JP2009094232A - サセプタおよび気相成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】サセプタは、薄膜体としてのサセプタ6と支持部材7とを備える。サセプタ6は基板13を搭載する面を有する。支持部材7は、サセプタ6の外周部に接触してサセプタ6を支持する。サセプタ6の厚みは1.0mm以下である。これによりサセプタの熱容量を低減することができ、基板の冷却速度を高められる。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明に従った処理装置の実施の形態1を示す断面模式図である。図2は、図1の線分II−IIにおける断面模式図である。図1および図2を参照して、本発明による処理装置を説明する。
図3は、本発明による処理装置の実施の形態2を示す断面模式図である。図4は、図3に示した処理装置の動作を説明するための断面模式図である。図3および図4を参照して、本発明による処理装置の実施の形態2を説明する。
図5は、本発明による処理装置の実施の形態3を示す断面模式図である。図6は、図5に示した処理装置の動作を示す断面模式図である。図5および図6を参照して、本発明による処理装置の実施の形態3を説明する。
以下、本発明の効果を確認するために行なった実験の内容を説明する。
実験のために、以下のような試料を準備した。すなわち、サセプタの材料として炭素(C)、炭化ケイ素(SiC)、およびサファイアなどを用い、直径が200mmという平面形状が円形状のサセプタであって、厚みを異ならせた試料を合計20個準備した。各試料の厚みは後述する表1〜表3に示すとおりである。
上述した各試料について、図1および図2に示した処理装置を用いて昇温速度および降温速度を求めた。その結果を表1〜表3に示す。
Claims (5)
- 基板を搭載する面を有する薄膜体と、
前記薄膜体の外周部に接触して前記薄膜体を支持する支持部材とを備え、
前記薄膜体の厚みは1.0mm以下である、サセプタ。 - 請求項1に記載のサセプタと、
前記サセプタを加熱するヒータとを備える、気相成長装置。 - 前記サセプタと対向する位置に配置された整流板を更に備え、
前記整流板の厚みは1.0mm以下である、気相成長装置。 - 前記ヒータと前記サセプタとの間の距離を変更するように、前記ヒータを移動する移動部材を更に備える、請求項2または3に記載の気相成長装置。
- 前記サセプタと前記ヒータとの間の領域に挿入可能な輻射熱遮蔽体と、
前記領域と、前記領域以外の外部領域との間で、前記輻射熱遮蔽体を移動可能な遮蔽体移動部材とを備える、請求項2〜4のいずれか1項に記載の気相成長装置。
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