第二配管部１２ｂを備えている。本実施形態では、流量計１５が、複数の第一配管部１２ａのそれぞれに設けられている。すなわち、流量計１５のそれぞれは、計測対象の第一配管部１２ａの途中に設けられており、当該第一配管部１２ａの内部を流れる気体の流量を計測する。複数の第一配管部１２ａは、第一給気口１１ａとの接続部から第二配管部１２ｂとの接続部までの長さが互いに等しく形成されている。図５及び図６に示すように、本実施形態では、流量測定装置１０は、流量計１５による計測結果を表示する表示器１６と、流量計１５や表示器１６に接続されたケーブル（電源ケーブルや通信ケーブル等）が固定される端子台１７とを備えている。これらの表示器１６や端子台１７も、第一本体部１４に支持されている。図示は省略するが、流量計１５や表示器１６に作動電力を供給するバッテリ等の電源も、第一本体部１４に支持されている。

第一抵抗体１３は、付与する抵抗（第一配管１２の内部における気体の流れに付与する抵抗）の大きさが可変に構成される。上記のように、本実施形態では、第一配管１２は複数の第一配管部１２ａを備えており、第一抵抗体１３は、複数の第一配管部１２ａのそれぞれにおける気体の流れに抵抗を付与するように設けられる。本実施形態では、第一抵抗体１３は、第二配管部１２ｂに設けられている。これにより、第一抵抗体１３の調整によって、複数の第一配管部１２ａのそれぞれの抵抗（内部を流れる気体に対する抵抗）を調整することが可能となっている。上記のように、本実施形態では、複数の第一配管部１２ａは長さが互いに等しく形成されているため、複数の第一配管部１２ａのそれぞれの抵抗は、互いに同一或いは同程度の大きさとなる。なお、本実施形態では、第一抵抗体１３は、下流側への気体の流量を調節可能な速度制御弁（スピードコントローラ）であり、つまみ等の操作よって抵抗の大きさが調節可能に構成されている。第一配管１２（第二配管部１２ｂ）における第一抵抗体１３の配設部位において、下流側への気体の流量が所定値（調節値）以下に制限されることで、第一配管１２における第一抵抗体１３の配設部位よりも上流側の部分において、内部を流れる気体の流れに抵抗が付与される。

上記のような構成の流量測定装置１０を支持部３２に支持させることで、吐出部３１から吐出される浄化気体を、第一給気部１１から第一配管１２に流入させることができる。本実施形態では、吐出口３１ａのそれぞれから吐出される浄化気体が、各吐出口３１ａが接続された第一給気口１１ａから第一配管部１２ａに流入する。本実施形態では、流量測定装置１０が支持部３２に支持された状態での吐出部３１（吐出口形成部材）と第一給気部１１（第一給気口１１ａが形成されたグロメット）との接合強度が、容器８０が支持部３２に支持された状態での吐出部３１（吐出口形成部材）と第三給気口８３（第三給気口８３が形成されたグロメット）との接合強度と同程度となるように、流量測定装置１０の総重量が、容器８０の重量を基準に設定されている。本実施形態では、容器８０はレチクルを収容するレチクルポッドであるため、流量測定装置１０の総重量は、例えば、１枚のレチクルを収容した状態の容器８０の総重量と同一に設定される。

流量測定装置１０を支持部３２に支持させた状態で流量計１５により計測される流量は、流量測定装置１０の流入抵抗に応じた流量となる。ここで、流量測定装置１０の流入抵抗は、第一給気部１１から第一配管１２に浄化気体を流入させる際の抵抗（圧力損失）である。本実施形態では、流量測定装置１０の第一給気部１１（第一給気口１１ａ）には、容器８０の第三給気口８３に設けられる給気用開閉弁に相当する弁は設けられていない。よって、流量測定装置１０の流入抵抗は、主に、第一抵抗体１３が第一配管１２の内部における気体の流れに付与する抵抗の大きさに応じて定まる。流量計１５により計測される流量（本実施形態では、流量計１５のそれぞれにより計測される流量の総和）は、流量測定装置１０の流入抵抗と同程度の大きさの流入抵抗を有する容器８０が支持部３２に支持されている場合に、当該容器８０の内部に吐出部３１から供給される浄化気体の流量に近い値となる。よって、流量計１５により計測される流量に基づき、流量測定装置１０の流入抵抗と同程度の大きさの流入抵抗を有する容器８０の内部に供給される浄化気体の流量を、精度良く推定することが可能となる。

