JP2017516944A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017516944A5 JP2017516944A5 JP2016569640A JP2016569640A JP2017516944A5 JP 2017516944 A5 JP2017516944 A5 JP 2017516944A5 JP 2016569640 A JP2016569640 A JP 2016569640A JP 2016569640 A JP2016569640 A JP 2016569640A JP 2017516944 A5 JP2017516944 A5 JP 2017516944A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- supply
- supply chamber
- stage
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory Effects 0.000 claims 1
Claims (8)
- 多段ポンプであって、
プロセス流体の流入を調節するための入口弁と、
前記入口弁から下流の供給段部分と、
前記供給段部分から下流の濾過器と、
前記濾過器から下流の分注段部分と、
前記プロセス流体の排出を調節するための出口弁とを備え、
前記供給段部分は、供給段ポンプと圧力センサーとを備え、
前記供給段ポンプは、供給室と、前記供給室内で移動しかつ前記供給室内の前記プロセス流体を押しのける供給段ダイアフラムと、前記供給段ダイアフラムを移動するピストンと、前記ピストンを作動させる前記ピストンに結合されている送りネジと、前記送りネジを駆動する供給モーターとを備え、
前記圧力センサーは、前記供給室内の流体圧力を検出するために前記供給室の側壁上に取り付けられる、多段ポンプ。 - 前記圧力センサーは、前記圧力センサーの感知部分が上方を指すように前記供給室の前記側壁に関してある角度で前記供給室の前記側壁上に取り付けられる請求項1に記載の多段ポンプ。
- 前記圧力センサーによって検出されるような前記供給室内の前記流体圧力は、濾過確認で使用され、前記濾過確認は、前記圧力センサーによって検出されるような前記供給室内の前記流体圧力に少なくとも一部は基づき動作充填圧力プロファイルを決定するステップと、前記動作充填圧力プロファイルを基準充填圧力プロファイルとを比較するステップと、アラームを発生するかどうかを決定するステップとを含む請求項1に記載の多段ポンプ。
- 前記圧力センサーによって検出されるような前記供給室内の前記流体圧力は、空気検出試験で使用され、前記空気検出試験は、前記供給室を含む前記多段ポンプの一部を隔離するステップと、前記供給モーターを制御して前記隔離された部分に第1の圧力をかけるステップと、前記供給モーターを固定された距離だけ移動するステップと、前記圧力センサーを使用して第2の圧力を検出するステップと、前記第1の圧力と前記第2の圧力との間の変化を指示する差圧を決定するステップとを含み、前記差圧は、前記供給室を含む前記隔離された部分内の空気の量に相関する請求項1に記載の多段ポンプ。
- 前記圧力センサーによって検出されるような前記供給室内の前記流体圧力は、濾過器プライミングルーチンで使用される請求項1に記載の多段ポンプ。
- 前記濾過器プライミングルーチンは、前記供給室および前記濾過器を含む前記多段ポンプの隔離された部分が、陰圧または減圧に到達したかどうかを決定するステップと、一定期間の間前記陰圧または減圧で前記濾過器を前記プロセス流体中に浸けて前記多段ポンプの前記隔離された部分における前記プロセス流体から脱気するか、またはガスもしくは気泡を取り除くステップとを含む請求項5に記載の多段ポンプ。
- ポンプシステムであって、
流体源と、
前記流体源と流体的に連通している請求項1から6のいずれか一項に記載の多段ポンプと、
1つまたは複数のネットワーク通信リンクを介して前記多段ポンプに通信可能に接続されているポンプコントローラとを備えた、ポンプシステム。 - 前記ポンプコントローラによって監視されている複数のポンプ動作パラメータに対する動作プロファイルを表示するためのグラフィカルユーザインターフェースをさらに備える、請求項7に記載のポンプシステム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201462004117P | 2014-05-28 | 2014-05-28 | |
US62/004,117 | 2014-05-28 | ||
PCT/US2015/032817 WO2015184057A1 (en) | 2014-05-28 | 2015-05-28 | System and method for operation of a pump with feed and dispense sensors, filtration and dispense confirmation, and reduced pressure priming of filter |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017516944A JP2017516944A (ja) | 2017-06-22 |
JP2017516944A5 true JP2017516944A5 (ja) | 2018-07-05 |
JP6644712B2 JP6644712B2 (ja) | 2020-02-12 |
Family
ID=53433273
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016569637A Active JP6543646B2 (ja) | 2014-05-28 | 2015-05-28 | 高精度のシステムおよび用途におけるモーター駆動コンポーネントのためのバックラッシュ防止メカニズム |
JP2016569640A Active JP6644712B2 (ja) | 2014-05-28 | 2015-05-28 | 供給および分注センサー、濾過および分注確認、ならびに濾過器の減圧プライミングを有するポンプの動作のためのシステムおよび方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016569637A Active JP6543646B2 (ja) | 2014-05-28 | 2015-05-28 | 高精度のシステムおよび用途におけるモーター駆動コンポーネントのためのバックラッシュ防止メカニズム |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20170107982A1 (ja) |
EP (2) | EP3149329B1 (ja) |
JP (2) | JP6543646B2 (ja) |
KR (2) | KR102141271B1 (ja) |
CN (2) | CN106662083B (ja) |
