JP2017520675A - ナノチューブを堆積するための装置 - Google Patents
ナノチューブを堆積するための装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017520675A JP2017520675A JP2016558373A JP2016558373A JP2017520675A JP 2017520675 A JP2017520675 A JP 2017520675A JP 2016558373 A JP2016558373 A JP 2016558373A JP 2016558373 A JP2016558373 A JP 2016558373A JP 2017520675 A JP2017520675 A JP 2017520675A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- process chamber
- gas
- chamber housing
- substrate
- gas inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 title claims abstract description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 115
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 113
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 abstract 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 109
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000013529 heat transfer fluid Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 238000006557 surface reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/26—Deposition of carbon only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
- C01B32/158—Carbon nanotubes
- C01B32/16—Preparation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
- C01B32/182—Graphene
- C01B32/184—Preparation
- C01B32/186—Preparation by chemical vapour deposition [CVD]
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45563—Gas nozzles
- C23C16/45565—Shower nozzles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
- C23C16/4582—Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs
- C23C16/4587—Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs the substrate being supported substantially vertically
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/46—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for heating the substrate
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
Description
第1に、かつ本質的に、プロセスチャンバハウジングが、中空部を具備する壁を有し、それを通してガス入口部材のガス容積空間にプロセスガスが供給されることが提示される。こうして、プロセスチャンバハウジングの壁は充填物を供給され、壁内に外部からプロセスガスを供給可能であり、それにより、プロセスガスがガス供給開口を通して、特に端部からガス入口部材のガス容積空間内に供給可能である。
プロセスチャンバの内部には、複数の平板状部材が配置されていることが好適である。それらの平板状部材は、それらの互いに反対側の縁に縁部を有し、それらの縁部は保持凹部に挿入されており、それらの保持凹部はプロセスチャンバハウジングの2つの互いに平行に延在する壁から形成されている。保持凹部は、好適には互いに平行に延在する溝壁をもつ溝から形成される。2つの壁の溝の開口は互いに対となっている。各対の溝に、長方形のプレートがそれぞれ挿入される。
プロセスチャンバハウジングは、好適には鏡像対称構造を有する。対象面は中央面であり、そこに基板キャリアを配置することができる。基板キャリアは、互いに反対向きの主面に基板をそれぞれ搭載することができ、それらの基板を同時にコーティングすることができる。このために、プロセスチャンバハウジングは、鉛直方向に延在する基板キャリアの両側にガス入口部材を有している。各ガス入口部材は、平板状部材から形成され、それらは多数のガス送出孔を有する。
ガス入口プレートを通してプロセスガスがプロセスチャンバに流入することができ、その中央に基板キャリアが設けられている。ガス入口プレートの背面側に後壁が設けられ、それによりガス入口部材のガス容積空間がプロセスチャンバのその方向に対して密閉されている。ガス入口プレート及び後壁は、それぞれ縁部を形成しており、それらが保持凹部に挿入される。
プロセスガスのガス供給は、本発明では、プロセスチャンバハウジング壁により行われる。ガス入口部材のガス容積空間は、好適には、ガス入口プレートと後壁の間の間隙に配置されている。プロセスチャンバハウジング壁は、ガス入口プレートと後壁の間の間隙に連通する多数のガス供給開口を有する。プロセスチャンバハウジング壁は中空部を有し、その中に外部からプロセスガスを供給可能である。その中空部は、プロセスガスを個々のガス供給開口に分配し、それらのガス供給開口はガス入口部材のガス容積空間に連通している。
後壁の背面側には石英プレートが設けられている。石英プレートの背面側には抵抗ヒーターが設けられており、それにより赤外放射が生じる。石英プレート及び双方のガス入口部材を形成するプレートは、赤外放射に対して透明であり、石英から形成されている。
