JP2017535021A - 検査サイトの準備 - Google Patents
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Abstract
Description
従来の走査型電子顕微鏡では、電子ビームがサンプル(例えば半導体ウエハ)上を走査される。典型的には、複数のラスタ走査が、サンプルの小さいエリア上で実行される。電子ビームは、サンプルと相互作用して二次電子の放出を生じさせるか、あるいは、後方散乱電子としてサンプルから弾かれるか、のいずれかである。二次電子及び/又は後方散乱電子はそれから、コンピュータシステムに結合された検出器によって検出される。コンピュータシステムはイメージを生成し、これはコンピュータシステムに記憶され且つ/又は表示される。
本開示の実施形態は、帯電粒子をサンプルに向け、それからサンプルから発せられた粒子を検出する任意の適切な測定/検査装置の中で、具現化され得る。図1は、本開示のある局面にしたがった装置の模式図を示す。例としてであって制約としてではなく、この装置100は、単ビーム又は多ビームの欠陥レビュー走査型電子顕微鏡(SEM)、単ビーム又は多ビームの欠陥検査SEM、あるいは単ビーム又は多ビームの測長式走査型電子顕微鏡(CD−SEM)であり得る。他の例では、この装置100は、単ビーム又は多ビームのEビームリソグラフィシステムであり得る。
本発明の局面は、フラッド処理及びスワーシングがサンプルの異なるエリアで同時に生じる具現化を含む。スワーシングでは、ある方向(例えばX方向)に主ビーム106をラスタし且つ直交する方向(例えばY方向)にサンプル114を並進することによって、サンプルがイメージングされ、スワースイメージはサンプルの幅方向に取られる。例として、ウエハ検査の間に、ステージ115はサンプル114を動かし得て、フラッド銃200は、スワースされているサンプルのエリアが主ビームで検査される前にフラッドされるように、フラッドビームを提供し得る。フラッド銃の寿命を長くするために、フラッド銃は、引き出し器に適切な電圧を印加することによって、必要とされないときに消され得る。
本開示の局面は、図1の装置100を伴う具現化に限定されない。そのような装置に対するいくつかの代替的な構成が可能である。図2は、図1の装置に組み込まれ得るフラッド銃の模式図である。具体的には、フラッド銃200は、フラッド電子212を作り出す電子源210を含む。例としてであって限定するものではないが、電子源210は、熱イオン源(例えば、タングステン、酸化バリウム、六ホウ化ランタン、又はその他のディスペンサ電極)、電界放出源(例えば、ショットキーエミッタ、従来の冷陰極又はカーボンナノチューブアレイ)、又はフォトン放出源(例えば、マイクロチャネルプレート及びヌードダイノードチェーン)であり得る。他の例では、電子の主ビームは、ビーム106のフォーカスをずらした後に、電子源210として使用され得る。電子源210が、例えば高速電圧源の使用によってスイッチオン又はオフするように構成され得ることに留意されたい。電界放出形の源に対しては、源210をスイッチオン及びオフする他の方法は、源(例えばCNTアレイ)を放出近くまでバイアスし、それから、例えばレーザ、LED、UV、DUV、VUV、又は他の光源からのフォトンで光励起電子放出することを含む。加えて、電圧源290aに結合されたレンズ220はフラッド電子212をフォーカスし、主ビーム106の下流の光学系のためにスポットサイズを設定する。フラッド銃200はまた、電圧源290bに結合された消去メッシュ230を含み、必要とされるときにフラッド銃200を無効にする。例えば、電子源210に対してある電圧値(例えば−10ボルト)が消去メッシュ230に印加され得て、それによってフラッドビームがサンプルに達することを禁止する。図2に示されるように、主ビームは、主ビーム106が通過することができる狭い(例えば直径10〜30マイクロメータ)ビーム規定開口BDAを有する金属チューブ270によって、フラッドの高電圧からシールドされ得る。電圧源290cに結合されたシールドメッシュ280がまたフラッド銃に含まれ得て、主ビーム106をフラッドの高電圧から保護する。
Claims (43)
- 第1のモードでサンプルを帯電するように構成された第1の装置であって、前記第1の装置が、帯電粒子のフラッドビームを前記サンプルの第1のエリアに提供するように構成された電子源を含む、第1の装置と、
第2のモードで電子の主ビームを生成し且つ前記主ビームと前記第1のエリア内の前記サンプルの第2のエリアとの間の相互作用を特徴付けるように構成された第2の装置と、
を備え、