SG (2) | SG11201609910XA (ja) |
TW (2) | TWI664350B (ja) |
WO (2) | WO2015184056A1 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10969805B2 (en) | 2013-02-11 | 2021-04-06 | Graco Minnesota Inc. | Paint sprayer distributed control and output volume monitoring architectures |
US11124406B1 (en) * | 2014-07-13 | 2021-09-21 | Sestra Systems, Inc. | System and method for piston detection in a metering mechanism for use with beverage dispensing system |
FR3049993B1 (fr) | 2016-04-07 | 2018-04-20 | Dosatron International | Mecanisme de dosage d'une pompe, procedes de verrouillage et de deverrouillage d'un tel mecanisme |
US10519942B2 (en) | 2016-07-28 | 2019-12-31 | Accriva Diagnostics, Inc. | Methods of operating a pump to reduce or eliminate pump backlash errors |
US10570896B1 (en) * | 2017-04-28 | 2020-02-25 | Vp Sales And Company Lp | Packing nut lock |
US10792697B2 (en) * | 2017-05-17 | 2020-10-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Drippage prevention system and method of operating same |
JP6920133B2 (ja) * | 2017-08-23 | 2021-08-18 | 株式会社Screenホールディングス | 処理液供給装置 |
JP6920923B2 (ja) * | 2017-08-25 | 2021-08-18 | 株式会社Screenホールディングス | ポンプ装置および基板処理装置 |
KR101933062B1 (ko) | 2017-09-19 | 2019-03-15 | 서강대학교산학협력단 | 이송대상유체의 압력을 측정하는 펌프, 이를 이용하는 유체운송 시스템과 그 시스템의 동작 방법 |
US10663865B2 (en) * | 2018-06-29 | 2020-05-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Photoresist recycling apparatus |
EP4144444B1 (en) * | 2018-09-24 | 2023-06-07 | Graco Minnesota Inc. | Paint sprayer distributed control and output volume monitoring architectures |
BR102018072471B1 (pt) | 2018-10-31 | 2023-01-03 | Drausuisse Brasil Comércio E Locação De Unidades Hidráulicas Inteligentes S.A. | Unidade hidráulica com acionamento combinado por via pneumática e servo motor e seu uso |
KR102115101B1 (ko) * | 2018-11-01 | 2020-05-26 | 강현석 | Iot기반 지능형 원격관리 서비스 시스템 |
ES2980669T3 (es) * | 2018-11-14 | 2024-10-02 | Drausuisse Brasil Comercio E Locacao De Unidades Hidraulicas Inteligentes S A | Unidad hidráulica con bombas en paralelo unidas a un servomotor y utilización de la misma |
CN111219248B (zh) * | 2018-11-27 | 2024-10-11 | 罗伯特·博世有限公司 | 检测系统中过滤器的存在的方法 |
JP7193376B2 (ja) * | 2019-02-22 | 2022-12-20 | Towa株式会社 | 樹脂成型装置及び樹脂成型品の製造方法 |
IT201900007779A1 (it) * | 2019-05-31 | 2020-12-01 | Corob Spa | Metodo di controllo della dispensazione di prodotti fluidi |
US11260669B2 (en) | 2019-10-01 | 2022-03-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Gas purger anomaly condition indication |
TWI768379B (zh) * | 2020-06-19 | 2022-06-21 | 緯創資通股份有限公司 | 壓力緩衝模組及生物培養裝置 |
JP2022161268A (ja) * | 2021-04-08 | 2022-10-21 | 株式会社Screenホールディングス | 処理液流通方法、及び、処理液供給装置 |
JP7530861B2 (ja) | 2021-04-27 | 2024-08-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理液供給装置、液体置換方法、および記憶媒体 |
JP2023127381A (ja) * | 2022-03-01 | 2023-09-13 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプの制御装置、及び、制御方法 |
Family Cites Families (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4896552A (en) * | 1988-01-19 | 1990-01-30 | Ballscrews & Actuators Co., Inc. | Ballscrew follower and method of making and operating the same |