さらに後壁及び反射板もまた縁部を有することができ、それらは保持凹部に挿入される。保持凹部に挿入される平板状部材の交換、ガス入口プレート、後壁、石英プレート、反射板又は後壁の交換は、簡単に行うことができる。プロセスチャンバハウジングの天井の取り外しが必要なだけである。平板状部材は、鉛直方向に延在する保持凹部を通ってプロセスチャンバハウジングから引き出される。逆の方法で、プロセスチャンバハウジングに対する平板状部材の取り付けが行われる。
プロセスチャンバハウジングは、好適には,反応炉ハウジングの内部に配置される。反応炉ハウジングは蓋を有することができ、それによりプロセスチャンバハウジングの蓋を操作可能である。蓋を閉じることにより反応炉ハウジングは密閉され、真空引きすることができる。
本発明の実施形態は、以下に示す添付の図面を参照して説明される。
図面に示された反応炉ハウジングは、4つの側壁44、44’;45、45’を具備する直方体形状を有する。ハウジング上壁は、旋回可能な蓋46を形成する。反応炉の動作中は、蓋46が閉じられる。しかしながら、蓋は、作業目的のために開けることができる。
ホルダは電源供給のためにも機能する。
2、3 主面
4、5 基板受容領域
4’、5’ 縁
6 基板
7 縁部/持ち手部
8、9、10 孔
11 縁
12 突出部/案内部
13 凹部
14 固定部材/螺子
14’ 固定部材/ナット
15、16 孔
19 プロセスチャンバハウジング
20 反応炉ハウジング
21 案内部材
21’ 溝、凹部
22 案内部材
22’ 溝
23 搭載/取出開口
24 ガス入口部材、ガス入口プレート
25 後壁
26 石英プレート
27 ヒーター要素
28 ガス供給装置/中空部
29 正面プレート
30 反射板
31 後壁
32 回転可能反射板
33 案内部材
33’ 溝、凹部
34、35、36、37、38 保持凹部
39 ガス送出孔
40 ガス供給開口
41、42 ガス出口開口
43 搭載開口
44、44’、45、45’ 壁
46 壁、蓋
47 冷却ダクト
48、48’ ハウジング壁
49 カバー
50 底板
Claims (13)
- プロセスチャンバハウジング(19)内に配置された基板キャリア(1)に搭載された基板(6)上に、ナノチューブ又はグラフェンの形態の層である場合を含む炭素質の構造を堆積するための装置であって、プロセスチャンバハウジング(19)内に配置されたガス入口部材(24、25)のガス送出孔(39)を通してプロセスガスを少なくとも1つの基板(6)の方向に供給可能である、前記装置において、
プロセスチャンバハウジング(19)は、中空部(18)を具備する少なくとも1つの壁(48、48’)を有し、中空部(28)は、ガス供給開口(40)を通してガス入口部材(24、25)のガス容積空間と連通していることを特徴とする装置。 - ガス供給開口(40)が、特にガス入口部材における後壁(25)とガス入口プレート(24)の間に開口していることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- プロセスチャンバハウジング(19)が、中空部(28)を具備する互いに反対側に配置された壁(48、48’)を有し、各中空部(28)はガス供給開口(40)を通してガス入口部材(24、25)のガス容積空間と連通していることを特徴とする請求項1又は2に記載の装置。
- プロセスチャンバハウジング(19)が、基板キャリア(1)の存在する面について鏡像対称構造を有することにより、基板キャリア(1)がその対称面内に延在する平板状本体からなり、その双方の主面の各々が基板(6)を搭載可能であり、かつ基板キャリア(1)の双方の主面(2)の各々が、ガス送出孔(39)を具備するガス入口プレート(24)に対向して配置されており、ガス入口プレート(24)の背面側にそれぞれ配置されたガス容積空間が、少なくとも1つのプロセスチャンバハウジング壁(48、48’)のガス供給開口(40)を通して供給されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の装置。
- 少なくとも1つの中空部(28)が供給ラインにより、プロセスガスを供給するガス混合システムと接続され、供給ラインは壁(48、48’)における狭い方の側面上に取り付けられていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の装置。
- プロセスチャンバハウジング(19)内に配置された基板キャリア(1)に搭載された基板(6)上に、ナノチューブ又はグラフェンの形態の層である場合を含む炭素質の構造を堆積するための装置であって、プロセスチャンバハウジング(19)に配置されたガス入口部材(24、25)における、基板キャリア(1)に対して平行に延在するガス入口プレート(24)のガス送出孔(39)を通してプロセスガスを少なくとも1つの基板(6)の方向に供給可能である、前記装置において、
プロセスチャンバハウジング(19)が、互いに対向して配置されかつ基板キャリア(1)に対して垂直な、保持凹部(34、35、36、37、38)を具備する2つの壁(48、48’)を有し、保持凹部には平板状部材における2つの互いに反対側の縁部が挿入され、平板状部材はガス入口プレート(24)及び/又は反射板(30)及び/又はプロセスチャンバハウジング(19)の後壁(31)であり、かつ、平板状部材はその延在面に沿った方向に変位することによりプロセスチャンバ(19)から取り外し可能であることを特徴とする装置。 - ガス入口部材(24、25)の背面側、特に双方のガス入口部材(24、25)の背面側に赤外放射を生じるためのヒーター装置(27)が配置されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の装置。
- ガス出口プレート(24)、後壁(25)、及び後壁(25)の背面側に配置されたプレート(26)が、赤外放射に対して透過性の材料から形成され、特に石英から形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の装置。
- 全ての平板状部材(24、25、26、30、31)が面を平行にして配置されており、かつ鉛直方向にプロセスチャンバハウジング(19)から取り出されることができ、それらに対して面を平行にして延在する基板キャリア(1)が鉛直方向に搭載開口(23、43)を通してプロセスチャンバハウジング(19)から取り出し可能であることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の装置。
- プロセスチャンバハウジング(19)が、外部に対して気密性である反応炉ハウジング(20)内に配置されており、反応炉ハウジングは旋回軸の周りで開くことができる蓋(46)を有することを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の装置。
- 反応炉ハウジング(20)の壁が温度制御可能でありかつそのために冷却ダクト(47)を有することを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の装置。