前記装置が前記第1のモードから前記第2のモードへ1秒未満で切り替わるように構成されている、装置。 - 前記装置が前記第1のモードから前記第2のモードへ0.1秒未満で切り替わるように構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記装置が前記第1のモードから前記第2のモードへ0.01秒未満で切り替わるように構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記装置が前記第1のモードから前記第2のモードへ1ミリ秒未満で切り替わるように構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記装置が前記第1のモードから前記第2のモードへ1マイクロ秒未満で切り替わるように構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記装置が、前記主ビームによる前記サンプルの一部の走査の一つの線の終了時に前記主ビームが戻る際に、前記サンプルを前記主ビームでフラッドするように構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記第1の装置がフラッド銃である、請求項1に記載の装置。
- 前記第2の装置が、走査型電子顕微鏡(SEM)、測長式走査型電子顕微鏡(CD−SEM)、又はeビーム検査システム、eビームレビューシステム、又はeビームリソグラフィシステムである、請求項1に記載の装置。
- 前記電子源が熱イオン源、電界放出源、又はフォトン放出源である、請求項1に記載の装置。
- 前記電子源は、放射開始源、マイクロチャネルプレート、及び引き出し器を含み、前記放射開始源は前記マイクロチャネルによる帯電粒子の生成を開始するように構成されており、前記引き出し器は前記帯電粒子を引き出して前記フラッドビームを形成するように構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記放射開始源は発光ダイオード(LED)又はレーザを含む、請求項10に記載の装置。
- 前記第2の装置のためのビーム規定開口が前記マイクロチャネルプレートと前記サンプルとの間にある、請求項10に記載の装置。
- 前記マイクロチャネルプレートが前記第2の装置のためのビーム規定開口と前記サンプルとの間にある、請求項10に記載の装置。
- 前記電子源が、放射開始源とナノチューブアレイエミッタと引き出し器とを含み、前記放射開始源が前記ナノチューブアレイエミッタによる帯電粒子の生成を開始するように構成されており、前記引き出し器が前記帯電粒子を引き出して前記フラッドビームを形成するように構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記第1の装置がさらに、前記第1の装置をオフするように構成された消去電極を備える、請求項1に記載の装置。
- 前記フラッドビームの少なくとも一部が前記主ビームと同軸である、請求項1に記載の装置。
- 前記フラッドビームを前記主ビームと同軸になるように偏向する偏向器をさらに備える、請求項16に記載の装置。
- 前記偏向器がウィーンフィルタであり、前記ウィーンフィルタが、前記ウィーンフィルタの電界を切り替えることによって前記フラッドビームを前記主ビームと同軸になるように偏向するように構成されている、請求項17に記載の装置。
- 前記第1の装置が前記フラッドビームを前記主ビームと同軸に提供するように構成されている、請求項1に記載の装置。
- 前記サンプルからの二次電子及び/又は後方散乱電子を検出するように構成された検出器をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 選択された全エネルギー未満を有する前記サンプルからの二次電子及び/又は後方散乱電子が前記検出器に到達しないようにカットオフするように構成されたエネルギーフィルタをさらに備える、請求項20に記載の装置。
- 前記検出器に結合されたトリガ回路と前記第1の装置を制御するコントローラとをさらに備えており、前記トリガ回路が、前記検出器からの信号におけるドロップを検出して前記フラッドビームをオフするようにコントローラをトリガするように構成されている、請求項21に記載の装置。
- 前記検出器に結合されたゲート付き積分器と前記エネルギーフィルタに電圧を供給する電圧源とをさらに備えており、前記積分器が、前記検出器からの信号を、前記信号が参照信号と異なるときに積分して、前記サンプルの表面電圧が変化するときに前記エネルギーフィルタへの前記電圧を調整させる制御信号を前記電圧源に提供するように構成されている、請求項21に記載の装置。
- サンプルの第1の領域内の前記サンプルの第1のエリアを、第1の装置からの電子の主ビームでイメージングするステップと、
電子源を含む第2の装置からの帯電粒子のフラッドビームで、サンプルの前記第1のエリアを帯電するステップと、
前記第1のエリア内の前記サンプルの第2のエリアを、前記第1の装置からの前記主ビームでイメージングするステップと、
を含み、
前記第1のエリアのイメージングの終了と前記第2のエリアのイメージングの開始との間の時間が1秒未満である、方法。 - 前記第1のエリアのイメージングの終了と前記第2のエリアのイメージングの開始との間の時間が0.1秒未満である、請求項24に記載の方法。
