JP2018035339A - 粘着テープ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の粘着テープは、基材と、該基材の少なくとも一方の面に配置され、アクリル系粘着剤から構成される粘着剤層とを備える粘着テープであって、該該アクリル系粘着剤を構成するベースポリマーが、遊離水素を含まない水素結合性官能基を有する構成単位を含み、該粘着剤層が、可塑剤を含み、該粘着テープの23℃×30分後におけるSUS板に対する粘着力が、2.1N/20mm以下である。
【選択図】図1
Description
1つの実施形態においては、上記遊離水素を含まない水素結合性官能基を有する構成単位の含有割合が、ベースポリマー100重量部に対して、9重量部〜23重量部である。
1つの実施形態においては、上記ベースポリマーが、カルボキシル基含有モノマー由来の構成単位をさらに含み、カルボキシル基含有モノマー由来の構成単位の含有割合が、ベースポリマー100重量部に対して、0.2重量部以下である。
1つの実施形態においては、上記ベースポリマーが、カルボキシル基含有モノマー由来の構成単位を含まない。
1つの実施形態においては、上記遊離水素を含まない水素結合性官能基を有する構成単位が、N−ビニル−2−ピロリドン、N,N−ジエチルアクリルアミド、アクリロイルモルホリンおよび2−(2−メチルイミダゾリル)エチル(メタ)アクリレートからなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマー由来の構成単位である。
図1は、本発明の1つの実施形態による粘着テープの概略断面図である。粘着テープ100は、基材10と、基材10の少なくとも一方の面(図示例では片側)に配置された粘着剤層20とを備える。粘着剤層20は、アクリル系粘着剤から構成される。また、粘着剤層20は可塑剤を含む。なお、粘着剤層中の可塑剤とは、粘着剤層の形成材料(具体的には粘着剤)に含まれる可塑剤、および、基材の形成材料に含まれ基材から粘着剤層へ移行した可塑剤を意味する。図示していないが、本発明の粘着シートは、使用に供するまでの間、粘着面を保護する目的で、粘着剤層の外側に剥離ライナーが設けられていてもよい。
K(20℃)=A×exp(−21000/293R)
K(50℃)=A×exp(−21000/323R)
となる。この式を用いて、両温度の反応速度係数比は、
K(50℃)/K(20℃)=28.5
となる。ここで、平均温度20℃の環境下で被着体が粘着テープに貼付された状態で保管されると仮定する。促進試験の温度を50℃に設定し、アレニウス則に従った20℃での保存期間を推定算出すると、50℃×2日≒20℃×57日となる。
B−1.アクリル系粘着剤
上記のとおり、粘着剤層は、アクリル系粘着剤から構成される。
上記アクリル系粘着剤は、ベースポリマーとして(メタ)アクリル系ポリマーを含む。1つの実施形態においては、上記(メタ)アクリル系ポリマーは、主モノマーとして(メタ)アクリル酸エステルを含み、かつ、遊離水素を含まない水素結合性官能基を有するモノマー(以下、モノマーaともいう)を含むモノマー成分から生成され得る。
モノマーaは、水素結合性官能基を有する。ここで水素結合とは、窒素、酸素、硫黄などの電気陰性度が大きな原子に共有結合で結びついた水素原子(水素結合供与体)と、前記水素原子の近傍に存在する窒素、酸素、硫黄などの電気陰性度が大きな原子(水素結合受容体)の孤立電子対とが電気的相互作用することで形成される非共有結合性の化学結合を意味する。
上記(メタ)アクリル酸エステルとしては、水素結合性を有さないモノマーを用いることが好ましい。上記(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、炭素数が1〜30のアルキル基(シクロアルキル基も含む)の(メタ)アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。(メタ)アクリル酸エステルは、1種のみを単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(メタ)アクリル系ポリマーは、本発明の効果が得られる限り、(メタ)アクリル酸エステル(主モノマー)およびモノマーa以外のその他のモノマー由来の構成単位を含み得る。
上記アクリル系粘着剤は、任意の適切な添加剤を含んでいてもよい。
粘着剤層の厚みは、好ましくは1μm〜30μmであり、より好ましくは1μm〜20μmであり、さらに好ましくは3μm〜15μmである。粘着剤層の厚みが1μm未満の場合、十分な粘着力を発現できないおそれがある。粘着剤層の厚みが30μmより大きい場合、小片化された被着体(例えば、LEDチップ)粘着剤層に埋まり込み、ピックアップ時のニードル突き上げ位置の精度が低下するおそれがある。
(測定装置及び測定条件)
装置:Hysitron Inc.製 Tribo Indenter
使用圧子:Berkovich(三角錐型)
測定方法:単一押し込み測定
測定温度:25℃
押し込み深さ設定:約300nm
押込み速度:約10nm/sec
測定雰囲気:空気中
試料サイズ:約1cm×約1cm
(測定方法)
上記の装置を使用し、バーコビッチ型ダイヤモンド製圧子を粘着剤層の表面から深さ300nmまで垂直に押し込んだ。解析ソフト「Triboscan Ver.9.2.12.0」を用いて、圧子を除去した後に得られた変位、荷重と理論的に算出された圧痕面積から、表面の弾性率を求める。