- プロセスチャンバハウジング(19)の床を形成する底板(50)が、ガス出口開口(41、42)を有することを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載の装置。
- 前出請求項のいずれかにおいて特徴付けられた構成の1又は複数を特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102014104011.2 | 2014-03-24 | ||
DE102014104011.2A DE102014104011A1 (de) | 2014-03-24 | 2014-03-24 | Vorrichtung zum Abscheiden von Nanotubes |
PCT/EP2015/055801 WO2015144558A1 (de) | 2014-03-24 | 2015-03-19 | Vorrichtung zum abscheiden von nanotubes |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017520675A true JP2017520675A (ja) | 2017-07-27 |
JP6678590B2 JP6678590B2 (ja) | 2020-04-08 |
Family
ID=52686388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016558373A Active JP6678590B2 (ja) | 2014-03-24 | 2015-03-19 | ナノチューブを堆積するための装置 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10260147B2 (ja) |
EP (1) | EP3129524B1 (ja) |
JP (1) | JP6678590B2 (ja) |
KR (1) | KR20160135343A (ja) |
CN (1) | CN106458592B (ja) |
DE (1) | DE102014104011A1 (ja) |
ES (1) | ES2806474T3 (ja) |
TW (1) | TWI683027B (ja) |
WO (1) | WO2015144558A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108132582B (zh) * | 2016-12-01 | 2020-06-09 | 清华大学 | 光刻掩模板 |
US10947640B1 (en) * | 2016-12-02 | 2021-03-16 | Svagos Technik, Inc. | CVD reactor chamber with resistive heating for silicon carbide deposition |
DE102017124456A1 (de) * | 2017-10-19 | 2019-04-25 | Heraeus Noblelight Gmbh | Beheizbarer Gasinjektor |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09326366A (ja) * | 1996-06-06 | 1997-12-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2005126257A (ja) * | 2003-10-22 | 2005-05-19 | Plasma Ion Assist Co Ltd | カーボンナノチューブの製造方法 |
JP2012036022A (ja) * | 2010-08-04 | 2012-02-23 | Aisin Seiki Co Ltd | カーボンナノチューブ製造方法およびカーボンナノチューブ製造装置 |
JP2013100205A (ja) * | 2011-11-09 | 2013-05-23 | Tokyo Electron Ltd | 前処理方法、グラフェンの形成方法及びグラフェン製造装置 |
KR20130098664A (ko) * | 2012-02-28 | 2013-09-05 | (주)앤피에스 | 기판 처리 장치 |
WO2013161819A1 (ja) * | 2012-04-24 | 2013-10-31 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP2014011178A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-20 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
Family Cites Families (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5016334A (en) | 1989-07-31 | 1991-05-21 | Shenyang No. 3 Machine Tool Works | Multiple spindle bar machine |
DE4125334C2 (de) | 1991-07-31 | 1999-08-19 | Leybold Ag | Vorrichtung für den Transport von Substraten |
DE9210359U1 (ja) | 1992-08-03 | 1992-09-24 | Leybold Ag, 6450 Hanau, De | |
DE59510000D1 (de) | 1994-06-24 | 2002-02-21 | Aixtron Gmbh | Reaktor und verfahren zum beschichten von flächigen substraten |
JPH0950992A (ja) * | 1995-08-04 | 1997-02-18 | Sharp Corp | 成膜装置 |
US6143079A (en) * | 1998-11-19 | 2000-11-07 | Asm America, Inc. | Compact process chamber for improved process uniformity |
JP2005133165A (ja) | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Masahito Yonezawa | 帯状基板の処理装置及び処理方法 |
FR2882064B1 (fr) * | 2005-02-17 | 2007-05-11 | Snecma Propulsion Solide Sa | Procede de densification de substrats poreux minces par infiltration chimique en phase vapeur et dispositif de chargement de tels substrats |
