JP2018026525A - スピン流磁化反転素子、素子集合体及びスピン流磁化反転素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、第1実施形態にかかるスピン流磁化反転素子を模式的に示した斜視図である。
第1実施形態にかかるスピン流磁化反転素子100は、磁気抵抗効果素子10と、スピン軌道トルク配線20とを有する。
以下、スピン軌道トルク配線20が延在する第1の方向をx方向、スピン軌道トルク配線20が延在する面内方向であって第1の方向と直交する第2の方向をy方向、x方向及びy方向のいずれにも直交する磁気抵抗効果素子10の積層方向をz方向とする。
磁気抵抗効果素子10は、磁化方向が固定された第1強磁性金属層1と、磁化方向が変化する第2強磁性金属層2と、第1強磁性金属層1及び第2強磁性金属層2に挟持された非磁性層3とを有する。
例えば、非磁性層3が絶縁体からなる場合(トンネルバリア層である場合)、その材料としては、Al2O3、SiO2、Mg、及び、MgAl2O4O等を用いることができる。またこれらの他にも、Al,Si,Mgの一部が、Zn、Be等に置換された材料等も用いることができる。これらの中でも、MgOやMgAl2O4はコヒーレントトンネルが実現できる材料であるため、スピンを効率よく注入できる。
また、非磁性層3が金属からなる場合、その材料としては、Cu、Au、Ag等を用いることができる。
スピン軌道トルク配線20は、x方向に延在する。スピン軌道トルク配線20は、第2強磁性金属層2のz方向の一面に接続されている。スピン軌道トルク配線20は、第2強磁性金属層2に直接接続されていてもよいし、他の層を介して接続されていてもよい。
次いで、スピン流磁化反転素子100の原理について説明すると共に、第2強磁性金属層2の磁化M2がx方向に傾斜していることにより無磁場下での磁化反転が可能となる理由について説明する。
次いで、スピン流磁化反転素子の製造方法について説明する。
図7は、第2実施形態にかかるスピン流磁化反転素子を模式的に示した斜視図である。
第2実施形態にかかるスピン流磁化反転素子102は、ボトムピン構造である点が第1実施形態にかかるスピン流磁化反転素子100と異なる。
図9は、第3実施形態にかかるスピン流磁化反転素子を模式的に示した斜視図である。また図10は、第3実施形態にかかるスピン流磁化反転素子を断面視した図である。図10(a)はxz平面で断面視した図であり、図10(b)はyz平面で断面視した図である。
図11は、第4実施形態にかかるスピン流磁化反転素子を模式的に示した断面図である。第4実施形態にかかるスピン流磁化反転素子104は、磁気抵抗効果素子60の第2強磁性金属層62の傾斜面が、第1傾斜面62a1と第2傾斜面62a2とを有する点が第1実施形態にかかるスピン流磁化反転素子100と異なる。
図13は、複数のスピン流磁化反転素子100を備える素子集合体200を模式的示した図である。図13に示す素子集合体200は、スピン流磁化反転素子100が3×3のマトリックス配置をしている。図13は、素子集合体の一例であり、スピン流磁化反転素子100の数及び配置は任意である。
2,2A,2B,2C,12,42,42A,42B,52,62,72…第2強磁性金属層、
3,3A,3B,3C,13,43,43A,43B,53,63,73…非磁性層、
10,10A,10B,10C,15,40,40A,40B,50,60,70…磁気抵抗効果素子、
20,21,22,23,24,25,25B,26,27,28…スピン軌道トルク配線、
22A,23A,24A…スピン流生成部、22B,23B,24B…低抵抗部、
30…保護体、31,31A,31B…絶縁部、
100,100A,100B,100C,100D,101,102,102A,102B,103,104,105…スピン流磁化反転素子、
200…素子集合体、
