JP2017509801A5 - - Google Patents
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Description
上述の観点から、当該技術分野での問題の少なくとも幾つかを克服する、新しいスパッタリング装置、及びその操作方法が望まれる。
図1は、分離された状態にある、本明細書で説明される実施形態を使用するためのスパッタリング装置10の側面断面図を示す。スパッタリング装置10は、真空チャンバ11及びコーティングドラム12を有する。コーティングドラム12は、真空チャンバ11内に配置され、(図示せぬ)コーティングされるべき基板を支持するように構成される。ある実施態様によれば、スパッタリング装置10の複数のスパッタリングカソード16は、「レシピエントプレート」とも呼ばれ得る保持デバイス14に取り付けられている。図1で示されているように、スパッタリングカソード16及び保持デバイス14は、カンチレバー構成として形成され得る。そこに取り付けられているスパッタリングカソード16を有する保持デバイス14は、搬送デバイス15上に提供され得る。スパッタリング装置10を組み立てるために、スパッタリングカソード16は、その開口部を通って真空チャンバ11の中へ移動される。図2Aの前面断面図及び図2Bの上面断面図で示されているように、スパッタリングカソード16は、コーティングドラム12を取り囲むように、真空チャンバ11内に配置される。レシピエントプレート又は保持デバイス14は、気密なやり方で真空チャンバ11の開口部を密封し得る。
図1、図2A、及び図2Bでは、スパッタリングカソード16とコーティングドラム12が平行であるように配置される、すなわち、スパッタリングカソード16とコーティングドラム12との間の距離が一定である、理想的な場合が示されている。しかし、図3A及び図3Bで示されるような実際のシステムでは、特に、重力とレシピエントプレート又は保持デバイス14に対するスパッタリングカソード16の一方の側の取り付けからもたらされるレバーアームとのせいで、レシピエントプレート及び/又はスパッタリングカソード16が曲がる。図3Bで示されるように、そのような曲げは、スパッタリングカソード16とコーティングドラム12の平行ではない構成をもたらす。
本明細書で説明される他の実施形態と組み合わせることが可能な、ある実施形態によれば、少なくとも1つの駆動デバイス30は、第1の角度29をほぼゼロ度に変更し又は調整するように構成され得る。これは、第1の軸28と第2の軸23の平行な構成、又は±5度以内の偏差に対応し得る。他の実施形態では、少なくとも1つの駆動デバイス30が、第1の角度29を第1の値に変更し又は調整するように構成され得る。第1の値は、所定の値、又は例えばスパッタリング処理の間にリアルタイムで決定及び/若しくは適合された値であり得る。第1の値は、基板表面上でスパッタリングされた材料の層の厚さ、真空パラメータ、スパッタリング材料、及び/又は処理電力などの、スパッタリング処理の少なくとも1つの処理パラメータに基づいて計算又は決定され得る。
上述したように、ある実施形態によれば、スパッタリング装置20は、2つの駆動デバイス30を含み、1つの駆動デバイス30が第1の末端部分26と連結可能であり、別の1つの駆動デバイス30が第2の末端部分27と連結可能であり得る。そのような場合では、第1の末端部分26は、適所に固定されないが、それに連結された他の駆動デバイス30によって移動可能であり得る。ある実施形態では、第1の末端部分26が、他の駆動デバイス30を介して保持デバイス24と連結され得る。第2の末端部分27と第1の末端部分26を互いに対して相対的に移動させることによって、第1の軸28と第2の軸23との間の第1の角度29が変更され得る。この実施例では、第1の角度29を変更するために、第1の末端部分26が移動され、一方、第2の末端部分27は移動されず若しくは適所に固定され、又は第1の末端部分26が移動されず若しくは適所に固定され、一方、第2の末端部分27が移動され、又は第1の末端部分26と第2の末端部分27の両方が、互いに対して相対的に移動され、特に、同時に互いに対して相対的に移動され得る。
本明細書で説明される他の実施形態と組み合わせることが可能な、ある実施形態によれば、保持デバイス24は、少なくとも1つのスパッタリングカソード25を保持するように構成され得る。一実施例として、少なくとも1つのスパッタリングカソード25は、保持デバイス24と連結され又は保持デバイス24に固定され得る。通常、保持デバイスは、プレート、特に、レシピエントプレートであり得る。典型的な実施形態では、第1の末端部分26が、保持デバイス24に固定され又は取り付けられ得る。一実施例として、第1の末端部分26は、適所に固定されるように保持デバイス24と連結され、第2の末端部分27は、移動可能又は変位可能な状態で少なくとも1つの駆動デバイス30に対して連結可能なように提供され得る。第1の末端部分26が適所に固定される一方で、第2の末端部分27を移動させることによって、第1の軸28と第2の軸23との間の第1の角度29が変更され得る。
