JP2014022163A - 走査電子顕微鏡および試料の予備帯電条件設定方法 - Google Patents
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Abstract
本発明は、試料を予備帯電させるに当たり、スループット向上と大きな帯電の付着の両立を実現する走査電子顕微鏡、および試料の予備帯電条件設定方法の提供を目的とする。
【解決手段】
本発明では、上記目的を達成するために、走査電子顕微鏡の複数のビーム条件における単位時間あたりの試料の帯電量の変化をモニタし、当該複数のビーム条件の内、単位時間あたりの帯電量の変化が最も大きいビーム条件、或いは当該帯電量の変化量が所定値を超えているビーム条件を選択する走査電子顕微鏡、及び試料の予備帯電条件設定方法を提案する。
【選択図】 図9
Description
Vacc=V0−Vr ・・・・(1)
Vacc=V0−Vr−Vs ・・・(2)
Vacc=V0−(Vr−ΔVr)−Vs ・・・(3)
ΔVr=Vs ・・・(4)
Claims (12)
- 陰極から放出される電子ビームの条件を調整する光学素子と、当該光学素子を制御する制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、
当該制御装置は、前記光学素子を複数の条件に変化させたときの単位時間当たりの試料の帯電変化量をモニタし、当該複数のビーム条件の内、単位時間当たりの帯電量の変化が最も大きいビーム条件、或いは当該帯電変化量が所定値を超えているビーム条件を選択することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記制御装置は、前記選択されたビーム条件を、前記試料の予備帯電用のビーム条件として設定することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項2において、
前記ビーム条件は、電子ビームの到達エネルギー、倍率、及びプローブ電流の少なくとも1つであることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項3において、
前記制御装置は、前記倍率、と前記プローブ電流の変化による前記予備帯電時の試料表面の飽和電位と飽和時間を測定することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項3において、
前記制御装置は、前記電子ビームの試料への到達エネルギーを複数の条件に変化させたときの帯電量をモニタし、当該帯電量のモニタに基づいて、試料帯電工程の到達エネルギーを設定し、当該設定された到達エネルギーにて、前記倍率及び/又はプローブ電流を変化させたときの帯電量をモニタするためのビーム照射を行い、当該モニタに基づいて前記他のビーム条件を設定する走査電子顕微鏡。 - 請求項2において、
前記制御装置は、前記予備帯電用のビーム照射後の試料表面電位と、前記電子ビーム照射に基づく検査、或いは計測後の試料表面電位との差を求めることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項2において、
前記制御装置は、前記予備帯電用のビーム照射によって試料表面電位を上昇させた後、前記電子ビーム照射に基づく検査、或いは計測のときの試料表面電位の変化を測定することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 陰極から放出される電子ビームの条件を調整する光学素子の条件を調整して、試料の予備帯電条件を設定する試料の予備帯電条件設定方法において、
前記光学素子を複数の条件に変化させたときの単位時間当たりの帯電変化量をモニタし、当該複数のビーム条件の内、単位時間当たりの帯電量の変化が最も大きいビーム条件、或いは帯電変化量が所定値を超えているビーム条件を選択することを特徴とする試料の予備帯電条件設定方法。 - 陰極から放出される電子ビームを加速させる加速電極と、当該加速電極への印加電圧を制御する制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、
当該制御装置は、前記電子ビームの試料への到達エネルギーを複数の条件に変化させたときの帯電量をモニタし、当該帯電量のモニタに基づいて、試料帯電工程の到達エネルギーを設定し、当該設定された到達エネルギーにて、他のビーム条件を変化させたときの帯電量をモニタするためのビーム照射を行い、当該モニタに基づいて前記他のビーム条件を設定することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項11において、
前記他のビーム条件は、倍率及びプローブ電流の少なくとも1つであることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項11において、
前記制御装置は、前記光学素子を複数の条件に変化させたときの単位時間当たりの帯電変化量をモニタし、当該複数のビーム条件の内、単位時間当たりの帯電量の変化が最も大きいビーム条件、或いは帯電変化量が所定値を超えているビーム条件を選択することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 陰極から放出される電子ビームの条件を調整する光学素子の条件を調整して、試料の予備帯電条件を設定する試料の予備帯電条件設定方法において、
前記電子ビームの試料への到達エネルギーを複数の条件に変化させたときの帯電量をモニタし、当該帯電量のモニタに基づいて、試料帯電工程の到達エネルギーを設定し、当該設定された到達エネルギーにて、他のビーム条件を変化させたときの帯電量をモニタするためのビーム照射を行い、当該モニタに基づいて前記他のビーム条件を設定することを特徴とする試料の予備帯電条件設定方法。
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---|---|---|---|---|
WO2018134870A1 (ja) * | 2017-01-17 | 2018-07-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡および走査電子顕微鏡による試料観察方法 |
WO2023241870A1 (en) * | 2022-06-16 | 2023-12-21 | Asml Netherlands B.V. | Systems and methods of defect detection by voltage contrast imaging |
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JP2002216698A (ja) * | 2001-01-18 | 2002-08-02 | Toshiba Corp | ウエハの欠陥検査装置及び該装置を用いたデバイス製造方法 |
JP2009099540A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-05-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料の検査,測定方法、及び走査電子顕微鏡 |
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