JP2018002544A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016131157A JP6904517B2 (ja) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 結晶性酸化物半導体膜およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016131157A JP6904517B2 (ja) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 結晶性酸化物半導体膜およびその製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018002544A JP2018002544A (ja) | 2018-01-11 |
| JP2018002544A5 true JP2018002544A5 (enExample) | 2019-08-08 |
| JP6904517B2 JP6904517B2 (ja) | 2021-07-14 |
Family
ID=60944831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016131157A Active JP6904517B2 (ja) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 結晶性酸化物半導体膜およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6904517B2 (enExample) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112424947A (zh) | 2018-07-12 | 2021-02-26 | 株式会社Flosfia | 半导体装置及包含半导体装置的半导体系统 |
| JP6761920B2 (ja) * | 2018-08-01 | 2020-09-30 | 出光興産株式会社 | 化合物 |
| JP7612144B2 (ja) * | 2019-05-23 | 2025-01-14 | 株式会社Flosfia | 半導体装置 |
| WO2020261355A1 (ja) * | 2019-06-25 | 2020-12-30 | 日本碍子株式会社 | 半導体膜 |
| CN114342044A (zh) * | 2019-07-12 | 2022-04-12 | 株式会社Flosfia | 氧化物膜及半导体装置 |
| JPWO2021010237A1 (enExample) * | 2019-07-12 | 2021-01-21 | ||
| JP7306640B2 (ja) * | 2019-08-28 | 2023-07-11 | 信越化学工業株式会社 | 結晶性酸化物膜 |
| WO2021065940A1 (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 株式会社Flosfia | 積層構造体および半導体装置 |
| JPWO2021066156A1 (enExample) * | 2019-10-04 | 2021-04-08 | ||
| JP7510123B2 (ja) * | 2020-01-27 | 2024-07-03 | 株式会社Flosfia | 半導体装置 |
| CN115023816A (zh) | 2020-01-27 | 2022-09-06 | 株式会社Flosfia | 半导体装置和半导体装置的制造方法 |
| JP2023085571A (ja) * | 2020-03-17 | 2023-06-21 | 日本碍子株式会社 | 半導体膜 |
| FR3109470B1 (fr) | 2020-04-15 | 2022-04-01 | Commissariat Energie Atomique | Diode electroluminescente comprenant une structure hybride formee de couches et de nanofils |
| CN116157550B (zh) * | 2020-08-06 | 2025-09-09 | 信越化学工业株式会社 | 半导体层叠体、半导体元件及半导体元件的制造方法 |
| JP7708349B2 (ja) * | 2020-12-24 | 2025-07-15 | 株式会社Flosfia | 半導体素子および半導体装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5343224B1 (ja) * | 2012-09-28 | 2013-11-13 | Ｒｏｃａ株式会社 | 半導体装置および結晶 |
| JP6013410B2 (ja) * | 2014-08-07 | 2016-10-25 | 株式会社タムラ製作所 | Ｇａ２Ｏ３系単結晶基板 |
| JP2016100593A (ja) * | 2014-11-26 | 2016-05-30 | 株式会社Flosfia | 結晶性積層構造体 |
-
2016
- 2016-06-30 JP JP2016131157A patent/JP6904517B2/ja active Active
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