ある実施態様では、スパッタリングカソード25と、基板支持体22と、オプションとして保持デバイス24及び/又はフレキシブル基板を搬送するための搬送手段などの更なる要素とを含むアセンブリが、真空チャンバ21に対して移動可能に提供され得る。一実施例として、スパッタリングカソード25及び基板支持体は、真空チャンバ21の中へ移動可能であり、且つ、真空チャンバ21から外へ移動可能な独立した物として提供され得る。
調整ユニット31、31’は、モータ、ステッピングモータ、リニアモータ、機械的な調整ユニット、空気圧による調整ユニット、及び油圧による調整ユニットのうちの少なくとも1つを含み得る。機械的な調整ユニットは、真空チャンバの壁を通るフィードスルー(feed through)を含み得る。したがって、機械的な調整ユニット31、31’は、真空チャンバ21の外側から制御可能であり、特に、手動で制御可能である。
少なくとも1つの駆動デバイス30、30’は、特にスパッタリング処理の間に、第1の角度を変更するように構成される。第1の角度をインシトゥ(その場)(例えば、真空下)で変更することによって、例えば、熱膨張又は機械的な応力によるスパッタリングカソードの曲げによってもたらされた第1の角度29の変化が相殺され、それによって、基板上にコーティングされた材料の層の厚さの均一性が増加され得る。図6では、駆動デバイス30、30’が、真空チャンバ21内に提供されている。
ある実施形態によれば、スパッタリングカソード25は、保持デバイス24又はレシピエントプレートに取り付けられる。したがって、基板支持体22とスパッタリングカソード25との間の距離292及び294が固定され得る。スパッタリングカソード25の遊離端又は自由端における、基板支持体22とスパッタリングカソード25との間の距離291及び293は、(例えば、真空チャンバ内の圧力、カソードの位置、重量、スパッタリングカソード及び/又はレシピエントプレートの曲げなどに応じる)柔軟な独立した値であり得る。少なくとも1つの駆動デバイス30、30’を含むシステムは、各スパッタリングカソード25の自由端又は遊離端において統合され、例えば、同じ距離291と293を得るやり方で、すなわち、基板支持体22とスパッタリングカソード25の平行な構成を得るやり方で、スパッタリングカソード25を移動させ又は曲げるように適合され得る。
薄膜堆積システム1000は、巻き戻しステーション110、巻き取りステーション110’、第1のスパッタリング装置120、及び第2のスパッタリング装置130を含む。スパッタリング装置120と130は、各々、処理チャンバとして構成され得る真空チャンバを含む。ロードロックチャンバ1010は、巻き戻しステーション110と第1のスパッタリング装置120の第1のチャンバとの間に提供され得る。更なるロードロックチャンバ1010が、レーザスクライビングチャンバ1020と巻き取りステーション110’との間に提供され得る。ロードロックチャンバ1010は、各々、シール1012を含み、シール1012は、例えば、フレキシブル基板100が薄膜堆積システム1000を通って搬送される間に、又はフレキシブル基板100の存在なしに閉じられ(closed)得る。それによって、巻き取りステーション110及び巻き戻しステーション110’は、オープンになり、残りのシステムが排気されている間に大気圧を有し得る。更に、ロードロックチャンバ1010は、中真空段階を提供するために使用され、それによって、例えば、巻き取りステーション110と第1のスパッタリング装置120の真空チャンバとの間の圧力差が増加され得る。
本明細書で説明される他の実施形態と組み合わせることが可能な、異なる実施形態によれば、ガスクッション領域1123は、1mbarから約1・10−2mbarまでの圧力を有し、一方、動作の間に、他の領域は、1・10−2mbarから1・10−4mbarの圧力まで排気され得る。
本明細書で説明される他の実施形態と組み合わせることが可能な、また更なる実施形態によれば、スパッタリング装置120及び130の各々の後で、レーザスクライビングチャンバ1020が提供され得る。レーザスクライビングチャンバ1020は、各々、フレキシブル基板100の前面をレーザ処理するための装備を含む。異なる実施形態によれば、レーザ1022、1以上の鏡1025、及び/又は少なくとも1つのレンズ1026が、レーザスクライビングチャンバ1020内に提供される。レーザビーム1028は、フレキシブル基板100の前面、すなわち、以前の処理チャンバ内で、その上に薄膜が堆積されたところの表面上に導かれる。
本明細書で説明される他の実施形態と組み合わせることが可能な、ある実施形態によれば、スパッタリング装置120は、ウェブ(例えば基板100)を搬送するように構成された2以上のコーティングドラム61、62、63を含み、且つ、少なくとも1つのスパッタリングカソード64を含み得る。図9の実施例では3つのコーティングドラム61、62、63が示されているが、本開示は、それらに限定されるものではなく、任意の適切な数のコーティングドラムが提供され得る。一実施例として、2つ又は4つのコーティングドラムが提供され得る。本開示のいくつかの実施形態によれば、コーティングドラムは回転可能な基板支持体とも呼ばれうる。よって、2以上の回転可能な基板支持体が、図9の左側の堆積チャンバに示されるようにフリースパン堆積システムを提供しうるか、又は、1つのコーティングドラムが、図9の右側の堆積チャンバに示されるようにウェブがコーティングドラムと接触している間に材料を堆積するために利用されうる。