JP4642608B2 (ja) | 2005-08-31 | 2011-03-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理システム |
JP2009094232A (ja) | 2007-10-05 | 2009-04-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | サセプタおよび気相成長装置 |
US8628621B2 (en) * | 2007-12-31 | 2014-01-14 | Jusung Engineering Co., Ltd. | Gas injector and film deposition apparatus having the same |
GB0805837D0 (en) | 2008-03-31 | 2008-06-04 | Qinetiq Ltd | Chemical Vapour Deposition Process |
DE102010000554A1 (de) | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Aixtron Ag | MOCVD-Reaktor mit einer örtlich verschieden an ein Wärmeableitorgan angekoppelten Deckenplatte |
KR20100135618A (ko) | 2009-06-17 | 2010-12-27 | 삼성전자주식회사 | 태양 전지 및 그 제조 방법 |
JP5375442B2 (ja) | 2009-08-27 | 2013-12-25 | 凸版印刷株式会社 | 基板搬送用パレット |
CN101882647B (zh) | 2010-06-11 | 2012-01-25 | 深圳市创益科技发展有限公司 | 一种硅基薄膜太阳能电池活动夹具 |
KR101223489B1 (ko) * | 2010-06-30 | 2013-01-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 가공 장치 |
CN103052593B (zh) | 2010-08-04 | 2015-04-29 | 爱信精机株式会社 | 碳纳米管设备、碳纳米管制造方法及碳纳米管制造装置 |
KR101912798B1 (ko) | 2011-01-31 | 2018-10-30 | 한화에어로스페이스 주식회사 | 그래핀 합성장치 및 합성방법 |
CN201990721U (zh) | 2011-03-04 | 2011-09-28 | 友威科技股份有限公司 | 立式真空镀膜机的均温玻璃载具装置 |
KR101288129B1 (ko) | 2011-07-13 | 2013-07-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기상 증착 장치, 기상 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 |
US20150028650A1 (en) | 2011-07-14 | 2015-01-29 | Proprietect L.P. | Foam seat element, and process and mold for producing same |
JP2013026358A (ja) | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Sharp Corp | シャワープレート及び気相成長装置 |
JP5933202B2 (ja) * | 2011-08-05 | 2016-06-08 | 昭和電工株式会社 | エピタキシャルウェハの製造装置及び製造方法 |
US10100402B2 (en) | 2011-10-07 | 2018-10-16 | International Business Machines Corporation | Substrate holder for graphene film synthesis |
US8534659B2 (en) | 2011-12-13 | 2013-09-17 | United Microelectronics Corp. | Substrate carrier and applications thereof |
JP5850236B2 (ja) * | 2012-01-20 | 2016-02-03 | アイシン精機株式会社 | カーボンナノチューブの製造装置及びカーボンナノチューブの製造方法 |
KR20140030977A (ko) * | 2012-09-04 | 2014-03-12 | 삼성테크윈 주식회사 | 촉매 금속 지지 장치, 그래핀 다매 합성 장치 및 그래핀 다매 합성 방법. |
WO2014194892A1 (de) | 2013-06-06 | 2014-12-11 | Centrotherm Photovoltaics Ag | Haltevorrichtung, verfahren zu deren herstellung und verwendung derselben |
US20150361555A1 (en) | 2014-06-12 | 2015-12-17 | Crystal Solar Inc. | Cvd epitaxial reactor chamber with resistive heating, three channel substrate carrier and gas preheat structure |
TWI619826B (zh) | 2014-07-31 | 2018-04-01 | 愛發科股份有限公司 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
-
2014
- 2014-03-24 DE DE102014104011.2A patent/DE102014104011A1/de active Pending
-
2015
- 2015-03-19 KR KR1020167029330A patent/KR20160135343A/ko active IP Right Grant
- 2015-03-19 JP JP2016558373A patent/JP6678590B2/ja active Active
- 2015-03-19 ES ES15710529T patent/ES2806474T3/es active Active
- 2015-03-19 EP EP15710529.7A patent/EP3129524B1/de active Active
