JP2018010105A5 - 露光装置、および物品製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、露光装置、および物品製造方法に関する。

上記課題を解決するために、本発明の一側面としての露光装置は、基板上の第１ショット領域と、非走査方向で第１ショット領域に隣り合う第２ショット領域とを、一部のつなぎ領域がオーバーラップするように露光光を走査することによって走査露光を行う露光装置であって、露光光を整形する整形部と、露光光の光量分布を調整する照明部と、整形部および照明部を制御する制御部と、有し、制御部は、つなぎ領域における非走査方向の照度分布が均一化されるように、整形部と照明部の少なくとも一方を制御することを特徴とする。

Claims (8)

1. 基板上の第１ショット領域と、非走査方向で前記第１ショット領域に隣り合う第２ショット領域とを、一部のつなぎ領域がオーバーラップするように露光光を走査することによって走査露光を行う露光装置であって、
   前記露光光を整形する整形部と、
   前記露光光の光量分布を調整する照明部と、
   前記整形部および前記照明部を制御する制御部と、有し、
   前記制御部は、
   前記つなぎ領域における非走査方向の照度分布が均一化されるように、前記整形部と前記照明部の少なくとも一方を制御することを特徴とする露光装置。
2. 前記制御部は、前記つなぎ領域における非走査方向の照度分布が均一化されるように、前記照明部に含まれる光学部材を前記照明部の光軸方向に移動させることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記制御部は、前記光学部材を移動させることにより、非走査方向の照度分布を２次曲線状に変化させることを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
4. 前記整形部は、露光光が通過する開口の形状を変化させることで露光光を整形することが可能であり、
   前記制御部は、前記つなぎ領域における非走査方向の照度分布が均一化されるように、前記開口の形状を走査方向に変化させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の露光装置。
5. 前記照明部は、
   前記基板上のショット領域を露光する光束を出射する第１の光源と、
   前記基板上のショット領域を露光する光束を出射する第２の光源と、を有し、
   前記制御部は、前記第１の光源および前記第２の光源の出力を個別に制御することにより、非走査方向における照度分布を変化させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の露光装置。
6. 前記整形部によって整形される露光光の一部を遮光可能な第１の遮光部と第２の遮光部をさらに有し、
   前記制御部は、
   前記第１ショット領域の走査露光に際しては、前記第１の遮光部によって露光光の一部が遮光されるように、前記第１の遮光部を駆動し、
   前記第２ショット領域の走査露光に際しては、前記第２の遮光部によって露光光の一部が遮光されるように、前記第２の遮光部を駆動することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の露光装置。
7. 前記第１の遮光部および前記第２の遮光部は、
   前記基板と光学的に共役な位置の近傍に配置される、
   ことを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
8. 請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の露光装置を用いてパターンを基板上に形成する工程と、
   前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、を有する
   ことを特徴とする物品の製造方法。