ところで、容器８０の流入抵抗の大きさは、容器８０の種類（型式）や製造メーカによって異なる場合があり、同じ種類の容器８０であっても、個体差や経年変化等により異なる場合もある。例えば、上述した給気用開閉弁や排気用開閉弁の付勢力に差が生じたり、容器８０の気密性に差が生じたりして、容器８０の流入抵抗の大きさが容器毎にばらつく場合がある。この点に関し、流量測定装置１０は、第一配管１２の内部における気体の流れに付与する抵抗の大きさが可変である第一抵抗体１３を備えるため、第一抵抗体１３が付与する抵抗の大きさを調整することで、流量測定装置１０の流入抵抗を調整することができる。これにより、容器８０毎に流入抵抗のばらつきがある場合でも、浄化気体の流量の推定対象として選択する容器８０の流入抵抗に合わせて流量測定装置１０の流入抵抗の大きさを調整することで、流量計１５により計測される流量を、当該選択した容器８０の内部に吐出部３１から供給される浄化気体の流量に近い値とすることが可能となっている。すなわち、容器８０毎に流入抵抗のばらつきがある場合でも、１つの流量測定装置１０を用いた測定により、流入抵抗の互いに異なる複数の容器８０のそれぞれについて、容器８０の内部に供給される浄化気体の流量を精度良く推定することが可能となっている。なお、容器８０を支持させる支持部３２によって、吐出部３１から容器８０の内部に供給される浄化気体の流量が大きく異なる場合等には、容器８０を支持させる支持部３２を変更しながら流量計１５による計測を繰り返し行うことで、容器８０の内部に供給される浄化気体の流量の変動範囲（支持される支持部３２が異なることによる変動範囲）の情報を得ることができる。

上述したように、本実施形態では、流量制御装置３３が、分岐配管３５ではなく、主配管３４に設けられている。そして、図４に示すように、各分岐配管３５は、中継配管３６を介して互いに連通しているため、吐出部３１から吐出される浄化気体の流量は、同じ吐出部群に属する他の吐出部３１から吐出される浄化気体の流量の影響を受ける。分岐配管３５のそれぞれにオリフィスを設けることで、この影響を極力排除することも考えられるが、その場合でも、この影響を完全になくすことは困難である。よって、支持部３２に支持された容器８０の内部に供給される浄化気体の流量は、当該容器８０の流入抵抗の大きさだけでなく、同じ支持部群に属する他の支持部３２に容器８０が支持されているか否かや、同じ支持部群に属する他の支持部３２に支持されている容器８０の流入抵抗の大きさに応じて変化し得る。

この点に鑑みて、本実施形態に係る流量測定システムは、流量測定装置１０に加えて、抵抗付与装置２０を備えている。本実施形態では、流量測定システムは、複数の抵抗付与装置２０を備えている。例えば、１つの吐出部群を構成する吐出部３１の個数より１つ少ない個数の抵抗付与装置２０が、流量測定システムに備えられる。抵抗付与装置２０は、浄化気体供給装置３０の検査を行う際に、複数の支持部３２のうちの、流量測定装置１０が支持される支持部３２とは異なる支持部３２（同じ支持部群に属する他の支持部３２）に支持される。図７及び図８に示すように、抵抗付与装置２０は、抵抗付与装置２０が支持部３２に支持された状態で吐出部３１に接続される第二給気部２１と、第二給気部２１に接続される第二配管２２と、第二配管２２の内部における気体の流れに抵抗を付与する第二抵抗体２３と、第二本体部２４と、を備えている。抵抗付与装置２０が支持部３２に支持された状態で、吐出部３１から吐出された気体が第二配管２２の内部を流れる。第二本体部２４は、支持部３２に支持される第二被支持部２４ａを有し、第二給気部２１、第二配管２２、及び第二抵抗体２３を支持する部材である。そして、第二抵抗体２３は、付与する抵抗（第二配管２２の内部における気体の流れに付与する抵抗）の大きさが可変に構成される。