- 前記第1のエリアのイメージングの終了と前記第2のエリアのイメージングの開始との間の時間が0.01秒未満である、請求項24に記載の方法。
- 前記第1のエリアのイメージングの終了と前記第2のエリアのイメージングの開始との間の時間が1ミリ秒未満である、請求項24に記載の方法。
- 前記第1のエリアを帯電するステップが、直径約1mmのエリアを約1mAのフラッド電流で約1μs〜1msの間だけ帯電するステップを含む、請求項24に記載の方法。
- 前記電子源が熱イオン源、電界放出源、又はフォトン放出源である、請求項24に記載の方法。
- 前記電子源は、放射開始源、マイクロチャネルプレート、及び引き出し器を含み、前記放射開始源は前記マイクロチャネルによる帯電粒子の生成を開始するように構成されており、前記引き出し器は前記帯電粒子を引き出して前記フラッドビームを形成するように構成されている、請求項24に記載の方法。
- 前記第1の装置が前記フラッドビームを前記主ビームと同軸に提供するように構成されている、請求項24に記載の方法。
- 前記第1及び第2のエリアが前記サンプルの幅に渡ったスワースの一部であり、前記帯電が、前記スワースがイメージングされているときに生じる、請求項24に記載の方法。
- 前記サンプルの前記第1のエリアを帯電するステップが、前記主ビームによる前記サンプルの一部の走査の一つの線の終了時に前記主ビームが戻る際に生じる、請求項24に記載の方法。
- 放射開始源と、
マイクロチャネルプレートであって、前記放射開始源が前記マイクロチャネルプレートにより帯電粒子の生成を開始するように構成されている、マイクロチャネルプレートと、
前記帯電粒子を引き出して前記帯電粒子のビームを形成するように構成された引き出し器と、
を備える、装置。 - 前記放射開始源がLED又はレーザである、請求項34に記載の装置。
- サンプルの第1のエリアに帯電粒子のフラッドビームを提供するように構成されたフラッド銃と、
前記サンプルからの二次電子及び/又は後方散乱電子を検出するように構成された検出器と、
選択された全エネルギー未満を有する前記サンプルからの二次電子及び/又は後方散乱電子が前記検出器に到達しないようにカットオフするように構成されたエネルギーフィルタと、
を備える、装置。 - 前記検出器に結合されたトリガ回路と前記フラッド銃を制御するコントローラとをさらに備えており、前記トリガ回路が、前記検出器からの信号におけるドロップを検出してコントローラをトリガし、前記フラッドビームをオフするように構成されている、請求項36に記載の装置。
- 前記エネルギーフィルタが前記検出器と前記サンプルとの間に配置されたグリッドである、請求項36に記載の装置。
- 前記検出器に結合されたゲート付き積分器と前記エネルギーフィルタに電圧を供給する電圧源とをさらに備えており、前記積分器が、前記検出器からの信号を、前記信号が参照信号と異なるときに積分して、前記サンプルの表面電圧が変化するときに前記エネルギーフィルタへの前記電圧を調整させる制御信号を前記電圧源に提供するように構成されている、請求項36に記載の装置。
- サンプルの第1のエリアにフラッド銃で帯電粒子のフラッドビームを提供するステップと、
前記サンプルからの二次電子及び/又は後方散乱電子を検出器で検出するステップと、
選択された全エネルギー未満を有する前記サンプルからの二次電子及び/又は後方散乱電子が前記検出器に到達しないようにエネルギーフィルタでカットオフするステップと、
前記検出器からの信号におけるドロップを検出してコントローラをトリガし前記フラッドビームをオフするトリガ回路で、前記フラッドビームをオフするステップと、
を含む、方法。 - サンプルの第1のエリアにフラッド銃で帯電粒子のフラッドビームを提供するステップと、
前記サンプルからの二次電子及び/又は後方散乱電子を検出器で検出するステップと、
選択された全エネルギー未満を有する前記サンプルからの二次電子及び/又は後方散乱電子が前記検出器に到達しないようにエネルギーフィルタでカットオフするステップと、
前記検出器からの信号を、前記信号が参照信号と異なるときに積分して、前記サンプルの表面電圧が変化するときに前記エネルギーフィルタへの前記電圧を調整させる制御信号を前記電圧源に提供するステップと、
を含む、方法。 - 前記エネルギーフィルタの変化率をモニタリングするステップと、
前記変化率を記憶された参照と比較して、面欠陥が前記サンプル上に存在するかどうかを判定するステップと、
をさらに含む、請求項41に記載の方法。 - フラッドビームが前記第1のサンプルエリアを飽和まで帯電し、対応するエネルギーフィルタの電圧が参照と比較されて面欠陥が前記サンプル上に存在するかどうかを判定する、請求項41に記載の方法。
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