JP2018014465A - 基板の表面を研磨する装置および方法、プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の好ましい態様は、前記研磨部は、研磨具を前記基板の第一の面に対して押し付ける回転可能な研磨ヘッドと、前記第一の面とは反対側の前記基板の第二の面を流体で支持する静圧支持ステージを備え、前記研磨レシピは、前記静圧支持ステージの基板支持面内の異なる領域に供給される前記流体の流量を少なくとも含むことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨部は、複数の研磨具を前記基板の第一の面に対して押し付ける研磨ヘッドを備え、前記研磨ヘッドは、その軸心を中心に回転可能であり、前記研磨ヘッドは、前記複数の研磨具を前記軸心に沿ってそれぞれ独立に移動させることができる複数の軸方向アクチュエータを備えることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板の第一の面の研磨は、前記第一の面とは反対側の前記基板の第二の面を流体で支持した状態で、研磨ヘッドおよび前記基板を回転させながら、前記研磨ヘッドの研磨具を前記基板の第一の面に対して押し付けることによって行われ、前記流体は、静圧支持ステージの基板支持面内の異なる領域に供給され、前記研磨レシピは、前記異なる領域に供給される前記流体の流量を少なくとも含むことを特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態に係る研磨装置を示す平面図である。この研磨装置は、基板の一例であるウェーハの表面を研磨し、洗浄し、乾燥させる一連の工程を行うことができる基板処理装置である。図1に示すように、研磨装置は、略矩形状のハウジング2を備えており、ハウジング2の内部は隔壁2a,2bによってロード/アンロード部1と、研磨部3と、洗浄部20とに区画されている。研磨装置は、ウェーハの表面上のパーティクルを計数するパーティクルカウンタ70と、処理動作を制御する動作制御部4を有している。研磨部3は、ロード/アンロード部1と洗浄部20との間に配置されている。
2 ハウジング
3 研磨部
4 動作制御部
5 ロードポート
6 ローダー(搬送ロボット)
7 研磨モジュール
10 基板保持部
11 チャック
12 中空モータ
15 第1仮置き台
16 第2仮置き台
18 搬送ロボット
20 洗浄部
21 スイングトランスポータ
24 第1洗浄モジュール
25 第2洗浄モジュール
26 第3洗浄モジュール
27 乾燥モジュール
30 リニアトランスポータ
49 研磨ヘッド組立体
50 研磨ヘッド
51 ヘッドシャフト
58 ヘッド回転機構
57 エアシリンダ
61 研磨具
63 リンス液供給ノズル
70 パーティクルカウンタ
90 静圧支持ステージ
90a 基板支持面
91 支持構造体
92 流体供給路
94 流体噴射口
98 ステージ昇降機構
106 流量調節弁
110 記憶装置
111 主記憶装置
112 補助記憶装置
120 処理装置
130 入力装置
132 記録媒体読み込み装置
134 記録媒体ポート
140 出力装置
141 ディスプレイ装置
142 印刷装置
150 通信装置
Claims (8)
- 基板の第一の面上のパーティクルを計数するパーティクルカウンタと、
前記基板の第一の面上の前記パーティクルの分布に最も類似する研磨レート分布をデータベースから選択し、選択された前記研磨レート分布に関連付けられた研磨レシピを決定する動作制御部と、
前記決定された研磨レシピに従って前記基板の第一の面を研磨する研磨部とを備えたことを特徴とする研磨装置。 - 前記研磨部は、研磨具を前記基板の第一の面に対して押し付ける回転可能な研磨ヘッドと、前記基板を保持し回転させる基板保持部とを備え、
前記研磨レシピは、前記研磨ヘッドの回転速度と、前記基板の回転速度とを少なくとも含むことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記研磨部は、研磨具を前記基板の第一の面に対して押し付ける回転可能な研磨ヘッドと、前記第一の面とは反対側の前記基板の第二の面を流体で支持する静圧支持ステージを備え、
前記研磨レシピは、前記静圧支持ステージの基板支持面内の異なる領域に供給される前記流体の流量を少なくとも含むことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記研磨部は、複数の研磨具を前記基板の第一の面に対して押し付ける研磨ヘッドを備え、
前記研磨ヘッドは、その軸心を中心に回転可能であり、
前記研磨ヘッドは、前記複数の研磨具を前記軸心に沿ってそれぞれ独立に移動させることができる複数の軸方向アクチュエータを備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の研磨装置。 - 基板の第一の面上のパーティクルをパーティクルカウンタで計数し、
前記基板の第一の面上の前記パーティクルの分布に最も類似する研磨レート分布をデータベースから選択し、
選択された前記研磨レート分布に関連付けられた研磨レシピを決定し、
前記決定された研磨レシピに従って前記基板の第一の面を研磨することを特徴とする研磨方法。 - 前記基板の第一の面の研磨は、研磨ヘッドおよび前記基板を回転させながら、前記研磨ヘッドの研磨具を前記基板の第一の面に対して押し付けることによって行われ、
前記研磨レシピは、前記研磨ヘッドの回転速度と、前記基板の回転速度とを少なくとも含むことを特徴とする請求項5に記載の研磨方法。 - 前記基板の第一の面の研磨は、前記第一の面とは反対側の前記基板の第二の面を流体で支持した状態で、研磨ヘッドおよび前記基板を回転させながら、前記研磨ヘッドの研磨具を前記基板の第一の面に対して押し付けることによって行われ、
前記流体は、静圧支持ステージの基板支持面内の異なる領域に供給され、
前記研磨レシピは、前記異なる領域に供給される前記流体の流量を少なくとも含むことを特徴とする請求項5に記載の研磨方法。 - パーティクルカウンタに指令を与えて、基板の表面上のパーティクルを計数する動作を前記パーティクルカウンタに実行させるステップと、
前記基板の表面上の前記パーティクルの分布に最も類似する研磨レート分布をデータベースから選択するステップと、
選択された前記研磨レート分布に関連付けられた研磨レシピを決定するステップと、
研磨部に指令を与えて、前記決定された研磨レシピに従って前記基板の表面を研磨する動作を前記研磨部に実行させるステップをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録した非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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CN114789389A (zh) * | 2022-04-27 | 2022-07-26 | 北京机科国创轻量化科学研究院有限公司 | 一种立环自动化打磨生产线 |
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