JP2017526202A - フィルタチップおよびフィルタチップを製造するための方法 - Google Patents
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Abstract
Description
−1つのチップ基板上に、音響体積波で動作する、1つの第1の圧電層を有する1つの第1の共振器を生成するステップ。
−このチップ基板上に、音響体積波で動作する、1つの第2の圧電層を有する1つの第2の共振器を生成するステップ。
−この第1の圧電層を、および場合によってはこの第2の圧電層をもフォトリソグラフィーでパターニングするステップ。
d2/d1=√2
d2/d1=0.5×√3
この関係は、ヘキサゴナル配置とも呼ぶ。
2 : 第1の共振器
3 : 第2の共振器
4 : 第1の圧電層
5 : 上側電極
6 : 下側電極
7 : 第2の圧電層
8 : 上側電極
9 : 下側電極
10 : チップ基板
11 : 音響ミラー
12 : 音響ミラーの第1の層
13 : 音響ミラーの第2の層
14 : 穴
15 : 孔部
16 : スリット
17 : 被覆層
18 : 充填層
19 : 中心点
20 : 中心点
21 : 中心点
22 : 中心点
Claims (16)
- 音響体積波で動作する少なくとも1つの第1の共振器(2)および少なくとも1つの第2の共振器(3)の回路接続を備えるフィルタチップ(1)であって、
音響体積波で動作する前記第1の共振器(2)は、1つの第1の圧電層(4)を備え、当該第1の圧電層は、前記第1の共振器(2)が前記第2の共振器(3)よりも低い共振周波数を有するようにパターニングされている、
ことを特徴とするフィルタチップ。 - 請求項1に記載のフィルタチップにおいて、
音響体積波で動作する、前記の第1の共振器(2)は、厚さ方向に1つの主モードを備え、
音響体積波で動作する前記第2の共振器(3)は、厚さ方向に1つの主モードを備える、
ことを特徴とする、請求項1に記載のフィルタチップ。 - 前記第1の圧電層(4)は、複数の穴(14)がパターニングされており、当該穴は、当該第1の圧電層(4)を貫通して延伸していることを特徴とする、請求項1または2に記載のフィルタチップ。
- 前記第2の圧電層(7)は、パターニングされていないか、またはパターニングされていることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載のフィルタチップ。
- 前記第1の圧電層(4)および/または前記第2の圧電層(7)は、前記穴(14)が前記第1の圧電層(4)および/または前記第2の圧電層(7)を垂直方向に貫通して延伸するようにパターニングされていることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載のフィルタチップ。
- 前記第1の圧電層(4)および前記第2の圧電層(7)は、同じ厚さを有することを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか1項に記載のフィルタチップ。
- 前記第1の共振器(2)および/または前記第2の共振器(3)は、1つのトリミング層を備えることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか1項に記載のフィルタチップ。
- 前記第1の共振器(2)および/または前記第2の共振器(3)は、1つの音響ミラー(11)上に配設されていることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか1項に記載のフィルタチップ。
- 前記第1の共振器(2)および/または前記第2の共振器(3)は、自由振動できるように配設されていることを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか1項に記載のフィルタチップ。
- 前記第1の圧電層(4)および/または前記第2の圧電層(7)は、1つのフォノニックバンドギャップ構造を形成していることを特徴とする、請求項1乃至9のいずれか1項に記載のフィルタチップ。
- 請求項1乃至10のいずれか1項に記載のフィルタチップにおいて、
前記第1および第2の共振器(2,3)は、少なくとも1つの直列共振器および少なくとも1つの並列共振器を備える1つのラダー型構造で互いに回路接続されており、
前記第1の共振器(2)は、前記直列共振器または前記並列共振器を形成し、
前記第2の共振器(3)はそれぞれ他の1つの、直列共振器または並列共振器から選択されたものを形成している、
ことを特徴とするフィルタチップ。 - 前記フィルタチップは、さらなる共振器(複数)を備え、当該共振器はその共振周波数が、前記第1および第2の共振器(2,3)とは異なっていることを特徴とする、請求項1乃至11のいずれか1項に記載のフィルタチップ。
- デュプレクサとして実装されている、請求項1乃至12のいずれか1項に記載のフィルタチップにおいて、
少なくとも1つの第1の共振器(2)および少なくとも1つの第2の共振器(3)が1つの送信フィルタとなるように互いに回路接続されており、
前記フィルタチップ(1)は、少なくとも1つの第3の共振器および少なくとも1つの第4の共振器を備え、当該第3の共振器および当該第4の共振器は、1つの受信フィルタとなるように互いに回路接続されており、
前記第1の共振器(2),前記第2の共振器(3),前記第3の共振器,および前記第4の共振器は、それぞれ1つの互いに異なる共振周波数を有している、
ことを特徴とするフィルタチップ。 - 前記第1の共振器(2)および前記第2の共振器(3)は、1つのFBAR共振器または1つのSMR共振器であることを特徴とする、請求項1乃至13のいずれか1項に記載のフィルタチップ。
- フィルタチップ(1)を製造するための方法であって、
前記方法は以下のステップ、
1つのチップ基板(10)上に、音響体積波で動作する、1つの第1の圧電層(4)を有する1つの第1の共振器(2)を生成するステップと、
前記チップ基板(10)上に、音響体積波で動作する、1つの第2の圧電層(7)を有する1つの第2の共振器(3)を生成するステップと、
前記第1の圧電層(4)をフォトリソグラフィーでパターニングするステップと、
を備えることを特徴とする方法。 - さらに前記第2の圧電層(7)をフォトリソグラフィーでパターニングするステップを備えることを特徴とする、請求項15に記載の方法。
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