JP2009064652A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 光を射出する光源部と、前記光源部から射出した光を回折させることにより回折光を射出する回折光学素子と、を有し、前記回折光を用いて被照射物を照明する照明装置の製造方法であって、
   前記光源部から射出した光を前記回折光学素子へ入射させ、前記被照射物の照射領域の方向以外の方向へ進行するゼロ次光を射出するゼロ次光射出工程と、
   前記照射領域に対して位置決めされた目標位置を設定する目標位置設定工程と、
   前記目標位置に前記ゼロ次光のスポットを一致させるように前記光源部の位置を調整する光源部位置調整工程と、を含むことを特徴とする照明装置の製造方法。
2. 前記光源部位置調整工程において、前記目標位置である第１目標位置に前記ゼロ次光のスポットを一致させ、
   第２目標位置が設定された調整用構造体を前記光源部及び前記被照射物の間の光路中に設置する調整用構造体設置工程と、
   前記第１目標位置に対する前記ゼロ次光のスポットの位置、及び前記第２目標位置に対する前記光源部からの光のスポットの位置を一致させるように前記光源部の傾きを調整する光源部傾き調整工程と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の照明装置の製造方法。
3. 前記調整用構造体を除去する調整用構造体除去工程を含むことを特徴とする請求項２に記載の照明装置の製造方法。
4. 前記ゼロ次光の光線に略平行な軸を中心とする前記回折光学素子の回転角を調整する回折光学素子回転角調整工程を含むことを特徴とする請求項２又は３に記載の照明装置の製造方法。
5. 前記回折光学素子は、前記調整用構造体として機能することを特徴とする請求項２に記載の照明装置の製造方法。
6. 前記光源部傾き調整工程において、前記回折光学素子のうち前記光源部からの光が入射する領域以外の領域に設けられたマークを用いて、前記光源部の傾きを調整することを特徴とする請求項５に記載の照明装置の製造方法。
7. 前記光源部は、複数の光を射出し、
   前記ゼロ次光射出工程において、複数のゼロ次光を射出することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の照明装置の製造方法。
8. 前記ゼロ次光射出工程において、特定方向へ並列させた複数の前記ゼロ次光を射出し、
   前記光源部位置調整工程において、前記目標位置に関して略対称に設定された補助マークの間に複数の前記ゼロ次光が入射するように前記光源部の位置を調整することを特徴とする請求項７に記載の照明装置の製造方法。
9. 前記ゼロ次光の光線に略平行な軸を中心とする前記光源部の回転角を調整する光源部回転角調整工程を含むことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の照明装置の製造方法。
10. 請求項１〜９のいずれか一項に記載の照明装置の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする照明装置。
11. 光を射出する光源部と、
    前記光源部から射出した光を回折させることにより回折光を射出する回折光学素子と、を有し、前記回折光を用いて被照射物を照明し、
    前記回折光学素子は、前記被照射物の照射領域の方向以外の方向へ進行するゼロ次光を射出し、
    前記照射領域に対して位置決めされた目標位置へ前記ゼロ次光が入射することを特徴とする照明装置。
12. 前記回折光学素子に、前記光源部からの光のスポットの目標位置が形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の照明装置。
13. 前記回折光学素子上の前記目標位置は、前記光源部からの光が入射する領域以外の領域に設けられているマークによって設定されていることを特徴とする請求項１２に記載の照明装置。
14. 請求項１０〜１３のいずれか一項に記載の照明装置と、
    前記照明装置からの光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置と、を有することを特徴とするプロジェクタ。
15. 前記空間光変調装置の前記照明装置からの光が照射される照射領域以外の領域に前記ゼロ次光の目標位置が形成されていることを特徴とする請求項１４に記載のプロジェクタ。