US4954032A (en) * | 1989-11-13 | 1990-09-04 | Windfred M. Berg, Inc. | Anti-backlash nut |
US5839321A (en) * | 1997-05-16 | 1998-11-24 | Ball Screw & Actuators Co. | Backlash compensating assembly |
US6142032A (en) * | 1998-01-30 | 2000-11-07 | Creager; Wesley Carl | Adjustable anti-backlash nut assembly |
AU3841399A (en) * | 1998-06-02 | 1999-12-20 | Bayer Corporation | Precision pumping device |
DE69917927T2 (de) * | 1998-11-23 | 2005-06-23 | Mykrolis Corp., Billerica | Pumpensteuergerät für hochpräzisionsdosierpumpe |
US7029238B1 (en) * | 1998-11-23 | 2006-04-18 | Mykrolis Corporation | Pump controller for precision pumping apparatus |
US8172546B2 (en) * | 1998-11-23 | 2012-05-08 | Entegris, Inc. | System and method for correcting for pressure variations using a motor |
US6131478A (en) * | 1999-01-07 | 2000-10-17 | Kerk Motion Products, Inc. | Anti-backlash nut assembly |
JP2004143960A (ja) * | 2002-10-22 | 2004-05-20 | Smc Corp | ポンプ装置 |
JP4311620B2 (ja) * | 2003-05-26 | 2009-08-12 | ケーエスエス株式会社 | バックラッシュ除去ナット |
JP4206308B2 (ja) * | 2003-08-01 | 2009-01-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 液体クロマトグラフ用ポンプ |
US7328839B2 (en) * | 2004-10-21 | 2008-02-12 | International Business Machines Corporation | User configurable alerts for ATM transactions |
JP5079516B2 (ja) | 2004-11-23 | 2012-11-21 | インテグリス・インコーポレーテッド | 可変定位置ディスペンスシステムのためのシステムおよび方法 |
DE102005017240A1 (de) * | 2005-04-14 | 2006-10-19 | Alldos Eichler Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung eines mittels einer Pumpe geförderten Fluidstromes |
EP1874446A1 (en) | 2005-04-25 | 2008-01-09 | Entegris, Inc. | Method and apparatus for treating fluids to reduce microbubbles |
US7878765B2 (en) | 2005-12-02 | 2011-02-01 | Entegris, Inc. | System and method for monitoring operation of a pump |
KR101281210B1 (ko) | 2005-12-02 | 2013-07-02 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 펌프에서의 밸브 시퀀싱 시스템 및 방법 |
US7850431B2 (en) * | 2005-12-02 | 2010-12-14 | Entegris, Inc. | System and method for control of fluid pressure |
KR101243509B1 (ko) | 2005-12-02 | 2013-03-20 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 펌프에서의 압력 보상을 위한 시스템 및 방법 |
JP4845969B2 (ja) | 2005-12-02 | 2011-12-28 | エンテグリース,インコーポレイテッド | ポンプ制御装置を結合する入出力システム、方法、および装置 |
JP5355091B2 (ja) * | 2005-12-02 | 2013-11-27 | インテグリス・インコーポレーテッド | モータを用いて圧力変動を補正するためのシステムおよび方法 |
JP2007158663A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Ricoh Co Ltd | アナログ画像信号のオフセット調整方法 |
US7842010B2 (en) | 2005-12-05 | 2010-11-30 | Medrad, Inc. | Pneumatically-operated thrombectomy catheter deployment system |
TWI402423B (zh) * | 2006-02-28 | 2013-07-21 | Entegris Inc | 用於一幫浦操作之系統及方法 |
US7443483B2 (en) | 2006-08-11 | 2008-10-28 | Entegris, Inc. | Systems and methods for fluid flow control in an immersion lithography system |
US7992456B2 (en) * | 2007-12-10 | 2011-08-09 | Pacific Bearing Company | Anti-backlash nut, lead screw assembly and method |
JP5419008B2 (ja) | 2009-04-28 | 2014-02-19 | Smc株式会社 | ポンプ装置 |
TWI563351B (en) | 2010-10-20 | 2016-12-21 | Entegris Inc | Method and system for pump priming |
