KR20180028929A - 유량 측정 장치 및 유량 측정 시스템 - Google Patents

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Abstract

유량 측정 장치는, 토출부에 접속되는 급기부와 급기부에 접속되어, 토출부로부터 토출되는 기체가 흐르는 배관과, 배관의 내부를 흐르는 기체의 유량을 계측하는 유량계와, 배관의 내부에서의 기체의 흐름에 저항을 부여하는 저항체와, 지지부에 지지되는 피지지부를 가지고, 급기부, 배관, 유량계, 및 저항체를 지지하는 본체부를 구비한다. 저항체가 부여하는 저항의 크기가 가변이다.

Description

유량 측정 장치 및 유량 측정 시스템{FLOW MEASURING DEVICE AND FLOW MEASURING SYSTEM}
본 발명은, 정화(淨化) 기체(氣體) 공급 장치의 검사에 사용되는 유량(流量) 측정 장치 및 유량 측정 시스템에 관한 것이다.
정화 기체 공급 장치의 검사에 사용되는 유량 측정 장치로서, 일본 공개특허 제2015-12040호 공보(특허문헌 1)에 기재된 검사 장치가 알려져 있다. 구체적으로는, 특허문헌 1에는, 수납부(9)에 수납된 용기(4)의 내부에 불활성 기체(정화 기체의 일례)를 공급하는 불활성 기체 공급부(F)를 구비한 물품 보관 설비에 있어서, 용기(4)에 대한 불활성 기체의 공급 상태를 검사하기 위한 검사 장치(1)가 개시되어 있다. 불활성 기체 공급부(F)는, 용기(4)의 내부에 불활성 기체를 주입하는 공급 노즐(53N)을, 수납부(9)에 있어서 용기(4)를 지지하는 탑재 지지부(15)에 구비하고 있고, 검사 장치(1)는, 탑재 지지부(15)에 지지되었을 때 공급 노즐(53N)과 접합하는 검사용 급기구(給氣口)(1G)와, 유량계(101)와, 검사용 급기구(1G)와 유량계(101)를 접속하는 검사용 배관(103)을 구비하고 있다. 그리고, 검사를 행할 때는, 용기(4) 대신에 검사 장치(1)를 탑재 지지부(15)에 지지시킨 상태에서, 공급 노즐(53N)로부터 검사용 급기구(1G)를 통하여 검사용 배관(103)에 유입(流入)되는 불활성 기체의 유량을 유량계(101)에 의해 계측한다. 이와 같이 하여 계측되는 불활성 기체의 유량에 기초하여, 탑재 지지부(15)에 지지된 용기(4)의 내부로 공급되는 불활성 기체의 유량을 추정할 수 있다.
특허문헌 1의 구성에서는, 용기(4)의 내부에 불활성 기체를 공급할 때는, 용기(4)에 설치된 급기구(4G)와 공급 노즐(53N)이 용기(4)의 자중(自重)에 의해 접합한 상태에서, 공급 노즐(53N)로부터 토출된 불활성 기체가 급기구(4G)를 통하여 용기(4)의 내부로 유입된다. 따라서, 용기(4)의 내부로 공급되는 불활성 기체의 유량은, 급기구(4G)와 공급 노즐(53N)과의 접합 강도에 따라(즉, 상기 접합부에서의 외부와의 기밀성의 정도에 따라) 변화할 수 있다. 특허문헌 1의 구성에서는, 용기(4)로서, 복수 개의 기판을 수용 가능한 것이 사용되므로, 수용되어 있는 기판의 개수에 따라 용기(4)의 총 중량이 변화되고, 용기(4)의 총중량의 변화에 따라 급기구(4G)와 공급 노즐(53N)과의 접합 강도도 변화한다. 이 점을 감안하여, 특허문헌 1의 구성에서는, 중량 조정용의 추(錘)를 지지하는 추 지지부를 검사 장치(1)에 구비함으로써, 기판의 수용 상태(수용 개수)에 따라 변화하는 급기구(4G)와 공급 노즐(53N)과의 접합 강도에 맞추어, 검사용 급기구(1G)와 공급 노즐(53N)과의 접합 강도를 추에 의해 조정하는 것을 가능하게 하고 있다. 이로써, 용기(4)에 수용되어 있는 기판의 개수에 의하지 않고, 유량계(101)에 의해 계측되는 불활성 기체의 유량을, 용기(4)의 내부에 실제로 공급되는 불활성 기체의 유량에 가까운 값으로 하는 것을 가능하게 하고 있다.
일본 공개특허 제2015-12040호 공보
그런데, 급기구 등의 급기부(給氣部)로부터 용기의 내부로 공급된 정화 기체는, 배기구 등의 배기부나 간극 등으로부터 상기 용기의 외부로 배출되므로, 배기부에서의 기체의 배출 저항의 크기나 용기의 기밀성의 정도 등에 따라 급기부로부터 용기의 내부로 정화 기체를 유입시킬 때의 저항인, 용기의 유입 저항(압력 손실)의 크기가 정해진다. 용기의 급기부와 정화 기체의 토출부(吐出部)와의 접합 강도뿐아니라, 용기의 유입 저항의 크기도, 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량에 제공하는 영향이 일반적으로 크다. 이 점을 감안하여, 정화 기체의 공급 대상이 되는 용기의 유입 저항의 크기를 고려하여 유량 측정 장치를 설계함으로써, 측정되는 정화 기체의 유량을, 용기의 내부에 실제로 공급되는 정화 기체의 유량(이하, 「실공급(實共給) 유량」이라고 함]에 가까운 값으로 하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 용기의 유입 저항의 크기는, 용기의 종류(형식)나 제조 메이커에 의해 상이한 경우가 있고, 같은 종류의 용기에 있어서도, 개체차(個體差)나 시간 경과에 따른 변화 등에 따라 상이한 경우도 있다. 그러므로, 만일 상기한 바와 같이 설계한 유량 측정 장치를 사용한 경우, 어느 특정의 유입 저항을 가지는 용기에 대하여, 측정되는 정화 기체의 유량을 실공급 유량에 가까운 값으로 할 수 있어도, 상기 용기와는 유입 저항의 크기가 상이한 용기에 대해서는, 측정되는 정화 기체의 유량과 실공급 유량과의 차이가 커지기 쉽다. 즉, 만일 상기한 바와 같이 설계한 유량 측정 장치를 사용했다고 해도, 정화 기체의 공급 대상이 되는 복수의 용기의 사이에서 용기마다 유입 저항의 불균일이 있는 경우에, 유입 저항이 서로 다른 복수의 용기의 각각에 대하여, 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을 양호한 정밀도로 추정하는 것은 용이하지 않다. 그러나, 특허문헌 1에서는, 이 점에 대하여 특별한 인식이 행해지지 않았다.
그래서, 용기마다 유입 저항의 불균일이 있는 경우라도, 유입 저항이 서로 다른 복수의 용기의 각각에 대하여, 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을 양호한 정밀도로 추정할 수 있는 유량 측정 장치의 실현이 요구된다.
본 개시에 관한 유량 측정 장치는, 용기를 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 설치되어, 상기 지지부에 지지된 상기 용기의 내부로 정화 기체를 토출(吐出)하는 토출부를 구비한 정화 기체 공급 장치의 검사에 사용되고, 상기 지지부에 지지된 상태에서 상기 토출부로부터 토출되는 정화 기체의 유량을 측정하는 장치이며,
상기 유량 측정 장치는, 상기 토출부에 접속되는 급기부와, 상기 급기부에 접속되어, 상기 토출부로부터 토출되는 기체가 흐르는 배관과, 상기 배관의 내부를 흐르는 기체의 유량을 계측하는 유량계와, 상기 배관의 내부에서의 기체의 흐름에 저항을 부여하는 저항체와, 상기 지지부에 지지되는 피(被)지지부를 가지고, 상기 급기부, 상기 배관, 상기 유량계, 및 상기 저항체를 지지하는 본체부를 구비하고, 상기 저항체가 부여하는 저항의 크기가 가변(可變)이다.
상기와 같은 구성의 유량 측정 장치를 사용하고, 토출부와 급기부가 접속되도록 유량 측정 장치를 지지부에 지지하게 함으로써, 토출부로부터 토출되는 정화 기체를, 급기부로부터 배관의 내부로 유입시킬 수 있다. 이 상태에서 유량계에 의해 계측되는 유량은, 급기부로부터 배관의 내부로 정화 기체를 유입시킬 때의 저항인, 유량 측정 장치의 유입 저항에 따른 유량으로 된다. 즉, 유량계에 의해 계측되는 유량은, 유량 측정 장치의 유입 저항과 같은 정도의 크기의 유입 저항을 가지는 용기가 지지부에 지지되어 있는 경우에, 상기 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량에 가까운 값으로 된다. 이 결과, 유량계에 의해 계측되는 유량에 기초하여, 유량 측정 장치의 유입 저항과 같은 정도의 크기의 유입 저항을 가지는 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을, 양호한 정밀도로 추정하는 것이 가능해진다.