- 2015-03-19 CN CN201580025233.XA patent/CN106458592B/zh active Active
- 2015-03-19 US US15/128,657 patent/US10260147B2/en active Active
- 2015-03-19 WO PCT/EP2015/055801 patent/WO2015144558A1/de active Application Filing
- 2015-03-24 TW TW104109343A patent/TWI683027B/zh active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09326366A (ja) * | 1996-06-06 | 1997-12-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2005126257A (ja) * | 2003-10-22 | 2005-05-19 | Plasma Ion Assist Co Ltd | カーボンナノチューブの製造方法 |
JP2012036022A (ja) * | 2010-08-04 | 2012-02-23 | Aisin Seiki Co Ltd | カーボンナノチューブ製造方法およびカーボンナノチューブ製造装置 |
JP2013100205A (ja) * | 2011-11-09 | 2013-05-23 | Tokyo Electron Ltd | 前処理方法、グラフェンの形成方法及びグラフェン製造装置 |
KR20130098664A (ko) * | 2012-02-28 | 2013-09-05 | (주)앤피에스 | 기판 처리 장치 |
WO2013161819A1 (ja) * | 2012-04-24 | 2013-10-31 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP2014011178A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-20 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201600632A (zh) | 2016-01-01 |
TWI683027B (zh) | 2020-01-21 |
CN106458592A (zh) | 2017-02-22 |
US20170107613A1 (en) | 2017-04-20 |
ES2806474T3 (es) | 2021-02-17 |
WO2015144558A1 (de) | 2015-10-01 |
JP6678590B2 (ja) | 2020-04-08 |
EP3129524A1 (de) | 2017-02-15 |
CN106458592B (zh) | 2019-10-25 |
EP3129524B1 (de) | 2020-05-06 |
US10260147B2 (en) | 2019-04-16 |
DE102014104011A1 (de) | 2015-09-24 |
KR20160135343A (ko) | 2016-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5179179B2 (ja) | 蒸着システムおよび蒸着方法 | |
KR102417934B1 (ko) | 박막 증착 장치 | |
US9679750B2 (en) | Deposition apparatus | |
KR20150060086A (ko) | 클러스터형 배치식 기판처리 시스템 | |
TWI402373B (zh) | A CVD reactor that can replace the reaction chamber roof | |
JP2016511797A (ja) | 空間分離原子層堆積のための装置およびプロセス閉じ込め | |
JP2008540840A (ja) | 複数の気体流入口を有する原子層堆積装置の反応器 | |
JP2017520675A (ja) | ナノチューブを堆積するための装置 | |
KR101396601B1 (ko) | 배치식 기판처리 장치 | |
KR102376367B1 (ko) | 기판 캐리어의 서로 등지는 2개의 측부들 각각 상에서 기판을 반송하는 기판 캐리어 | |
CN109312457B (zh) | 涂层装置以及涂层方法 | |
KR102236013B1 (ko) | 원자층 증착장치 | |
KR102349330B1 (ko) | 박막 캡슐화 처리 시스템 및 프로세스 키트 | |
TW201636449A (zh) | 用於塗佈大型基板之裝置 | |
KR101524251B1 (ko) | 클러스터형 배치식 기판처리 시스템 | |
KR101512329B1 (ko) | 배치식 기판처리 장치 | |
KR20150003118A (ko) | 클러스터형 배치식 기판처리 시스템 | |
KR20140015874A (ko) | 기판 처리 유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 | |
JP7249705B1 (ja) | 成膜装置、成膜方法及びガスノズル | |
JP5114457B2 (ja) | 触媒cvd装置 | |
KR20150018910A (ko) | 클러스터형 배치식 기판처리 시스템 | |
JP2022146925A (ja) | 温度制御された反応チャンバー | |
KR101452336B1 (ko) | 배치식 기판처리 시스템 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160927 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180305 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181002 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190709 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190913 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200227 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200317 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6678590 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |