JP2017525945A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015217091B4 (de) 2015-09-07 2017-05-11 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V Anordnung zur Bestimmung der erreichbaren Haftfestigkeit vor Ausbildung einer stoffschlüssigen Verbindung an einer Oberfläche eines Fügepartners
DE102015223853B4 (de) * 2015-12-01 2025-07-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Anordnung zur Bestimmung der Tiefe von in Oberflächen eines Substrates, auf dem mindestens eine Schicht aus einem vom Substratmaterial abweichenden Material ausgebildet ist, ausgebildeten Vertiefungen
DE102017217231A1 (de) * 2017-09-27 2019-03-28 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Bestimmung von oxydischen und/oder organischen Belegungen einer Probe mit einer Metalloberfläche
RU2768539C1 (ru) * 2018-03-30 2022-03-24 ДжФЕ СТИЛ КОРПОРЕЙШН Устройство для измерения относительного содержания мелких частиц, система для измерения относительного содержания мелких частиц и способ выполнения операции для доменной печи
CN111273311A (zh) * 2020-01-03 2020-06-12 电子科技大学 一种激光三维焦平面阵列成像系统

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60118829A (ja) * 1983-11-30 1985-06-26 Matsushita Electric Works Ltd 照明装置付テレビカメラ
US6717668B2 (en) * 2000-03-07 2004-04-06 Chemimage Corporation Simultaneous imaging and spectroscopy apparatus
US7099005B1 (en) * 2000-09-27 2006-08-29 Kla-Tencor Technologies Corporation System for scatterometric measurements and applications
AU2005327078A1 (en) * 2004-12-28 2006-08-17 Hypermed Imaging, Inc. Hyperspectral/multispectral imaging in determination, assessment and monitoring of systemic physiology and shock
IL174590A (en) * 2005-03-29 2015-03-31 Yoel Arieli A method and an imaging system for the analysis of optical properties of an object illuminated by a light source
US20070019194A1 (en) * 2005-07-21 2007-01-25 Liangyao Chen Full spectral range spectrometer
DE102006034776B3 (de) 2006-07-27 2008-03-06 Infineon Technologies Ag Verfahren und Messvorrichtung zur ellipsometrischen Vermessung von Strukturelementen sowie Verwendung des Verfahrens
US7763876B2 (en) * 2007-04-06 2010-07-27 Xerox Corporation Gloss and differential gloss measuring system
DE102007018048A1 (de) * 2007-04-13 2008-10-16 Michael Schwertner Verfahren und Anordnung zur optischen Abbildung mit Tiefendiskriminierung
JP2013044729A (ja) * 2011-08-26 2013-03-04 Sumitomo Electric Ind Ltd 塗布状態測定方法
JP5475057B2 (ja) 2012-04-20 2014-04-16 株式会社 オフィス・カラーサイエンス 変角分光イメージング測定方法およびその装置

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