本実施形態では、抵抗付与装置２０は、流量計１５、表示器１６、及び端子台１７を備えない点以外は、流量測定装置１０と同様に構成されている。そのため、抵抗付与装置２０についての詳細な説明は省略するが、第二本体部２４は、第一本体部１４と同様に構成され、第二本体部２４の底面である第二底面２４ｂに、第一被支持部１４ａに対応する第二被支持部２４ａが複数形成されている。そして、第二本体部２４は、支持部３２に設けられた突出部９３と第二被支持部２４ａとの係合により支持部３２に対して位置決めされた状態で、支持部３２に支持される。第二給気部２１は、第一給気部１１と同様に構成され、第一給気口１１ａに対応する第二給気口２１ａを複数備えている。第二配管２２は、第一配管部１２ａに対応する第三配管部２２ａの長さ及び形状が第一配管部１２ａとは異なる点を除いて、第一配管１２と同様に構成されている。すなわち、第二配管２２は、第一配管部１２ａに対応する第三配管部２２ａを複数備えると共に、第二配管部１２ｂに対応する第四配管部２２ｂを備えている。複数の第三配管部２２ａは、第二給気口２１ａとの接続部から第四配管部２２ｂとの接続部までの長さが互いに等しく形成されている。第二抵抗体２３は、第一抵抗体１３と同様に構成され、本実施形態では、下流側への気体の流量を調節可能な速度制御弁である。第二抵抗体２３は、第二配管部１２ｂに対応する第四配管部２２ｂに設けられている。

本実施形態では、抵抗付与装置２０が支持部３２に支持された状態での吐出部３１（吐出口形成部材）と第二給気部２１（第二給気口２１ａが形成されたグロメット）との接合強度が、容器８０が支持部３２に支持された状態での吐出部３１（吐出口形成部材）と第三給気口８３（第三給気口８３が形成されたグロメット）との接合強度と同程度となるように、抵抗付与装置２０の総重量が、容器８０の重量を基準に設定されている。本実施形態では、容器８０はレチクルを収容するレチクルポッドであるため、抵抗付与装置２０の総重量は、例えば、１枚のレチクルを収容した状態の容器８０の総重量と同一に設定される。

上記のような構成の抵抗付与装置２０を支持部３２に支持させることで、吐出部３１から吐出される浄化気体を、第二給気部２１から第二配管２２に流入させることができる。本実施形態では、吐出口３１ａのそれぞれから吐出される浄化気体が、各吐出口３１ａが接続された第二給気口２１ａから第三配管部２２ａに流入する。抵抗付与装置２０を支持部３２に支持させた状態で吐出部３１から第二配管２２に流入する浄化気体の流量は、抵抗付与装置２０の流入抵抗に応じた流量となる。ここで、抵抗付与装置２０の流入抵抗は、第二給気部２１から第二配管２２の内部へ浄化気体を流入させる際の抵抗（圧力損失）である。本実施形態では、抵抗付与装置２０の第二給気部２１（第二給気口２１ａ）には、容器８０の第三給気口８３に設けられる給気用開閉弁に相当する弁は設けられていない。よって、抵抗付与装置２０の流入抵抗は、主に、第二抵抗体２３が第二配管２２の内部における気体の流れに付与する抵抗の大きさに応じて定まる。