基材の厚みは、好ましくは20μm〜120μmであり、より好ましくは30μm〜120μmであり、さらに好ましくは40μm〜120μmである。基材の厚みが薄すぎる場合、取扱性が悪くなるおそれがある。基材の厚みが厚すぎる場合、延伸等の変形に対する追随性が悪くなり、ニードル突き上げによるピックアップ性が低下するおそれがある。
1つの実施形態においては、本発明の粘着テープは、基材の片方の面に粘着剤層を備え、該基材の該粘着剤層と反対の面に非粘着層を備える。なお、非粘着層とは、23℃においてSUS板に圧着しても密着状態を維持できず、容易に位置ずれ、もしくは、自然剥離が発生する層のことをいう。
重合度P=1050のポリ塩化ビニル100重量部に対してDOTP可塑剤(テレフタル酸ビス(2−エチルヘキシル)、ADEKA社製、商品名「アデカサイザーD−810」)30重量部を含んだ軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)をカレンダー法によって製造した。この軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の厚みは70μmであり、JIS−K−7127に従って測定される弾性率(MD)が250MPa、JIS−K−7127に従って測定される最大伸び(MD)が400%であった。また、製造直後の表面粗さ(算術平均表面粗さRa)は0.1μmであった。
重合度P=1050のポリ塩化ビニル100重量部に対してDINP可塑剤(フタル酸ビス(イソノニル)、ジェイプラス製)30重量部を含んだ軟質ポリ塩化ビニルフィルム(2)をカレンダー法によって製造した。この軟質ポリ塩化ビニルフィルム(2)の厚みは70μmであり、JIS−K−7127に従って測定される弾性率(MD)が250MPa、JIS−K−7127に従って測定される最大伸び(MD)が400%であった。また、製造直後の表面粗さ(算術平均表面粗さRa)は0.1μmであった。
重合度P=1050のポリ塩化ビニル100重量部に対してアジピン酸系低分子ポリエステル可塑剤(ADEKA社製、商品名「アデカサイザーPN−7160」)30重量部を含んだ軟質ポリ塩化ビニルフィルム(3)をカレンダー法によって製造した。この軟質ポリ塩化ビニルフィルム(3)の厚みは70μmであり、JIS−K−7127に従って測定される弾性率(MD)が250MPa、JIS−K−7127に従って測定される最大伸び(MD)が400%であった。また、製造直後の表面粗さ(算術平均表面粗さRa)は0.1μmであった。
重合度P=1050のポリ塩化ビニル100重量部に対してDOP可塑剤(フタル酸ビス(2−エチルヘキシル)、ジェイプラス製)30重量部を含んだ軟質ポリ塩化ビニルフィルム(4)をカレンダー法によって製造した。この軟質ポリ塩化ビニルフィルム(4)の厚みは70μmであり、JIS−K−7127に従って測定される弾性率(MD)が250MPa、JIS−K−7127に従って測定される最大伸び(MD)が400%であった。また、製造直後の表面粗さ(算術平均表面粗さRa)は0.1μmであった。
重合度P=1050のポリ塩化ビニル100重量部に対してDOTP可塑剤(テレフタル酸ビス(2−エチルヘキシル)、ADEKA社製、商品名「アデカサイザーD−810」)40重量部を含んだ軟質ポリ塩化ビニルフィルム(5)をカレンダー法によって製造した。この軟質ポリ塩化ビニルフィルム(5)の厚みは70μmであり、JIS−K−7127に従って測定される弾性率(MD)が200MPa、JIS−K−7127に従って測定される最大伸び(MD)が400%であった。また、製造直後の表面粗さ(算術平均表面粗さRa)は0.1μmであった。
ブチルアクリレート(BA)/N−ビニル−2−ピロリドン(NVP)/2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)/アクリル酸(AA)=85/15/10/0.25(重量比)から構成されるアクリル共重合ポリマーA(重量平均分子量=1500000)100重量部、イソシアネート系架橋剤(東ソー製、商品名「コロネートL」)5重量部、エチレンジアミンポリオール(ADEKA社製、商品名「アデカポリオールEDP−300」)2.5重量部、DOTP可塑剤(テレフタル酸ビス(2−エチルヘキシル)、ADEKA社製、商品名「アデカサイザーD−810」)60重量部からなる粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。なお、NVPは、遊離水素を含まない水素結合性官能基を有するモノマーであり、当該モノマーから構成されるホモポリマーのガラス転移温度は、54℃である。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(1)を得た。
アクリル共重合ポリマーA100重量部に代えて、ブチルアクリレート(BA)/N,N−ジエチルアクリルアミド(DEAA)/2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)/アクリル酸(AA)=85/15/10/0.25(重量比)から構成されるアクリル共重合ポリマーB(重量平均分子量=1500000)100重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。なお、DEAAは、遊離水素を含まない水素結合性官能基を有するモノマーであり、当該モノマーから構成されるホモポリマーのガラス転移温度は、81℃である。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(2)を得た。