그리고, 상기한 구성에 의하면, 저항체가 부여하는 저항의 크기가 가변이므로, 저항체가 부여하는 저항의 크기를 변경함으로써, 유량 측정 장치의 유입 저항의 크기를 변경할 수 있다. 그러므로, 상기한 바와 같이 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을 양호한 정밀도로 추정하는 것을, 어느 특정한 크기의 유입 저항을 가지는 용기뿐아니라, 유량 측정 장치의 유입 저항의 변경 범위 내에 포함되는 크기의 유입 저항을 가지는 복수의 용기에 대하여 행할 수 있다. 즉, 용기마다 유입 저항의 불균일이 있는 경우라도, 1개의 유량 측정 장치를 사용한 측정에 의해, 유입 저항이 서로 다른 복수의 용기의 각각에 대하여, 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을 양호한 정밀도로 추정하는 것이 가능해진다.
이상과 같이, 상기한 구성에 의하면, 용기마다 유입 저항의 불균일이 있는 경우라도, 유입 저항이 서로 다른 복수의 용기의 각각에 대하여, 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을 양호한 정밀도로 추정할 수 있는 유량 측정 장치를 실현할 수 있다.
도 1은 용기 수납 설비의 종단 측면도
도 2는 수납부의 측면도
도 3은 수납부의 평면도
도 4는 정화 기체 공급 장치의 모식도
도 5는 유량 측정 장치의 측면도
도 6은 유량 측정 장치의 평면도
도 7은 저항 부여 장치의 측면도
도 8은 저항 부여 장치의 평면도
유량 측정 장치 및 유량 측정 시스템의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 여기서는, 유량 측정 장치 및 유량 측정 시스템에 의한 검사 대상의 정화 기체 공급 장치가, 도 1에 나타낸 바와 같이, 용기 수납 설비(100)에 구비되는 정화 기체 공급 장치(30)인 경우를 예로 들어 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 관한 용기 수납 설비(100)는, 용기(80)를 수납하는 수납 선반(91)(storage rack)과, 용기(80)를 반송(搬送; transport)하는 용기 반송 장치(90)와, 수납 선반(91)에 수납되어 있는 용기(80)에 대하여 정화 기체[퍼지 가스(purge gas)]를 공급하는 정화 기체 공급 장치(30)를 구비하고 있다. 도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 수납 선반(91)에는, 용기(80)를 수납하는 복수의 수납부(92)가, 제2 수평 방향 Y 및 상하 방향 Z로 배열되어 설치되어 있다. 여기서, 제2 수평 방향 Y는, 수납 선반(91)의 가로 폭 방향(선반 가로 폭 방향)을 따르는 수평 방향이다. 수납부(92)의 각각에는, 용기(80)를 지지하는 지지부(32)가 구비된다. 용기(80)는, 지지부(32)에 지지된 상태에서, 상기 지지부(32)를 구비하는 수납부(92)에 수납된다. 본 실시형태에서는, 한 쌍의 수납 선반(91)이, 용기 반송 장치(90)의 이동 경로를 협지하여 제1 수평 방향 X에 대향하도록 설치되어 있다. 여기서, 제1 수평 방향 X는, 수납 선반(91)의 전후 방향(선반 전후 방향)을 따르는 수평 방향이며, 제2 수평 방향 Y와 직교하는 수평 방향이다.
본 실시형태에서는, 지지부(32)는, 용기(80)를 하측으로부터 지지하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 지지부(32)는, 상하 방향 Z에서 볼 때 U자형으로 형성되어 있고, 용기(80)의 바닥면(81)에서의 외주 부분을 지지하도록 구성되어 있다. 지지부(32)는, 제1 수평 방향 X의 일단부(一端部)(U자의 바닥부에 대응하는 부분)가 수납 선반(91)의 프레임에 고정됨으로써, 캔틸레버(cantilever) 자세로 상기 프레임에 지지되어 있다. 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 지지부(32)는, 위치결정용의 돌출부(93)(위치결정핀)를 구비하고 있다. 돌출부(93)는, 지지부(32)의 상면(평탄형의 부분)으로부터 위쪽으로 돌출되도록 형성되어 있다. 지지부(32)는, 복수의 돌출부(93)를 구비하고, 본 실시형태에서는, 3개의 돌출부(93)를 구비하고 있다. 돌출부(93)는, 상기 U자의 바닥부, 및 양 단부의 3개소(箇所)에 형성되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 용기(80)의 바닥면(81)에는, 위쪽을 향해 오목한 형상의 오목부(82)가 형성되어 있다. 오목부(82)는, 돌출부(93)와 같은 수 형성되고, 본 실시형태에서는, 3개의 오목부(82)가 용기(80)의 바닥면(81)에 형성되어 있다. 용기(80)는, 돌출부(93)와 오목부(82)와의 걸어맞춤에 의해 지지부(32)에 대하여 위치결정된 상태에서, 지지부(32)에 지지된다. 오목부(82)의 내면은 경사면으로 되어 있고, 용기(80)를 지지부(32)에 탑재할 때 용기(80)의 위치가 지지부(32)에 대한 적정 위치로부터 수평 방향으로 어긋나 있는 경우라도, 돌출부(93)가 오목부(82)의 내면에 의해 안내됨으로써, 용기(80)의 지지부(32)에 대한 수평 방향의 위치가 적정 위치로 수정된다. 본 실시형태에서는, 용기(80)는, EUV(극단 자외선) 리소그라피용의 레티클(reticle; 포토마스크)을 수용하는 레티클 포드(reticle pod)이다.
용기 반송 장치(90)는, 수납 선반(91)의 전방을 제2 수평 방향 Y를 따라 이동하여, 수납부(92)에 또는 수납부(92)로부터 용기(80)를 반송(transport)한다. 본 실시형태에서는, 용기 반송 장치(90)는, 한 쌍의 수납 선반(91)의 사이를 제2 수평 방향 Y를 따라 이동한다. 본 실시형태에서는, 용기 반송 장치(90)는, 스태커 크레인(stacker crane)이다. 자세한 것은 생략하지만, 용기 반송 장치(90)는, 수납 선반(91)에 입고(入庫)하는 용기(80)를, 입고용의 이송탑재(移載; transfer) 개소로부터 수납부(92)로 반송하고, 수납 선반(91)으로부터 출고(出庫)하는 용기(80)를, 상기 용기(80)가 수납되어 있는 수납부(92)로부터, 상기 입고용의 이송탑재(transfer) 개소와 공통의 출고용의 이송탑재 개소에, 또는 상기 입고용의 이송탑재 개소와는 별도로 설치된 출고용의 이송탑재 개소로 반송한다.
본 실시형태에서는, 용기 수납 설비(100)는, 청정 공기가 천정측으로부터 바닥측을 향해 하방향으로 통류하는 다운플로우식(downflow type)의 청정실 내에 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 용기 수납 설비(100)는, 수납 선반(91) 및 용기 반송 장치(90)가 배치되는 공간(이하, 「설치 공간」이라고 함)의 측 주위(상하 방향에서 볼 때의 주위)를 에워싸는 벽체(94)를 구비하고 있다. 벽체(94)는, 구멍이 없는 형상의 부재에 의해 형성되어 있다. 설치 공간의 내부에 천정측으로부터 유입된 청정 공기는, 후술하는 토출부(31)로부터 토출되는 정화 기체[토출부(31)로부터 용기(80)]의 내부로 토출된 후에, 용기(80)로부터 배출되는 정화 기체를 포함함)]와 함께 설치 공간의 내부를 아래쪽으로 유동(流動)한 후, 바닥부의 근방에 있어서 설치 공간의 외측의 공간으로 배출된다.
도 2∼도 4에 나타낸 바와 같이, 정화 기체 공급 장치(30)는, 용기(80)를 지지하는 지지부(32)와, 지지부(32)에 지지된 용기(80)의 내부로 정화 기체를 토출하는 토출부(31)를 구비하고 있다. 토출부(31)는, 지지부(32)에 설치된다. 본 실시형태에서는, 정화 기체 공급 장치(30)는, 복수의 지지부(32)를 구비하고, 토출부(31)는, 복수의 지지부(32)의 각각에 설치되어, 지지부(32)에 지지된 용기(80)의 내부로 정화 기체를 토출한다. 본 실시형태에서는, 정화 기체 공급 장치(30)는, 용기 수납 설비(100)에 구비되어 있고, 복수의 수납부(92)의 각각에 있어서, 수납된 용기(80)의 내부로 정화 기체를 공급한다. 그러므로, 본 실시형태에서는, 정화 기체 공급 장치(30)는, 수납부(92)에 구비되는 지지부(32)를, 정화 기체의 공급 대상의 용기(80)를 지지하는 지지부로서 이용하고 있다. 다른 견해로 보면, 정화 기체 공급 장치(30)가 구비하는 지지부(32)가, 수납부(92)에 있어서 용기(80)를 지지하기 위해서도 사용되고 있다. 그리고, 정화 기체란, 예를 들면, 질소 가스 등의 불활성 가스, 또는 먼지 및 습기가 제거된 청정 건조 공기(클린 드라이 에어)이다. 본 실시형태에서는, 정화 기체는, 불활성 가스이다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 정화 기체 공급 장치(30)는, 정화 기체의 공급원(41)으로부터 정화 기체가 공급되는 주 배관(primary gas line)(34)과, 주 배관(34)의 내부를 흐르는 정화 기체의 유량을 제어하는 유량 제어 장치(33)[매스플로우(mass flow) 컨트롤러]와, 유량 제어 장치(33)보다도 하류측에서 주 배관(34)으로부터 분기하여, 대응하는 토출부(31)에 각각 접속되는 복수의 분기(branch) 배관(35)을 구비하고 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 토출부(31)는, 복수의 토출구(吐出口)(31a)를 구비하고, 구체적으로는, 2개의 토출구(31a)를 구비하고 있다. 즉, 토출구(31a)가 형성된 부재를 토출구 형성 부재로 하면, 1개의 토출부(31)는, 지지부(32)에서의 서로 다른 위치(본 실시형태에서는2개의 상이한 위치)에 배치된 토출구 형성 부재의 군에 의해 구성되어 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 토출구 형성 부재는, 평면에서 볼 때(상하 방향에서 볼 때)에서의 형상이 원형으로 형성되어 있고, 상기 원형의 중심에 토출구(31a)가 형성되어 있다. 분기 배관(35)의 하류측 부분은, 1개의 토출부(31)에 구비되는 토출구(31a)의 각각에 접속되어 있고, 토출구(31a)의 각각으로부터 정화 기체가 토출된다. 본 실시형태에서는, 분기 배관((branch gas line)(35)의 각각에는, 정화 기체에 포함되는 먼지를 제거하는 필터(37)가 형성되어 있고, 각각의 토출구(31a)로부터는, 필터(37)에 의해 먼지가 제거된 후의 정화 기체가 토출된다.