M1,M2,M12,M41,M42,M52,M62A,M62B,M62…磁化、
1a,1b,2a,2b,42a…傾斜面、
62a1,72a1…第1傾斜面、62a2,72a2…第2傾斜面、
2Aa,2Ba,2Ca…第1面、2Ab,2Bb,2Cb…第2面、
S1…第1スピン、S2…第2スピン、I…電流、Js…純スピン流、p…変曲部、
Sb,Sb1…基板、
200…素子集合体、WL1〜3…ワードライン、SL1〜3…ソースライン
Claims (14)
- 磁化方向が固定された第1強磁性金属層と、磁化方向が変化する第2強磁性金属層と、第1強磁性金属層及び第2強磁性金属層に挟持された非磁性層と、を有する磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子の積層方向に対して交差する第1の方向に延在し、前記磁気抵抗効果素子の前記第2強磁性金属層側の面に接合するスピン軌道トルク配線と、を備え、
前記第2強磁性金属層の前記積層方向の少なくとも一方の面が、前記第1の方向に傾斜する傾斜面を有し、前記第2強磁性金属層の磁化の方向が前記傾斜面によって傾斜している、スピン流磁化反転素子。 - 前記スピン軌道トルク配線の前記磁気抵抗効果素子側の面が、前記第1の方向に傾斜する傾斜面を有する請求項1に記載のスピン流磁化反転素子。
- 前記第2強磁性金属層の両面が、前記第1の方向に傾斜する傾斜面を有する請求項1又は2のいずれかに記載のスピン流磁化反転素子。
- 前記第2強磁性金属層の前記スピン軌道トルク配線側の前記傾斜面と、前記非磁性層側の前記傾斜面とが平行である請求項3に記載のスピン流磁化反転素子。
- 前記傾斜面が、前記積層方向及び前記第1の方向と交差する第2の方向に傾斜している請求項1〜4のいずれか一項に記載のスピン流磁化反転素子。
- 前記第2強磁性金属層の前記傾斜面を有する面は、基準面に対して傾斜角の正負の異なる第1傾斜面と第2傾斜面を有し、
前記第1傾斜面の面積は、前記第2傾斜面の面積より大きい請求項1〜5のいずれか一項に記載のスピン流磁化反転素子。 - 強磁性金属層と、
前記強磁性金属層の積層方向に対して交差する第1の方向に延在し、前記強磁性層の一面に接合するスピン軌道トルク配線と、を備え、
前記強磁性金属層の前記積層方向の少なくとも一方の面が、前記第1の方向に傾斜する傾斜面を有する、スピン流磁化反転素子。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載のスピン流磁化反転素子を複数備える素子集合体。
- 複数の前記スピン流磁化反転素子のそれぞれの傾斜面が、同一の方向に傾斜している請求項8に記載の素子集合体。
- 磁化方向が固定された第1強磁性金属層と、磁化方向が変化する第2強磁性金属層と、第1強磁性金属層及び第2強磁性金属層に挟持された非磁性層と、を有する磁気抵抗効果素子と、第1の方向に延在するスピン軌道トルク配線と、を積層する積層工程を有し、
前記積層工程の前又は途中において、前記第2強磁性金属層のいずれか一面に前記第1の方向に傾斜した傾斜面を形成する、スピン流磁化反転素子の製造方法。 - 前記傾斜面を前記第1の方向に沿った研磨により形成する請求項10に記載のスピン流磁化反転素子の製造方法。
- 前記傾斜面を前記第1の方向に沿った異方性エッチングにより形成する請求項10に記載のスピン流磁化反転素子の製造方法。
- 前記傾斜面を前記第1の方向に沿った異方性成膜により形成する請求項10に記載のスピン流磁化反転素子の製造方法。
- 強磁性層と、第1の方向に延在するスピン軌道トルク配線と、を積層する積層工程を有し、
前記積層工程の前又は途中において、前記強磁性金属層のいずれか一面に前記第1の方向に傾斜した傾斜面を形成する、スピン流磁化反転素子の製造方法。
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