アクリル共重合ポリマーA100重量部に代えて、ブチルアクリレート(BA)/アクリロイルモルホリン(ACMO)/2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)/アクリル酸(AA)=85/15/10/0.25(重量比)から構成されるアクリル共重合ポリマーC(重量平均分子量=1500000)100重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。なお、ACMOは、遊離水素を含まない水素結合性官能基を有するモノマーであり、当該モノマーから構成されるホモポリマーのガラス転移温度は、145℃である。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(3)を得た。
アクリル共重合ポリマーA100重量部に代えて、ブチルアクリレート(BA)/N−ビニル−2−ピロリドン(NVP)/2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)/アクリル酸(AA)=90/10/10/0.25(重量比)から構成されるアクリル共重合ポリマーD(重量平均分子量=1500000)100重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(4)を得た。
アクリル共重合ポリマーA100重量部に代えて、ブチルアクリレート(BA)/N,N−ジエチルアクリルアミド(DEAA)/2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)/アクリル酸(AA)=75/25/10/0.25(重量比)から構成されるアクリル共重合ポリマーE(重量平均分子量=1500000)100重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(5)を得た。
アクリル共重合ポリマーA100重量部に代えて、ブチルアクリレート(BA)/アクリロイルモルホリン(ACMO)/2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)/アクリル酸(AA)=75/25/10/0.25(重量比)から構成されるアクリル共重合ポリマーF(重量平均分子量=1500000)100重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(6)を得た。
アクリル共重合ポリマーA100重量部に代えて、ブチルアクリレート(BA)/N−ビニル−2−ピロリドン(NVP)/2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)/アクリル酸(AA)=85/15/2.5/0.25(重量比)から構成されるアクリル共重合ポリマーG(重量平均分子量=1500000)100重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(7)を得た。
アクリル共重合ポリマーA100重量部に代えて、ブチルアクリレート(BA)/アクリロイルモルホリン(ACMO)/2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)/=75/25/10/(重量比)から構成されるアクリル共重合ポリマーH(重量平均分子量=1500000)100重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(8)を得た。
粘着剤層の厚みを5μmとしたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着テープ(9)を得た。
DOTP可塑剤(テレフタル酸ビス(2−エチルヘキシル)、ADEKA社製、商品名「アデカサイザーD−810」)60重量部に代えて、DINP可塑剤(フタル酸ビス(イソノニル)、ジェイプラス製)60重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例2で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(2)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(10)を得た。
DOTP可塑剤(テレフタル酸ビス(2−エチルヘキシル)、ADEKA社製、商品名「アデカサイザーD−810」)60重量部に代えて、アジピン酸系低分子ポリエステル可塑剤(ADEKA社製、商品名「アデカサイザーPN−7160」)60重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例3で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(3)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(11)を得た。
DOTP可塑剤(テレフタル酸ビス(2−エチルヘキシル)、ADEKA社製、商品名「アデカサイザーD−810」)60重量部に代えて、アジピン酸系低分子ポリエステル可塑剤(ADEKA社製、商品名「アデカサイザーPN−7160」)60重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(12)を得た。
DOTP可塑剤(テレフタル酸ビス(2−エチルヘキシル)、ADEKA社製、商品名「アデカサイザーD−810」)60重量部に代えて、DOP可塑剤(フタル酸ビス(2-エチルヘキシル)、ジェイプラス製)60重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例4で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(4)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(13)を得た。
DOTP可塑剤(テレフタル酸ビス(2−エチルヘキシル)、ADEKA社製、商品名「アデカサイザーD−810」)60重量部に代えて、DOP可塑剤(フタル酸ビス(2-エチルヘキシル)、ジェイプラス製)80重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例5で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(5)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(14)を得た。
アクリル共重合ポリマーA100重量部に代えて、ブチルアクリレート(BA)/イミダゾール重合性モノマー(四国化成製、商品名「1H2MZM」/2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)/アクリル酸(AA)=85/15/10/0.25(重量比)から構成されるアクリル共重合ポリマーI(重量平均分子量=1500000)100重量部を用い、DOTP可塑剤(テレフタル酸ビス(2−エチルヘキシル)、ADEKA社製、商品名「アデカサイザーD−810」)60重量部に代えて、DOP可塑剤(フタル酸ビス(2-エチルヘキシル)、ジェイプラス製)80重量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(15)を得た。
ブチルアクリレート(BA)/N−ビニル−2−ピロリドン(NVP)/2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)/アクリル酸(AA)=85/15/5/0.25(重量比)から構成されるアクリル共重合ポリマーJ(重量平均分子量=1500000)100重量部、イソシアネート系架橋剤(東ソー社製、商品名「コロネートHX」)5重量部、エチレンジアミンポリオール(ADEKA社製、商品名「アデカポリオールEDP−300」)2.5重量部、DOTP可塑剤(テレフタル酸ビス(2−エチルヘキシル)、ADEKA社製、商品名「アデカサイザーD−810」)60重量部からなる粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片方の表面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み7μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(16)を得た。
イソシアネート系架橋剤(東ソー社製、商品名「コロネートHX」)の配合量を0.5重量部とし、エチレンジアミンポリオール(ADEKA社製、商品名「アデカポリオールEDP−300」)を添加しなかったこと以外は、実施例16と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片方の表面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み7μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(17)を得た。
イソシアネート系架橋剤(東ソー社製、商品名「コロネートHX」)の配合量を0.3重量部とし、エチレンジアミンポリオール(ADEKA社製、商品名「アデカポリオールEDP−300」)を添加しなかったこと以外は、実施例16と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片方の表面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み7μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(18)を得た。
イソシアネート系架橋剤(東ソー社製、商品名「コロネートHX」)5重量部に代えて、エポキシ系架橋剤(三菱瓦斯化学社製、商品名「TETRAD−C」、)0.5重量部を用い、エチレンジアミンポリオール(ADEKA社製、商品名「アデカポリオールEDP−300」)を添加しなかったこと以外は、実施例16と同様にして、粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片方の表面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み7μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(19)を得た。
ブチルアクリレート(BA)/アクリル酸(AA)=100/3.0(重量比)から構成されるアクリル共重合ポリマーJ(重量平均分子量=1500000)100重量部、エポキシ系架橋剤(三菱瓦斯化学製、商品名「TETRAD−C」)0.5重量部、DOTP可塑剤(テレフタル酸(2−エチルヘキシル)、ADEKA社製、商品名「アデカサイザーD−810」)60重量部からなる粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片方の表面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(16)を得た。