도 2∼도 4에 나타낸 바와 같이, 용기(80)에는, 급기구[제3 급기구(83)]와 배기구(84)가 설치되어 있다. 그리고, 후술하는 제1 급기구(11a)나 제2 급기구(21a)와 구별하여, 용기(80)에 설치되는 급기구를 제3 급기구(83)로 하고 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 제3 급기구(83)는, 용기(80)의 바닥면(81)에 형성되고, 도시는 생략하지만, 배기구(84)도, 용기(80)의 바닥면(81)에 형성되어 있다. 자세한 것은 생략하지만, 제3 급기구(83)나 배기구(84)는, 용기(80)의 바닥면(81)에 설치된 그로밋(gro㎜et)을 상하 방향 Z로 관통하도록 형성되어 있다. 용기(80)가 지지부(32)에 지지된 상태에서, 제3 급기구(83)가 지지부(32)에 설치된 토출부(31)에 접속됨으로써, 토출부(31)로부터 토출된 정화 기체가, 제3 급기구(83)로부터 용기(80)의 내부로 유입된다. 본 실시형태에서는, 용기(80)의 바닥면(81)에는, 1개의 토출부(31)에 구비되는 토출구(31a)와 같은 수(본 실시형태에서는 2개)의 제3 급기구(83)가 형성되어 있다. 용기(80)가 지지부(32)에 지지된 상태에서, 제3 급기구(83)의 각각이 대응하는 토출구(31a)에 접속되고, 제3 급기구(83)의 각각으로부터 용기(80)의 내부에 정화 기체가 유입된다.
제3 급기구(83)에는, 급기용 개폐 밸브(도시하지 않음)가 구비되고, 배기구(84)에는 배기용 개폐 밸브(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 급기용 개폐 밸브 및 배기용 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압체에 의해 폐쇄 상태로 가압되고 있다. 제3 급기구(83)에 토출부(31)[토출구(31a)]가 접속된 상태로 토출부(31)로부터 정화 기체가 분출되면, 그 압력에 의해 급기용 개폐 밸브가 개방되고, 정화 기체가 제3 급기구(83)로부터 용기(80)의 내부로 공급된다. 또한, 정화 기체가 공급되어 용기(80)의 내부의 압력이 높아지면, 그 압력에 의해 배기용 개폐 밸브가 개방되고, 용기(80)의 내부의 기체(공기나 습기찬 공기, 이미 충전되어 있는 정화 기체 등)가 배기구(84)로부터 배출된다. 그리고, 용기(80)는 기밀성을 가지도록 구성되어 있다. 즉, 토출부(31)와 제3 급기구(83)와의 접속이 해소되고, 용기 반송 장치(90)에 의해 용기(80)가 반송될 때, 용기(80)의 내부의 정화 기체가 쉽게 누출되지 않도록 구성되어 있다.
용기(80)의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량[본 실시형태에서는, 제3 급기구(83)의 각각으로부터 용기(80)의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량의 총계]은, 용기(80)의 유입 저항에 따른 유량으로 된다. 여기서, 용기(80)의 유입 저항은, 제3 급기구(83)로부터 용기(80)의 내부로 정화 기체를 유입시킬 때의 저항(압력 손실)이다. 용기(80)의 유입 저항은, 급기용 개폐 밸브 및 배기용 개폐 밸브의 각각의 가압력이나, 용기(80)의 기밀성의 정도 등에 따라 정해진다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 주 배관(34)에는, 본관(本管)(40)을 통하여 정화 기체의 공급원(41)으로부터 정화 기체가 공급된다. 또한, 본 실시형태에서는, 정화 기체 공급 장치(30)는, 분기 배관(35)이 주 배관(34)으로부터 분기되는 부분에, 중계 배관(36)을 구비하고 있다. 중계 배관(36)에는, 복수의 분기 배관(35)의 각각의 상류측 단부(端部)가 접속되어 있는 동시에, 주 배관(34)의 하류측 단부가 접속되어 있다. 여기서, 동일한 주 배관(34)으로부터 분기된 분기 배관(35)이 접속되는 1군의 토출부(31)를 「토출부군」이라고 하고, 상기 1군의 토출부(31)가 설치되는 1군의 지지부(32)를 「지지부군」이라고 하고, 상기 1군의 지지부(32)가 설치되는 1군의 수납부(92)를 「수납부군」이라고 한다. 본 실시형태에서는, 같은 수납부군에 속하는 복수의 수납부(92)는, 같은 열에 배치되는 복수의 수납부(92)[상하 방향 Z에서 볼 때 중복되는 복수의 수납부(92)]이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 중계 배관(36)은, 같은 수납부군에 속하는 복수의 수납부(92)의 배치 영역의 전역(全域)에 걸쳐 상하 방향 Z로 연장되도록 배치되어 있다.
유량 제어 장치(33)는, 주 배관(34)의 도중에 형성되어 있고, 주 배관(34)에서의 유량 제어 장치(33)보다도 상류측의 부분에 접속되는 유입 포트와, 주 배관(34)에서의 유량 제어 장치(33)보다도 하류측의 부분에 접속되는 토출 포트를 구비하고 있다. 또한, 유량 제어 장치(33)는, 유입 포트와 토출 포트를 접속하는 내부 유로(流路; flowpath)와, 토출 포트 측을 향해 내부 유로를 흐르는 기체의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브와, 내부 유로를 흐르는 기체의 유량을 계측하는 유량 센서와, 유량 조절 밸브의 작동을 제어하는 내부 제어부를 구비하고 있다. 유량 제어 장치(33)(내부 제어부)는, 정화 기체 공급 장치(30)의 작동을 제어하는 제어 장치(도시하지 않음)로부터 출력되는 유량 지령에 따라 유량 조절 밸브의 작동을 제어함으로써, 주 배관(34)의 내부를 흐르는 정화 기체의 유량(단위 시간당의 유량)을, 상기 유량 지령에 맞추어 제어한다. 이와 같이, 본 실시형태에서는, 유량 제어 장치(33)는, 분기 배관(35)이 아니고, 주 배관(34)에 설치되어 있다. 그러므로, 주 배관(34)에서의 유량 제어 장치(33)보다도 하류측의 부분의 정화 기체의 유량이 제로보다도 큰 상태에서는, 용기(80)의 제3 급기구(83)에 접속되어 있는 토출부(31)뿐아니라, 용기(80)의 제3 급기구(83)에 접속되어 있지 않은 토출부(31)로부터도 정화 기체가 토출된다. 즉, 상기 주 배관(34)의 하류측의 토출부군을 구성하는 모든 토출부(31)로부터, 정화 기체가 토출된다.
다음에, 정화 기체 공급 장치(30)의 검사에 사용되는 유량 측정 장치(10)와, 정화 기체 공급 장치(30)의 검사에 사용되는 유량 측정 시스템에 대하여 설명한다. 유량 측정 장치(10)는, 유량 측정 시스템에 구비된다. 유량 측정 장치(10)는, 지지부(32)에 지지된 상태에서 토출부(31)로부터 토출되는 정화 기체의 유량(단위 시간당의 유량)을 측정하는 장치이다. 본 실시형태에서는, 유량 측정 장치(10)나 후술하는 저항 부여 장치(20)는, 지지부(32)에 의해 하측으로부터 지지된다. 이하에 설명하는 바와 같이, 유량 측정 장치(10)를 사용한 측정에 의해, 지지부(32)에 지지된 용기(80)의 내부에 토출부(31)로부터 공급되는 정화 기체의 유량을 추정할 수 있다. 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 유량 측정 장치(10)는, 유량 측정 장치(10)가 지지부(32)에 지지된 상태에서 토출부(31)에 접속되는 제1 급기부(11)와, 제1 급기부(11)에 접속되는 제1 배관(12)과, 제1 배관(12)의 내부를 흐르는 기체의 유량(단위 시간당의 유량)을 계측하는 유량계(15)와, 제1 배관(12)의 내부에서의 기체의 흐름에 저항을 부여하는 제1 저항체(13)와, 제1 본체부(14)를 구비하고 있다. 유량 측정 장치(10)가 지지부(32)에 지지된 상태에서, 토출부(31)로부터 토출된 기체가 제1 배관(12)의 내부를 흐르고, 이 때의 제1 배관(12)의 내부를 하류측을 향해 흐르는 기체의 유량이, 유량계(15)에 의해 계측된다. 본 실시형태에서는, 제1 저항체(13)는, 제1 배관(12)의 연장 방향을 따라 유량계(15)보다도 하류측[제1 급기부(11)와의 접속부와는 반대측]에 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 유량계(15)는, 제1 배관(12)의 연장 방향을 따라 제1 저항체(13)보다도 상류측[제1 급기부(11)와의 접속부 측]에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 급기부(11)가 「급기부」에 상당하고, 제1 배관(12)이 「배관」에 상당하고, 제1 저항체(13)가 「저항체」에 상당하고, 제1 본체부(14)가 「본체부」에 상당한다.
제1 본체부(14)는, 지지부(32)에 지지되는 제1 피지지부(14a)를 가지고, 제1 급기부(11), 제1 배관(12), 유량계(15), 및 제1 저항체(13)를 지지하는 부재이다. 제1 급기부(11), 제1 배관(12), 유량계(15), 및 제1 저항체(13)의 각각은, 직접적으로 또는 간접적으로, 제1 본체부(14)에 지지된다. 본 실시형태에서는, 제1 본체부(14)는, 평판형의 부재이며, 제1 본체부(14)의 바닥면인 제1 바닥면(14b)에, 제1 피지지부(14a)가 형성되어 있다. 제1 피지지부(14a)는, 제1 바닥면(14b)에 있어서, 위쪽을 향해 오목한 형상으로 형성되어 있다. 제1 피지지부(14a)는, 지지부(32)에 형성된 돌출부(93)와 같은 수 형성되고, 본 실시형태에서는, 3개의 제1 피지지부(14a)가 제1 바닥면(14b)에 형성되어 있다. 제1 본체부(14)는, 지지부(32)에 형성된 돌출부(93)와 제1 피지지부(14a)와의 걸어맞춤에 의해 지지부(32)에 대하여 위치결정된 상태에서, 지지부(32)에 지지된다. 오목형으로 형성된 제1 피지지부(14a)의 내면은 경사면으로 되어 있고, 유량 측정 장치(10)를 지지부(32)에 탑재할 때 유량 측정 장치(10)[제1 본체부(14)]의 위치가 지지부(32)에 대한 적정 위치로부터 수평 방향으로 어긋나 있는 경우라도, 돌출부(93)가 제1 피지지부(14a)의 내면에 의해 안내됨으로써, 유량 측정 장치(10)의 지지부(32)에 대한 수평 방향의 위치가 적정 위치로 수정된다. 유량 측정 장치(10)가 지지부(32)에 지지된 상태에서는, 제1 피지지부(14a)와 돌출부(93)와의 접촉부와 제1 급기부(11)와 토출부(31)와의 접촉부에 있어서만, 유량 측정 장치(10)와 지지부(32)가 접촉한다. 즉, 제1 급기부(11), 제1 배관(12), 유량계(15), 및 제1 저항체(13)를 지지하는 제1 본체부(14)는, 돌출부(93) 및 토출부(31)만[주로 돌출부(93)]에 의해 하측으로부터 지지된다. 본 실시형태에서는, 제1 피지지부(14a)가 「피지지부」에 상당한다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 급기부(11)는, 토출부(31)의 토출구(31a)에 접속되는 급기구인 제1 급기구(11a)를 구비하고 있다. 제1 급기구(11a)는, 제1 급기부(11)에 구비되는 그로밋을 상하 방향 Z로 관통하도록 형성되어 있다. 전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 토출부(31)가 복수의 토출구(31a)를 구비하고 있고, 이에 대응하여, 제1 급기부(11)는, 복수의 토출구(31a) 중 대응하는 토출구에 각각 접속되는 복수의 제1 급기구(11a)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 제1 급기부(11)는, 2개의 제1 급기구(11a)를 구비하고 있다. 즉, 제1 급기구(11a)가 형성된 부재(본 실시형태에서는, 상기한 그로밋)를 급기구 형성 부재로 하면, 제1 급기부(11)는, 제1 본체부(14)에서의 서로 다른 위치(본 실시형태에서는 2개의 상이한 위치)에 배치된 급기구 형성 부재의 군에 의해 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 급기구(11a)가 「급기구」에 상당한다.
상기한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 제1 급기부(11)가 복수의 제1 급기구(11a)를 구비하고 있고, 이에 대응하여, 제1 배관(12)은, 복수의 제1 급기구(11a) 중 대응하는 급기구에 각각 접속되는 복수의 제1 배관부(12a)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 제1 배관(12)은, 2개의 제1 배관부(12a)를 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 제1 배관(12)은, 복수의 제1 배관부(12a)[본 실시형태에서는 2개의 제1 배관부(12a), 이하 마찬가지임]의 각각에서의 제1 급기구(11a)와는 반대측의 단부에 접속되고, 상기 복수의 제1 배관부(12a)의 각각을 흐르는 기체가 합류한 기체가 흐르는 제2 배관부(12b)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 유량계(15)가, 복수의 제1 배관부(12a)의 각각에 설치되어 있다. 즉, 유량계(15)의 각각은, 계측 대상의 제1 배관부(12a)의 도중에 형성되어 있고, 상기 제1 배관부(12a)의 내부를 흐르는 기체의 유량을 계측한다. 복수의 제1 배관부(12a)는, 제1 급기구(11a)와의 접속부로부터 제2 배관부(12b)와의 접속부까지의 길이가 서로 같게 형성되어 있다. 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 유량 측정 장치(10)는, 유량계(15)에 의한 계측 결과를 표시하는 표시기(16)와, 유량계(15)나 표시기(16)에 접속된 케이블(전원 케이블이나 통신 케이블 등)이 고정되는 단자대(端子臺)(17)를 구비하고 있다. 이들 표시기(16)나 단자대(17)도, 제1 본체부(14)에 지지되어 있다. 도시는 생략하지만, 유량계(15)나 표시기(16)에 작동 전력을 공급하는 배터리 등의 전원도, 제1 본체부(14)에 지지되어 있다.
제1 저항체(13)는, 부여하는 저항[제1 배관(12)의 내부에서의 기체의 흐름에 부여하는 저항]의 크기가 가변으로 구성된다. 상기한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 제1 배관(12)은 복수의 제1 배관부(12a)를 구비하고 있고, 제1 저항체(13)는, 복수의 제1 배관부(12a)의 각각에서의 기체의 흐름에 저항을 부여하도록 설치된다. 본 실시형태에서는, 제1 저항체(13)는, 제2 배관부(12b)에 설치되어 있다. 이로써, 제1 저항체(13)의 조정에 의해, 복수의 제1 배관부(12a)의 각각의 저항(내부를 흐르는 기체에 대한 저항)을 조정하는 것이 가능하게 되어 있다. 상기한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 복수의 제1 배관부(12a)는 길이가 서로 같게 형성되어 있으므로, 복수의 제1 배관부(12a)의 각각의 저항은, 서로 동일 또는 같은 정도의 크기로 된다. 그리고, 본 실시형태에서는, 제1 저항체(13)는, 하류측으로의 기체의 유량을 조절 가능한 속도 제어 밸브(스피드 컨트롤러)이며, 손잡이 등의 조작 따라서 저항의 크기가 조절할 수 있도록 구성되어 있다. 제1 배관(12)[제2 배관부(12b)]에서의 제1 저항체(13)의 설치 부위에 있어서, 하류측으로의 기체의 유량이 소정값(조절값) 이하로 제한됨으로써, 제1 배관(12)에서의 제1 저항체(13)의 설치 부위보다도 상류측의 부분에서, 내부를 흐르는 기체의 흐름에 저항이 부여된다.
상기와 같은 구성의 유량 측정 장치(10)를 지지부(32)에 지지하게 함으로써, 토출부(31)로부터 토출되는 정화 기체를, 제1 급기부(11)로부터 제1 배관(12)에 유입시킬 수 있다.
본 실시형태에서는, 토출구(31a)의 각각으로부터 토출되는 정화 기체가, 각각의 토출구(31a)가 접속된 제1 급기구(11a)로부터 제1 배관부(12a)에 유입된다. 본 실시형태에서는, 유량 측정 장치(10)가 지지부(32)에 지지된 상태에서의 토출부(31)(토출구 형성 부재)와 제1 급기부(11)[제1 급기구(11a)가 형성된 그로밋]와의 접합 강도가, 용기(80)가 지지부(32)에 지지된 상태에서의 토출부(31)(토출구 형성 부재)와 제3 급기구(83)[제3 급기구(83)가 형성된 그로밋]와의 접합 강도와 같은 정도로 되도록, 유량 측정 장치(10)의 총 중량이, 용기(80)의 중량을 기준으로 설정되어 있다. 본 실시형태에서는, 용기(80)는 레티클을 수용하는 레티클 포드이므로, 유량 측정 장치(10)의 총중량은, 예를 들면, 1개의 레티클을 수용한 상태의 용기(80)의 총중량과 동일하게 설정된다.