以上のように、本実施形態では、流量測定システムに、流量測定装置１０に加えて抵抗付与装置２０が備えられ、この抵抗付与装置２０は、流量測定装置１０と同様に、流入抵抗の大きさが変更可能に構成されている。そのため、例えば、浄化気体の供給流量の推定対象の容器８０（以下、「第一容器」という。）が支持されている支持部３２（以下、「第一支持部」という。）とは別の支持部３２（同じ支持部群に属する他の支持部３２、以下、「第二支持部」という。）に、浄化気体の供給流量の推定対象ではない容器８０（以下、「第二容器」という。）が支持されていない状況を想定した検査では、抵抗付与装置２０を用いず、第一容器の流入抵抗に合わせて流入抵抗の大きさを調整した流量測定装置１０を第一支持部に支持させることで、流量測定装置１０の流量計１５により計測される流量を、想定している状況において第一容器の内部に実際に供給される流量に近い値とすることができる。また、第二支持部に第二容器が支持されている状況を想定した検査では、第一容器の流入抵抗に合わせて流入抵抗の大きさを調整した流量測定装置１０を第一支持部に支持させると共に、第二容器の流入抵抗に合わせて流入抵抗の大きさを調整した抵抗付与装置２０を第二支持部に支持させることで、流量測定装置１０の流量計１５により計測される流量を、想定している状況において第一容器の内部に実際に供給される流量に近い値とすることができる。なお、複数の第二支持部のそれぞれに第二容器が支持されている状況を想定する場合には、第二支持部のそれぞれに、当該第二支持部に支持される第二容器の流入抵抗に合わせて流入抵抗の大きさを調整した抵抗付与装置２０を支持させる。

以上のように、支持部３２に支持された容器８０の内部に供給される浄化気体の流量が、同じ支持部群に属する他の支持部３２に容器８０が支持されているか否かや、同じ支持部群に属する他の支持部３２に支持されている容器８０の流入抵抗の大きさに応じて変化する場合であっても、抵抗付与装置２０を必要に応じて用いることで、流量測定装置１０の流量計１５により計測される流量を、想定している状況において容器８０の内部に実際に供給される浄化気体の流量に近い値とすることができる。この結果、流量計１５により計測される流量に基づき、想定している状況において容器８０の内部に供給される浄化気体の流量を精度良く推定することが可能となる。なお、流量測定システムが複数の流量測定装置１０を備える構成としても良い。この場合、複数の流量測定装置１０を同一の支持部群に属する互いに異なる支持部３２に支持させることで、吐出部３１から吐出される浄化気体の流量の測定を、互いに異なる支持部３２において同時に或いは同時期に行うことが可能となる。また、流量測定システムが複数の流量測定装置１０を備える場合、一部の流量測定装置１０を、抵抗付与装置２０の代わりに用いることもできる。この場合、当該一部の流量測定装置１０では、流量計１５による計測は行わず、抵抗付与装置２０としての機能のみが発揮される。

〔その他の実施形態〕
流量測定装置及び流量測定システムの、その他の実施形態について説明する。なお、以下のそれぞれの実施形態で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することも可能である。

（１）上記の実施形態では、流量測定装置１０の第一抵抗体１３が第二配管部１２ｂに設けられる構成を例として説明したが、第一抵抗体１３が第一配管部１２ａのそれぞれに設けられる構成とすることもできる。この場合、第一抵抗体１３は、流量計１５よりも上流側に設けても下流側に設けても良い。また、この場合、第一配管１２が第二配管部１２ｂを備えない構成とすることもできる。また、上記の実施形態では、抵抗付与装置２０の第二抵抗体２３が第四配管部２２ｂに設けられる構成を例として説明したが、第二抵抗体２３が、第三配管部２２ａのそれぞれに設けられる構成とすることもできる。この場合、第二配管２２が第四配管部２２ｂを備えない構成とすることもできる。

