JP2017507358A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. 特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系のサブアセンブリであって、
   素子（１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０）と、
   前記素子の温度を制御する少なくとも１つの温度制御デバイスと
   を備え、前記少なくとも１つの温度制御デバイスは、少なくとも１つの管状部を有する閉回路内に冷媒を有し、該冷媒は、２相転移を行いながら前記管状部内で前記素子から又は該素子へ輸送可能であり、
   加熱デバイス（１５、２５）が、前記冷媒を加熱することにより該冷媒の輸送を遮断するために設けられるサブアセンブリ。
2. 請求項１に記載のサブアセンブリにおいて、前記加熱デバイス（１５、２５）は電気加熱デバイスであることを特徴とするサブアセンブリ。
3. 請求項１又は２に記載のサブアセンブリにおいて、前記管状部は弾性変形可能であることを特徴とするサブアセンブリ。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載のサブアセンブリにおいて、前記管状部の長さ対外径の比が、少なくとも５：１、より詳細には少なくとも１０：１であることを特徴とするサブアセンブリ。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載のサブアセンブリにおいて、前記管状部の長さ対外径の比が、少なくとも５０：１、より詳細には少なくとも８０：１であることを特徴とするサブアセンブリ。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載のサブアセンブリにおいて、該サブアセンブリは、少なくとも１自由度での前記素子の調整を可能にする少なくとも１つのフレクシャ（２６、３６、４６、５６、６６、７６）を有することを特徴とするサブアセンブリ。
7. 請求項６に記載のサブアセンブリにおいて、前記フレクシャ（２６、５６、６６）は管状部に形成されることを特徴とするサブアセンブリ。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載のサブアセンブリにおいて、前記管状部は変断面を有することを特徴とするサブアセンブリ。
9. 請求項１〜８のいずれか１項に記載のサブアセンブリにおいて、ポンプデバイスも設けられることを特徴とするサブアセンブリ。
10. 請求項９に記載のサブアセンブリにおいて、前記ポンプデバイスは、前記回路内に存在する前記冷媒を操作するよう構成されることを特徴とするサブアセンブリ。
11. 請求項９に記載のサブアセンブリにおいて、前記ポンプデバイスは、第１回路と熱交換する２次回路に設けられることを特徴とするサブアセンブリ。
12. 請求項１〜１１のいずれか１項に記載の方法において、前記温度制御デバイスはヒートパイプ（１３、３３、４３、５３、６３、７３）として構成されることを特徴とするサブアセンブリ。
13. 請求項１〜１２のいずれか１項に記載のサブアセンブリにおいて、前記温度制御デバイスは２相熱サイフォン（２３、５３）として構成されることを特徴とするサブアセンブリ。
14. 請求項１〜１３のいずれか１項に記載のサブアセンブリにおいて、該サブアセンブリは、特に行列状配置の複数の温度制御デバイスを有することを特徴とするサブアセンブリ。
15. 請求項１〜１４に記載のサブアセンブリにおいて、前記素子（１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０）は反射光学素子であることを特徴とするサブアセンブリ。
16. 請求項１〜１４のいずれか１項に記載のサブアセンブリにおいて、前記素子はＥＵＶ光源のコレクタミラーであることを特徴とするサブアセンブリ。
17. 請求項１〜１４のいずれか１項に記載のサブアセンブリにおいて、前記素子はマイクロリソグラフィマスクであることを特徴とするサブアセンブリ。
18. 請求項１〜１４のいずれか１項に記載のサブアセンブリにおいて、前記素子（１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０）は、相互に独立して調整可能な複数のミラー素子を備えたミラー構成体のミラー素子であることを特徴とするサブアセンブリ。
19. 請求項１８に記載のサブアセンブリにおいて、前記ミラー構成体は、ファセットミラー、特に視野ファセットミラー（８０３）又は瞳ファセットミラー（８０４）であることを特徴とするサブアセンブリ。
20. 請求項１〜１９のいずれか１項に記載のサブアセンブリにおいて、前記素子（１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０）は、３０ｎｍ未満、特に１５ｎｍ未満の作動波長用に設計されることを特徴とするサブアセンブリ。
21. 請求項１〜２０のいずれか１項に記載のサブアセンブリを備えたマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系、特に照明デバイス又は投影レンズ。
22. マイクロリソグラフィ投影露光装置（８００）であって、請求項２１に記載の光学系を備えたマイクロリソグラフィ投影露光装置。