Claims (15)
- 基板表面上に材料をスパッタリングするためのスパッタリング装置であって、
第1の末端部分及び第2の末端部分を有する少なくとも1つのスパッタリングカソードであって、第1の軸に沿って延在する、少なくとも1つのスパッタリングカソード、
前記基板を支持するように構成され、前記少なくとも1つのスパッタリングカソードと対向して配置される少なくとも1つの基板支持体であって、第2の軸に沿って延在し、前記第2の軸が前記第1の軸と共に第1の角度を形成する、少なくとも1つの基板支持体、並びに
前記少なくとも1つのスパッタリングカソードと連結可能な少なくとも1つの駆動デバイスであって、前記第1の角度を変更するように構成された、少なくとも1つの駆動デバイス
を備える、スパッタリング装置。 - 前記少なくとも1つの駆動デバイスが、第1の末端部分及び第2の末端部分で前記少なくとも1つのスパッタリングカソードと接続可能で、前記少なくとも1つの駆動デバイスが、スパッタリング処理の間に、前記第1の角度を変更するように構成されている、請求項1に記載のスパッタリング装置。
- 前記少なくとも1つのスパッタリングカソードを保持するように構成された保持デバイスを更に含む、請求項1に記載のスパッタリング装置。
- 前記第2の末端部分と連結可能な1つの駆動デバイスを含み、又は2つの駆動デバイスであって、前記2つの駆動デバイスのうちの一方の駆動デバイスが前記第1の末端部分と連結可能であり、前記2つの駆動デバイスのうちの他方の駆動デバイスが前記第2の末端部分と連結可能である、2つの駆動デバイスを含む、請求項1から3の何れか一項に記載のスパッタリング装置。
- 前記少なくとも1つのスパッタリングカソードが、平坦なスパッタリングカソード、又は回転可能なスパッタリングカソードであって、前記第1の軸が前記回転可能なスパッタリングカソードの回転軸である、回転可能なスパッタリングカソードである、請求項1から4のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 前記少なくとも1つの基板支持体が、コーティングドラムであって、前記第2の軸が前記コーティングドラムの回転軸である、コーティングドラムである、請求項1から5のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 前記基板を搬送するための第1の回転可能な基板支持体と第2の回転可能な基板支持体との間に形成される隔たりを伴って平行に配置された、前記第1の回転可能な基板支持体と前記第2の回転可能な基板支持体を備える、請求項1から6のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 前記駆動デバイスが、前記第1の角度をほぼゼロ度に変更するように構成される、請求項1から7のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 1以上のスパッタリング処理パラメータに基づいて、前記駆動デバイスを制御して、前記第1の角度を調整するように構成されたコントローラを更に含む、請求項1から8のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 少なくとも2つのスパッタリングカソード、3個又は6個のスパッタリングカソードを含む、請求項1から9のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 真空チャンバであって、前記少なくとも1つの基板支持体及び/又は前記少なくとも1つの駆動デバイスが前記真空チャンバ内に提供された、真空チャンバを更に含む、請求項1から10のいずれか一項に記載のスパッタリング装置。
- 第1の末端部分及び第2の末端部分を有する少なくとも1つのスパッタリングカソードであって、第1の軸に沿って延在する、少なくとも1つのスパッタリングカソードを有するスパッタリング装置を用いて、基板表面上に材料をスパッタリングするための方法であって、
スパッタリング処理の間に前記第1の軸の方向を変更することを含む、方法。 - 前記スパッタリング装置が、
前記基板を支持するように構成され、前記少なくとも1つのスパッタリングカソードと対向して配置される少なくとも1つの基板支持体であって、第2の軸に沿って延在し、前記第2の軸が前記第1の軸と共に第1の角度を形成する、少なくとも1つの基板支持体を更に備え、
前記第1の軸の前記方向を変更することが、前記第1の角度を変更することをもたらす、請求項12に記載の方法。 - 少なくとも1つのスパッタリング処理パラメータに基づいて、前記第1の軸の前記方向を変更することを更に含む、請求項12又は13に記載の方法。
- 前記スパッタリング処理パラメータが、前記基板表面上でスパッタリングされた前記材料の層の厚さ、真空パラメータ、スパッタリング材料、及び処理電力から成るグループから選択された少なくとも1つのパラメータを含む、請求項14に記載の方法。
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