（２）上記の実施形態では、流量計１５が複数の第一配管部１２ａのそれぞれに設ける構成を例として説明したが、流量計１５が第二配管部１２ｂに設けられる構成とすることもできる。この場合、流量計１５を、第一抵抗体１３よりも上流側に設けても下流側に設けても良い。

（３）上記の実施形態では、第一給気部１１が２つの第一給気口１１ａを備え、第一配管１２が、対応する第一給気口１１ａにそれぞれ接続される２つの第一配管部１２ａを備える構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、第一給気部１１が３つ以上の第一給気口１１ａを備え、第一配管１２が、対応する第一給気口１１ａにそれぞれ接続される３つ以上の第一配管部１２ａを備える構成とすることもできる。また、第一給気部１１が１つの第一給気口１１ａを備え、第一配管１２が、当該第一給気口１１ａに接続される単一の管体を備える構成とすることもできる。また、上記の実施形態では、第二給気部２１が２つの第二給気口２１ａを備え、第二配管２２が、対応する第二給気口２１ａにそれぞれ接続される２つの第三配管部２２ａを備える構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、第二給気部２１が３つ以上の第二給気口２１ａを備え、第二配管２２が、対応する第二給気口２１ａにそれぞれ接続される３つ以上の第三配管部２２ａを備える構成とすることもできる。また、第二給気部２１が１つの第二給気口２１ａを備え、第二配管２２が、当該第二給気口２１ａに接続される単一の管体を備える構成とすることもできる。

（４）上記の実施形態では、第一抵抗体１３が、下流側への気体の流量を調節可能な速度制御弁である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第一抵抗体１３を第一配管１２に対して取り外し自在に構成し、第一抵抗体１３を取り替えることで、第一抵抗体１３が付与する抵抗の大きさが変更される構成とすることもできる。また、上記の実施形態では、第二抵抗体２３が、下流側への気体の流量を調節可能な速度制御弁である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第二抵抗体２３を第二配管２２に対して取り外し自在に構成し、第二抵抗体２３を取り替えることで、第二抵抗体２３が付与する抵抗の大きさが変更される構成とすることもできる。

（５）上記の実施形態では、流量測定装置１０の第一給気部１１（第一給気口１１ａ）や抵抗付与装置２０の第二給気部２１（第二給気口２１ａ）に、容器８０の第三給気口８３に設けられる給気用開閉弁に相当する弁が設けられない構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第一給気部１１や第二給気部２１に、容器８０の第三給気口８３に設けられる給気用開閉弁に相当する弁が設けられる構成とすることもできる。この場合、流量測定装置１０の流入抵抗は、主に、第一抵抗体１３が第一配管１２の内部における気体の流れに付与する抵抗の大きさと、第一給気部１１に設けられる弁による圧力損失の大きさに応じて定まり、抵抗付与装置２０の流入抵抗は、主に、第二抵抗体２３が第二配管２２の内部における気体の流れに付与する抵抗の大きさと、第二給気部２１に設けられる弁による圧力損失の大きさに応じて定まる。

（６）上記の実施形態では、容器８０が、レチクルを収容するレチクルポッドである場合を例として説明したが、容器８０が、複数枚の半導体ウェハを収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）であっても良い。また、容器８０の収容物が、工業製品、食品、医薬品等の、レチクルや半導体ウェハ以外の物であっても良い。

（７）上記の実施形態では、流量測定装置及び流量測定システムが、容器収納設備１００に備えられる浄化気体供給装置３０の検査に用いられる場合を例として説明したが、流量測定装置及び流量測定システムが、容器収納設備以外の設備に備えられる浄化気体供給装置の検査に用いられても良い。

（８）その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎないと理解されるべきである。従って、当業者は、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

１０：流量測定装置
１１：第一給気部（給気部）
１１ａ：第一給気口（給気口）
１２：第一配管（配管）
１２ａ：第一配管部
１２ｂ：第二配管部
１３：第一抵抗体（抵抗体）
１４：第一本体部（本体部）
１４ａ：第一被支持部（被支持部）
１５：流量計
２０：抵抗付与装置
２１：第二給気部
２２：第二配管
２３：第二抵抗体
２４：第二本体部
２４ａ：第二被支持部
３０：浄化気体供給装置
３１：吐出部
３１ａ：吐出口
３２：支持部
３３：流量制御装置
３４：主配管
３５：分岐配管
４１：供給源
８０：容器

Claims (4)

1. 容器を支持する支持部と、前記支持部に設けられて、前記支持部に支持された前記容器の内部に浄化気体を吐出する吐出部と、を備えた浄化気体供給装置の検査に用いられ、前記支持部に支持された状態で前記吐出部から吐出される浄化気体の流量を測定する流量測定装置であって、
   前記吐出部に接続される給気部と、
   前記給気部に接続されて、前記吐出部から吐出される気体が流れる配管と、
   前記配管の内部を流れる気体の流量を計測する流量計と、
   前記配管の内部における気体の流れに抵抗を付与する抵抗体と、
   前記支持部に支持される被支持部を有し、前記給気部、前記配管、前記流量計、及び前記抵抗体を支持する本体部と、を備え、
   前記抵抗体が付与する抵抗の大きさが可変である流量測定装置。
2. 前記吐出部は、複数の吐出口を備え、
   前記給気部は、前記複数の吐出口のうちの対応する前記吐出口にそれぞれ接続される複数の給気口を備え、
   前記配管は、前記複数の給気口のうちの対応する前記給気口にそれぞれ接続される複数の第一配管部を備え、
   前記抵抗体は、前記複数の第一配管部のそれぞれにおける気体の流れに抵抗を付与するように設けられ、
   前記流量計が、前記複数の第一配管部のそれぞれに設けられている請求項１に記載の流量測定装置。
3. 前記吐出部は、複数の吐出口を備え、
   前記給気部は、前記複数の吐出口のうちの対応する前記吐出口にそれぞれ接続される複数の給気口を備え、
   前記配管は、前記複数の給気口のうちの対応する前記給気口にそれぞれ接続される複数の第一配管部と、前記複数の第一配管部のそれぞれにおける前記給気口とは反対側の端部に接続され、前記複数の第一配管部のそれぞれを流れる気体が合流した気体が流れる第二配管部と、を備え、
   前記抵抗体が、前記第二配管部に設けられている請求項１又は２に記載の流量測定装置。
4. 容器を支持する複数の支持部と、前記複数の支持部のそれぞれに設けられて、前記支持部に支持された前記容器の内部に浄化気体を吐出する吐出部と、浄化気体の供給源から浄化気体が供給される主配管と、前記主配管の内部を流れる浄化気体の流量を制御する流量制御装置と、前記流量制御装置よりも下流側で前記主配管から分岐して、対応する前記吐出部にそれぞれ接続される複数の分岐配管と、を備えた浄化気体供給装置の検査に用いられる流量測定システムであって、
   請求項１から３のいずれか一項に記載の流量測定装置と、
   前記複数の支持部のうちの、前記流量測定装置が支持される前記支持部とは異なる前記支持部に支持される抵抗付与装置と、を備え、
   前記給気部を第一給気部とし、前記配管を第一配管とし、前記抵抗体を第一抵抗体とし、前記本体部を第一本体部とし、前記被支持部を第一被支持部として、
   前記抵抗付与装置は、
   前記吐出部に接続される第二給気部と、
   前記第二給気部に接続されて、前記吐出部から吐出される気体が流れる第二配管と、
   前記第二配管の内部における気体の流れに抵抗を付与する第二抵抗体と、
   前記支持部に支持される第二被支持部を有し、前記第二給気部、前記第二配管、及び前記第二抵抗体を支持する第二本体部と、を備え、
   前記第二抵抗体が付与する抵抗の大きさが可変である流量測定システム。

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