2−エチルヘキシルアクリレート(2−EHA)/アクリロイルモルホリン(ACMO)/アクリル酸/2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)/=75/25/3.0/0.1(重量比)から構成されるアクリル共重合ポリマーK(重量平均分子量=1500000)100重量部、エポキシ系架橋剤(三菱瓦斯化学製、商品名「TETRAD−C」)1.0重量部、DOTP可塑剤(テレフタル酸(2−エチルヘキシル)、ADEKA社製、商品名「アデカサイザーD−810」)60重量部からなる粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片方の表面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(17)を得た。
2−エチルヘキシルアクリレート(2−EHA)/アクリル酸(AA)=95/5.0(重量比)から構成されるアクリル共重合ポリマー(重量平均分子量=1500000)100重量部、エポキシ系架橋剤(三菱瓦斯化学製、商品名「TETRAD−C」)0.5重量部、DOTP可塑剤(テレフタル酸(2−エチルヘキシル)、ADEKA社製、商品名「アデカサイザーD−810」)60重量部からなる粘着剤の酢酸エチル溶液を調製した。
この粘着剤溶液を、製造例1で得られた軟質ポリ塩化ビニルフィルム(1)の片方の表面に塗布した後、130℃×90秒で乾燥し、厚み10μmの粘着剤層を形成した。
このようにして、粘着テープ(18)を得た。
粘着テープ(幅20mm×長さ120mm)を、SUS430BA板に、線圧78.5N/cm、速度0.3m/minの条件で貼り合せた。貼り合せた後、23℃50%RH環境下にて30分間静置した後、23℃50%RH雰囲気下で、AUTOGRAPH AG−IS(SHIMADZU製)を使用して引張角度180°、引張速度0.3m/minの条件で粘着力を測定した。
粘着テープ(幅20mm×長さ120mm)の中心部(幅方向,長さ方向の中心)に10mm□にカットしたSiウエハをハンドローラー1往復で貼り合せた。
Siウエハを貼り合せた後、23℃50%RH環境下にて30分間静置した後、50℃環雰囲気下でチャック間50mm、引張速度0.3m/min、延伸距離50mmの条件でSiウエハ貼付テープサンプルを延伸した。
この際のテープ端部の浮きレベルを目視にて観察した。接着面積は、粘着剤と被着体が接着することで目視にてテープ外観の色が濃く見える部分を接着面積と判断した。
接触面積の算出方法は、浮き観察画像をA4用紙にカラーでプリントアウトし、ウエハ部のみを切り取りその重量を測定する。その後、接着部(色の濃い部分)と浮き部(色の薄い部分)を切り分けて、その切り分けた紙の重量を測定し、接着部の重量比を算出し、下記の基準で評価した。
○:テープ接着面積が初期貼付面積に対して70%以上
×:テープ接着面積が初期貼付面積に対して70%以下
粘着テープ(幅20mm×長さ120mm)の中心部(幅方向,長さ方向の中心)に10mm□にカットしたSiウエハのミラー面にハンドローラー1往復で貼り合せた。
Siウエハを貼り合せた後、23℃50%RH環境下にて30分間静置した後、50℃環雰囲気下でチャック間50mm、引張速度0.3m/min、延伸距離50mmの条件でSiウエハ貼付テープサンプルを延伸した。その後、延伸からテープサンプルを開放した後、Siウエハからテープを引き剥がし角度180°、引張速度10mm/secで剥離し、Siウエハ表面の糊残りのレベルを目視にて観察した。
デジタルマイクロスコープ(KEYENCE製)にて500倍の倍率でウエハ表面を観察し、長辺長さが10μm以上の汚染物が確認された場合を糊残りありと判断した(表1中、×)。長辺長さが10μm以上の汚染物が確認されなかった場合を糊残りなしと判断した(表1中、×)。
20 粘着剤層
30 非粘着層
100、200 粘着テープ
Claims (5)
- 基材と、
該基材の少なくとも一方の面に配置され、アクリル系粘着剤から構成される粘着剤層とを備える粘着テープであって、
該該アクリル系粘着剤を構成するベースポリマーが、遊離水素を含まない水素結合性官能基を有する構成単位を含み、
該粘着剤層が、可塑剤を含み、
該粘着テープの23℃×30分後におけるSUS板に対する粘着力が、2.1N/20mm以下である、
粘着テープ。 - 前記遊離水素を含まない水素結合性官能基を有する構成単位の含有割合が、前記ベースポリマー100重量部に対して、9重量部〜23重量部である、請求項1に記載の粘着テープ。
- 前記ベースポリマーが、カルボキシル基含有モノマー由来の構成単位をさらに含み、該カルボキシル基含有モノマー由来の構成単位の含有割合が、ベースポリマー100重量部に対して、0.2重量部以下である、請求項1または2に記載の粘着テープ。
- 前記ベースポリマーが、カルボキシル基含有モノマー由来の構成単位を含まない、請求項1または2に記載の粘着テープ。
- 前記遊離水素を含まない水素結合性官能基を有する構成単位が、N−ビニル−2−ピロリドン、N,N−ジエチルアクリルアミド、アクリロイルモルホリンおよび2−(2−メチルイミダゾリル)エチル(メタ)アクリレートからなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマー由来の構成単位である、請求項1から4のいずれかに記載の粘着テープ。
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