SG11201400072RA (en) | 2011-08-19 | 2014-07-30 | Entegris Inc | System and method for detecting air in a fluid |
US9303742B2 (en) * | 2011-11-28 | 2016-04-05 | Pacific Bearing Company | Inverted spline rail system |
US20140271264A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Anthony Florindi | Piston pump drive train anti-backlash |
CN203488656U (zh) * | 2013-08-19 | 2014-03-19 | 高明铁企业股份有限公司 | 可减少背隙导螺杆结构 |
-
2015
- 2015-05-28 KR KR1020167036399A patent/KR102141271B1/ko active IP Right Grant
- 2015-05-28 JP JP2016569637A patent/JP6543646B2/ja active Active
- 2015-05-28 KR KR1020167036398A patent/KR102141270B1/ko active IP Right Grant
- 2015-05-28 US US15/314,461 patent/US20170107982A1/en not_active Abandoned
- 2015-05-28 JP JP2016569640A patent/JP6644712B2/ja active Active
- 2015-05-28 WO PCT/US2015/032816 patent/WO2015184056A1/en active Application Filing
- 2015-05-28 TW TW104117224A patent/TWI664350B/zh active
- 2015-05-28 US US15/314,469 patent/US20170114879A1/en not_active Abandoned
- 2015-05-28 EP EP15732082.1A patent/EP3149329B1/en active Active
- 2015-05-28 CN CN201580033267.3A patent/CN106662083B/zh active Active
- 2015-05-28 TW TW104117225A patent/TWI670417B/zh active
- 2015-05-28 SG SG11201609910XA patent/SG11201609910XA/en unknown
- 2015-05-28 EP EP15729984.3A patent/EP3149328B1/en active Active
- 2015-05-28 CN CN201580035323.7A patent/CN106460811A/zh active Pending
- 2015-05-28 SG SG10201810172QA patent/SG10201810172QA/en unknown
- 2015-05-28 WO PCT/US2015/032817 patent/WO2015184057A1/en active Application Filing
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2017516944A5 (ja) | ||
JP2013027783A5 (ja) | ||
JP6644712B2 (ja) | 供給および分注センサー、濾過および分注確認、ならびに濾過器の減圧プライミングを有するポンプの動作のためのシステムおよび方法 | |
MX2009011536A (es) | Determinacion y control de nivel de fluido de perforacion, flujo de salida, y velocidad deseada de operacion de bomba, usando un sistema de control para una bomba centrifuga colocada dentro de la perforacion. | |
JP2019534780A5 (ja) | ||
JP2009521636A5 (ja) | ||
CN105940357A (zh) | 压力式流量控制装置及其流量控制开始时的超量防止方法 | |
JP2014530718A5 (ja) | ||
EP2896871A3 (en) | Gas filling apparatus and gas filling method | |
JP2007106600A5 (ja) | ||
JP2016508209A5 (ja) | ||
CA2633204A1 (en) | Method of calculating pump flow rates and an automated pump control system | |
JP2013066819A5 (ja) | ||
RU2015150604A (ru) | Способ работы для насоса, в особенности для мультифазного насоса, и насос | |
FI3501279T3 (fi) | Perfuusiolaitteisto pienemmillä painevaihteluilla sekä kuplaloukku | |
IN2014CN03021A (ja) | ||
TWI617362B (zh) | 抽汲系統、用以在一抽汲系統中偵測空氣之方法及電腦程式產品 | |
JP2014512626A5 (ja) | ||
CN107208639B (zh) | 控制器及其用途、具有该控制器的真空泵及温度调节方法 | |
JP2014159808A5 (ja) | ||
SG11201906887YA (en) | Membrane separation device and membrane separation method | |
MX351596B (es) | Bomba de diafragma para dosificar un fluido capaz de desgasificar automaticamente y un metodo acorde. | |
JP2013034926A5 (ja) | ||
RU2014146203A (ru) | Системы подачи топлива летательного аппарата | |
RU2018113530A (ru) | Интеллектуальный насос для переносного детектора утечки газа |