유량 측정 장치(10)를 지지부(32)에 지지시킨 상태에서 유량계(15)에 의해 계측되는 유량은, 유량 측정 장치(10)의 유입 저항에 따른 유량으로 된다. 여기서, 유량 측정 장치(10)의 유입 저항은, 제1 급기부(11)로부터 제1 배관(12)에 정화 기체를 유입시킬 때의 저항(압력 손실)이다. 본 실시형태에서는, 유량 측정 장치(10)의 제1 급기부(11)[제1 급기구(11a)]에는, 용기(80)의 제3 급기구(83)에 설치되는 급기용 개폐 밸브에 상당하는 밸브는 설치되어 있지 않다. 따라서, 유량 측정 장치(10)의 유입 저항은, 주로, 제1 저항체(13)가 제1 배관(12)의 내부에서의 기체의 흐름에 부여하는 저항의 크기에 따라 정해진다. 유량계(15)에 의해 계측되는 유량[본 실시형태에서는, 유량계(15)의 각각에 의해계측되는 유량의 총계]은, 유량 측정 장치(10)의 유입 저항과 같은 정도의 크기의 유입 저항을 가지는 용기(80)가 지지부(32)에 지지되어 있는 경우에, 상기 용기(80)의 내부에 토출부(31)로부터 공급되는 정화 기체의 유량에 가까운 값으로 된다. 따라서, 유량계(15)에 의해 계측되는 유량에 기초하여, 유량 측정 장치(10)의 유입 저항과 같은 정도의 크기의 유입 저항을 가지는 용기(80)의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을, 양호한 정밀도로 추정하는 것이 가능해진다.
그런데, 용기(80)의 유입 저항의 크기는, 용기(80)의 종류(형식)나 제조 메이커에 따라 상이한 경우가 있고, 같은 종류의 용기(80)라도, 개체차나 시간 경과에 따른 변화 등에 따라 상이한 경우도 있다. 예를 들면, 전술한 급기용 개폐 밸브나 배기용 개폐 밸브의 가압력에 차이가 생기거나, 용기(80)의 기밀성에 차이가 생기거나 하여, 용기(80)의 유입 저항의 크기가 용기마다 불균일해 지는 경우가 있다. 이 점에 관한 것이며, 유량 측정 장치(10)는, 제1 배관(12)의 내부에서의 기체의 흐름에 부여하는 저항의 크기가 가변인 제1 저항체(13)를 구비하므로, 제1 저항체(13)가 부여하는 저항의 크기를 조정함으로써, 유량 측정 장치(10)의 유입 저항을 조정할 수 있다. 이로써, 용기(80)마다 유입 저항의 불균일이 있는 경우라도, 정화 기체의 유량의 추정 대상으로 하여 선택하는 용기(80)의 유입 저항에 맞추어 유량 측정 장치(10)의 유입 저항의 크기를 조정함으로써, 유량계(15)에 의해 계측되는 유량을, 상기 선택한 용기(80)의 내부에 토출부(31)로부터 공급되는 정화 기체의 유량에 가까운 값으로 하는 것이 가능하게 되어 있다. 즉, 용기(80)마다 유입 저항의 불균일이 있는 경우라도, 1개의 유량 측정 장치(10)를 사용한 측정에 의해, 유입 저항이 서로 다른 복수의 용기(80)의 각각에 대하여, 용기(80)의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을 양호한 정밀도로 추정하는 것이 가능하게 되어 있다. 그리고, 용기(80)를 지지하게 하는 지지부(32)에 의해, 토출부(31)로부터 용기(80)의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량이 크게 상이한 경우 등에는, 용기(80)를 지지하게 하는 지지부(32)를 변경하면서 유량계(15)에 의한 계측을 반복하여 행함으로써, 용기(80)의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량의 변동 범위[지지되는 지지부(32)가 상이한 것에 의한 변동 범위]의 정보를 얻을 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 유량 제어 장치(33)가, 분기 배관(35)이 아니고, 주 배관(34)에 설치되어 있다. 그리고, 도 4에 나타낸 바와 같이, 각각의 분기 배관(35)은, 중계 배관(36)을 통하여 서로 연통되어 있으므로, 토출부(31)로부터 토출되는 정화 기체의 유량은, 같은 토출부군에 속하는 다른 토출부(31)로부터 토출되는 정화 기체의 유량의 영향을 받는다. 분기 배관(35)의 각각에 오리피스(orifice)를 설치함으로써, 이 영향을 최대한 배제하는 것도 생각할 수 있지만, 이 경우라도, 이 영향을 완전히 없애는 것은 곤란하다. 따라서, 지지부(32)에 지지된 용기(80)의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량은, 상기 용기(80)의 유입 저항의 크기뿐아니라, 같은 지지부군에 속하는 다른 지지부(32)에 용기(80)가 지지되어 있는지의 여부나, 같은 지지부군에 속하는 다른 지지부(32)에 지지되어 있는 용기(80)의 유입 저항의 크기에 따라 변화할 수 있다.
이 점을 감안하여, 본 실시형태에 관한 유량 측정 시스템은, 유량 측정 장치(10)에 더하여, 저항 부여 장치(20)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 유량 측정 시스템은, 복수의 저항 부여 장치(20)를 구비하고 있다. 예를 들면, 1개의 토출부군을 구성하는 토출부(31)의 개수보다 1개 적은 개수의 저항 부여 장치(20)가, 유량 측정 시스템에 구비된다. 저항 부여 장치(20)는, 정화 기체 공급 장치(30)의 검사를 행할 때, 복수의 지지부(32) 중, 유량 측정 장치(10)가 지지되는 지지부(32)와는 상이한 지지부(32)[같은 지지부군에 속하는 다른 지지부(32)]에 지지된다. 도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 저항 부여 장치(20)는, 저항 부여 장치(20)가 지지부(32)에 지지된 상태에서 토출부(31)에 접속되는 제2 급기부(21)와 제2 급기부(21)에 접속되는 제2 배관(22)과, 제2 배관(22)의 내부에서의 기체의 흐름에 저항을 부여하는 제2 저항체(23)와, 제2 본체부(24)를 구비하고 있다. 저항 부여 장치(20)가 지지부(32)에 지지된 상태에서, 토출부(31)로부터 토출된 기체가 제2 배관(22)의 내부를 흐른다. 제2 본체부(24)는, 지지부(32)에 지지되는 제2 피지지부(24a)를 가지고, 제2 급기부(21), 제2 배관(22), 및 제2 저항체(23)를 지지하는 부재이다. 그리고, 제2 저항체(23)는, 부여하는 저항[제2 배관(22)의 내부에서의 기체의 흐름에 부여하는 저항]의 크기가 가변으로 구성된다.
본 실시형태에서는, 저항 부여 장치(20)는, 유량계(15), 표시기(16), 및 단자대(17)를 구비하지 않는 점 이외에는, 유량 측정 장치(10)와 동일하게 구성되어 있다. 그러므로, 저항 부여 장치(20)에 대한 상세한 설명은 생략하지만, 제2 본체부(24)는, 제1 본체부(14)와 동일하게 구성되며, 제2 본체부(24)의 바닥면인 제2 바닥면(24b)에, 제1 피지지부(14a)에 대응하는 제2 피지지부(24a)가 복수 형성되어 있다. 그리고, 제2 본체부(24)는, 지지부(32)에 형성된 돌출부(93)와 제2 피지지부(24a)와의 걸어맞춤에 의해 지지부(32)에 대하여 위치결정된 상태에서, 지지부(32)에 지지된다. 제2 급기부(21)는, 제1 급기부(11)와 동일하게 구성되며, 제1 급기구(11a)에 대응하는 제2 급기구(21a)를 복수 구비하고 있다. 제2 배관(22)은, 제1 배관부(12a)에 대응하는 제3 배관부(22a)의 길이 및 형상이 제1 배관부(12a)와는 상이한 점을 제외하고, 제1 배관(12)과 동일하게 구성되어 있다. 즉, 제2 배관(22)은, 제1 배관부(12a)에 대응하는 제3 배관부(22a)를 복수 구비하는 동시에, 제2 배관부(12b)에 대응하는 제4 배관부(22b)를 구비하고 있다. 복수의 제3 배관부(22a)는, 제2 급기구(21a)와의 접속부로부터 제4 배관부(22b)와의 접속부까지의 길이가 서로 같게 형성되어 있다. 제2 저항체(23)는, 제1 저항체(13)와 동일하게 구성되며, 본 실시형태에서는, 하류측으로의 기체의 유량을 조절 가능한 속도 제어 밸브이다. 제2 저항체(23)는, 제2 배관부(12b)에 대응하는 제4 배관부(22b)에 설치되어 있다.
본 실시형태에서는, 저항 부여 장치(20)가 지지부(32)에 지지된 상태에서의 토출부(31)(토출구 형성 부재)와 제2 급기부(21)[제2 급기구(21a)가 형성된 그로밋]와의 접합 강도가, 용기(80)가 지지부(32)에 지지된 상태에서의 토출부(31)(토출구 형성 부재)와 제3 급기구(83)[제3 급기구(83)가 형성된 그로밋]와의 접합 강도와 같은 정도로 되도록, 저항 부여 장치(20)의 총 중량이, 용기(80)의 중량을 기준으로 설정되어 있다. 본 실시형태에서는, 용기(80)는 레티클을 수용하는 레티클 포드이므로, 저항 부여 장치(20)의 총중량은, 예를 들면, 1개의 레티클을 수용한 상태의 용기(80)의 총중량과 동일하게 설정된다.
상기와 같은 구성의 저항 부여 장치(20)를 지지부(32)에 지지하게 함으로써, 토출부(31)로부터 토출되는 정화 기체를, 제2 급기부(21)로부터 제2 배관(22)에 유입시킬 수 있다. 본 실시형태에서는, 토출구(31a)의 각각으로부터 토출되는 정화 기체가, 각각의 토출구(31a)가 접속된 제2 급기구(21a)로부터 제3 배관부(22a)에 유입된다. 저항 부여 장치(20)를 지지부(32)에 지지시킨 상태에서 토출부(31)로부터 제2 배관(22)에 유입되는 정화 기체의 유량은, 저항 부여 장치(20)의 유입 저항에 따른 유량으로 된다. 여기서, 저항 부여 장치(20)의 유입 저항은, 제2 급기부(21)로부터 제2 배관(22)의 내부로 정화 기체를 유입시킬 때의 저항(압력 손실)이다. 본 실시형태에서는, 저항 부여 장치(20)의 제2 급기부(21)[제2 급기구(21a)]에는, 용기(80)의 제3 급기구(83)에 설치되는 급기용 개폐 밸브에 상당하는 밸브는 설치되어 있지 않다. 따라서, 저항 부여 장치(20)의 유입 저항은, 주로, 제2 저항체(23)가 제2 배관(22)의 내부에서의 기체의 흐름에 부여하는 저항의 크기에 따라 정해진다.
이상과 같이, 본 실시형태에서는, 유량 측정 시스템에, 유량 측정 장치(10)에 더하여 저항 부여 장치(20)가 구비되고, 이 저항 부여 장치(20)는, 유량 측정 장치(10)와 마찬가지로, 유입 저항의 크기를 변경할 수 있도록 구성되어 있다. 그러므로, 예를 들면, 정화 기체의 공급 유량의 추정 대상의 용기(80)[이하, 「제1 용기」라고 함]가 지지되어 있는 지지부(32)[이하, 「제1 지지부」라고 함]와는 다른 지지부(32)[같은 지지부군에 속하는 다른 지지부(32), 이하, 「제2 지지부」라고 함]에, 정화 기체의 공급 유량의 추정 대상이 아닌 용기(80)[이하, 「제2 용기」라고 함]가 지지되어 있지 않은 상황을 상정(想定)한 검사에서는, 저항 부여 장치(20)를 사용하지 않고, 제1 용기의 유입 저항에 맞추어 유입 저항의 크기를 조정한 유량 측정 장치(10)를 제1 지지부에 지지하게 함으로써, 유량 측정 장치(10)의 유량계(15)에 의해 계측되는 유량을, 상정하고 있는 상황에 있어서 제1 용기의 내부에 실제로 공급되는 유량에 가까운 값으로 할 수 있다. 또한, 제2 지지부에 제2 용기가 지지되어 있는 상황을 상정한 검사에서는, 제1 용기의 유입 저항에 맞추어 유입 저항의 크기를 조정한 유량 측정 장치(10)를 제1 지지부에 지지하게 하는 동시에, 제2 용기의 유입 저항에 맞추어 유입 저항의 크기를 조정한 저항 부여 장치(20)를 제2 지지부에 지지하게 함으로써, 유량 측정 장치(10)의 유량계(15)에 의해 계측되는 유량을, 상정하고 있는 상황에 있어서 제1 용기의 내부에 실제로 공급되는 유량에 가까운 값으로 할 수 있다. 그리고, 복수의 제2 지지부의 각각에 제2 용기가 지지되어 있는 상황을 상정하는 경우에는, 제2 지지부의 각각에, 상기 제2 지지부에 지지되는 제2 용기의 유입 저항에 맞추어 유입 저항의 크기를 조정한 저항 부여 장치(20)를 지지하게 한다.
이상과 같이, 지지부(32)에 지지된 용기(80)의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량이, 같은 지지부군에 속하는 다른 지지부(32)에 용기(80)가 지지되어 있는지의 여부나, 같은 지지부군에 속하는 다른 지지부(32)에 지지되어 있는 용기(80)의 유입 저항의 크기에 따라 변화되는 경우라도, 저항 부여 장치(20)를 필요에 따라 사용함으로써, 유량 측정 장치(10)의 유량계(15)에 의해 계측되는 유량을, 상정하고 있는 상황에 있어서 용기(80)의 내부에 실제로 공급되는 정화 기체의 유량에 가까운 값으로 할 수 있다. 이 결과, 유량계(15)에 의해 계측되는 유량에 기초하여, 상정하고 있는 상황에 있어서 용기(80)의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을 양호한 정밀도로 추정하는 것이 가능해진다. 그리고, 유량 측정 시스템이 복수의 유량 측정 장치(10)를 구비하는 구성으로 해도 된다. 이 경우, 복수의 유량 측정 장치(10)를 동일한 지지부군에 속하는 서로 다른 지지부(32)에 지지하게 함으로써, 토출부(31)로부터 토출되는 정화 기체의 유량의 측정을, 서로 다른 지지부(32)에 있어서 동시에 또는 같은 시기에 행하는 것이 가능해진다. 또한, 유량 측정 시스템이 복수의 유량 측정 장치(10)를 구비하는 경우, 일부의 유량 측정 장치(10)를, 저항 부여 장치(20) 대신에 사용할 수도 있다. 이 경우, 상기 일부의 유량 측정 장치(10)에서는, 유량계(15)에 의한 계측은 행하지 않고, 저항 부여 장치(20)로서의 기능만이 발휘된다.
[그 외의 실시형태]
유량 측정 장치 및 유량 측정 시스템의, 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다. 그리고, 이하의 각각의 실시형태에서 개시되는 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시되는 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다.
(1) 상기한 실시형태에서는, 유량 측정 장치(10)의 제1 저항체(13)가 제2 배관부(12b)에 설치되는 구성을 예로 들어 설명하였으나, 제1 저항체(13)가 제1 배관부(12a)의 각각에 설치되는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 제1 저항체(13)는, 유량계(15)보다도 상류측에 설치해도 하류측에 설치해도 된다. 또한, 이 경우, 제1 배관(12)이 제2 배관부(12b)를 구비하지 않는 구성으로 할 수도 있다. 또한, 상기한 실시형태에서는, 저항 부여 장치(20)의 제2 저항체(23)가 제4 배관부(22b)에 설치되는 구성을 예로 들어 설명하였으나, 제2 저항체(23)가, 제3 배관부(22a)의 각각에 설치되는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 제2 배관(22)이 제4 배관부(22b)를 구비하지 않는 구성으로 할 수도 있다.
(2) 상기한 실시형태에서는, 유량계(15)가 복수의 제1 배관부(12a)의 각각에 설치하는 구성을 예로 들어 설명하였으나, 유량계(15)가 제2 배관부(12b)에 설치되는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 유량계(15)를, 제1 저항체(13)보다도 상류측에 설치해도 하류측에 설치해도 된다.
(3) 상기한 실시형태에서는, 제1 급기부(11)가 2개의 제1 급기구(11a)를 구비하고, 제1 배관(12)이, 대응하는 제1 급기구(11a)에 각각 접속되는 2개의 제1 배관부(12a)를 구비하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 제1 급기부(11)가 3개 이상의 제1 급기구(11a)를 구비하고, 제1 배관(12)이, 대응하는 제1 급기구(11a)에 각각 접속되는 3개 이상의 제1 배관부(12a)를 구비하는 구성으로 할 수도 있다. 또한, 제1 급기부(11)가 1개의 제1 급기구(11a)를 구비하고, 제1 배관(12)이, 상기 제1 급기구(11a)에 접속되는 단일의 관체(管體)를 구비하는 구성으로 할 수도 있다. 또한, 상기한 실시형태에서는, 제2 급기부(21)가 2개의 제2 급기구(21a)를 구비하고, 제2 배관(22)이, 대응하는 제2 급기구(21a)에 각각 접속되는 2개의 제3 배관부(22a)를 구비하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 제2 급기부(21)가 3개 이상의 제2 급기구(21a)를 구비하고, 제2 배관(22)이, 대응하는 제2 급기구(21a)에 각각 접속되는 3개 이상의 제3 배관부(22a)를 구비하는 구성으로 할 수도 있다. 또한, 제2 급기부(21)가 1개의 제2 급기구(21a)를 구비하고, 제2 배관(22)이, 상기 제2 급기구(21a)에 접속되는 단일의 관체를 구비하는 구성으로 할 수도 있다.
(4) 상기한 실시형태에서는, 제1 저항체(13)가, 하류측으로의 기체의 유량을 조절 가능한 속도 제어 밸브인 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 제1 저항체(13)를 제1 배관(12)에 대하여 분리해 낼 수 있도록 구성하고, 제1 저항체(13)를 교체함으로써, 제1 저항체(13)가 부여하는 저항의 크기가 변경되는 구성으로 할 수도 있다. 또한, 상기한 실시형태에서는, 제2 저항체(23)가, 하류측으로의 기체의 유량을 조절 가능한 속도 제어 밸브인 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 제2 저항체(23)를 제2 배관(22)에 대하여 분리해 낼 수 있도록 구성하고, 제2 저항체(23)를 교체함으로써, 제2 저항체(23)가 부여하는 저항의 크기가 변경되는 구성으로 할 수도 있다.
(5) 상기한 실시형태에서는, 유량 측정 장치(10)의 제1 급기부(11)[제1 급기구(11a)]나 저항 부여 장치(20)의 제2 급기부(21)[제2 급기구(21a)]에, 용기(80)의 제3 급기구(83)에 설치되는 급기용 개폐 밸브에 상당하는 밸브가 설치되지 않는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 제1 급기부(11)나 제2 급기부(21)에, 용기(80)의 제3 급기구(83)에 설치되는 급기용 개폐 밸브에 상당하는 밸브가 설치되는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 유량 측정 장치(10)의 유입 저항은, 주로, 제1 저항체(13)가 제1 배관(12)의 내부에서의 기체의 흐름에 부여하는 저항의 크기와 제1 급기부(11)에 설치되는 밸브에 의한 압력 손실의 크기에 따라 정해지고, 저항 부여 장치(20)의 유입 저항은, 주로, 제2 저항체(23)가 제2 배관(22)의 내부에서의 기체의 흐름에 부여하는 저항의 크기와 제2 급기부(21)에 설치되는 밸브에 의한 압력 손실의 크기에 따라 정해진다.
(6) 상기한 실시형태에서는, 용기(80)가, 레티클을 수용하는 레티클 포드인 경우를 예로 들어 설명하였으나, 용기(80)가, 복수 개의 반도체 웨이퍼를 수용하는FOUP(Front Opening Unified Pod)라도 된다. 또한, 용기(80)의 수용물이, 공업제품, 식품, 의약품 등의, 레티클이나 반도체 웨이퍼 이외의 물품이라도 된다.
(7) 상기한 실시형태에서는, 유량 측정 장치 및 유량 측정 시스템이, 용기 수납 설비(100)에 구비되는 정화 기체 공급 장치(30)의 검사에 사용되는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 유량 측정 장치 및 유량 측정 시스템이, 용기 수납 설비 이외의 설비에 구비되는 정화 기체 공급 장치의 검사에 사용되어도 된다.
(8) 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 당업자는, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다.
[상기 실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 유량 측정 장치 및 유량 측정 시스템의 개요에 대하여 설명한다.
유량 측정 장치는, 용기를 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 설치되어, 상기 지지부에 지지된 상기 용기의 내부로 정화 기체를 토출하는 토출부를 구비한 정화 기체 공급 장치의 검사에 사용되고, 상기 지지부에 지지된 상태에서 상기 토출부로부터 토출되는 정화 기체의 유량을 측정하는 장치이며,
상기 유량 측정 장치는, 상기 토출부에 접속되는 급기부와, 상기 급기부에 접속되어, 상기 토출부로부터 토출되는 기체가 흐르는 배관과, 상기 배관의 내부를 흐르는 기체의 유량을 계측하는 유량계와, 상기 배관의 내부에서의 기체의 흐름에 저항을 부여하는 저항체와, 상기 지지부에 지지되는 피지지부를 가지고, 상기 급기부, 상기 배관, 상기 유량계, 및 상기 저항체를 지지하는 본체부를 구비하고, 상기 저항체가 부여하는 저항의 크기가 가변이다.
상기와 같은 구성의 유량 측정 장치를 사용하고, 토출부와 급기부가 접속되도록 유량 측정 장치를 지지부에 지지하게 함으로써, 토출부로부터 토출되는 정화 기체를, 급기부로부터 배관의 내부로 유입시킬 수 있다. 이 상태에서 유량계에 의해 계측되는 유량은, 급기부로부터 배관의 내부로 정화 기체를 유입시킬 때의 저항인, 유량 측정 장치의 유입 저항에 따른 유량으로 된다. 즉, 유량계에 의해 계측되는 유량은, 유량 측정 장치의 유입 저항과 같은 정도의 크기의 유입 저항을 가지는 용기가 지지부에 지지되어 있는 경우에, 상기 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량에 가까운 값으로 된다. 이 결과, 유량계에 의해 계측되는 유량에 기초하여, 유량 측정 장치의 유입 저항과 같은 정도의 크기의 유입 저항을 가지는 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을, 양호한 정밀도로 추정하는 것이 가능해진다.
그리고, 상기한 구성에 의하면, 저항체가 부여하는 저항의 크기가 가변이므로, 저항체가 부여하는 저항의 크기를 변경함으로써, 유량 측정 장치의 유입 저항의 크기를 변경할 수 있다. 그러므로, 상기한 바와 같이 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을 양호한 정밀도로 추정하는 것을, 어느 특정한 크기의 유입 저항을 가지는 용기뿐아니라, 유량 측정 장치의 유입 저항의 변경 범위 내에 포함되는 크기의 유입 저항을 가지는 복수의 용기에 대하여 행할 수 있다. 즉, 용기마다 유입 저항의 불균일이 있는 경우라도, 1개의 유량 측정 장치를 사용한 측정에 의해, 유입 저항이 서로 다른 복수의 용기의 각각에 대하여, 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을 양호한 정밀도로 추정하는 것이 가능해진다.
이상과 같이, 상기한 구성에 의하면, 용기마다 유입 저항의 불균일이 있는 경우라도, 유입 저항이 서로 다른 복수의 용기의 각각에 대하여, 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을 양호한 정밀도로 추정할 수 있는 유량 측정 장치를 실현할 수 있다.
여기서, 상기 토출부는, 복수의 토출구를 구비하고, 상기 급기부는, 상기 복수의 토출구 중 대응하는 상기 토출구에 각각 접속되는 복수의 급기구를 구비하고, 상기 배관은, 상기 복수의 급기구 중 대응하는 상기 급기구에 각각 접속되는 복수의 제1 배관부를 구비하고, 상기 저항체는, 상기 복수의 제1 배관부의 각각에서의 기체의 흐름에 저항을 부여하도록 설치되고, 상기 유량계가, 상기 복수의 제1 배관부의 각각에 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 유량 측정 장치를 사용한 검사에 의해, 토출구마다 정화 기체의 토출량의 데이터를 얻을 수 있으므로, 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량의 추정에 더하여, 복수의 토출구의 사이에서의 정화 기체의 토출량의 편향의 유무나 그 정도를 파악하는 것도 가능해진다. 따라서, 유량 측정 장치를 사용하여 정화 기체 공급 장치의 검사를 행함으로써, 정화 기체 공급 장치의 상태에 대하여, 보다 많은 정보를 얻는 것이 가능해진다.
또한, 상기 토출부는, 복수의 토출구를 구비하고, 상기 급기부는, 상기 복수의 토출구 중 대응하는 상기 토출구에 각각 접속되는 복수의 급기구를 구비하고, 상기 배관은, 상기 복수의 급기구 중 대응하는 상기 급기구에 각각 접속되는 복수의 제1 배관부와, 상기 복수의 제1 배관부의 각각에서의 상기 급기구와는 반대측의 단부에 접속되고, 상기 복수의 제1 배관부의 각각을 흐르는 기체가 합류한 기체가 흐르는 제2 배관부를 구비하고, 상기 저항체가, 상기 제2 배관부에 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 제2 배관부에 설치되는 저항체의 조정에 의해, 복수의 제1 배관부의 각각의 저항(내부를 흐르는 기체에 대한 저항)을 조정할 수 있다. 따라서, 제1 배관부의 각각에 저항체가 설치되는 경우와 비교하여, 유량 측정 장치의 유입 저항의 조정 작업의 간략화를 도모할 수 있다. 또한, 제1 배관부의 각각에 저항체가 설치되는 경우와 비교하여, 복수의 제1 배관부의 사이에서의, 내부를 흐르는 기체에 대한 저항의 크기의 불균일이 작아지도록 억제하기 쉽다는 장점도 있다.
유량 측정 시스템은, 용기를 지지하는 복수의 지지부와, 상기 복수의 지지부의 각각에 설치되어, 상기 지지부에 지지된 상기 용기의 내부로 정화 기체를 토출하는 토출부와, 정화 기체의 공급원으로부터 정화 기체가 공급되는 주 배관과, 상기 주 배관의 내부를 흐르는 정화 기체의 유량을 제어하는 유량 제어 장치와, 상기 유량 제어 장치보다 하류측에서 상기 주 배관으로부터 분기하여, 대응하는 상기 토출부에 각각 접속되는 복수의 분기 배관을 구비한 정화 기체 공급 장치의 검사에 사용되는 시스템이며,
상기 유량 측정 시스템은, 상기 유량 측정 장치와, 상기 복수의 지지부 중, 상기 유량 측정 장치가 지지되는 상기 지지부와는 상이한 상기 지지부에 지지되는 저항 부여 장치를 구비하고, 상기 급기부를 제1 급기부로 하고, 상기 배관을 제1 배관으로 하고, 상기 저항체를 제1 저항체로 하고, 상기 본체부를 제1 본체부로 하고, 상기 피지지부를 제1 피지지부로서, 상기 저항 부여 장치는, 상기 토출부에 접속되는 제2 급기부와, 상기 제2 급기부에 접속되어, 상기 토출부로부터 토출되는 기체가 흐르는 제2 배관과, 상기 제2 배관의 내부에서의 기체의 흐름에 저항을 부여하는 제2 저항체와, 상기 지지부에 지지되는 제2 피지지부를 가지고, 상기 제2 급기부, 상기 제2 배관, 및 상기 제2 저항체를 지지하는 제2 본체부를 구비하고, 상기 제2 저항체가 부여하는 저항의 크기가 가변이다.
상기와 같은 구성의 정화 기체 공급 장치에서는, 복수의 분기 배관의 각각에 유량 제어 장치가 설치되는 경우와 비교하여, 토출부로부터 토출되는 정화 기체의 유량이, 다른 토출부로부터 토출되는 정화 기체의 유량의 영향을 받기 쉽게 된다. 이 결과, 지지부에 지지된 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량은, 상기 용기의 유입 저항의 크기뿐아니라, 다른 지지부에 용기가 지지되어 있는지의 여부나, 다른 지지부에 지지되어 있는 용기의 유입 저항의 크기에 따라 변화할 수 있다.
상기한 구성에 의하면, 유량 측정 시스템에, 유량 측정 장치에 더하여 저항 부여 장치가 구비된다. 그리고, 이 저항 부여 장치는, 유량 측정 장치와 마찬가지로, 유입 저항(제2 급기부로부터 제2 배관의 내부로 정화 기체를 유입시킬 때의 저항)의 크기를 변경할 수 있도록 구성된다. 그러므로, 정화 기체의 공급 유량의 추정 대상의 용기(이하, 「제1 용기」라고 함)가 지지되어 있는 지지부(이하, 「제1 지지부」라고 함)와는 다른 지지부(이하, 「제2 지지부」라고 함)에, 정화 기체의 공급 유량의 추정 대상이 아닌 용기(이하, 「제2 용기」라고 함)가 지지되어 있지 않은 상황을 상정한 검사에서는, 저항 부여 장치를 이용하지 않고, 제1 용기의 유입 저항에 맞추어 유입 저항의 크기를 조정한 유량 측정 장치를 제1 지지부에 지지하게 함으로써, 유량 측정 장치의 유량계에 의해 계측되는 유량을, 상정하고 있는 상황에 있어서 제1 용기의 내부에 실제로 공급되는 유량에 가까운 값으로 할 수 있다. 또한, 제2 지지부에 제2 용기가 지지되어 있는 상황을 상정한 검사에서는, 제1 용기의 유입 저항에 맞추어 유입 저항의 크기를 조정한 유량 측정 장치를 제1 지지부에 지지하게 하는 동시에, 제2 용기의 유입 저항에 맞추어 유입 저항의 크기를 조정한 저항 부여 장치를 제2 지지부에 지지하게 함으로써, 유량 측정 장치의 유량계에 의해 계측되는 유량을, 상정하고 있는 상황에 있어서 제1 용기의 내부에 실제로 공급되는 유량에 가까운 값으로 할 수 있다. 따라서, 지지부에 지지된 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량이, 다른 지지부에 용기가 지지되어 있는지의 여부나, 다른 지지부에 지지되어 있는 용기의 유입 저항의 크기에 따라 변화되는 경우라도, 저항 부여 장치를 필요에 따라 사용함으로써, 유량 측정 장치의 유량계에 의해 계측되는 유량을, 상정하고 있는 상황에 있어서 용기의 내부에 실제로 공급되는 정화 기체의 유량에 가까운 값으로 할 수 있다. 이 결과, 유량계에 의해 계측되는 유량에 기초하여, 상정하고 있는 상황에 있어서 용기의 내부로 공급되는 정화 기체의 유량을 양호한 정밀도로 추정하는 것이 가능해진다.
10: 유량 측정 장치
11: 제1 급기부(급기부)
11a: 제1 급기구(급기구)
12: 제1 배관(배관)
12a: 제1 배관부
12b: 제2 배관부
13: 제1 저항체(저항체)
14: 제1 본체부(본체부)
14a: 제1 피지지부(피지지부)
15: 유량계
20: 저항 부여 장치
21: 제2 급기부
22: 제2 배관
23: 제2 저항체
24: 제2 본체부
24a: 제2 피지지부
30: 정화 기체 공급 장치
31: 토출부
31a: 토출구
32: 지지부
33: 유량 제어 장치
34: 주 배관
35: 분기 배관
41: 공급원
80: 용기

Claims (4)

  1. 용기를 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 설치되어, 상기 지지부에 지지된 상기 용기의 내부에 정화(淨化) 기체를 토출(吐出)하는 토출부(吐出部)를 구비한 정화 기체 공급 장치의 검사에 사용되고, 상기 지지부에 지지된 상태에서 상기 토출부로부터 토출되는 정화 기체의 유량(流量)을 측정하는 유량 측정 장치로서,
    상기 토출부에 접속되는 급기부(給氣部);
    상기 급기부에 접속되어, 상기 토출부로부터 토출되는 기체가 흐르는 배관;
    상기 배관의 내부를 흐르는 기체의 유량을 계측하는 유량계;
    상기 배관의 내부에서의 기체의 흐름에 저항을 부여하는 저항체; 및
    상기 지지부에 지지되는 피(被)지지부를 구비하고, 상기 급기부, 상기 배관, 상기 유량계, 및 상기 저항체를 지지하는 본체부;
    를 포함하고,
    상기 저항체가 부여하는 저항의 크기가 가변(可變)인,
    유량 측정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 토출부는, 복수의 토출구(吐出口)를 구비하고,
    상기 급기부는, 상기 복수의 토출구 중 대응하는 상기 토출구에 각각 접속되는 복수의 급기구(給氣口)를 구비하고,
    상기 배관은, 상기 복수의 급기구 중 대응하는 상기 급기구에 각각 접속되는 복수의 제1 배관부를 구비하고,
    상기 저항체는, 상기 복수의 제1 배관부의 각각에서의 기체의 흐름에 저항을 부여하도록 설치되고,
    상기 유량계가, 상기 복수의 제1 배관부의 각각에 설치되어 있는, 유량 측정 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 토출부는, 복수의 토출구를 구비하고,
    상기 급기부는, 상기 복수의 토출구 중 대응하는 상기 토출구에 각각 접속되는 복수의 급기구를 구비하고,
    상기 배관은, 상기 복수의 급기구 중 대응하는 상기 급기구에 각각 접속되는 복수의 제1 배관부와, 상기 복수의 제1 배관부의 각각에서의 상기 급기구와는 반대측의 단부(端部)에 접속되고, 상기 복수의 제1 배관부의 각각을 흐르는 기체가 합류한 기체가 흐르는 제2 배관부를 구비하고,
    상기 저항체가, 상기 제2 배관부에 설치되어 있는, 유량 측정 장치.
  4. 용기를 지지하는 복수의 지지부와, 상기 복수의 지지부의 각각에 설치되어, 상기 지지부에 지지된 상기 용기의 내부에 정화 기체를 토출하는 토출부와, 정화 기체의 공급원으로부터 정화 기체가 공급되는 주 배관과, 상기 주 배관의 내부를 흐르는 정화 기체의 유량을 제어하는 유량 제어 장치와, 상기 유량 제어 장치보다 하류측에서 상기 주 배관으로부터 분기(branch)하여, 대응하는 상기 토출부에 각각 접속되는 복수의 분기 배관을 구비한 정화 기체 공급 장치의 검사에 사용되는 유량 측정 시스템으로서,
    제1항 또는 제2항에 기재된 유량 측정 장치; 및
    상기 복수의 지지부 중, 상기 유량 측정 장치가 지지되는 상기 지지부와는 상이한 상기 지지부에 지지되는 저항 부여 장치;
    를 포함하고,
    상기 급기부를 제1 급기부로 하고, 상기 배관을 제1 배관으로 하고, 상기 저항체를 제1 저항체로 하고, 상기 본체부를 제1 본체부로 하고, 상기 피지지부를 제1 피지지부로 하고,
    상기 저항 부여 장치는,
    상기 토출부에 접속되는 제2 급기부;
    상기 제2 급기부에 접속되어, 상기 토출부로부터 토출되는 기체가 흐르는 제2 배관;
    상기 제2 배관의 내부에서의 기체의 흐름에 저항을 부여하는 제2 저항체; 및
    상기 지지부에 지지되는 제2 피지지부를 구비하고, 상기 제2 급기부, 상기 제2 배관, 및 상기 제2 저항체를 지지하는 제2 본체부;를 구비하고,
    상기 제2 저항체가 부여하는 저항의 크기가 가변인, 유량 측정 시스템.
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